JPH02125120A - 防振装置 - Google Patents

防振装置

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Publication number
JPH02125120A
JPH02125120A JP27776288A JP27776288A JPH02125120A JP H02125120 A JPH02125120 A JP H02125120A JP 27776288 A JP27776288 A JP 27776288A JP 27776288 A JP27776288 A JP 27776288A JP H02125120 A JPH02125120 A JP H02125120A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
base
vibration isolating
mechanical equipment
floating
Prior art date
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Pending
Application number
JP27776288A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinya Soeda
真也 添田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP27776288A priority Critical patent/JPH02125120A/ja
Publication of JPH02125120A publication Critical patent/JPH02125120A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
    • F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
    • F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、顕微鏡や精密秤等の精密機器を載置し、上
記精密機器に床などからの振動が伝達しないようにする
防振装置に関するものである。
［従来の技術］ 従来の防振装置を第４図乃至第７図を用いて説明する。
図において、１は設置部である測定用机。
２は防振装置である設置台、３は精密機器である顕微鏡
である。上記設置台２は、上記測定用机１側に位置され
る固定台２ａと、この固定台２ａ上に防振機構４を介し
て位置される載置台２ｂとからなり、上記防振機構４は
、矩形のジャバラ状に成形された防振ゴム４ａの内部に
空気４ｂが封入されている。
上記構成において、振動がなく載置台２ｂが静止状態で
あるときは第５図（ａｌに示すように、載置台２ｂ及び
顕微鏡３の重量を防振ゴム４ａ内の空気４ｂの圧力で支
え均衡が保たれている。次に床などから振動Ｆｉ＝Ｆｔ
が発生すると、振動ＦｌｐＦ、は測定用机１を介して固
定台２ａに伝達する。
振動Ｆｌ　、　Ｆｇが発生すると第５図ｔｂ）に示すよ
うに、防振ゴム４ａが変形し、空気４ｂが圧縮してクツ
ションの役割を果たして振動Ｆ１．Ｆ、を吸収し、載置
台２ｂへ振動Ｆを伝達しないようにしている。
また、上記防振機構４は、防振ゴム４ａの内部に空気４
ｂを封入してなるとしたが、第６図に示すように、防振
ゴム４ａ内に設けられたスプリング５により上記載置台
２ｂを支えるものがあり、上記スプリング５がクツショ
ンの役割を果たす。
また、上記防振装置は、設置台２の固定台２ａと載置台
２ｂとの間に防振機構４を設けたものを示したが、第７
図に示すように、測定用机１の脚部１ａと天板１ｂとの
間に防振機構４が介在するようなものもある。
［発明が解決しようとする課題］ 従来の防振装置は以上のように構成されているので、固
定台２ａと載置台２ｂとの間に介在された防振機構４の
防振ゴム４ａや第６図の防振機構４のスプリング５など
を介して僅かながら振動Ｆｓ　−Ｆｓが伝達してしまい
、載置台２ｂ、すなわち精密機器３への振動Ｆｌ、Ｆ２
を完全に吸収することができず、上記精密機器の安定し
た動作が得られないなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、振動を完全に吸収でき、精密機器へ振動が伝
達しない防振装置を得ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］ この発明に係る防振装置は、設置部側に位置される固定
台と、この固定台上に対向しかつ載置台を保持する浮上
台とからなり、上記固定台と浮上台との互いに対向する
