CN219139698U - 一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座 - Google Patents
一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219139698U CN219139698U CN202223480953.1U CN202223480953U CN219139698U CN 219139698 U CN219139698 U CN 219139698U CN 202223480953 U CN202223480953 U CN 202223480953U CN 219139698 U CN219139698 U CN 219139698U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate
- vibration
- magnetic levitation
- degree
- freedom
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 230000002265 prevention Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板、浮板、支撑板和支腿，所述顶板底部四个角分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧底部安装在浮板顶部，所述支撑板底部四个角分别垂直安装有支腿，所述支撑板两侧分别安装有电磁铁A，所述浮板两侧内部与电磁铁A同一水平向上分别对应安装有永磁铁A，所述支撑板顶部中间位置安装有电磁铁B，所述浮板底部中间位置与电磁铁B垂直对应位置安装有永磁铁B，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器。本实用新型可以实现水平向和垂向双自由度减振，且定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~200Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。
在EUV等光刻机中，运动台都是处在真空环境中，而目前市场上常用的主动气浮型隔振器排放的气体会污染真空环境，而单一的磁浮隔振器存在隔振带窄，定位不够精确等问题。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板、浮板、支撑板和支腿，所述顶板底部四个角分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧底部安装在浮板顶部，所述支撑板底部四个角分别垂直安装有支腿，所述支撑板两侧分别安装有电磁铁A，所述浮板两侧内部与电磁铁A同一水平向上分别对应安装有永磁铁A，所述支撑板顶部中间位置安装有电磁铁B，所述浮板底部中间位置与电磁铁B垂直对应位置安装有永磁铁B，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器。
进一步地，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构。
进一步地，所述浮板呈倒置U型结构，所述浮板内侧安装有一层铝合金板。
进一步地，所述支腿同侧之间分别安装有横梁，所述横梁上安装有一个控制器，所述控制器安装在前侧的横梁顶部。
进一步地，所述支撑板由不锈钢板制成矩形结构。
进一步地，所述控制器通过电缆与电磁铁A、电磁铁B、位置传感器、速度传感器连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过被动空气弹簧组件与磁浮组件串联的形式扩宽了系统垂向隔振带宽，并通过在水平向上设置磁浮组件实现水平向减振；并在浮板内侧安装有铝合金板避免系统磁场泄漏影响上层精密仪器运转。本实用新型可以实现水平向和垂向双自由度减振，且定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~200Hz的振动干扰具有较好的隔振效果。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中1-顶板，2-浮板，3-支撑板，4-支腿，5-空气弹簧，6-电磁铁A，7-永磁铁A，8-电磁铁B，9-永磁铁B， 10-位置传感器，11-速度传感器，12-控制器，13-铝合金板，14-横梁。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板1、浮板2、支撑板3和支腿4，所述顶板1底部四个角分别安装有空气弹簧5，所述空气弹簧5底部安装在浮板2顶部，所述支撑板3底部四个角分别垂直安装有支腿4，所述支撑板2两侧分别安装有电磁铁A6，所述浮板2两侧内部与电磁铁A6同一水平向上分别对应安装有永磁铁A7，所述支撑板3顶部中间位置安装有电磁铁B8，所述浮板2底部中间位置与电磁铁B8垂直对应位置安装有永磁铁B9，所述顶板1底部还安装有位置传感器10和速度传感器11。
所述顶板1由不锈钢板制成矩形结构。
所述浮板2呈倒置U型结构，所述浮板2内侧安装有一层铝合金板13。
所述支腿4同侧之间分别安装有横梁14，所述横梁14上安装有一个控制器12，所述控制器12安装在前侧的横梁14顶部。
所述支撑板3由不锈钢板制成矩形结构。
所述控制器12通过电缆与电磁铁A6、电磁铁B8、位置传感器10、速度传感器11连接。
工作时， 精密仪器放在顶板1上，通过空气弹簧5、电磁铁B8与永磁铁B9之间的磁浮力实现承重，并通过位置传感器10、速度传感器11采集振动信号，然后将信号传递给控制器12；垂向振动时，通过空气弹簧5实现高频减振，通过控制器12控制电磁铁B8的磁场大小从而控制与永磁铁B9之间的磁力强弱从而驱动浮板2上下移动实现垂向低频减振；水平向振动时，通过控制器12控制电磁铁A6的磁场大小从而控制与永磁铁A7之间的磁力强弱从而驱动浮板2左右移动实现水平向低频减振。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，包括顶板、浮板、支撑板和支腿，其特征在于，所述顶板底部四个角分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧底部安装在浮板顶部，所述支撑板底部四个角分别垂直安装有支腿，所述支撑板两侧分别安装有电磁铁A，所述浮板两侧内部与电磁铁A同一水平向上分别对应安装有永磁铁A，所述支撑板顶部中间位置安装有电磁铁B，所述浮板底部中间位置与电磁铁B垂直对应位置安装有永磁铁B，所述顶板底部还安装有位置传感器和速度传感器。
