JPS61215826A - 防振テ−ブル水平保持装置 - Google Patents

防振テ−ブル水平保持装置

Info

Publication number
JPS61215826A
JPS61215826A JP60053447A JP5344785A JPS61215826A JP S61215826 A JPS61215826 A JP S61215826A JP 60053447 A JP60053447 A JP 60053447A JP 5344785 A JP5344785 A JP 5344785A JP S61215826 A JPS61215826 A JP S61215826A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
fixed
center
magnet
base plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60053447A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Kurokawa
黒川　公士
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SANAI KOGYO KK
Original Assignee
SANAI KOGYO KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SANAI KOGYO KK filed Critical SANAI KOGYO KK
Priority to JP60053447A priority Critical patent/JPS61215826A/ja
Priority to US06/757,113 priority patent/US4595166A/en
Publication of JPS61215826A publication Critical patent/JPS61215826A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C39/00—Relieving load on bearings
    • F16C39/06—Relieving load on bearings using magnetic means
    • F16C39/063—Permanent magnets
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は防振装置の防振テーブルに外力が作用して振動
しても直に該振動を停止し防振テーブルを水平に保持す
るようにした防振テーブル水平保持装置に関するもので
ある。
（従来技術） 従来弾性部材で支持された基板上にエアー、マグネット
、コイルスプリング等の浮上部材を介して防振テーブル
を配設するようにした防振装置は周知であるが防振テー
ブル自体に外力が作用して防振テーブルを動かすと元の
水平状態に停止させる迄数秒間（約３秒程度）を必要と
しその間測定が出来ないので超精密測定には不適である
という問題点があった。
（目　的） 本発明は防振装置の防振テーブル上に超精密測定装置を
載置して測定中に防振テーブルに外力が作用して防振テ
ーブルを動かしても瞬時にその動きを停止し防振テーブ
ルを水平に保持し正確な超精密測定を行うことを目的を
している。
（構　成） 本発明は上記目的を達成するため基板上にエアー、マグ
ネット、コイルスプリング等の浮上部材を介して防振テ
ーブルを配設し、基板及び防振テーブルの対向面の一方
に磁性板を固定し。
他方に磁石を固定し、磁性板及び基板中心に形成した中
心孔より防振テーブル下面中心下方に突設したシャフト
を垂下し下端に重錘を固定したことを特徴とするもので
ある。
以下実施例に基づいて具体的に説明する。１はゴム等の
弾性部材２で下面を支持した４角形の基板で、その上面
４隅にエアー、マグネット、コイルスプリング等の４丘
部材３を介して防振テーブル４を配設し、基板１上面中
央部に磁性板５を固定し、該磁性板５に対向して防振テ
ーブル４下面中心部に４個の磁石６を中心対象に固定し
、磁性板５及び基板１中心に形成した中心孔７より防振
テーブル４下面中心下方に突設したシャフト８を垂下し
、下端に重錘９を固定しである。
次に作用について説明する。防振テーブル４上に超精密
測定機を載置して測定を行っている時防振テーブル４に
外力が加わり防振テーブル４を動かすと防振テーブル４
と一体のシャフト８下端の重錘９が振子の様に振動し、
次第に振巾を小さくして垂直位置に停止して防振テーブ
ル４を水平にしようとするが、この時磁性板５と磁石６
により防振テーブル４は常に下方向に吸引され、且つ浮
上部材３で上方向に浮上されているので前記重錘９の振
子作用は瞬時に制動を受け、防振テーブル４は瞬時（約
０．１〜０．３秒程度）に動きが停止し水平に保持され
る。
なお防振テーブルに磁性板を、基板に磁石を対向して配
設したり、基板を弾性材以外の他の部材で支持してもよ
い。
（効　果） 本発明によると基板上にエアー、マグネット。
コイルスプリング等の浮上部材を介して防振テーブルを
配設し、基板及び防振テーブル対向面の一方に磁性板を
、他方に磁石を固定し、磁性板及び基板中心に形成した
中心孔より防振テーブル下面中心下方に突設したシャフ
トを垂下し下端に重錘を固定しであるので防振テーブル
上に超精密測定装置を載置して測定中に防振゛テーブル
に外力が作用して防振テーブルを動かしても瞬時にその
動きを停止し防振テーブルを水平に保持するので正確な
超精密測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例正断面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ平面図である。 １・・・基板　　　　　　　３・・・浮上部材４・・・
防振テーブル　　　５・・・磁性板６・・・磁石　　　
７・・・中心孔　　　８・・・シャフト９・・・重錘 特　許　出　願　人　　サンアイ工業株式会社第１図 第２図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板上にエアー、マグネット、コイルスプリング等の浮
    上部材を介して防振テーブルを配設し、基板及び防振テ
    ーブル対向面の一方に磁性板を、他方に磁石を固定し、
    磁性板及び基板中心に形成した中心孔より防振テーブル
    下面中心下方に突設したシャフトを垂下し下端に重錘を
    固定した防振テーブル水平保持装置
JP60053447A 1985-03-19 1985-03-19 防振テ−ブル水平保持装置 Pending JPS61215826A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60053447A JPS61215826A (ja) 1985-03-19 1985-03-19 防振テ−ブル水平保持装置
US06/757,113 US4595166A (en) 1985-03-19 1985-07-19 Vibration isolating table device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60053447A JPS61215826A (ja) 1985-03-19 1985-03-19 防振テ−ブル水平保持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61215826A true JPS61215826A (ja) 1986-09-25

