CN102710179A - 主动控制型磁悬浮隔振平台 - Google Patents
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Abstract
主动控制型磁悬浮隔振平台，涉及隔振平台技术领域。本发明解决了现有隔振平台存在固定频率的缺点。本发明主要由动基板、定基板、三个或四个Z向承重与调整单元组成，所述包括Z向承重单元与Z向调整单元，Z向承重单元的定子永磁体固定在定子永磁体固定板之上，动子永磁体固定在动子永磁体固定板之下；定子永磁体和动子永磁体相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体和动子永磁体充磁方向相反。Z向调整单元的初级包括初级铁心和初级绕组，次级包括次级永磁体和次级轭板。Z向承重单元的动子永磁体固定板与Z向调整单元的动子沿Z向连接在一起。本发明的结果能够适应重载荷使用，且结构简单、隔振精度高、控制容易，可适用真空环境。
Description
技术领域
本发明涉及一种磁悬浮隔振平台。
背景技术
随着科学技术的不断发展，在某些技术领域，如航空航天，以及精密光学系统中，对一些关键零件的加工精度要求越来越高，因而需要精密和超精密加工技术。在精密和超精密加工中，设备本身的精度固然是至关重要的，但环境振动对加工精度和表面质量的影响也绝不容忽视。环境振动不仅会引起机床本体振动，更土要的是会在切削刀具与被加工工件间产生相对振动位移，并将直接反映到被加工零件的精度和表面质量上。因此，为这些精密设备设置性能优异的隔振装置是十分必要的。目前，在国外超精密加工机床中，大多采用以空气弹簧作为隔振元件的隔振系统，并有较好的隔振效果。这主要是因为空气弹簧在具有较大承载能力的同时，具有较低的刚度。弹簧的低刚度可使隔振系统获得较低的固有频率，远离环境干扰的频率，得到较好的隔振效果。另一方面，通过在空气弹簧的主气室和辅助气室之间设置合适的阻尼孔，获得最佳阻尼，又可使隔振系统有较好的阻尼特性。
虽然空气弹簧作为隔振元件具有较好的隔振的效果，但是这属于被动隔振，这类隔振系统的固有频率一般在2Hz左右。这种隔振方法难以满足超精密加工、超精密测量对隔振系统的要求。另外，空气弹簧不能在真空环境下使用，限制了其应用范围。
本发明提出一种主动控制型磁悬浮隔振平台，通过利用永磁体与永磁体之间的不可控作用力以及电流与永磁体磁场之间的可控电磁力来实现对载荷的悬浮，从而实现对振动的隔离。本发明容易构成大载荷磁悬浮隔振平台，且结构简单、隔振效果好、控制容易，可适用真空环境。
发明内容
为了解决现有隔振平台存在固定频率的缺点，本发明提出一种主动控制型磁悬浮隔振平台。
本发明所述的主动控制型磁悬浮隔振平台包括动基板、定基板、4个Z向承重单元与调整单元构成；所述4个Z向承重单元与调整单元位于动基板和定基板之间，并且所述4个Z向承重单元与调整单元所组成的四边形的中心与动基板中心的连线垂直于所述动基板所在平面，Z向承重与调整单元包括Z向承重单元和Z向调整单元，
Z向承重单元包括定子永磁体、定子永磁体固定板、动子永磁体和动子永磁体固定板，定子永磁体固定在定子永磁体固定板的上表面，动子永磁体固定在动子永磁体固定板的下表面；定子永磁体和动子永磁体相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体和动子永磁体均为沿垂直方向平行充磁，并且充磁方向相反；
Z向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙，Z向调整单元为动初级结构或动次级结构；
Z向承重单元的动子永磁体固定板与Z向调整单元的动子沿Z向固定连接在一起；Z向承重单元的定子永磁体固定板与Z向调整单元的定子沿Z向固定连接在一起；
每个Z向调整单元的动子均与动基板的下表面固定连接，每个Z向承重单元的定子均固定在定基板的上表面，动基板与定基板所在平面相互平行。
上述Z向调整单元的具体结构可以为：Z向调整单元的初级包括初级铁心和初级绕组，所述初级铁心为E形铁心，初级绕组缠绕在初级铁心中间的芯柱上；次级包括次级永磁体和次级轭板，次级永磁体为3块沿垂直方向平行充磁的平板形永磁体，所述3块平板形永磁体分别与初级铁心的3个芯柱相对应，所述3块平板形永磁体粘贴固定在次级轭板上，位于中间的平板形永磁体的充磁方向与位于两侧的平板形永磁体的充磁方向相反。
上述Z向调整单元的具体结构还可以为：Z向调整单元的初级铁心、初级绕组和初级永磁体，所述初级铁心由两个Г形铁心，初级永磁体为平板形，固定在两个Г形铁心的水平段中间；初级绕组由两个线圈构成，两个线圈分别绕在Г形铁心的两个竖直芯柱上；次级为高导磁性金属板。
上述Z向调整单元的具体结构还可以为：Z向调整单元的初级包括初级铁心和初级绕组，所述初级铁心为C形铁心，初级绕组由两个线圈构成，两个线圈分别绕在C形初级铁心的两个芯柱上；次级包括次级永磁体和次级轭板，次级永磁体为2块沿垂直方向平行充磁的平板形永磁体，所述2块平板形永磁体的充磁方向相反，并且所述两块平板形永磁体分别与初级铁心的2个芯柱相对应，所述2块平板形永磁体粘贴固定在次级轭板上。
本发明中所述的Z向承重单元与调整单元可以是多个Z向承重单元与2个Z向调整单元并联组成。
本发明所述的隔振平台还可以包括X向调整单元或Y向调整单元；所述X向调整单元与Y向调整单元的结构相同；X向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙；初级包括初级铁心和初级绕组，初级铁心为E形铁心，初级绕组缠绕在初级铁心中间的芯柱 上；次级包括次级永磁体和次级轭板，次级永磁体为3块沿水平方向平行充磁的平板形永磁体，所述3块平板形永磁体分别与初级铁心的3个芯柱相对应，并粘贴固定在次级轭板上，位于中间位置的平板形永磁体的充磁方向与两侧平板形永磁体的充磁方向相反，X向调整单元为动初级结构或动次级结构，X向调整单元的动子与Z向调整单元的动子固定连接在一起；X向调整单元的定子与Z向调整单元的定子固定连接在一起，X向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面正交；Y向调整单元的定子与Z向调整单元的定子固定连接在一起，Y向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面正交。
上述隔振平台中还可以包括X向恢复单元或Y向恢复单元；X向恢复单元与X向调整单元相对应，Y向调整单元与Y向恢复单元相对应，X向恢复单元和Y向恢复单元的结构相同；X向恢复单元包括定子永磁体、定子永磁体固定板、动子永磁体和动子永磁体固定板；定子永磁体固定在定子永磁体固定板的一侧，动子永磁体固定在动子永磁体固定板的一侧；定子永磁体和动子永磁体相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体和动子永磁体均为沿水平方向平行充磁的永磁体，并且充磁方向相反；X向调整单元与X向恢复单元串联或并联连接，二者的气隙面相互平行，Y向调整单元与Y向恢复单元串联或并联连接，二者的气隙面相互平行。
本发明所述的磁悬浮隔振平台还可以包括电磁阻尼器，电磁阻尼器由初级和次级构成，电磁阻尼器为动初级或动次级结构，电磁阻尼器的定子固定在定基板上，电磁阻尼器的动子固定在动基板上。
本发明所述的主动控制型磁悬浮隔振平台中的Z向承重单元与调整单元的工作原理为：
Z向承重单元的定子永磁体与动子永磁体之间为排斥力，Z向调整单元的初级与次级之间的作用力方向可以通过控制其初级绕组中电流的方向来改变，当绕组中不通入电流时，初级与次级之间为吸引力。这样，在载荷质量不变时，作用在动基板的向上的作用力与动基板上载荷的重力相平衡，绕组中电流为0或者很小，只有载荷发生变化时，可以通过控制绕组中电流，改变Z向调整单元产生的电磁力，使作用到动基板的作用力重新达到平衡。另外，由于作用在动基板的所有电磁力随Z向位置的改变而变化很小，所以，当有振动传递到定基板上时，动基板的受力变化很小，从而达到隔振的目的。
附图说明
图1是实施方式一所述的主动控制型磁悬浮隔振平台的结构示意图。
图2是实施方式七所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图3是实施方式七所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图4是实施方式七所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图5是实施方式七所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图6是实施方式七所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图7是实施方式七所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图8是实施方式四所述的Z向承重单元与调整单元的轴向剖面结构示意图。
图9是实施方式八所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图10是实施方式九所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图11是实施方式九所述的一种Z向承重单元与调整单元的结构示意图。
图12是实施方式十所述的X向调整单元的结构示意图。
图13是实施方式十一所述的电磁阻尼器的结构示意图。
具体实施方式
实施方式一：本实施方式所述的主动控制型磁悬浮隔振平台包括动基板、定基板、4个Z向承重单元与调整单元构成；所述4个Z向承重单元与调整单元位于动基板和定基板之间，并且所述4个Z向承重单元与调整单元所组成的四边形的中心与动基板中心的连线垂直于所述动基板所在平面，Z向承重与调整单元包括Z向承重单元和Z向调整单元，
Z向承重单元包括定子永磁体2c、定子永磁体固定板2d、动子永磁体2b和动子永磁体固定板2a，定子永磁体2c固定在定子永磁体固定板2d的上表面，动子永磁体2b固定在动子永磁体固定板2a的下表面；定子永磁体2c和动子永磁体2b相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体2c和动子永磁体2b均为沿垂直方向平行充磁，并且充磁方向相反；
Z向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙，Z向调整单元为动初级结构或动次级结构；
Z向承重单元的动子永磁体固定板2a与Z向调整单元的动子沿Z向固定连接在一起；Z向承重单元的定子永磁体固定板2d与Z向调整单元的定子沿Z向固定连接在一起；
每个Z向调整单元的动子均与动基板的下表面固定连接，每个Z向承重单元的定子均固定在定基板的上表面，动基板与定基板所在平面相互平行。
实施方式二：本实施方式是对具体实施方式一所述的主动控制型磁悬浮隔振平台中的Z向调整单元结构的进一步限定，本实施方式所述的Z向调整单元的初级包括初级铁心 1b和初级绕组1c，所述初级铁心为E形铁心，初级绕组1c缠绕在初级铁心中间的芯柱上；次级包括次级永磁体1d和次级轭板1e，次级永磁体1d为3块沿垂直方向平行充磁的平板形永磁体，所述3块平板形永磁体分别与初级铁心的3个芯柱相对应，所述3块平板形永磁体粘贴固定在次级轭板1e上，位于中间的平板形永磁体的充磁方向与位于两侧的平板形永磁体的充磁方向相反。
实施方式三：本实施方式是对具体实施方式一所述的主动控制型磁悬浮隔振平台中的Z向调整单元结构的进一步限定，本实施方式所述的Z向调整单元的初级铁心1b、初级绕组1c和初级永磁体1a，所述初级铁心2b由两个Г形铁心，初级永磁体1a为平板形，固定在两个Г形铁心的水平段中间；初级绕组1c由两个线圈构成，两个线圈分别绕在Г形铁心的两个竖直芯柱上；次级为高导磁性金属板1f。
实施方式四：本实施方式是对具体实施方式三所述的主动控制型磁悬浮隔振平台的区别在于，所述Z向承重单元与调整单元为以Z轴为对称轴的圆柱形。
参见图8所示，本实施方式中，Z向承重单元的定子永磁体2c为圆盘形，动子永磁体2b为圆环形；Z向调整单元的初级永磁体1a为圆环形，初级铁心1b中的两个Г形铁心均为圆环形，初级绕组1c为圆环形、并且嵌放由两个Г形铁心之间形成的凹槽内。
实施方式五：本实施方式是对具体实施方式一所述的主动控制型磁悬浮隔振平台中的Z向调整单元结构的进一步限定，本实施方式所述的Z向调整单元的初级包括初级铁心1b和初级绕组1c，所述初级铁心1b为C形铁心，初级绕组1c由两个线圈构成，两个线圈分别绕在C形初级铁心1b的两个芯柱上；次级包括次级永磁体1d和次级轭板1e，次级永磁体1d为2块沿垂直方向平行充磁的平板形永磁体，所述2块平板形永磁体的充磁方向相反，并且所述两块平板形永磁体分别与初级铁心的2个芯柱相对应，所述2块平板形永磁体粘贴固定在次级轭板1e上。
实施方式六：本实施方式是对具体实施方式五所述的主动控制型磁悬浮隔振平台中的Z向调整单元结构的进一步限定，本实施方式中的次级永磁体1d还包括一块沿水平方向平行充磁的永磁体，该永磁体位于两块沿垂直方向充磁的平板形永磁体的中间，该平行充磁的永磁体的充磁方向与初级铁心轭部磁力线的方向相反。
实施方式七：本实施方式与具体实施方式二、三、五或六所述的主动控制型磁悬浮隔振平台的区别在于，本实施方式所述的Z向承重单元与调整单元由多个具体实施方式一或二所述的Z向承重单元与2个Z向调整单元并联组成。
当采用具体实施方式二所述的两个Z向承重单元成镜像设置并且并联连接，所述的两个Z向调整单元成镜像设置并且并联连接，所组成的Z向承重单元与调整单元的结构参见图2所示，该结构中Z向调整单元为动次级结构。
当采用具体实施方式三所述的两个Z向承重单元成镜像设置并且并联连接，所述的两个Z向调整单元成镜像设置并且并联连接，所组成的Z向承重单元与调整单元的结构参见图3和7所示，该结构中Z向调整单元为动次级结构。其中，图3所示的结构中，Z向承重单元与调整单元的动子采用上部输出的方式，而图7所示的结构中，Z向承重单元与调整单元的动子采用两侧输出的方式。
当采用具体实施方式五所述的两个Z向承重单元成镜像设置并且并联连接，所述的两个Z向调整单元成镜像设置并且并联连接，所组成的Z向承重单元与调整单元的结构参见图4所示，该结构中Z向调整单元为动次级结构。
当采用具体实施方式六所述的两个Z向承重单元成镜像设置并且并联连接，所述的两个Z向调整单元成镜像设置并且并联连接，所组成的Z向承重单元与调整单元的结构参见图5和6所示，该结构中Z向调整单元为动次级结构，图5所示的结构中，Z向调整单元的初级位于次级的上方，图6所示的结构中，Z向调整单元的次级位于初级的上方。
上述内容，是当采用两个Z向承重单元与和Z向调整单元并联组成的Z向承重单元与调整单元的结构实例，具体应用过程中，可以根据实际情况，采用更多个的Z向承重单元与和Z向调整单元并联组成Z向承重单元与调整单元。
实施方式八：本实施方式与具体实施方式二、三、五、六或七所述的主动控制型磁悬浮隔振平台的区别在于，该隔振平台还包括X向调整单元或Y向调整单元；所述X向调整单元与Y向调整单元的结构相同；X向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙；初级包括初级铁心3c和初级绕组3d，初级铁心3c为E形铁心，初级绕组3d缠绕在初级铁心3c中间的芯柱上；次级包括次级永磁体3b和次级轭板3a，次级永磁体3b为3块沿水平方向平行充磁的平板形永磁体，所述3块平板形永磁体分别与初级铁心3c的3个芯柱相对应，并粘贴固定在次级轭板3a上，位于中间位置的平板形永磁体的充磁方向与两侧平板形永磁体的充磁方向相反，X向调整单元为动初级结构或动次级结构，X向调整单元的动子与Z向调整单元的动子固定连接在一起；X向调整单元的定子与Z向调整单元的定子固定连接在一起，X向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面正交；Y向调整单元的定子与Z向调整单元的定子固定连接在一起，Y向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面正交。
本实施方式所述的X向调整单元或Y向调整单元与主动控制型磁悬浮隔振平台的Z向承重单元与调整单元相对应设置，当主动控制型磁悬浮隔振平台的Z向承重单元与调整单元采用图2所示的对称结构时，则本实施方式所述的X向调整单元或Y向调整单元也为两个，并且也采用对称结构，参见图9所示，在Z向承重单元与调整单元的两侧对称设置有两个本实施方式所述的X向调整单元或Y向调整单元。
实施方式九：本实施方式与具体实施方式八所述的主动控制型磁悬浮隔振平台的区别在于，该隔振平台还包括X向恢复单元或Y向恢复单元；X向恢复单元与X向调整单元相对应，Y向调整单元与Y向恢复单元相对应，X向恢复单元和Y向恢复单元的结构相同；X向恢复单元包括定子永磁体4b、定子永磁体固定板4a、动子永磁体4c和动子永磁体固定板4d；定子永磁体4b固定在定子永磁体固定板4a的一侧，动子永磁体4c固定在动子永磁体固定板4d的一侧；定子永磁体4b和动子永磁体4c相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体4b和动子永磁体4c均为沿水平方向平行充磁的永磁体，并且充磁方向相反；X向调整单元与X向恢复单元串联或并联连接，二者的气隙面相互平行，Y向调整单元与Y向恢复单元串联或并联连接，二者的气隙面相互平行。
本实施方式增加的X向恢复单元与主动控制型磁悬浮隔振平台中的X向调整单元一一对应，本实施方式增加的Y向恢复单元与主动控制型磁悬浮隔振平台中的Y向调整单元一一对应，即：一个X向调整单元对应一个X向恢复单元；一个Y向调整单元对应一个Y向恢复单元。例如：在图9所示的结构的基础之上增加X向恢复单元，则需要增加两个X向恢复单元，所述两个X向恢复单元与两个X向调整单元一一对应，当X向恢复单元与X向调整单元并联连接时，形成的结构参见图10所示；当X向恢复单元与X向调整单元串联连接时，形成的结构参见图11所示。
本实施方式所述的X向恢复单元也可以作为Y向恢复单元，当作为Y向恢复单元时，需要与Y向调整单元一一对应并联连接，并且二者的气隙面相互平行。
实施方式十：本实施方式与具体实施方式二、三、五、六或七所述的主动控制型磁悬浮隔振平台的区别在于，该隔振平台还包括X向调整单元，所述X向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙；初级包括初级基板5d和初级绕组5c，初级绕组5c由两个线圈并列排布固定在初级基板5d上；次级为双边结构，次级包括次级永磁体5b和次级轭板5a，次级永磁体5b为沿垂直方向平行充磁，上次级轭板5a上均固定有次级永磁体5b，次级永磁体5b包括三块平板形永磁体，所述三块平板形永磁体分别与两个线圈的有效边相对应，位于中间的平板形永磁体同时对应两个线圈相邻的两个有效边，位于中间位置的永 磁体的充磁方向与两侧永磁体的充磁方向相反；X向调整单元为动初级结构或动次级结构，X向调整单元的动子与Z向调整单元的动子连接在一起；X向调整单元的定子与Z向调整单元的定子连接在一起，X向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面平行。
实施方式十一：本实施方式与具体实施方式一至十任意一个实施方式所述的主动控制型磁悬浮隔振平台的区别在于，该磁悬浮隔振平台还包括电磁阻尼器，电磁阻尼器由初级和次级构成，电磁阻尼器为动初级或动次级结构，电磁阻尼器的定子固定在定基板上，电磁阻尼器的动子固定在动基板上。本实施方式所述的阻尼器的结构参见图13所示。
Claims (10)
1.主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，该隔振平台包括动基板(1)、定基板(3)、4个Z向承重单元与调整单元(2)构成；所述4个Z向承重单元与调整单元(2)位于动基板(1)和定基板(3)之间，并且所述4个Z向承重单元与调整单元(2)所组成的四边形的中心与动基板中心的连线垂直于所述动基板(1)所在平面，Z向承重与调整单元(2)包括Z向承重单元和Z向调整单元，
Z向承重单元包括定子永磁体(2c)、定子永磁体固定板(2d)、动子永磁体(2b)和动子永磁体固定板(2a)，定子永磁体(2c)固定在定子永磁体固定板(2d)的上表面，动子永磁体(2b)固定在动子永磁体固定板(2a)的下表面；定子永磁体(2c)和动子永磁体(2b)相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体(2c)和动子永磁体(2b)均为沿垂直方向平行充磁，并且充磁方向相反；
Z向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙，Z向调整单元为动初级结构或动次级结构；
Z向承重单元的动子永磁体固定板(2a)与Z向调整单元的动子沿Z向固定连接在一起；Z向承重单元的定子永磁体固定板(2d)与Z向调整单元的定子沿Z向固定连接在一起；
每个Z向调整单元的动子均与动基板的下表面固定连接，每个Z向承重单元的定子均固定在定基板的上表面，动基板与定基板所在平面相互平行。
2.根据权利要求1所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，所述Z向调整单元的初级包括初级铁心(1b)和初级绕组(1c)，所述初级铁心为E形铁心，初级绕组(1c)缠绕在初级铁心中间的芯柱上；次级包括次级永磁体(1d)和次级轭板(1e)，次级永磁体(1d)为3块沿垂直方向平行充磁的平板形永磁体，所述3块平板形永磁体分别与初级铁心的3个芯柱相对应，所述3块平板形永磁体粘贴固定在次级轭板(1e)上，位于中间的平板形永磁体的充磁方向与位于两侧的平板形永磁体的充磁方向相反。
3.根据权利要求1所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，所述Z向调整单元的初级铁心(1b)、初级绕组(1c)和初级永磁体(1a)，所述初级铁心(1b)由两个Γ形铁心，初级永磁体(1a)为平板形，固定在两个Γ形铁心的水平段中间；初级绕组(1c)由两个线圈构成，两个线圈分别绕在Γ形铁心的两个竖直芯柱上；次级为高导磁性金属板(1f)。
4.根据权利要求1所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，所述的Z向调整单元的初级包括初级铁心(1b)和初级绕组(1c)，所述初级铁心(1b)为C形铁心，初级绕组(1c)由两个线圈构成，两个线圈分别绕在C形初级铁心(1b)的两个芯柱上；次级包括次级永磁体(1d)和次级轭板(1e)，次级永磁体(1d)为2块沿垂直方向平行充磁的平板形永磁体，所述2块平板形永磁体的充磁方向相反，并且所述两块平板形永磁体分别与初级铁心的2个芯柱相对应，所述2块平板形永磁体粘贴固定在次级轭板(1e)上。
5.根据权利要求4所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，所述次级永磁体(1d)还包括一块沿水平方向平行充磁的永磁体，该永磁体位与两块沿垂直方向充磁的平板形永磁体的中间，该平行充磁的永磁体的充磁方向与初级铁心轭部磁力线的方向相反。
6.根据权利要求1至5任意一项权利要求所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，所述的Z向承重单元与调整单元是多个Z向承重单元与2个Z向调整单元并联组成。
7.根据权利要求6所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，该隔振平台还包括X向调整单元或Y向调整单元；所述X向调整单元与Y向调整单元的结构相同，X向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙；初级包括初级铁心(3c)和初级绕组(3d)，初级铁心(3c)为E形铁心，初级绕组(3d)缠绕在初级铁心(3c)中间的芯柱上；次级包括次级永磁体(3b)和次级轭板(3a)，次级永磁体(3b)为3块沿水平方向平行充磁的平板形永磁体，所述3块平板形永磁体分别与初级铁心(3c)的3个芯柱相对应，并粘贴固定在次级轭板(3a)上，位于中间位置的平板形永磁体的充磁方向与两侧平板形永磁体的充磁方向相反，X向调整单元为动初级结构或动次级结构，X向调整单元的动子与Z向调整单元的动子固定连接在一起；X向调整单元的定子与Z向调整单元的定子固定连接在一起，X向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面正交；Y向调整单元的定子与Z向调整单元的定子固定连接在一起，Y向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面正交。
8.根据权利要求7所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，该隔振平台还包括X向恢复单元或Y向恢复单元；X向恢复单元与X向调整单元相对应，Y向调整单元与Y向恢复单元相对应，X向恢复单元和Y向恢复单元的结构相同，X向恢复单元包括定子永磁体(4b)、定子永磁体固定板(4a)、动子永磁体(4c)和动子永磁体固定板(4d)；定子永磁体(4b)固定在定子永磁体固定板(4a)的一侧，动子永磁体(4c)固定在动子永磁体固定板(4d)的一侧；定子永磁体(4b)和动子永磁体(4c)相对布置，二者之间为气隙，定子永磁体(4b)和动子永磁体(4c)均为沿水平方向平行充磁的永磁体，并且充磁方向相反；X向调整单元与X向恢复单元串联或并联连接，二者的气隙面相互平行，Y向调整单元与Y向恢复单元串联或并联连接，二者的气隙面相互平行。
9.根据权利要求6所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，该隔振平台还包括X向调整单元，所述X向调整单元包括初级和次级，初级和次级之间为气隙；初级包括初级基板(5d)和初级绕组(5c)，初级绕组(5c)由两个线圈并列排布固定在初级基板(5d)上；次级为双边结构，次级包括次级永磁体(5b)和次级轭板(5a)，次级永磁体(5b)为沿垂直方向平行充磁，上次级轭板(5a)上均固定有次级永磁体(5b)，次级永磁体(5b)包括三块平板形永磁体，所述三块平板形永磁体分别与两个线圈的有效边相对应，位于中间的平板形永磁体同时对应两个线圈相邻的两个有效边，位于中间位置的永磁体的充磁方向与两侧永磁体的充磁方向相反；X向调整单元为动初级结构或动次级结构，X向调整单元的动子与Z向调整单元的动子连接在一起；X向调整单元的定子与Z向调整单元的定子连接在一起，X向调整单元的气隙面与Z向调整单元的气隙面平行。
10.根据权利要求1所述的主动控制型磁悬浮隔振平台，其特征在于，该磁悬浮隔振平台还包括电磁阻尼器，电磁阻尼器由初级和次级构成，电磁阻尼器为动初级或动次级结构，电磁阻尼器的定子固定在定基板上，电磁阻尼器的动子固定在动基板上。
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