JPH01277727A - 回折格子分光器 - Google Patents
回折格子分光器Info
- Publication number
- JPH01277727A JPH01277727A JP10794788A JP10794788A JPH01277727A JP H01277727 A JPH01277727 A JP H01277727A JP 10794788 A JP10794788 A JP 10794788A JP 10794788 A JP10794788 A JP 10794788A JP H01277727 A JPH01277727 A JP H01277727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mount
- diffraction grating
- shaft
- diffraction
- diffraction gratings
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、溝本数やブレーズ角の異なった複数個の回折
格子を波長域によって切り換えて使用し、かつ回折格子
中心を軸として回転させることにより波長走査を行う分
光器に関する。
格子を波長域によって切り換えて使用し、かつ回折格子
中心を軸として回転させることにより波長走査を行う分
光器に関する。
従来の回折格子分光器においては、回転可能な１つのマ
ウントの周囲に複数個の回折格子を配置して広い波長範
囲を得るようにしている（例えば、特公昭４８−４２９
８４号公報参照）。
ウントの周囲に複数個の回折格子を配置して広い波長範
囲を得るようにしている（例えば、特公昭４８−４２９
８４号公報参照）。
従来の回折格子分光器にあっては、複数個の回折格子の
選択（交換）のための切り換えを、使用位置での各回折
格子の波長走査のための回転方向と同一の動きを含む運
動により行うので、回折格子切り換え時の角度（位置）
精度の保証が困難という問題点があった。さらに、従来
の分光器では、回折格子の切り換え及び波長走査の機構
が複雑であり、マウントに隣接して多くの機構部品を設
置する必要があるので、超高真空分光器など脱ガスを要
する装置には適用できないという問題点があった。 本発明は、複数個の回折格子を精度よく切り換えること
ができ、同時に波長走査のための回折格子の回転運動を
可能にした回折格子分光器を得ることを目０勺とする。
選択（交換）のための切り換えを、使用位置での各回折
格子の波長走査のための回転方向と同一の動きを含む運
動により行うので、回折格子切り換え時の角度（位置）
精度の保証が困難という問題点があった。さらに、従来
の分光器では、回折格子の切り換え及び波長走査の機構
が複雑であり、マウントに隣接して多くの機構部品を設
置する必要があるので、超高真空分光器など脱ガスを要
する装置には適用できないという問題点があった。 本発明は、複数個の回折格子を精度よく切り換えること
ができ、同時に波長走査のための回折格子の回転運動を
可能にした回折格子分光器を得ることを目０勺とする。
上記目的を達成するため、本発明の回折格子分光器にお
いては、回折格子を取り（旧するマウントを、スリット
及び光軸中心を含む平面に対し垂直方向に移動可能に、
かつ回折格子中心を軸として回転可能に支承し、このマ
ウントにその移動方向に沿って複数個の回折格子を配列
したものである。 上記マウントの支承には、適宜の機構を用いることが可
能であるが、特にマウントの垂直方向の移動を案内する
スライドガイドを備え、かつ回転可能に支承された回転
運動軸を中空軸とし、この軸内に支承され、ネジ送り機
構などの手段により垂直方向に移動可能な直線運動軸に
てマウントを支持してなる二重軸構造の機構を用いるこ
とが効果的である。
いては、回折格子を取り（旧するマウントを、スリット
及び光軸中心を含む平面に対し垂直方向に移動可能に、
かつ回折格子中心を軸として回転可能に支承し、このマ
ウントにその移動方向に沿って複数個の回折格子を配列
したものである。 上記マウントの支承には、適宜の機構を用いることが可
能であるが、特にマウントの垂直方向の移動を案内する
スライドガイドを備え、かつ回転可能に支承された回転
運動軸を中空軸とし、この軸内に支承され、ネジ送り機
構などの手段により垂直方向に移動可能な直線運動軸に
てマウントを支持してなる二重軸構造の機構を用いるこ
とが効果的である。
【作 用］
上記のように構成された回折格子分光器において回折格
子の切り換えは、マウントを支持する直線運動軸をネジ
送り機構などの手段で垂直方向に移動させ、同方向に沿
ってマウントに収り（τＦけられた複数個の回折格子の
いずれか１つを選択的に光軸中心に位置させることによ
り行う、各回折格子を光軸中心に一致させるには、例え
ば直線運動軸のネジ送り機構をパルスモータで駆動する
ようにし、モータに供給されるパルス数と直線運動軸（
マウント）の垂直方向における移動距離との関係をあら
かじめ規定することにより、容易に達成することができ
る。 波長走査のための回折格子の回転は、サインバー機構な
どを介して回転運動軸を回転することにより行うが、回
折格子（マウント）はスライドガイドを介して回転運動
軸とその回転に対しては一体的に動作するので、回転運
動軸の回転によって波長走査を行うことができる。 【実施例】 以下、実施例について図面を参照して説明すると、第１
図において、回折格子マウント１はスライドガイド３に
より案内されて、スリット９及び光軸中心１０を含む平
面に対し垂直方向に、即ち図中上下方向に移動するが、
このマウント１に３個の回折格子２をその移動方向に沿
って取り付ける。 スライドガイド３は、支持体８にベアリングなどによっ
て回転可能に支承された回転運動軸４の一端に取り付け
られ、回転運動軸４の他端には同軸４を回転するための
サインバー機構５を連結している。したがって、この回
転運動軸４が回転すると、スライドガイド３を介してマ
ウント１（回折格子２）も一体的に回転し、波長走査を
行うことができる。 他方４回転運動軸４は中空軸にて形成し、この軸内にネ
ジ送り機構７により図中上下方向に移動する直線運動軸
６を支承し、この直線運動軸６の先端をマウント１に連
結する。したがって、ネジ送り機構７をパルスモータ（
図示せず）にて駆動することにより回折格子２を図中上
下方向に移動させることができる。回折格子２を光軸中
心１０を含む平面に選択的に移動して停止させるのには
、ネジ送り機構７の駆動パルスモータに供給するパルス
数を制御することにより容易に達成できる。 この実施例では、回転運動軸４と直線運動軸６とが二重
軸構造であるので、図中支持体８の上方を真空部とする
ことができる。 なお、直線運動軸６を上下方向に移動させる手段として
上記実施例ではネジ送り機構を用いたが、磁気方式やベ
ローズの直進運動を用いた方式、その他各種の機構を適
用できることは勿論である。
