JPS61236199A - 多層プリント板の層間ずれの測定方法 - Google Patents
多層プリント板の層間ずれの測定方法Info
- Publication number
- JPS61236199A JPS61236199A JP7637985A JP7637985A JPS61236199A JP S61236199 A JPS61236199 A JP S61236199A JP 7637985 A JP7637985 A JP 7637985A JP 7637985 A JP7637985 A JP 7637985A JP S61236199 A JPS61236199 A JP S61236199A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- printed circuit
- multilayer printed
- layer
- circuit board
- Prior art date
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- Pending
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はコンピュータに使用される多層プリント板の眉
間ずれの測定方法に関するものである。
間ずれの測定方法に関するものである。
〔発明の背景］
従来のこの種測定方法は公知例、例えば特公昭５７−５
４６７９号公報に記載されているように各プリント基板
の表面周辺部に寸法測定用のマークを所定間隔だけ離す
と共に、層ごとに異なる位置に設けておき、これらの各
プリント基板を積層して一体化した後、Ｘ線透視により
各層のマークの位置を計測して層間ずれを測定する方法
である。
４６７９号公報に記載されているように各プリント基板
の表面周辺部に寸法測定用のマークを所定間隔だけ離す
と共に、層ごとに異なる位置に設けておき、これらの各
プリント基板を積層して一体化した後、Ｘ線透視により
各層のマークの位置を計測して層間ずれを測定する方法
である。
ところが、上記の方法では、高価なＸ線装置を必要とし
、かつ安全確保のため相当な注意を要する問題があり、
さらに積層接着工程の進行中における層間ずれの変動を
測定することは、装置の小型化に限界があるからほとん
ど不可能であった。
、かつ安全確保のため相当な注意を要する問題があり、
さらに積層接着工程の進行中における層間ずれの変動を
測定することは、装置の小型化に限界があるからほとん
ど不可能であった。
本発明は上記のような従来技術の問題点を解消し、多層
プリント板の層間ずれを安価に、かつ安全に、しかも正
確に測定できるばかりでなく、前記層間ずれが規定値以
下であることを保証できると共に、積層接着工程の進行
中における層間ずれの変動を測定することが可能である
多層プリント板の層間ずれの測定方法を提供することを
目的とするものである。
プリント板の層間ずれを安価に、かつ安全に、しかも正
確に測定できるばかりでなく、前記層間ずれが規定値以
下であることを保証できると共に、積層接着工程の進行
中における層間ずれの変動を測定することが可能である
多層プリント板の層間ずれの測定方法を提供することを
目的とするものである。
本発明は上記目的を達成するために、プリント基板を複
数枚積層し一体化してなる多層プリント板の製造工程に
おいて、予じめ前記プリント基板の表面に寸法測定用の
測定ランドを層ごとに相異なる位置に形成しておき、こ
れらの各プリント基板を積層し接着して一体化した後に
、赤外線透視により各層の測定ランドの位置を検知し、
これらの各検知位置から各層ごとの寸法変化量および相
対位置を検出することを特徴とする。
数枚積層し一体化してなる多層プリント板の製造工程に
おいて、予じめ前記プリント基板の表面に寸法測定用の
測定ランドを層ごとに相異なる位置に形成しておき、こ
れらの各プリント基板を積層し接着して一体化した後に
、赤外線透視により各層の測定ランドの位置を検知し、
これらの各検知位置から各層ごとの寸法変化量および相
対位置を検出することを特徴とする。
以下、本発明の一実施例を図面について説明する。
第１図は本実施例における多層プリント板の分解斜視図
である。同図において、１〜ｎは第１層目、第２層・・
・・・・ｉ１％ｎ１００各プリント基板、３、〜５ｎは
銅箔をエツチングして各プリント基板１〜ｎ上にそれぞ
れ設けられたマークで、これらのマーク３．〜３ｎは層
間ずれの測定精度を向上させるために、各プリント基板
１〜ｎ上の周辺部に少くとも４個所設けられている。こ
れらのマーク３．〜５ｎ上には測定ランド４．〜４ｎが
それぞれ設けられ、これらの測定ランド４．〜４ｎは、
各プリント基板１〜ｎを積層接着した後、透視した際に
互に重ならないように少しずつずらしておくものとする
。
である。同図において、１〜ｎは第１層目、第２層・・
・・・・ｉ１％ｎ１００各プリント基板、３、〜５ｎは
銅箔をエツチングして各プリント基板１〜ｎ上にそれぞ
れ設けられたマークで、これらのマーク３．〜３ｎは層
間ずれの測定精度を向上させるために、各プリント基板
１〜ｎ上の周辺部に少くとも４個所設けられている。こ
れらのマーク３．〜５ｎ上には測定ランド４．〜４ｎが
それぞれ設けられ、これらの測定ランド４．〜４ｎは、
各プリント基板１〜ｎを積層接着した後、透視した際に
互に重ならないように少しずつずらしておくものとする
。
また、上記測定ランド４１〜４ｎの各周辺部には、すべ
ての層の測定ランドを包含するだけの大きさの窓５．〜