面に、互に反発しあう磁力を発生する磁極を設けたもの
である。
［作用］ この発明における防振装置は、固定台と浮上台との互い
に対向する面に、互に反発しあう磁力を発生する磁極を
設けた防振機構により、互いの磁力が反発しあって、上
記固定台と浮上台とを非接触状態に保ち、精密機器への
振動を完全に吸収する。
［実施例］ 以下、この発明の一実施例を第１図乃至第２図を用いて
説明する。なお、第４図乃至第７図と同じものは同一の
符号を用いて説明を省略する。図において、２は設置台
である。この設置台２は、測定用机１側に位置される固
定台２０と、この固定台２０上に対向しかつ載置台２ｂ
を保持する浮上台２１とからなり、上記固定台２０は上
面側に開口部を有する筐体であり、上記浮上台２１は上
記固定台２０の内側で摺動自在となるように固定台２０
の内側寸法よりやや小さな筐体からなる。
上記固定台２０と浮上台２１との互いに対向する面２０
ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂに、互に反発しあう磁力を
発生する磁極を有する永久磁石２２を設けている。すな
わち、第２図に示すように固定台２ｏの側面２Ｑａ、上
面２０ｂ及び浮上台２１の側面２１ａ、下面２１ｂは、
それぞれＮ極となるように永久磁石２２が設けられてい
る。上記載置台２ｂは鉄板からなり、上記永久磁石２２
の磁力が顕微鏡３へ影響しないように磁気シールド板を
兼ねている。
上記構成において、永久磁石２２は互いに反発しあって
、浮上台２１を固定台２２より非接触状態に保つ。すな
わち、側面２０ｂ、２１ｂの永久磁石２２の反発力によ
り形成された空間で上下方向の振動Ｆ１を、上面２０ａ
、下面２１ａの永久磁石２２の反発力により形成された
空間で左右方向の振動Ｆ２を吸収する。また、上記面２
０ａ。
２１ａに設けられた永久磁石２２は、載置台２ｂの構ズ
レを防止する。以上のように、上記載置台２ｂは、測定
用机１から非接触状態に保たれているので、振動が伝達
しない。
なお、本実施例においては、固定台２０を上面側に開口
部を有する筐体からなるとしたが、これに限定されず、
第３図に示すように、平板状の永久磁石２３とし、浮上
台２１の横ズレ防止として上記浮上台２１の四隅に構ズ
レ防止綱１２を設けるようにしても、上記載置台２ｂは
非接触状態を保て、上記実施例と同様の効果を奏する。
また、本実施例においては、設置台２に防振機構４を設
けたものを示したが、第７図に示すように、測定用机１
の脚部１ａと天板１ｂとの間に設けられた防振機構４に
用いても同様の効果を奏する。また、磁力を発生させる
のを、永久磁石２２で行なうとしたが、これに限定され
ず、超伝導材のマイスナー効果を利用した反発力や電磁
コイルの磁力用いるとしてもよい。
［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、固定台と浮上台との
互いに対向する面に、互に反発しあう磁力を発生する磁
極を有する防振機構を設けたので。
固定台と浮上台とを非接触状態に保ち振動を完全に吸収
して、精密機器に振動が伝達せず、上記精密機器の安定
した動作を得る。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図はこの発明の一実施例である防振装置
の外観斜視図及び側面断面図、第３図は他の実施例の防
振装置の側面断面図、第４図及び第５図＋ａ）、（ｂ）
は従来の防振装置の側面断面図及び部分断面図、第６図
及び第７図は従来の他の防振装置の部分断面図及び外観
斜視図である。 １・・・測定用机、２・・・設置台、２ｂ・・・載置台
、３・・・顕微鏡、４・・・防振機構、２ｏ・・・固定
台、２１・・・浮上台、２２・・・永久磁石。 代理人　　大　岩　増　雄　（ほか２名）１；測定用机 ３；顕微鏡 ２１；浮上台 ２；設置台 ４；防振機構 ２２；永久磁石 ２ｂ；載置台 ２０；固定台

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 床や机等の設置部の上に防振機構を介して位置される載
    置台からなり、上記載置台上に精密機器が載置される防
    振装置において、上記防振機構は、上記設置部側に位置
    される固定台と、この固定台上に対向しかつ上記載置台
    を保持する浮上台とからなり、上記固定台と浮上台との
    互いに対向する面に、互に反発しあう磁力を発生する磁
    極を設けたことを特徴とする防振装置。
JP27776288A 1988-11-02 1988-11-02 防振装置 Pending JPH02125120A (ja)

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