Family

ID=12943103

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60053447A Pending JPS61215826A (ja) 1985-03-19 1985-03-19 防振テ−ブル水平保持装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4595166A (ja)
JP (1) JPS61215826A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6435142A (en) * 1987-07-29 1989-02-06 Sanai Kogyo Kk Vibration prevented table
JPH01139146U (ja) * 1988-03-15 1989-09-22
JPH07181395A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Ebara Corp 顕微鏡装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4908536A (en) * 1985-10-30 1990-03-13 Hudimac Albert A Vibration suppressing by electrical termination impedance
US4862697A (en) * 1986-03-13 1989-09-05 Helix Technology Corporation Cryopump with vibration isolation
GB8816188D0 (en) * 1988-07-07 1988-11-16 Marconi Gec Ltd Mounting for machinery
DE58904201D1 (de) * 1988-11-02 1993-06-03 Inventio Ag Verfahren und vorrichtung zur ausuebung des verfahrens fuer die schwingungsabsorbierung an kabinen bei schnellaufenden aufzuegen.
US5042162A (en) * 1989-02-10 1991-08-27 Brown & Sharpe Manufacturing Company Coordinate measuring machine with vibration dampening system
US5285995A (en) * 1992-05-14 1994-02-15 Aura Systems, Inc. Optical table active leveling and vibration cancellation system
US5631506A (en) * 1994-12-14 1997-05-20 Tritium Technologies Sloped facet electromagnetic actuator adapted for vibration compensation
GB2296068A (en) * 1994-12-16 1996-06-19 John Jeffries Magnetic vibration isolator
US5535524A (en) * 1995-01-27 1996-07-16 Brown & Sharpe Manufacturing Company Vibration damper for coordinate measuring machine
US5492312A (en) * 1995-04-17 1996-02-20 Lord Corporation Multi-degree of freedom magnetorheological devices and system for using same
US5765800A (en) * 1995-10-04 1998-06-16 Ebara Corporation Vibration damping apparatus
AU2179297A (en) * 1996-04-08 1997-10-29 Delta Tooling Co., Ltd. Magnetic spring having damping characteristics and vibration mechanism having same
JP3725272B2 (ja) * 1996-12-27 2005-12-07 株式会社デルタツーリング 振動発生機構
JPH1130274A (ja) * 1997-05-15 1999-02-02 Delta Tsuuring:Kk 磁気バネを有する振動機構
KR100281474B1 (ko) 1997-05-16 2001-02-01 후지타 히토시 자기스프링을구비한에너지출력기구
JPH11214887A (ja) 1998-01-27 1999-08-06 Fuji Mach Mfg Co Ltd 電気部品装着機支持装置
US6648295B2 (en) * 2001-10-02 2003-11-18 Andrew James Herren Vibration and sound dampener for heavy machinery
US6838967B2 (en) * 2002-06-03 2005-01-04 Michael Martin Support surface that utilizes magnetic repulsive forces
AU2002311128A1 (en) 2002-06-10 2003-12-22 Canadian Space Agency Vibration control apparatus
US20040012168A1 (en) * 2002-07-19 2004-01-22 Martinrea International Inc. Suspension system with magnetic resiliency
US6895870B1 (en) 2002-11-04 2005-05-24 F. Peter Bizlewicz Apparatus and method for stacking plural electronic and electro-acoustic components
US20070089236A1 (en) * 2005-09-29 2007-04-26 Bailey-Vankuren Michael Isolation device for shock reduction in a neonatal transport apparatus
US7543791B2 (en) * 2005-10-19 2009-06-09 Brown University Tunable inverse pendulum vibration isolation system
US20070131504A1 (en) * 2005-12-14 2007-06-14 Northrop Grumman Corporation Planar vibration absorber
WO2012127258A1 (en) * 2011-03-22 2012-09-27 Antonio Corvino Fittings or furnishings construction with a floating working table
US9827504B2 (en) 2012-05-19 2017-11-28 Kenneth E. Olson Vibratory device for bobble toys
US9739336B2 (en) * 2014-08-13 2017-08-22 Northrop Grumman Systems Corporation Magnetically damped isolator and pointing mount
CN114857207B (zh) * 2022-03-14 2023-12-08 北京华卓精科科技股份有限公司 一种防碰撞装置
US11796022B1 (en) * 2022-07-14 2023-10-24 Ehoma Industrial Corporation Magnetic levitation buffer device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59205036A (ja) * 1983-05-04 1984-11-20 Hitachi Ltd 免震装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2347969A (en) * 1942-06-16 1944-05-02 Bell Telephone Labor Inc Cushion mounting
US3088062A (en) * 1956-02-10 1963-04-30 Albert A Hudimac Electromechanical vibratory force suppressor and indicator
US3690414A (en) * 1970-11-04 1972-09-12 Cincinnati Milacron Inc Vibration absorber for a supported member
US3770290A (en) * 1972-01-24 1973-11-06 F Bottalico Vehicle shock absorber
JPS5918182Y2 (ja) * 1979-02-02 1984-05-26 「国」華工業株式会社 磁石の反発力を利用した磁気スプリング
US4328941A (en) * 1979-10-11 1982-05-11 Optimetrix Corporation Shock and vibration isolation system
US4371141A (en) * 1980-09-24 1983-02-01 Korfund Dynamics Corporation Vibration isolation system with adjustable constant force, all-directional, attenuating seismic restraint
US4483425A (en) * 1982-09-09 1984-11-20 North American Philips Corporation Vibration control system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59205036A (ja) * 1983-05-04 1984-11-20 Hitachi Ltd 免震装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6435142A (en) * 1987-07-29 1989-02-06 Sanai Kogyo Kk Vibration prevented table
JPH01139146U (ja) * 1988-03-15 1989-09-22
JPH07181395A (ja) * 1993-12-24 1995-07-21 Ebara Corp 顕微鏡装置

