CN217003693U - 一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，包括顶板、支腿A和横梁，所述顶板呈矩形，所述顶板底部四个角处分别焊接支腿A，所述横梁交接位置还连接有支撑块，所述支撑块顶部连接有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与顶板连接，所述支撑块底部连接有支腿B，所述支腿B底部焊接有底板B，所述底板B中间开设有内螺纹孔B，所述内螺纹孔B内连接有螺纹杆B，所述螺纹杆B底部焊接有底座B。本实用新型通过三层橡胶设计，提高了系统阻尼，降低了系统固有频率，能够有效隔离中高频振动，通过空气弹簧实现对微频振动的有效隔振，系统整体隔振贷款，隔振效果好，防振等级可得VC‑E级，且可以通过螺纹杆进行高度调节，对环境约束性低，应用广泛。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术。
传统的被动隔振基座因其刚度大，无法实现低频或超低频隔振，而主动隔振基座对负载的承重能力又较小。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，包括顶板、支腿A和横梁，所述顶板呈矩形，所述顶板底部四个角处分别焊接支腿A，所述支腿A包括外壳，所述外壳内部自上而下依次连接第一橡胶块、第二橡胶块、第三橡胶块，所述外壳底部焊接有底板A，所述外壳顶部内活动连接有封头板，所述底板A中间开设有内螺纹孔A，所述内螺纹孔A内连接有螺纹杆A，所述螺纹杆A底部焊接有底座A，所述封头板上方中间焊接有支撑杆，所述支撑杆顶部焊接有顶座，所述横梁为两个，分别与两个对角线位置处的支腿A焊接固定，所述横梁交接位置还连接有支撑块，所述支撑块顶部连接有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与顶板连接，所述支撑块底部连接有支腿B，所述支腿B底部焊接有底板B，所述底板B中间开设有内螺纹孔B，所述内螺纹孔B内连接有螺纹杆B，所述螺纹杆B底部焊接有底座B。
进一步地，所述顶板四周为不锈钢板焊接而成的矩形框体，框体内部浇筑有混凝土。
进一步地，所述第一橡胶块、第三橡胶块均为表面平滑的实心橡胶块，所述第二橡胶块为表面呈锯齿形的实心橡胶块。
进一步地，所述横梁由方形钢管制成。
进一步地，所述外壳为圆筒形，由不锈钢板制成。
进一步地，所述螺纹杆A由不锈钢制成圆柱形，所述螺纹杆A上部设有螺纹A。
进一步地，所述螺纹杆B由不锈钢制成圆柱形，所述螺纹杆B上部设有螺纹B。
进一步地，所述顶板底部连接有位置传感器。
进一步地，所述支撑块顶部焊接有控制器，所述控制器通过电缆与位置传感器、空气弹簧连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型首先通过三层橡胶设计，提高了系统阻尼，降低了系统固有频率，能够有效隔离中高频振动，然后通过空气弹簧实现对微频振动的有效隔振，系统整体隔振贷款，隔振效果好，防振等级可得VC-E级，且可以通过螺纹杆进行高度调节，对环境约束性低，应用广泛。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型支腿A的剖视图。
图3为本实用新型支腿B的剖视图。
图中1-顶板，2-支腿A，201-外壳，202-第一橡胶块，203-第二橡胶块，204-第三橡胶块，205-底板A，206-封头板，207-内螺纹孔A，208-螺纹杆A，209-螺纹A，2010-底座A，2011-支撑杆，2012-顶座，3-横梁，4-支撑块，5-空气弹簧，6-支腿B，601-底板B，602-内螺纹孔B，7-底座B，8-螺纹杆B，801-螺纹B，9-位置传感器，10-控制器。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-3所示，一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，包括顶板、支腿A和横梁，所述顶板呈矩形，所述顶板底部四个角处分别焊接支腿A，所述支腿A包括外壳，所述外壳内部自上而下依次连接第一橡胶块、第二橡胶块、第三橡胶块，所述外壳底部焊接有底板A，所述外壳顶部内活动连接有封头板，所述底板A中间开设有内螺纹孔A，所述内螺纹孔A内连接有螺纹杆A，所述螺纹杆A底部焊接有底座A，所述封头板上方中间焊接有支撑杆，所述支撑杆顶部焊接有顶座，所述横梁为两个，分别与两个对角线位置处的支腿A焊接固定，所述横梁交接位置还连接有支撑块，所述支撑块顶部连接有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与顶板连接，所述支撑块底部连接有支腿B，所述支腿B底部焊接有底板B，所述底板B中间开设有内螺纹孔B，所述内螺纹孔B内连接有螺纹杆B，所述螺纹杆B底部焊接有底座B。
所述顶板四周为不锈钢板焊接而成的矩形框体，框体内部浇筑有混凝土。
所述第一橡胶块、第三橡胶块均为表面平滑的实心橡胶块，所述第二橡胶块为表面呈锯齿形的实心橡胶块。
所述横梁由方形钢管制成。
所述外壳为圆筒形，由不锈钢板制成。
所述螺纹杆A由不锈钢制成圆柱形，所述螺纹杆A上部设有螺纹A。
所述螺纹杆B由不锈钢制成圆柱形，所述螺纹杆B上部设有螺纹B。
所述顶板底部连接有位置传感器。
所述支撑块顶部焊接有控制器，所述控制器通过电缆与位置传感器、空气弹簧连接。
工作时，负载放置在顶板上，负载产生微振动时，首先通过支腿A内部的三层橡胶阻尼进行微振动控制，然后通过位置传感器采集垂直方向的速度信号，并将采集的信号输送给控制器，由控制器10控制空气弹簧保持系统的位置稳定和定位精确。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，包括顶板、支腿A和横梁，其特征在于，所述顶板呈矩形，所述顶板底部四个角处分别焊接支腿A，所述支腿A包括外壳，所述外壳内部自上而下依次连接第一橡胶块、第二橡胶块、第三橡胶块，所述外壳底部焊接有底板A，所述外壳顶部内活动连接有封头板，所述底板A中间开设有内螺纹孔A，所述内螺纹孔A内连接有螺纹杆A，所述螺纹杆A底部焊接有底座A，所述封头板上方中间焊接有支撑杆，所述支撑杆顶部焊接有顶座，所述横梁为两个，分别与两个对角线位置处的支腿A焊接固定，所述横梁交接位置还连接有支撑块，所述支撑块顶部连接有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与顶板连接，所述支撑块底部连接有支腿B，所述支腿B底部焊接有底板B，所述底板B中间开设有内螺纹孔B，所述内螺纹孔B内连接有螺纹杆B，所述螺纹杆B底部焊接有底座B。
2.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述顶板四周为不锈钢板焊接而成的矩形框体，框体内部浇筑有混凝土。
3.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述第一橡胶块、第三橡胶块均为表面平滑的实心橡胶块，所述第二橡胶块为表面呈锯齿形的实心橡胶块。
4.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述横梁由方形钢管制成。
5.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述外壳为圆筒形，由不锈钢板制成。
6.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述螺纹杆A由不锈钢制成圆柱形，所述螺纹杆A上部设有螺纹A。
7.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述螺纹杆B由不锈钢制成圆柱形，所述螺纹杆B上部设有螺纹B。
8.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述顶板底部连接有位置传感器。
9.根据权利要求1所述的一种基于橡胶阻尼的主被动隔振基座，其特征在于，所述支撑块顶部焊接有控制器，所述控制器通过电缆与位置传感器、空气弹簧连接。
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