JPH0361746A - 除振装置 - Google Patents
除振装置Info
- Publication number
- JPH0361746A JPH0361746A JP19753489A JP19753489A JPH0361746A JP H0361746 A JPH0361746 A JP H0361746A JP 19753489 A JP19753489 A JP 19753489A JP 19753489 A JP19753489 A JP 19753489A JP H0361746 A JPH0361746 A JP H0361746A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- levitation
- gap
- floating
- plate
- control circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000007667 floating Methods 0.000 claims abstract description 18
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 39
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
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Landscapes
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は除振装置、特に、非接触式の除振装置に関する
。
。
従来の技術としては、例えば、計量管理Ｖｏｌ。
３３、Ｎｏ、１２．１９８４に示されているように、コ
イルばね式除振台がある。従来の除振装置は、テーブル
と、重錘と、前記重錘を乗せたパケットと、前記テーブ
ルを前記パケット上に支持する上部防振ゴムと、中枠と
、前記パケットを前記中枠上に支持するコイルばねと、
前記パケットと前記中枠の間に設置するチューブ状ゴム
ダンパと、架台と、前記中枠を前記架台上に支持する下
部防振ゴムとを含んで構成される。
イルばね式除振台がある。従来の除振装置は、テーブル
と、重錘と、前記重錘を乗せたパケットと、前記テーブ
ルを前記パケット上に支持する上部防振ゴムと、中枠と
、前記パケットを前記中枠上に支持するコイルばねと、
前記パケットと前記中枠の間に設置するチューブ状ゴム
ダンパと、架台と、前記中枠を前記架台上に支持する下
部防振ゴムとを含んで構成される。
次に従来の除振装置にていて図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第２図は従来の除振装置を示す説明図である。
第２図に示す除振装置は、テーブル１と、重錘１０と、
パケット１１と、上部防振ゴム１２と、中枠１３と、コ
イルばね１４と、チューブ状ゴムダンパ１５、架台１６
と、下部防振ゴム１７とを含んでいる。
パケット１１と、上部防振ゴム１２と、中枠１３と、コ
イルばね１４と、チューブ状ゴムダンパ１５、架台１６
と、下部防振ゴム１７とを含んでいる。
ここでテーブル１はコイルばね１４と上部防振ゴム１２
と下部防振ゴム１７によって弾性支持されているため、
架台１６より伝わる外部振動を除去することができる。
と下部防振ゴム１７によって弾性支持されているため、
架台１６より伝わる外部振動を除去することができる。
また、チューブ状ゴムダンパ１５により共振する事なく
振動を減衰させることができる。
振動を減衰させることができる。
上述した従来の除振装置は、テーブルと架台は、コイル
ばねと上部防振ゴムと下部防振ゴムとチューブ状ゴムダ
ンパより接触しているため高周波振動を伝達してしまい
、コイルばねによって支持しているため、系の固有振動
数は一定の値であり、搭載荷重の増減によってテーブル
の高さや傾きが変化してしまうという欠点があった。
ばねと上部防振ゴムと下部防振ゴムとチューブ状ゴムダ
ンパより接触しているため高周波振動を伝達してしまい
、コイルばねによって支持しているため、系の固有振動
数は一定の値であり、搭載荷重の増減によってテーブル
の高さや傾きが変化してしまうという欠点があった。
本発明の除振装置は、機器を搭載するテーブルと、前記
テーブル下部に取り付けられた強磁性材料で形成した四
角形平板の浮上板と、前記浮上板を空隙を有して吸引磁
気浮上させる、永久磁石と制御用コイルにより構成され
る複数個の浮上用複合磁石と、前記浮上板と前記浮上用
複合磁石の空隙の距離を測定する複数個の浮上用位置セ
ンサと、前記浮上板を空隙を有して水平方向に支持する
ように前記浮上板の周囲に配置した複数個の案内用電磁
石と、前記浮上板と前記案内用電磁石の空隙の距離を測
定する複数個の案内用位置センサと、前記浮上板と前記
浮上用複数磁石と前記案内用電磁石との空隙と外乱に対
する前記浮上板の挙動を制御する浮上案内制御回路とを
含んでｎ４威される。
テーブル下部に取り付けられた強磁性材料で形成した四
角形平板の浮上板と、前記浮上板を空隙を有して吸引磁
気浮上させる、永久磁石と制御用コイルにより構成され
る複数個の浮上用複合磁石と、前記浮上板と前記浮上用
複合磁石の空隙の距離を測定する複数個の浮上用位置セ
ンサと、前記浮上板を空隙を有して水平方向に支持する
ように前記浮上板の周囲に配置した複数個の案内用電磁
石と、前記浮上板と前記案内用電磁石の空隙の距離を測
定する複数個の案内用位置センサと、前記浮上板と前記
浮上用複数磁石と前記案内用電磁石との空隙と外乱に対
する前記浮上板の挙動を制御する浮上案内制御回路とを
含んでｎ４威される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
第１図に示す除振装置は、テーブル１と、浮上板２と、
永久磁石３と制御用コイル４により構成される４個の浮
上用複合磁石５と、４個の浮上用位置センサ６と、８個
の案内用電磁石７と、８個の案内用位置センサ８と、浮
上案内制御回路９とを含んで構成される。
永久磁石３と制御用コイル４により構成される４個の浮
上用複合磁石５と、４個の浮上用位置センサ６と、８個
の案内用電磁石７と、８個の案内用位置センサ８と、浮
上案内制御回路９とを含んで構成される。
浮上板２は浮上用複合磁石５によって空隙を有して吸引
磁気浮上し、前記空隙の距離は浮上用位置センサ６で測
定し、浮上案内制御回路９によって制御される。また、
テーブル１に搭載される機器の荷重が変化しても、前記
空隙の距離が一定の値になるように浮上案内制御回路９
によって制御を行う。
磁気浮上し、前記空隙の距離は浮上用位置センサ６で測
定し、浮上案内制御回路９によって制御される。また、
テーブル１に搭載される機器の荷重が変化しても、前記
空隙の距離が一定の値になるように浮上案内制御回路９
によって制御を行う。
一方、浮上板２は案内用電磁石７によって空隙を有して
吸引され、前記空隙の距離は案内用位置センサ８で測定
し、浮上案内制御回路９によって制御される。また、テ
ーブル１に水平方向の外乱が加わっても、前記空隙の距
