JPS61222284A - 発光素子 - Google Patents

発光素子

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JPS61222284A
JPS61222284A JP60062088A JP6208885A JPS61222284A JP S61222284 A JPS61222284 A JP S61222284A JP 60062088 A JP60062088 A JP 60062088A JP 6208885 A JP6208885 A JP 6208885A JP S61222284 A JPS61222284 A JP S61222284A
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light
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semiconductor
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裕 平井
Masafumi Sano
政史 佐野
Hisanori Tsuda
津田 尚徳
Katsuji Takasu
高須 克二
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は発光素子に係り、特に光又は電界のエネルギで
キャリアを注入し又は励起し、該キャリアを再結合させ
て発光させる発光素子に関する。
[従来技術] 従来、半導体の発光現象を用い′た発光素子は大きく分
けて、注入発光効果を用いたものと、電界発光効果を用
いたものとがある。用いられる半導体材料としてはGa
As、 Ga−Al−As等のm−v族元素の組合せや
、 Zn5e、 ZnS等の■−■族元素の組合せが用
いられ、その母体材料の組成比や母体材料叫入れた不純
物を変える事によって、バンドギャップを変えたり、励
起準位を変えたりする事ができ、それにより発光波長が
変化する。又用いられる素子の構造としては多くの場合
、PM接合。
PIN接合、ヘテロ接合、シ□ットキー接合等を単結晶
を用いて構成している。かかる発光素子を配列してカラ
ーディスプレイを構成しようとすると、3原色を発光す
る素子を組合せる事となり、各色に合わせて結晶の格子
定数とバンドギャップを考慮して材料を選んで素子を作
製する必要があり、又素子数が非常に多くなり、実装密
度が向上せず、解像度も悪くなる問題点がある。
[発明の目的] 本発明の目的は上記従来技術の問題点に鑑み、外部より
印加する電界によって実効的なバンドギャップを変えて
、任意の発光波長の光を出せる発光素子を提供し、半導
体材料の材料選定を簡易なものとし、又素子数を減らし
、実装密度及び解像度を向上させた多色発光素子を実現
させる事にある。
上記の目的は、光又は電界のエネルギでキャリアを注入
し又は励起し、該キャリアを再結合させて発光させる発
光素子の一部又は全部が、外部より印加する電界によっ
て実効的なバンドギャップの変わる超格子構造の半導体
からなり、該超格子構造の半導体が非単結晶半導体から
なる事を特徴とする本発明の発光素子によって達成され
る。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。
本発明の発光素子はn1pi構造又はヘテロ接合を有す
る超格子構造部、及び該超格子構造部に外部より電界を
加える事ができる電極を有している。
電極としては電極部分からキャリアの注入を行う場合に
は、ショットキー等の電極が選ばれ、Pt1Pd、 A
u等が用いられる。又PH接接合代ヘテロ接合キャリア
の注入を行う場合にはオーミックな特性となる様な電極
が選ばれ、A1. No、 ITO等が用いられる。
超格子構造部に使用する発光材料としては、非単結晶半
導体材料が用いられ、例えばSi:HlGe:H,5i
−(:H,5−Ge:H,5i−N:H等である。これ
らの非単結晶半導体材料のターミネータとしてはH)外
に、ハロゲン例えばFでもよい、又p型、n型の不純物
をドーピングした非単結晶半導体材料も用いられる。
超格子構造部の単一層の厚みは2〜100人とし、少な
くとも、量子井戸を形成する層と障壁を形成する層とを
各2層以上、望ましくは数十層程度の繰り返し積層構造
とする。上記発光材料は、構成材料の組成比又は組成物
等を変えてバンドギャップを連続的に変えてもよい。
以上の非単結晶半導体からなる超格子構造部を有する発
光素子は特に単結晶半導体では困難であった可視光領域
の光を出す事ができる。
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第1図は本発明の発光素子の第一実施例を示す断面図で
ある。基板l上に電極4を設け、その上に第1の発光層
(例えばa−3iC:H) 2を絶縁層(例えば5i−
N:H) 3で挟んで設ける。それから絶縁層3上に第
2の発光層6を透明電極5および7で挟んで設ける。第
2の発光層Bは基板温度50℃で光CVD法で作製した
a−9i:H層にBとPとをドーピングして作製され、
 n1pi構造の層となっている。
第2図は第一実施例のバンド図を示したものである。上
記構成の発光素子は交流電源8によって第1の発光層2
を発光させ、その光で第2の発光層8を励起して発光さ
せ、8の電源で第2の発光層8のバンドギャップを変え
る事によって発光波長の変調を可能とした。
次に本発明の発光素子の他の実施例について説明する。
第3図は本発明の発光素子の第二実施例を示す断面図で
ある。基板l上にショットキー接合をなす電極lOを設
け、その上に前記実施例に示した第2の発光層Bと同一
材料および同一素子構成であるn1pi構造をなす発光
層12を設け、その上に蓮明電極11を設けた。
第4図は、第3図に示した発光素子のバンド図であり、
電極lOより発光層12に注入された電子が再結合して
発光する際に前記第3図に示した電極lOと透明電極1
1との間に加えた電界により発光波長を変える事ができ
る。
第5図は本発明の発光素子の第三実施例のバンド図であ
り、 PM接合中にn1pi構造を取り入れた発光素子
を示し、構造は第3図の第二実施例と同じである。この
発光素子においても同様に電界による発光波長の変調が
見られた。
[発明の効果] 以上詳細に説明したように1本発明による発光素子によ
れば、発光素子の一部又は全部に外部より印加する電界
によって実効的なバンドギャップの変わる超格子構造部
を取り入れる事により、外部より印加する電界で発光波
長を任意に変える事ができ、半導体材料の材料選定を簡
易なものとし、又素子数を減らし、実装密度及び解像度
を向上させる事ができる。又該超格子構造部の構成材料
を非単結晶半導体とした事により可視光領域の光を出す
事が可能となり、製造工程においては低温で層形成がで
き、工程が簡略化されて実用性に富む発光素子を提供す
る事ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の発光素子の第一実施例の断面図であ
る。 第2図は、上記第一実施例のバンド図である。 第3図は、本発明の発光素子の第二実施例の断面図であ
る。 第4図は上記第二実施例のバンド図である。 第5図は本発明の発光素子の第三実施例のバンド図であ
る。 l・・・基板 2・・・第1の発光層 3・・・絶縁層 4.1011・・電極 5.7.11・・・透明電極 6・・・第2の発光層 8・・・交流電源 9・・・電源 12・・・発光層 代理人  弁理士 山 下 積 子 弟1図 第2図 第3図 第4図 第5図 i  p l、  N  i

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光又は電界のエネルギでキャリアを注入し又は励
    起し、該キャリアを再結合させて発光させる発光素子の
    一部又は全部が、外部より印加する電界によって実効的
    なバンドギャップの変わる超格子構造の半導体からなり
    、該超格子構造の半導体が非単結晶半導体からなる事を
    特徴とする発光素子。
JP6208885A 1985-03-28 1985-03-28 発光素子 Expired - Fee Related JPH0750795B2 (ja)

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JP6208885A JPH0750795B2 (ja) 1985-03-28 1985-03-28 発光素子
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JP6208885A JPH0750795B2 (ja) 1985-03-28 1985-03-28 発光素子

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JPH0750795B2 JPH0750795B2 (ja) 1995-05-31

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JPH0750795B2 (ja) 1995-05-31

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