CN218094035U - 一种基于磁浮的主被动防微振基座 - Google Patents
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims description 8
- 230000002265 prevention Effects 0.000 title claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 240000004282 Grewia occidentalis Species 0.000 description 1
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Images
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种基于磁浮的主被动防微振基座，包括顶板和底座，所述底座顶部连接有电磁体，所述电磁体呈“山”型结构，所述电磁体的中间柱体缠绕有线圈，所述顶板底部连接有永磁体，所述底座顶部四角电磁体的外侧分别安装有支柱，所述支柱顶部连接有金属弹簧，所述金属弹簧顶部连接有垫块，所述垫块顶部与顶板底部连接，所述顶板顶部连接有橡胶板，所述橡胶板顶部连接有面板，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。本实用新型面板采用铝合金材质可以很好的屏蔽磁场泄露；通过橡胶板、垫板和金属弹簧实现垂向高频被动隔振；通过控制线圈磁场强弱实现磁浮驱动，从而实现低频主动隔振。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种基于磁浮的主被动防微振基座。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。
在EUV等光刻机中，运动台都是处在真空环境中，而目前市场上常用的气浮型隔振器排放的气体会污染真空环境，而单一的磁浮隔振器存在隔振带窄，定位不够精确等问题。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种基于磁浮的主被动防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种基于磁浮的主被动防微振基座，包括顶板和底座，所述底座顶部连接有电磁体，所述电磁体呈“山”型结构，所述电磁体的中间柱体缠绕有线圈，所述顶板底部连接有永磁体，所述底座顶部四角电磁体的外侧分别安装有支柱，所述支柱顶部连接有金属弹簧，所述金属弹簧顶部连接有垫块，所述垫块顶部与顶板底部连接，所述顶板顶部连接有橡胶板，所述橡胶板顶部连接有面板，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。
进一步地，所述顶板、底座均由不锈钢板制成矩形结构。
进一步地，所述面板由铝合金板制成矩形结构。
进一步地，所述垫块为橡胶垫块。
进一步地，所述橡胶板内部呈蜂窝结构。
进一步地，所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、线圈连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型面板采用铝合金材质可以很好的屏蔽磁场泄露；通过橡胶板、垫板和金属弹簧实现垂向高频被动隔振；通过控制线圈磁场强弱实现磁浮驱动，从而实现低频主动隔振。本实用新型结构简单，稳定性高，定位精确，隔振带宽，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，适用范围较广。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的主视图。
图中1-顶板，2-底座，3-电磁体，4-线圈，5-永磁体，6-支柱，7-金属弹簧，8-垫块，9-橡胶板，10-面板，11-位置传感器，12-速度传感器，13-控制器。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-2所示，一种基于磁浮的主被动防微振基座，包括顶板1和底座2，所述底座2顶部连接有电磁体3，所述电磁体3呈“山”型结构，所述电磁体3的中间柱体缠绕有线圈4，所述顶板1底部连接有永磁体5，所述底座2顶部四角电磁体3的外侧分别安装有支柱6，所述支柱6顶部连接有金属弹簧7，所述金属弹簧7顶部连接有垫块8，所述垫块8顶部与顶板1底部连接，所述顶板1顶部连接有橡胶板9，所述橡胶板9顶部连接有面板10，所述顶板1底部安装有位置传感器11和速度传感器12，所述底座2顶部安装有控制器13。
所述顶板1、底座2均由不锈钢板制成矩形结构。
所述面板10由铝合金板制成矩形结构。
所述垫块8为橡胶垫块。
所述橡胶板9内部呈蜂窝结构。
所述控制器13通过电缆与位置传感器11、速度传感器12、线圈4连接。
工作时， 精密仪器放在顶板1上部，由金属弹簧7承载重量，实现垂向高频隔振；低频振源时，通过位置传感器11、速度传感器12采集振动信号，然后将信号传递给控制器13，由控制器13控制线圈4磁场强度实现垂向驱动。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种基于磁浮的主被动防微振基座，包括顶板和底座，其特征在于，所述底座顶部连接有电磁体，所述电磁体呈“山”型结构，所述电磁体的中间柱体缠绕有线圈，所述顶板底部连接有永磁体，所述底座顶部四角电磁体的外侧分别安装有支柱，所述支柱顶部连接有金属弹簧，所述金属弹簧顶部连接有垫块，所述垫块顶部与顶板底部连接，所述顶板顶部连接有橡胶板，所述橡胶板顶部连接有面板，所述顶板底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座顶部安装有控制器。
2.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座，其特征在于，所述顶板、底座均由不锈钢板制成矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座，其特征在于，所述面板由铝合金板制成矩形结构。
4.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座，其特征在于，所述垫块为橡胶垫块。
5.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座，其特征在于，所述橡胶板内部呈蜂窝结构。
6.根据权利要求1所述的一种基于磁浮的主被动防微振基座，其特征在于，所述控制器通过电缆与位置传感器、速度传感器、线圈连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222210740.0U CN218094035U (zh) | 2022-08-23 | 2022-08-23 | 一种基于磁浮的主被动防微振基座 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222210740.0U CN218094035U (zh) | 2022-08-23 | 2022-08-23 | 一种基于磁浮的主被动防微振基座 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218094035U true CN218094035U (zh) | 2022-12-20 |
Family
ID=84448036
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222210740.0U Active CN218094035U (zh) | 2022-08-23 | 2022-08-23 | 一种基于磁浮的主被动防微振基座 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218094035U (zh) |
-
2022
- 2022-08-23 CN CN202222210740.0U patent/CN218094035U/zh active Active
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
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| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
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