５ｎが、銅箔をエッチアウトして形成されている。これ
らの透５□〜５ｎは各プリント基板１〜ｎの裏面側にも
、同様にエッチアウトして形成されている。さらに、予
じめ各層のプリント基板１〜ｎごとに各マーク３１〜５
ｎの各中心点６．〜６ｎを実測しておくものとする。
ての層の測定ランドを包含するだけの大きさの窓５．〜
５ｎが、銅箔をエッチアウトして形成されている。これ
らの透５□〜５ｎは各プリント基板１〜ｎの裏面側にも
、同様にエッチアウトして形成されている。さらに、予
じめ各層のプリント基板１〜ｎごとに各マーク３１〜５
ｎの各中心点６．〜６ｎを実測しておくものとする。
上記のように測定マーク５１〜３ｎがそれぞれ設けられ
た各プリント基板１〜ｎを、積層して接着することによ
り一体化して多層プリント板とした後に赤外線によりフ
ィルムに投影し、または直接に透視を行うと第２図のよ
うになる。 Ｊすなわち、第１層目〜第ｎ層目の各マー
クの中心点をそれぞれ６１〜６ｎとすれば、第１層目と
第２層目との層間ずれは中心点６．と６１との距離、換
言すれば２方向では零、ｙ方向ではΔｙどなる。一方、
第１層目と第ｎ層目との層間ずれは中心点６１と６ｎと
の距離、換言すれば２方向ではΔｚ、ｙ方回では零とな
る。このようにして、各マークごとの層間ずれを容易に
、かつ正確に測定することが可能である。
た各プリント基板１〜ｎを、積層して接着することによ
り一体化して多層プリント板とした後に赤外線によりフ
ィルムに投影し、または直接に透視を行うと第２図のよ
うになる。 Ｊすなわち、第１層目〜第ｎ層目の各マー
クの中心点をそれぞれ６１〜６ｎとすれば、第１層目と
第２層目との層間ずれは中心点６．と６１との距離、換
言すれば２方向では零、ｙ方向ではΔｙどなる。一方、
第１層目と第ｎ層目との層間ずれは中心点６１と６ｎと
の距離、換言すれば２方向ではΔｚ、ｙ方回では零とな
る。このようにして、各マークごとの層間ずれを容易に
、かつ正確に測定することが可能である。
以上説明したように、本発明によれば赤外線を用いるこ
とにより、従来の高価なＸ線装置が不要となるので安価
に、かつ安全に、しかも正確に測定することができる。
とにより、従来の高価なＸ線装置が不要となるので安価
に、かつ安全に、しかも正確に測定することができる。
また、多層プリント板の層間ずれが規定値以下であるこ
とを保証できると共に、積層接着工程の進行中における
層間ずれの変動を測定することかり能となり、層間ずれ
の発生要因を分析する際に非常に効果的である。
とを保証できると共に、積層接着工程の進行中における
層間ずれの変動を測定することかり能となり、層間ずれ
の発生要因を分析する際に非常に効果的である。
第１図は本発明に係わる多層プリント板の層間ずれの測
定方法の一実施例における多層プリント板の分解斜視図
、第２図は第１図の多層プリント板の赤外線透視図であ
る。 １〜ｎ・・・・・・プリント基板、 ５１〜５ｎ・・・・・・マーク、 ４□〜４ｎ・・・・・・測定ランド、 ６１〜６ｎ・・・・・・マーク中心点。
定方法の一実施例における多層プリント板の分解斜視図
、第２図は第１図の多層プリント板の赤外線透視図であ
る。 １〜ｎ・・・・・・プリント基板、 ５１〜５ｎ・・・・・・マーク、 ４□〜４ｎ・・・・・・測定ランド、 ６１〜６ｎ・・・・・・マーク中心点。
Claims (1)
- プリント基板を複数枚積層し一体化してなる多層プリ
ント板の製造工程において、予じめ前記プリント基板の
表面に寸法測定用の測定ランドを層ごとに相異なる位置
に形成しておき、これらの各プリント基板を積層し接着
して一体化した後に、赤外線透視により各層の測定ラン
ドの位置を検知し、これらの各検知位置から各層ごとの
寸法変化量および相対位置を検出することを特徴とする
多層プリント板の層間ずれ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7637985A JPS61236199A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 多層プリント板の層間ずれの測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7637985A JPS61236199A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 多層プリント板の層間ずれの測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61236199A true JPS61236199A (ja) | 1986-10-21 |
Family
ID=13603702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7637985A Pending JPS61236199A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 多層プリント板の層間ずれの測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61236199A (ja) |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP7637985A patent/JPS61236199A/ja active Pending
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