CN216812656U - 一种双自由度主被动复合隔振平台 - Google Patents
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- 238000002955 isolation Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 6
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005288 electromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型提供了一种双自由度主被动复合隔振平台，包括顶板、底座和支撑板，所述支撑板为两个，固接在底座顶面左右两侧，所述顶板下方连接有弹簧A，所述弹簧A底部连接有橡胶垫板，所述橡胶垫板固接在支撑板顶面，所述顶板下方中间部位连接有支撑杆，所述支撑杆左右两侧连接有弹簧B，所述弹簧B另一端与支撑板连接固定，所述支撑杆连接弹簧B的下方还连接有永磁体，所述支撑板与永磁体同一水平方向上连接有电磁铁，所述支撑杆下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有弹簧C，所述弹簧C下方连接有压电驱动器。本实用新型结构简单，隔振带宽，隔振效果精准，系统固有频率能现实小于0.5Hz。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种双自由度主被动复合隔振平台。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。精密仪器所处环境不是单一的高频震动或低频振动，是多种频率的复杂的震动环境，而目前隔着平台多少针对单一高频或低频振动，对于复杂振动环境的隔振能力较差。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种双自由度主被动复合隔振平台，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种双自由度主被动复合隔振平台，包括顶板、底座和支撑板，所述支撑板为两个，固接在底座顶面左右两侧，所述顶板下方连接有弹簧A，所述弹簧A底部连接有橡胶垫板，所述橡胶垫板固接在支撑板顶面，所述顶板下方中间部位连接有支撑杆，所述支撑杆左右两侧连接有弹簧B，所述弹簧B另一端与支撑板连接固定，所述支撑杆连接弹簧B的下方还连接有永磁体，所述支撑板与永磁体同一水平方向上连接有电磁铁，所述支撑杆下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有弹簧C，所述弹簧C下方连接有压电驱动器。
进一步地，所述顶板由不锈钢制成矩形结构。
进一步地，所述弹簧A为四个，分别布设在顶板下方的四个角处，左侧的两个弹簧A位于左侧的支撑板上方，右侧的两个弹簧A位于右侧的支撑板上方。
进一步地，所述弹簧B与支撑杆之间连接有解耦装置A。
进一步地，所述弹簧C与压电驱动器之间连接有解耦装置B。
进一步地，所述底座上方连接有控制器。
进一步地，所述顶板下方连接有位置传感器。
进一步地，所述控制器与电磁铁、压电驱动器、位置传感器通过电缆连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型水平方向上采用弹簧与电磁驱动并联的方式实现精准隔振，系统在水平方向上刚度趋近于零，利用金属弹簧实现高频隔振，利用电磁效应实现低频隔振；垂直方向上采用两组并联的弹簧隔振，并同时与一组弹簧与压电驱动串联的系统实现并联，降低了系统在垂直方向上的的固有频率，实现了垂直方向上的精准隔振效果，获得较宽的隔振带；本实用新型结构简单，隔振带宽，隔振效果精准，系统固有频率能现实小于0.5Hz。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中1-顶板，2-底座，3-支撑板，4-弹簧A，5-橡胶垫板，6-支撑杆，7-弹簧B，8-解耦装置A，9-永磁体，10-电磁铁，11-柔性铰链，12-弹簧C，13-解耦装置B，14-压电驱动器，15-控制器，16-位置传感器，17-电缆。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，一种双自由度主被动复合隔振平台，包括顶板1、底座2和支撑板3，所述支撑板3为两个，固接在底座2顶面左右两侧，所述顶板1下方连接有弹簧A4，所述弹簧A4底部连接有橡胶垫板5，所述橡胶垫板5固接在支撑板3顶面，所述顶板1下方中间部位连接有支撑杆6，所述支撑杆6左右两侧连接有弹簧B7，所述弹簧B7另一端与支撑板3连接固定，所述支撑杆3连接弹簧B7的下方还连接有永磁体9，所述支撑板3与永磁体9同一水平方向上连接有电磁铁10，所述支撑杆6下方连接有柔性铰链11，所述柔性铰链11下方连接有弹簧C12，所述弹簧C12下方连接有压电驱动器13。
所述顶板1由不锈钢制成矩形结构。
所述弹簧A4为四个，分别布设在顶板1下方的四个角处，左侧的两个弹簧A4位于左侧的支撑板3上方，右侧的两个弹簧A4位于右侧的支撑板3上方。
所述弹簧B7与支撑杆6之间连接有解耦装置A8。
所述弹簧C12与压电驱动器14之间连接有解耦装置B13。
所述底座2上方连接有控制器15。
所述顶板1下方连接有位置传感器16。
所述控制器15与电磁铁10、压电驱动器14、位置传感器16通过电缆17连接。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种双自由度主被动复合隔振平台，包括顶板、底座和支撑板，其特征在于，所述支撑板为两个，固接在底座顶面左右两侧，所述顶板下方连接有弹簧A，所述弹簧A底部连接有橡胶垫板，所述橡胶垫板固接在支撑板顶面，所述顶板下方中间部位连接有支撑杆，所述支撑杆左右两侧连接有弹簧B，所述弹簧B另一端与支撑板连接固定，所述支撑杆连接弹簧B的下方还连接有永磁体，所述支撑板与永磁体同一水平方向上连接有电磁铁，所述支撑杆下方连接有柔性铰链，所述柔性铰链下方连接有弹簧C，所述弹簧C下方连接有压电驱动器。
2.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述顶板由不锈钢制成矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述弹簧A为四个，分别布设在顶板下方的四个角处，左侧的两个弹簧A位于左侧的支撑板上方，右侧的两个弹簧A位于右侧的支撑板上方。
4.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述弹簧B与支撑杆之间连接有解耦装置A。
5.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述弹簧C与压电驱动器之间连接有解耦装置B。
6.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述底座上方连接有控制器。
7.根据权利要求1所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述顶板下方连接有位置传感器。
8.根据权利要求6所述的一种双自由度主被动复合隔振平台，其特征在于，所述控制器与电磁铁、压电驱动器、位置传感器通过电缆连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220473798.1U CN216812656U (zh) | 2022-03-07 | 2022-03-07 | 一种双自由度主被动复合隔振平台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220473798.1U CN216812656U (zh) | 2022-03-07 | 2022-03-07 | 一种双自由度主被动复合隔振平台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN216812656U true CN216812656U (zh) | 2022-06-24 |
Family
ID=82043585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202220473798.1U Active CN216812656U (zh) | 2022-03-07 | 2022-03-07 | 一种双自由度主被动复合隔振平台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN216812656U (zh) |
-
2022
- 2022-03-07 CN CN202220473798.1U patent/CN216812656U/zh active Active
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