CN217633635U - 一种刚度可调的超低频被动防微振基座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种刚度可调的超低频被动防微振基座，包括面板、支架和支撑脚，所述面板底部安装有三排并列的垫块，所述垫块底部连接有支撑板，所述支架上端和下端分别焊接有上横梁和下横梁，所述支撑板底部连接有支撑杆，所述支撑杆与上横梁、下横梁滑动连接，所述支撑杆底部焊接有底板，所述上横梁中间部位安装有欧拉杆，所述欧拉杆中间部位安装有支撑块，所述支撑块底部连接有横板，所述横板底部中间位置连接有拉杆，所述拉杆底部与底板连接，所述下横梁顶部拉杆两侧分别安装有空气弹簧。本实用新型结构简单，系统刚度、高度可以调整，能够获得超低的系统固有频率，适用范围广。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种刚度可调的超低频被动防微振基座。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。但是主动隔振装置结构复杂，造价高，如果一味地采用主动隔振装置进行低频或超低频隔振，在一些情况下会造成资源或成本浪费。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种刚度可调的超低频被动防微振基座，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种刚度可调的超低频被动防微振基座，包括面板、支架和支撑脚，所述面板底部安装有三排并列的垫块，所述垫块底部连接有支撑板，所述支架上端和下端分别焊接有上横梁和下横梁，所述支撑板底部连接有支撑杆，所述支撑杆与上横梁、下横梁滑动连接，所述支撑杆底部焊接有底板，所述上横梁中间部位安装有欧拉杆，所述欧拉杆中间部位安装有支撑块，所述支撑块底部连接有横板，所述横板底部中间位置连接有拉杆，所述拉杆底部与底板连接，所述下横梁顶部拉杆两侧分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧包括气室，所述气室顶部连接有活塞，所述活塞内部连接有摆杆，所述摆杆顶部与横板连接。
进一步地，所述面板、支撑板均由不锈钢板制成矩形结构。
进一步地，所述垫块为橡胶垫块。
进一步地，所述支撑脚安装在支架底部，所述支撑脚与支架通过螺纹连接。
进一步地，所述气室与活塞之间连接有隔膜，所述气室外侧底端连接有电磁阀。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型通过空气弹簧、摆杆和负刚度欧拉杆串联隔振，极大降低了系统固有频率，系统固有频率能现实小于0.5Hz，并通过电磁阀调整空气弹簧的气压从而调整空气弹簧的刚度，并通过支撑脚调整基座高度，可以适用于不同精密仪器的要求；本实用新型结构简单，系统刚度、高度可以调整，能够获得超低的系统固有频率，适用范围广。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中1-面板，2-支架，201-上横梁，202-下横梁，3-支撑脚，4-垫块，5-支撑板，6-支撑杆，601-底板，7-欧拉杆，8-支撑块，9-横板，10-空气弹簧，1001-气室，1002-活塞，1003-摆杆，1004-隔膜，1005-电磁阀，11-拉杆。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示，一种刚度可调的超低频被动防微振基座，包括面板1、支架2和支撑脚3，所述面板1底部安装有三排并列的垫块4，所述垫块4底部连接有支撑板5，所述支架2上端和下端分别焊接有上横梁201和下横梁202，所述支撑板5底部连接有支撑杆6，所述支撑杆6与上横梁201、下横梁202滑动连接，所述支撑杆6底部焊接有底板601，所述上横梁201中间部位安装有欧拉杆7，所述欧拉杆7中间部位安装有支撑块8，所述支撑块8底部连接有横板9，所述横板9底部中间位置连接有拉杆11，所述拉杆11底部与底板601连接，所述下横梁22顶部拉杆11两侧分别安装有空气弹簧10，所述空气弹簧10包括气室1001，所述气室1001顶部连接有活塞1002，所述活塞1002内部连接有摆杆1003，所述摆杆1003顶部与横板9连接。
所述面板1、支撑板5均由不锈钢板制成矩形结构。
所述垫块4为橡胶垫块。
所述支撑脚3安装在支架2底部，所述支撑脚3与支架2通过螺纹连接。
所述气室1001与活塞1002之间连接有隔膜1004，所述气室1001外侧底端连接有电磁阀1005。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种刚度可调的超低频被动防微振基座，包括面板、支架和支撑脚，其特征在于，所述面板底部安装有三排并列的垫块，所述垫块底部连接有支撑板，所述支架上端和下端分别焊接有上横梁和下横梁，所述支撑板底部连接有支撑杆，所述支撑杆与上横梁、下横梁滑动连接，所述支撑杆底部焊接有底板，所述上横梁中间部位安装有欧拉杆，所述欧拉杆中间部位安装有支撑块，所述支撑块底部连接有横板，所述横板底部中间位置连接有拉杆，所述拉杆底部与底板连接，所述下横梁顶部拉杆两侧分别安装有空气弹簧，所述空气弹簧包括气室，所述气室顶部连接有活塞，所述活塞内部连接有摆杆，所述摆杆顶部与横板连接。
2.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座，其特征在于，所述面板、支撑板均由不锈钢板制成矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座，其特征在于，所述垫块为橡胶垫块。
4.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座，其特征在于，所述支撑脚安装在支架底部，所述支撑脚与支架通过螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种刚度可调的超低频被动防微振基座，其特征在于，所述气室与活塞之间连接有隔膜，所述气室外侧底端连接有电磁阀。
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