子の切り換えは、マウントを支持する直線運動軸をネジ
送り機構などの手段で垂直方向に移動させ、同方向に沿
ってマウントに収り（τＦけられた複数個の回折格子の
いずれか１つを選択的に光軸中心に位置させることによ
り行う、各回折格子を光軸中心に一致させるには、例え
ば直線運動軸のネジ送り機構をパルスモータで駆動する
ようにし、モータに供給されるパルス数と直線運動軸（
マウント）の垂直方向における移動距離との関係をあら
かじめ規定することにより、容易に達成することができ
る。 波長走査のための回折格子の回転は、サインバー機構な
どを介して回転運動軸を回転することにより行うが、回
折格子（マウント）はスライドガイドを介して回転運動
軸とその回転に対しては一体的に動作するので、回転運
動軸の回転によって波長走査を行うことができる。 【実施例】 以下、実施例について図面を参照して説明すると、第１
図において、回折格子マウント１はスライドガイド３に
より案内されて、スリット９及び光軸中心１０を含む平
面に対し垂直方向に、即ち図中上下方向に移動するが、
このマウント１に３個の回折格子２をその移動方向に沿
って取り付ける。 スライドガイド３は、支持体８にベアリングなどによっ
て回転可能に支承された回転運動軸４の一端に取り付け
られ、回転運動軸４の他端には同軸４を回転するための
サインバー機構５を連結している。したがって、この回
転運動軸４が回転すると、スライドガイド３を介してマ
ウント１（回折格子２）も一体的に回転し、波長走査を
行うことができる。 他方４回転運動軸４は中空軸にて形成し、この軸内にネ
ジ送り機構７により図中上下方向に移動する直線運動軸
６を支承し、この直線運動軸６の先端をマウント１に連
結する。したがって、ネジ送り機構７をパルスモータ（
図示せず）にて駆動することにより回折格子２を図中上
下方向に移動させることができる。回折格子２を光軸中
心１０を含む平面に選択的に移動して停止させるのには
、ネジ送り機構７の駆動パルスモータに供給するパルス
数を制御することにより容易に達成できる。 この実施例では、回転運動軸４と直線運動軸６とが二重
軸構造であるので、図中支持体８の上方を真空部とする
ことができる。 なお、直線運動軸６を上下方向に移動させる手段として
上記実施例ではネジ送り機構を用いたが、磁気方式やベ
ローズの直進運動を用いた方式、その他各種の機構を適
用できることは勿論である。
本発明は、複数の回折格子を−のマウントに固定したの
で、回折格子の交換時に微調整が不要となり、かつマウ
ントに隣接する構成部品が削減される。
で、回折格子の交換時に微調整が不要となり、かつマウ
ントに隣接する構成部品が削減される。
第１図は本発明の実施例を示す説明図である。
第１図中
１ マウント、 ２ 回折格子、
３ スライドガイド、 ４ 回転運動軸、５ サインバ
ー機構、 ６ 直線運動軸、７ ネジ送り機構、 ８
支持体、 ９ スリット、 １０ 光軸中心 である。 特許出願人 株式会社島津製作所− ｆ 、 代理人 弁理士 穴石 暗度 ・−。 １−１バ
ー機構、 ６ 直線運動軸、７ ネジ送り機構、 ８
支持体、 ９ スリット、 １０ 光軸中心 である。 特許出願人 株式会社島津製作所− ｆ 、 代理人 弁理士 穴石 暗度 ・−。 １−１バ
Claims (1)
- １、複数個の回折格子を切り換えて使用し、かつ回折格
子中心を軸として回転させることにより波長走査を行う
分光器において、スリット及び光軸中心を含む平面に対
し垂直方向に移動可能に、かつ同平面に対する垂直軸を
中心として回転可能に支承された１つのマウントに、前
記複数個の回折格子を前記マウントの移動方向に沿って
配列したことを特徴とする回折格子分光器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10794788A JPH01277727A (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | 回折格子分光器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10794788A JPH01277727A (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | 回折格子分光器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01277727A true JPH01277727A (ja) | 1989-11-08 |
Family
ID=14472084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10794788A Pending JPH01277727A (ja) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | 回折格子分光器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01277727A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011197351A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Olympus Corp | 反射型回折格子、及び、それを用いた分光器及びパルス整形器 |
| JP2012178436A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Hamamatsu Photonics Kk | 波長可変光源 |
| JPWO2020009061A1 (ja) * | 2018-07-02 | 2021-07-15 | 京セラ株式会社 | 分光器、天体望遠鏡および分光器の製造方法 |
-
1988
- 1988-04-30 JP JP10794788A patent/JPH01277727A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011197351A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Olympus Corp | 反射型回折格子、及び、それを用いた分光器及びパルス整形器 |
| JP2012178436A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Hamamatsu Photonics Kk | 波長可変光源 |
| JPWO2020009061A1 (ja) * | 2018-07-02 | 2021-07-15 | 京セラ株式会社 | 分光器、天体望遠鏡および分光器の製造方法 |
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