Also Published As

Publication number Publication date
US4595166A (en) 1986-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61215826A (ja) 防振テ−ブル水平保持装置
JPH05146584A (ja) 洗濯機の振動及び騒音防止装置
JP4848518B2 (ja) 振動試験装置
JP2014077458A (ja) 除振装置
ATE52345T1 (de) Elektromagnetischer vibrator fuer seismische und bauingenieurmaessige anwendungen.
JPH02125120A (ja) 防振装置
JPS5997341A (ja) 構造物の振動抑制装置
JPS6293535A (ja) 防振テ−ブル水平保持装置
JP2001021000A (ja) 免振支持装置
JPS6175717A (ja) 電磁振動機
KR100654134B1 (ko) 오디오기기의 지지구조
JPH06212834A (ja) ばね振り子式同調質量ダンパ
KR20090109250A (ko) 비접촉평면액추에이터 그리고 이를 이용한 제진대 및능동진동제어시스템
JP3671388B2 (ja) ステージ用制振装置
JPS6290592A (ja) 防振テ−ブル水平保持装置
JPH0361746A (ja) 除振装置
JPS6360255B2 (ja)
JPH0874928A (ja) 制振装置及び除振台
US3333460A (en) Seismometer
JPH04362335A (ja) 除振装置
JPH06294444A (ja) 除振装置
JPH10281220A (ja) 磁気浮上型防振装置
JPS61119837A (ja) 上下振動減衰装置
JPH0626096U (ja) 除振装置
JPS63184660A (ja) 除振用支持装置