CN217842518U - 一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，包括顶板A、立柱和底座A，所述立柱为三根呈等边三角形布置在底座A顶部边缘，所述立柱顶部安装有橡胶垫块，所述橡胶垫块顶部安装有金属弹簧，所述金属弹簧顶部与顶板A底部连接，所述底座A顶部中间与顶板A底部中间之间安装有超磁致伸缩驱动器。本实用新型隔振装置通过金属弹簧与橡胶垫块的串联实现被动高频隔振，通过超磁致伸缩驱动器实现低频隔振，系统固有频率能现实小于0.5Hz，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，适用范围较广。
Description
技术领域
本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置。
背景技术
目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。但精密仪器所处的环境是复杂的，不仅仅是单一的低频振动或高频振动，往往是低频振动和高频振动同时存在，而传统的气动隔振装置很难满足这种复杂环境振动的隔振要求，适用范围较窄。
实用新型内容
实用新型的目的在于提供一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，以解决上述背景技术中存在的问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，包括顶板A、立柱和底座A，所述立柱为三根呈等边三角形布置在底座A顶部边缘，所述立柱顶部安装有橡胶垫块，所述橡胶垫块顶部安装有金属弹簧，所述金属弹簧顶部与顶板A底部连接，所述底座A顶部中间与顶板A底部中间之间安装有超磁致伸缩驱动器，所述超磁致伸缩驱动器包括底座B，所述底座B顶部连接有套筒，所述套筒内部上端焊接有隔板，所述隔板下方套筒内部两侧安装有骨架，所述骨架上安装有线圈，所述骨架之间安装有超磁致伸缩棒，所述超磁致伸缩棒顶部连接输出杆，所述输出杆穿过隔板，所述输出杆上安装有挡板，所述挡板顶部输出杆外侧套装有预压弹簧，所述套筒顶部开设有内螺纹孔，所述内螺纹孔连接有螺旋顶盖，所述输出杆穿过螺旋顶盖，所述顶板A底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座A顶部安装有控制器。
进一步地，所述顶板A、底座A均呈圆形结构。
进一步地，所述预压弹簧顶部与螺旋顶盖连接。
进一步地，所述挡板位于隔板的上方。
进一步地，所述位置传感器、速度传感器、超磁致伸缩驱动器与控制器通过电缆连接。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型隔振装置通过金属弹簧与橡胶垫块的串联实现被动高频隔振，通过超磁致伸缩驱动器实现低频隔振，系统固有频率能现实小于0.5Hz，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，适用范围较广。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型超磁致伸缩驱动器的剖视图。
图3为本实用新型安装结构示意图。
图中1-顶板A，2-立柱，3-底座A，4-超磁致伸缩驱动器，401-底座B，402-套筒，403-隔板，404-骨架，405-线圈，406-超磁致伸缩棒，407-输出杆，408-挡板，409-预压弹簧，4010-内螺纹孔，4011-螺旋顶盖，5-橡胶垫块，6-金属弹簧，7-位置传感器，8-速度传感器，9-控制器，10-电缆，11-支腿，12-顶板B，13-横梁。
具体实施方式
下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-3所示，一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，包括顶板A1、立柱2和底座A3，所述立柱2为三根呈等边三角形布置在底座A3顶部边缘，所述立柱2顶部安装有橡胶垫块5，所述橡胶垫块5顶部安装有金属弹簧6，所述金属弹簧6顶部与顶板A1底部连接，所述底座A3顶部中间与顶板A1底部中间之间安装有超磁致伸缩驱动器4，所述超磁致伸缩驱动器4包括底座B401，所述底座B401顶部连接有套筒402，所述套筒402内部上端焊接有隔板403，所述隔板403下方套筒402内部两侧安装有骨架404，所述骨架404上安装有线圈405，所述骨架404之间安装有超磁致伸缩棒406，所述超磁致伸缩棒406顶部连接输出杆407，所述输出杆407穿过隔板403，所述输出杆407上安装有挡板408，所述挡板408顶部输出杆407外侧套装有预压弹簧409，所述套筒402顶部开设有内螺纹孔4010，所述内螺纹孔4010连接有螺旋顶盖4011，所述输出杆407穿过螺旋顶盖4011，所述顶板A1底部安装有位置传感器7和速度传感器8，所述底座A2顶部安装有控制器9。
所述顶板A1、底座A2均呈圆形结构。
所述预压弹簧409顶部与螺旋顶盖4011连接，通过拧紧螺旋顶盖4011压紧输出杆407、超磁致伸缩棒406，使得超磁致伸缩棒406产生更大的形变和驱动力。
所述挡板408位于隔板403的上方。
所述位置传感器7、速度传感器8、超磁致伸缩驱动器4与控制器9通过电缆10连接，位置传感器7、速度传感器8将接收到的振动信号传递给控制器9，由控制器9控制超磁致伸缩驱动器4驱动实现低频隔振。
使用时，将隔振装置安装在支腿11顶部，隔振装置顶部连接顶板B12，支腿11之间连接有横梁13，精密仪器放置在顶板B上。通过位移传感器7、速度传感器8采集振动信号，并将采集的信号输送给控制器9，由控制器9控制超磁致伸缩驱动器4驱动实现低频隔振，而高频振动主要通过橡胶垫块5、金属弹簧6实现高频隔振。
控制器4根据振动信号，控制超磁致伸缩驱动器4线圈405磁场强弱，根据磁场强弱不同，超磁致伸缩棒406形变大小不同，然后推动输出杆407运动实现精准低频隔振。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，包括顶板A、立柱和底座A，其特征在于，所述立柱为三根呈等边三角形布置在底座A顶部边缘，所述立柱顶部安装有橡胶垫块，所述橡胶垫块顶部安装有金属弹簧，所述金属弹簧顶部与顶板A底部连接，所述底座A顶部中间与顶板A底部中间之间安装有超磁致伸缩驱动器，所述超磁致伸缩驱动器包括底座B，所述底座B顶部连接有套筒，所述套筒内部上端焊接有隔板，所述隔板下方套筒内部两侧安装有骨架，所述骨架上安装有线圈，所述骨架之间安装有超磁致伸缩棒，所述超磁致伸缩棒顶部连接输出杆，所述输出杆穿过隔板，所述输出杆上安装有挡板，所述挡板顶部输出杆外侧套装有预压弹簧，所述套筒顶部开设有内螺纹孔，所述内螺纹孔连接有螺旋顶盖，所述输出杆穿过螺旋顶盖，所述顶板A底部安装有位置传感器和速度传感器，所述底座A顶部安装有控制器。
2.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，其特征在于，所述顶板A、底座A均呈圆形结构。
3.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，其特征在于，所述预压弹簧顶部与螺旋顶盖连接。
4.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，其特征在于，所述挡板位于隔板的上方。
5.根据权利要求1所述的一种基于超磁致伸缩驱动的隔振装置，其特征在于，所述位置传感器、速度传感器、超磁致伸缩驱动器与控制器通过电缆连接。
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2022
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