2.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，其特征在于，所述浮板呈倒置U型结构，所述浮板内侧安装有一层铝合金板。
4.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，其特征在于，所述支腿同侧之间分别安装有横梁，所述横梁上安装有一个控制器，所述控制器安装在前侧的横梁顶部。
5.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，其特征在于，所述支撑板由不锈钢板制成矩形结构。
6.根据权利要求4所述的一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座，其特征在于，所述控制器通过电缆与电磁铁A、电磁铁B、位置传感器、速度传感器连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223480953.1U CN219139698U (zh) | 2022-12-27 | 2022-12-27 | 一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223480953.1U CN219139698U (zh) | 2022-12-27 | 2022-12-27 | 一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219139698U true CN219139698U (zh) | 2023-06-06 |
Family
ID=86563774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202223480953.1U Active CN219139698U (zh) | 2022-12-27 | 2022-12-27 | 一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219139698U (zh) |
-
2022
- 2022-12-27 CN CN202223480953.1U patent/CN219139698U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104343885B (zh) | 高精密磁悬浮主动减震设备 | |
| WO2015021820A1 (zh) | 零刚度磁悬浮主动隔振器及其构成的六自由度隔振系统 | |
| CN112355990B (zh) | 一种xy运动台及运动装置 | |
| CN103019046B (zh) | 一种基于多组独立驱动解耦控制的六自由度磁浮微动台 | |
| CN219139698U (zh) | 一种基于磁浮的双自由度主动防微振基座 | |
| CN217713497U (zh) | 一种用于精密仪器的磁浮隔振基座 | |
| CN219139699U (zh) | 一种负刚度主动防微振装置 | |
| CN219035452U (zh) | 一种基于磁悬浮双自由度主被动防微振平台 | |
| CN219139701U (zh) | 一种可变刚度的双自由度主动防微振基座 | |
| CN219139704U (zh) | 一种基于磁浮和金属橡胶的防微振平台 | |
| CN218094035U (zh) | 一种基于磁浮的主被动防微振基座 | |
| CN219139697U (zh) | 一种基于磁浮-气囊主被动并联隔振基座 | |
| CN219139703U (zh) | 一种正负刚度并联的主动防微振基座 | |
| CN219345372U (zh) | 一种双自由度正负刚度并联的防微振装置 | |
| CN217713477U (zh) | 一种基于气浮的主被动防微振基座 | |
| CN217207502U (zh) | 一种用于精密仪器的低频防微振基座 | |
| CN103062314A (zh) | 双层气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的电涡流阻尼隔振器 | |
| CN219139708U (zh) | 一种用于精密仪器的主被动防微振平台 | |
| CN217713480U (zh) | 一种三自由度气浮-电磁主动隔振基座 | |
| CN115727093B (zh) | 一种刚度可调的双自由度主被动防微振基座 | |
| CN116292740B (zh) | 一种准零刚度三自由度主动防微振平台 | |
| CN218094024U (zh) | 一种基于气浮可变刚度的主被动防微振基座 | |
| CN217003698U (zh) | 一种基于洛伦兹力驱动的主被动隔振基座 | |
| CN112104182A (zh) | 运动装置 | |
| CN219159429U (zh) | 一种刚度可调的防微振平台 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: No. 16, Zhenxing Street, Pulandian District, Dalian, Liaoning Province, 116000 Patentee after: Dalian Dituo Precision Technology Co.,Ltd. Address before: No. 16, Zhenxing Street, Pulandian District, Dalian, Liaoning Province, 116000 Patentee before: Dalian Dituo Electronic Engineering Technology Co.,Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |