JPH10281220A - 磁気浮上型防振装置 - Google Patents
磁気浮上型防振装置Info
- Publication number
- JPH10281220A JPH10281220A JP10275597A JP10275597A JPH10281220A JP H10281220 A JPH10281220 A JP H10281220A JP 10275597 A JP10275597 A JP 10275597A JP 10275597 A JP10275597 A JP 10275597A JP H10281220 A JPH10281220 A JP H10281220A
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- JP
- Japan
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- axis
- slide plate
- magnet
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- magnets
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- Pending
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、防振を必要とする部材を載置した
板をスライド軸受とスライド軸によって確実に行い、水
平方向振動を直に安定保持し、有効な防振作用を行うこ
とを目的としている。 【解決手段】 基台のＹ方向にボールスライドユニット
を固定し、中心孔外周に基台上面と平行方向に磁力を有
する３個以上の磁石を中心対称に固定し、該基台上方に
Ｙ軸スライド板を配設して前記Ｙ軸スライドユニットの
スライド板に固定し、該Ｙ軸スライド板にＸ軸スライド
ユニットを固定し、該Ｙ軸スライド板の上方にＸ軸スラ
イド板を配設し、該Ｘ軸スライド板の下面中央に前記基
台の３個以上の磁石の対向内面に対向した外面を有する
角型磁石を配設し対向磁石面を同極となし、Ｘ軸スライ
ド板上面にはＺ軸浮上磁石を配設すると共に複数のＺ軸
軸受を固定し、該Ｘ軸スライド板上方にＺ軸浮遊台を配
設し、その下面に前記Ｘ軸スライド板上面のＺ軸浮上磁
石に対向してＺ軸浮上磁石を固定すると共に、前記Ｚ軸
軸受に嵌合するＺ軸を突設した磁気浮上型防振装置。
板をスライド軸受とスライド軸によって確実に行い、水
平方向振動を直に安定保持し、有効な防振作用を行うこ
とを目的としている。 【解決手段】 基台のＹ方向にボールスライドユニット
を固定し、中心孔外周に基台上面と平行方向に磁力を有
する３個以上の磁石を中心対称に固定し、該基台上方に
Ｙ軸スライド板を配設して前記Ｙ軸スライドユニットの
スライド板に固定し、該Ｙ軸スライド板にＸ軸スライド
ユニットを固定し、該Ｙ軸スライド板の上方にＸ軸スラ
イド板を配設し、該Ｘ軸スライド板の下面中央に前記基
台の３個以上の磁石の対向内面に対向した外面を有する
角型磁石を配設し対向磁石面を同極となし、Ｘ軸スライ
ド板上面にはＺ軸浮上磁石を配設すると共に複数のＺ軸
軸受を固定し、該Ｘ軸スライド板上方にＺ軸浮遊台を配
設し、その下面に前記Ｘ軸スライド板上面のＺ軸浮上磁
石に対向してＺ軸浮上磁石を固定すると共に、前記Ｚ軸
軸受に嵌合するＺ軸を突設した磁気浮上型防振装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、Ｙ軸スライド板
と、Ｘ軸スライド板と、Ｚ軸浮遊台とを一体に組み立
て、磁石の反撥力によってＸ，Ｙ，Ｚ軸スライド板の安
定位置を確保し、浮遊台は外力の影響を受けないように
した磁気浮上型防振装置に関する。
と、Ｘ軸スライド板と、Ｚ軸浮遊台とを一体に組み立
て、磁石の反撥力によってＸ，Ｙ，Ｚ軸スライド板の安
定位置を確保し、浮遊台は外力の影響を受けないように
した磁気浮上型防振装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】本出願人は先に図５、図６に示すような
磁気浮上型防振装置を発明した。上記装置は、浮遊台上
に防振を必要とする光学機械器具、精密機械器具等を載
置する。ラジアル荷重受け兼回転防止兼浮上マグネット
１０５，１０５、１０６，１０６、１０７，１０７の調
整つまみ１１７，１１８，１１９を回動して浮力を調整
する。浮遊台の浮上マグネット１０８，１０９，１１０
は対向磁極の反撥力により軸方向に浮上する。浮遊台の
最下面の回転防止兼ラジアル荷重受け兼浮上マグネット
は対向する１対のラジアル荷重受け兼回転防止兼浮上マ
グネット１０５，１０５、１０６，１０６、１０７，１
０７と対向上下面が同一磁極であるのでラジアル方向の
荷重を受け中心方向に位置決めされる。浮遊台が回動し
ようとすると対向している１対のラジアル荷重受け兼回
転防止兼浮上マグネットの中心よりの距離が不等になり
安定した元の等距離に戻そうとする力が働き回動を防止
する。
磁気浮上型防振装置を発明した。上記装置は、浮遊台上
に防振を必要とする光学機械器具、精密機械器具等を載
置する。ラジアル荷重受け兼回転防止兼浮上マグネット
１０５，１０５、１０６，１０６、１０７，１０７の調
整つまみ１１７，１１８，１１９を回動して浮力を調整
する。浮遊台の浮上マグネット１０８，１０９，１１０
は対向磁極の反撥力により軸方向に浮上する。浮遊台の
最下面の回転防止兼ラジアル荷重受け兼浮上マグネット
は対向する１対のラジアル荷重受け兼回転防止兼浮上マ
グネット１０５，１０５、１０６，１０６、１０７，１
０７と対向上下面が同一磁極であるのでラジアル方向の
荷重を受け中心方向に位置決めされる。浮遊台が回動し
ようとすると対向している１対のラジアル荷重受け兼回
転防止兼浮上マグネットの中心よりの距離が不等になり
安定した元の等距離に戻そうとする力が働き回動を防止
する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記装置は、磁石の反
撥力により上下動する防振台の浮遊台に付属する軸自体
が中心対称に配設された磁石の反撥力でＸ，Ｙ方向に動
くようになっているので、Ｘ，Ｙ，Ｚ各方向の反撥力の
バランスが安定しにくゝ、一度バランスが崩れるとＸＹ
平面上の、ある一つの軸を中心として回転力が発生し浮
遊台がひっくり返るという問題点があった。
撥力により上下動する防振台の浮遊台に付属する軸自体
が中心対称に配設された磁石の反撥力でＸ，Ｙ方向に動
くようになっているので、Ｘ，Ｙ，Ｚ各方向の反撥力の
バランスが安定しにくゝ、一度バランスが崩れるとＸＹ
平面上の、ある一つの軸を中心として回転力が発生し浮
遊台がひっくり返るという問題点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決することを目的とし、反撥力のバランスを得る為にＺ
軸とＸＹ平面とを分割し、それぞれ回転力の発生を押さ
えるように基台のＹ方向にボールスライドユニットを固
定し、中心孔外周に基台上面と平行方向に磁力を有する
３個以上の磁石を中心対称に固定し、該基台上方にＹ軸
スライド板を配設して前記Ｙ軸スライドユニットのスラ
イド板に固定し、該Ｙ軸スライド板にＸ軸スライドユニ
ットを固定し、該Ｙ軸スライド板の上方にＸ軸スライド
板を配設し、該Ｘ軸スライド板の下面中央に前記基台の
３個以上の磁石の対向内面に対向した外面を有する角型
磁石を配設し対向磁石面を同極となし、Ｘ軸スライド板
上面にはＺ軸浮上磁石を配設すると共に複数のＺ軸軸受
を固定し、該Ｘ軸スライド板上方にＺ軸浮遊台を配設
し、その下面に前記Ｘ軸スライド板上面のＺ軸浮上磁石
に対向してＺ軸浮上磁石を固定すると共に、前記Ｚ軸軸
受に嵌合するＺ軸を突設したことを特徴とする。
決することを目的とし、反撥力のバランスを得る為にＺ
軸とＸＹ平面とを分割し、それぞれ回転力の発生を押さ
えるように基台のＹ方向にボールスライドユニットを固
定し、中心孔外周に基台上面と平行方向に磁力を有する
３個以上の磁石を中心対称に固定し、該基台上方にＹ軸
スライド板を配設して前記Ｙ軸スライドユニットのスラ
イド板に固定し、該Ｙ軸スライド板にＸ軸スライドユニ
ットを固定し、該Ｙ軸スライド板の上方にＸ軸スライド
板を配設し、該Ｘ軸スライド板の下面中央に前記基台の
３個以上の磁石の対向内面に対向した外面を有する角型
磁石を配設し対向磁石面を同極となし、Ｘ軸スライド板
上面にはＺ軸浮上磁石を配設すると共に複数のＺ軸軸受
を固定し、該Ｘ軸スライド板上方にＺ軸浮遊台を配設
し、その下面に前記Ｘ軸スライド板上面のＺ軸浮上磁石
に対向してＺ軸浮上磁石を固定すると共に、前記Ｚ軸軸
受に嵌合するＺ軸を突設したことを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１乃至図
４に示した実施例に基づいて詳細に説明する。１は基台
で、Ｙ方向両側にＹ軸ボールユニット２を配設してい
る。３はそのスライダーである。４は後述するＸＹ軸浮
遊台下面中央に突設した軸が遊合する孔で、その外周に
中心対称にハ字型に２対の磁石５，６を固定してある。
７はその上方に配設したＹ軸スライド板で中央部を切欠
した枠状になっており、Ｘ方向両側にＸ軸ボールスライ
ドユニット８を固定している。９はそのスライダーであ
る。Ｙ軸スライド板７のＸ方向両側部をネジ１０により
基台１のＹ軸ボールユニット２のスライダー３に固定す
る。Ｘ軸スライド板１１下面中央に前記基台１の２対の
磁石５，６の対向内面に対向した外面を有する４角型磁
石１２を固定してある。該４角型磁石１２下面中央には
軸１３を突設し基台１の孔４に遊嵌している。Ｘ軸スラ
イド板１１のＸ方向両側をネジ１６ａによりＹ軸スライ
ド板７のＸ軸ボールスライドユニット８のスライダー９
に固定してある。Ｘ軸スライド板１１の上面中央にはＺ
軸浮上磁石１４を固定し、２隅にスライド軸受１５をネ
ジ１６で固定突設してある。１７はＺ軸浮遊台で、下面
中央に前記Ｘ軸スライド板１１上面のＺ軸浮上磁石１４
に対向してＺ軸浮上磁石１８を固定し、２隅下方にＸ軸
スライド板１１のスライド軸受１５に嵌合するスライド
軸１９をネジ２０で固定突設してある。
４に示した実施例に基づいて詳細に説明する。１は基台
で、Ｙ方向両側にＹ軸ボールユニット２を配設してい
る。３はそのスライダーである。４は後述するＸＹ軸浮
遊台下面中央に突設した軸が遊合する孔で、その外周に
中心対称にハ字型に２対の磁石５，６を固定してある。
７はその上方に配設したＹ軸スライド板で中央部を切欠
した枠状になっており、Ｘ方向両側にＸ軸ボールスライ
ドユニット８を固定している。９はそのスライダーであ
る。Ｙ軸スライド板７のＸ方向両側部をネジ１０により
基台１のＹ軸ボールユニット２のスライダー３に固定す
る。Ｘ軸スライド板１１下面中央に前記基台１の２対の
磁石５，６の対向内面に対向した外面を有する４角型磁
石１２を固定してある。該４角型磁石１２下面中央には
軸１３を突設し基台１の孔４に遊嵌している。Ｘ軸スラ
イド板１１のＸ方向両側をネジ１６ａによりＹ軸スライ
ド板７のＸ軸ボールスライドユニット８のスライダー９
に固定してある。Ｘ軸スライド板１１の上面中央にはＺ
軸浮上磁石１４を固定し、２隅にスライド軸受１５をネ
ジ１６で固定突設してある。１７はＺ軸浮遊台で、下面
中央に前記Ｘ軸スライド板１１上面のＺ軸浮上磁石１４
に対向してＺ軸浮上磁石１８を固定し、２隅下方にＸ軸
スライド板１１のスライド軸受１５に嵌合するスライド
軸１９をネジ２０で固定突設してある。
【０００６】次に作用について説明する。Ｚ軸浮遊台１
７上に防振を必要とする光学機械器具、精密機械器具を
載置する。Ｚ軸浮遊台１７は下面のＺ軸浮上磁石１８の
下面がＮ極に着磁され、その下の面とＸ軸スライド板１
１上面のＺ軸浮上磁石１４の面とは何れも同極のＮ極に
なっているので、Ｚ軸浮遊台１７はその反撥力によって
スライド軸１９がスライド軸受１５内を上下動しＺ軸浮
遊台１７を上方に浮遊する。このＺ軸浮遊台１７に水平
方向振動が加わると、Ｘ方向の分力によってＸ軸スライ
ド板１１はＸ軸ボールスライドユニット８に沿ってＸ方
向に摺動する。又、Ｙ方向の分力によってＹ軸スライド
板７と一体になって基台１のＹ軸ボールスライドユニッ
ト上をＹ方向に摺動する。従って、Ｚ軸浮遊台１７は水
平方向に自由に動くことになる。水平方向振動が作用し
ていない時は４角型磁石１２の外面と基台１の２対のハ
字型に配設された２対の磁石５，６と同一間隔に保持さ
れ、その位置に安定保持されているが、Ｘ軸スライド板
１１が水平方向に振動するとこの４角型磁石１２と２対
の磁石５，６との間隔が異るが、２対の磁石５，６は中
心対称にハ字型に配設されているので４角型磁石１２は
常に２対のハ字型磁石５，６の谷部に向って押されるの
で瞬時に２対の磁石５，６の中心に安定保持される。４
角型磁石１２の突軸は孔４に当接して２対の磁石５，６
に強く当接するのを防いでいる。
７上に防振を必要とする光学機械器具、精密機械器具を
載置する。Ｚ軸浮遊台１７は下面のＺ軸浮上磁石１８の
下面がＮ極に着磁され、その下の面とＸ軸スライド板１
１上面のＺ軸浮上磁石１４の面とは何れも同極のＮ極に
なっているので、Ｚ軸浮遊台１７はその反撥力によって
スライド軸１９がスライド軸受１５内を上下動しＺ軸浮
遊台１７を上方に浮遊する。このＺ軸浮遊台１７に水平
方向振動が加わると、Ｘ方向の分力によってＸ軸スライ
ド板１１はＸ軸ボールスライドユニット８に沿ってＸ方
向に摺動する。又、Ｙ方向の分力によってＹ軸スライド
板７と一体になって基台１のＹ軸ボールスライドユニッ
ト上をＹ方向に摺動する。従って、Ｚ軸浮遊台１７は水
平方向に自由に動くことになる。水平方向振動が作用し
ていない時は４角型磁石１２の外面と基台１の２対のハ
字型に配設された２対の磁石５，６と同一間隔に保持さ
れ、その位置に安定保持されているが、Ｘ軸スライド板
１１が水平方向に振動するとこの４角型磁石１２と２対
の磁石５，６との間隔が異るが、２対の磁石５，６は中
心対称にハ字型に配設されているので４角型磁石１２は
常に２対のハ字型磁石５，６の谷部に向って押されるの
で瞬時に２対の磁石５，６の中心に安定保持される。４
角型磁石１２の突軸は孔４に当接して２対の磁石５，６
に強く当接するのを防いでいる。
【０００７】従って、防振を必要とする部材を載置した
Ｚ軸浮遊台１７は磁石１４と１８によってＺ軸方向に安
定に浮遊し、２対のハ字型磁石５，６と４角型磁石によ
って水平方向に安定に浮遊し外部振動を遮断する。な
お、中心対称の磁石は３個以上何個でもよく、中心の磁
石を複数個の磁石の中心に向いた各面に対応した外面を
有する角形磁石にしてもよい。作用、効果は前記実施例
と同様である。
Ｚ軸浮遊台１７は磁石１４と１８によってＺ軸方向に安
定に浮遊し、２対のハ字型磁石５，６と４角型磁石によ
って水平方向に安定に浮遊し外部振動を遮断する。な
お、中心対称の磁石は３個以上何個でもよく、中心の磁
石を複数個の磁石の中心に向いた各面に対応した外面を
有する角形磁石にしてもよい。作用、効果は前記実施例
と同様である。
【０００８】
【発明の効果】本発明によると、基台のＹ方向にボール
スライドユニットを固定し、中心孔外周に基台上面と平
行方向に磁力を有する３個以上の磁石を中心対称に固定
し、該基台上方にＹ軸スライド板を配設して前記Ｙ軸ス
ライドユニットのスライド板に固定し、該Ｙ軸スライド
板にＸ軸スライドユニットを固定し、該Ｙ軸スライド板
の上方にＸ軸スライド板を配設し、該Ｘ軸スライド板の
下面中央に前記基台の３個以上の磁石の対向内面に対向
した外面を有する角型磁石を配設し対向磁石面を同極と
なし、Ｘ軸スライド板上面にはＺ軸浮上磁石を配設する
と共に複数のＺ軸軸受を固定し、該Ｘ軸スライド板上方
にＺ軸浮遊台を配設し、その下面に前記Ｘ軸スライド板
上面のＺ軸浮上磁石に対向してＺ軸浮上磁石を固定する
と共に、前記Ｚ軸軸受に嵌合するＺ軸を突設してあるの
で、水平方向外力が作用してもＺ軸浮遊台は直に安定保
持され、安定した防振作用を行うことができる。
スライドユニットを固定し、中心孔外周に基台上面と平
行方向に磁力を有する３個以上の磁石を中心対称に固定
し、該基台上方にＹ軸スライド板を配設して前記Ｙ軸ス
ライドユニットのスライド板に固定し、該Ｙ軸スライド
板にＸ軸スライドユニットを固定し、該Ｙ軸スライド板
の上方にＸ軸スライド板を配設し、該Ｘ軸スライド板の
下面中央に前記基台の３個以上の磁石の対向内面に対向
した外面を有する角型磁石を配設し対向磁石面を同極と
なし、Ｘ軸スライド板上面にはＺ軸浮上磁石を配設する
と共に複数のＺ軸軸受を固定し、該Ｘ軸スライド板上方
にＺ軸浮遊台を配設し、その下面に前記Ｘ軸スライド板
上面のＺ軸浮上磁石に対向してＺ軸浮上磁石を固定する
と共に、前記Ｚ軸軸受に嵌合するＺ軸を突設してあるの
で、水平方向外力が作用してもＺ軸浮遊台は直に安定保
持され、安定した防振作用を行うことができる。
【図１】本発明の一実施例分解斜視図である。
【図２】図１の組立平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ正断面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ側断面図である。
【図５】従来装置の平面図である。
【図６】図４の右半分切断正面図である。
１ 基台 ２ Ｙ軸ボールユニット ３ スライダー ５，６ ハ字型２対の磁石 ７ Ｙ軸スライド板 ８ Ｘ軸ボールスライドユニット ９ スライダー １１ Ｘ軸スライド板 １２ ４角型磁石 １４ Ｚ軸浮上磁石 １５ スライド軸受 １７ Ｚ軸浮遊台 １８ Ｚ軸浮上磁石 １９ スライド軸
Claims (1)
- 【請求項１】 基台のＹ方向にボールスライドユニット
を固定し、中心孔外周に基台上面と平行方向に磁力を有
する３個以上の磁石を中心対称に固定し、該基台上方に
Ｙ軸スライド板を配設して前記Ｙ軸スライドユニットの
スライド板に固定し、該Ｙ軸スライド板にＸ軸スライド
ユニットを固定し、該Ｙ軸スライド板の上方にＸ軸スラ
イド板を配設し、該Ｘ軸スライド板の下面中央に前記基
台の３個以上の磁石の対向内面に対向した外面を有する
角型磁石を配設し対向磁石面を同極となし、Ｘ軸スライ
ド板上面にはＺ軸浮上磁石を配設すると共に複数のＺ軸
軸受を固定し、該Ｘ軸スライド板上方にＺ軸浮遊台を配
設し、その下面に前記Ｘ軸スライド板上面のＺ軸浮上磁
石に対向してＺ軸浮上磁石を固定すると共に、前記Ｚ軸
軸受に嵌合するＺ軸を突設した磁気浮上型防振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275597A JPH10281220A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 磁気浮上型防振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10275597A JPH10281220A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 磁気浮上型防振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10281220A true JPH10281220A (ja) | 1998-10-23 |
Family
ID=14336031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10275597A Pending JPH10281220A (ja) | 1997-04-04 | 1997-04-04 | 磁気浮上型防振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10281220A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102710180A (zh) * | 2012-06-11 | 2012-10-03 | 哈尔滨工业大学 | 低功耗主动式磁悬浮隔振平台 |
| CN102710179A (zh) * | 2012-06-11 | 2012-10-03 | 哈尔滨工业大学 | 主动控制型磁悬浮隔振平台 |
| CN106931065A (zh) * | 2016-09-08 | 2017-07-07 | 中国地震局工程力学研究所 | 包含磁铁装置的三向隔震台座 |
-
1997
- 1997-04-04 JP JP10275597A patent/JPH10281220A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102710180A (zh) * | 2012-06-11 | 2012-10-03 | 哈尔滨工业大学 | 低功耗主动式磁悬浮隔振平台 |
| CN102710179A (zh) * | 2012-06-11 | 2012-10-03 | 哈尔滨工业大学 | 主动控制型磁悬浮隔振平台 |
| CN106931065A (zh) * | 2016-09-08 | 2017-07-07 | 中国地震局工程力学研究所 | 包含磁铁装置的三向隔震台座 |
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