離が一定の値になるように浮上案内制御回路９によって
制御を行う。
吸引され、前記空隙の距離は案内用位置センサ８で測定
し、浮上案内制御回路９によって制御される。また、テ
ーブル１に水平方向の外乱が加わっても、前記空隙の距
離が一定の値になるように浮上案内制御回路９によって
制御を行う。
さらに、浮上案内制御回路９の制御パラメータを変化さ
せることによって、系の固有振動数や減衰力を任意の値
に設定する。
せることによって、系の固有振動数や減衰力を任意の値
に設定する。
本発明の除振装置は、テーブルをコイルばねなどの弾性
体によって弾性支持する代わりに、非吸引物体を浮上用
複合磁石と案内用電磁石によって浮上させることにより
、テーブルを非接触支持することができるため、高周波
振動も遮断できるという効果がある。
体によって弾性支持する代わりに、非吸引物体を浮上用
複合磁石と案内用電磁石によって浮上させることにより
、テーブルを非接触支持することができるため、高周波
振動も遮断できるという効果がある。
また、浮上用複合磁石の制御用コイルを浮上案内制御回
路によって制御することにより、搭載荷重の増減によら
ずテーブルの高さを一定に保つことができ、さらに、系
の固有振動数や減衰力を変化させることができるという
効果がある。
路によって制御することにより、搭載荷重の増減によら
ずテーブルの高さを一定に保つことができ、さらに、系
の固有振動数や減衰力を変化させることができるという
効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
例の断面図である。 １・・・テーブル、２・・・浮上板、３・・・永久磁石
、４・・・制御用コイル、５・・・浮上用複合磁石、６
・・・浮上用位置センサ、７・・・案内用電磁石、８・
・・案内用位置センサ、９・・・浮上案内制御回路、１
０・・・重錘、１１・・・パケット、１２・・・上部防
振ゴム、１３・・・中枠、１４・・・コイルばね、１５
・・・チューブ状ゴムダンパ、１６・・・架台、１７・
・・下部防振ゴム。
例の断面図である。 １・・・テーブル、２・・・浮上板、３・・・永久磁石
、４・・・制御用コイル、５・・・浮上用複合磁石、６
・・・浮上用位置センサ、７・・・案内用電磁石、８・
・・案内用位置センサ、９・・・浮上案内制御回路、１
０・・・重錘、１１・・・パケット、１２・・・上部防
振ゴム、１３・・・中枠、１４・・・コイルばね、１５
・・・チューブ状ゴムダンパ、１６・・・架台、１７・
・・下部防振ゴム。
Claims (1)
- 機器を搭載するテーブルと、前記テーブル下部に取り付
けられた強磁性材料で形成した四角形平板の浮上板と、
前記浮上板を空隙を有して吸引磁気浮上させる永久磁石
と制御用コイルにより構成される複数個の浮上用複合磁
石と、前記浮上板と前記浮上用複合磁石の空隙の距離を
測定する複数個の浮上用位置センサと、前記浮上板を空
隙を有して水平方向に支持するように前記浮上板の周囲
に配置した複数個の案内用電磁石と、前記浮上板と前記
案内用電磁石の空隙の距離を測定する複数個の案内用位
置センサと、前記浮上板と前記浮上用複数磁石と前記案
内用電磁石との空隙と外乱に対する前記浮上板の挙動を
制御する浮上案内制御回路とを含むことを特徴とする除
振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19753489A JPH0361746A (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 除振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19753489A JPH0361746A (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 除振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0361746A true JPH0361746A (ja) | 1991-03-18 |
Family
ID=16376066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19753489A Pending JPH0361746A (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | 除振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0361746A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5385217A (en) * | 1991-05-20 | 1995-01-31 | Ebara Corporation | Vibration eliminating apparatus for elminating vibration of an installation floor |
| JPH09131633A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Sony Precision Technol Inc | 位置決め装置 |
| CN105499982A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-04-20 | 韩燕� | 一种轻型刮土板成型组装机的组装辅助机构 |
| JP2018062967A (ja) * | 2016-10-12 | 2018-04-19 | 三菱電機株式会社 | 防振懸架装置 |
-
1989
- 1989-07-28 JP JP19753489A patent/JPH0361746A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5385217A (en) * | 1991-05-20 | 1995-01-31 | Ebara Corporation | Vibration eliminating apparatus for elminating vibration of an installation floor |
| JPH09131633A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Sony Precision Technol Inc | 位置決め装置 |
| CN105499982A (zh) * | 2015-12-16 | 2016-04-20 | 韩燕� | 一种轻型刮土板成型组装机的组装辅助机构 |
| CN105499982B (zh) * | 2015-12-16 | 2018-05-22 | 韩燕� | 一种轻型刮土板成型组装机的组装辅助机构 |
| JP2018062967A (ja) * | 2016-10-12 | 2018-04-19 | 三菱電機株式会社 | 防振懸架装置 |
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