JP2002090282A - 無限軌道並進回転ステージ - Google Patents
無限軌道並進回転ステージInfo
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- JP2002090282A JP2002090282A JP2000276434A JP2000276434A JP2002090282A JP 2002090282 A JP2002090282 A JP 2002090282A JP 2000276434 A JP2000276434 A JP 2000276434A JP 2000276434 A JP2000276434 A JP 2000276434A JP 2002090282 A JP2002090282 A JP 2002090282A
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- spheres
- sample
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 慣性力の代わりに摩擦力を用いた、位置決め
精度の高い無限軌道並進回転ステージを提供する。 【解決手段】 無限軌道並進回転ステージにおいて、２
本の直交する積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ
２、ｘ３，ｙ３に保持される３個の鋼球２，３，４と、
ステージ７の中心部に設置される磁石５と、前記３個の
鋼球２，３，４によって支持される試料台１とを備え、
前記鋼球２，３，４を所定のタイミングと方向に繰り返
し振動させることにより、摩擦力のみにて前記試料台１
を駆動する。
精度の高い無限軌道並進回転ステージを提供する。 【解決手段】 無限軌道並進回転ステージにおいて、２
本の直交する積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ
２、ｘ３，ｙ３に保持される３個の鋼球２，３，４と、
ステージ７の中心部に設置される磁石５と、前記３個の
鋼球２，３，４によって支持される試料台１とを備え、
前記鋼球２，３，４を所定のタイミングと方向に繰り返
し振動させることにより、摩擦力のみにて前記試料台１
を駆動する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無限軌道並進回転
ステージに係り、特に、走査型プローブ顕微鏡用摩擦力
駆動Ｘ−Ｙ−θ軸ステージに関するものである。
ステージに係り、特に、走査型プローブ顕微鏡用摩擦力
駆動Ｘ−Ｙ−θ軸ステージに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の先行技術として
は、以下に示すようなものがあった。
は、以下に示すようなものがあった。
【０００３】（１）Ｌｏｕｓｅのピエゾ素子を用いたス
テージ〔Ｇ．Ｂｉｎｎｉｎｇ，ｅｔａｌ．，Ｓｕｒｆａ
ｃｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ １２６（１９８３）２３６〕 （２）インチウオームモータ〔Ｂｕｒｌｅｉｇｈ Ｉｎ
ｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃ．〕 （３）慣性力駆動タイプのステージ〔Ｄ．Ｗ．Ｐｏｈ
ｌ，Ｒｅｖ．Ｓｃｉ．Ｉｎｓｔｒｕｍ．５８（１９８
７）５４〕 （４）摩擦力駆動タイプのステージ〔Ｒ．Ｃｕｒｔｉ
ｓ，ｅｔ ａｌ．，Ｒｅｖ．Ｓｃｉ．Ｉｎｓｔｒｕｍ．
６４（１９９３）２６８７〕。
テージ〔Ｇ．Ｂｉｎｎｉｎｇ，ｅｔａｌ．，Ｓｕｒｆａ
ｃｅ Ｓｃｉｅｎｃｅ １２６（１９８３）２３６〕 （２）インチウオームモータ〔Ｂｕｒｌｅｉｇｈ Ｉｎ
ｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，Ｉｎｃ．〕 （３）慣性力駆動タイプのステージ〔Ｄ．Ｗ．Ｐｏｈ
ｌ，Ｒｅｖ．Ｓｃｉ．Ｉｎｓｔｒｕｍ．５８（１９８
７）５４〕 （４）摩擦力駆動タイプのステージ〔Ｒ．Ｃｕｒｔｉ
ｓ，ｅｔ ａｌ．，Ｒｅｖ．Ｓｃｉ．Ｉｎｓｔｒｕｍ．
６４（１９９３）２６８７〕。
【０００４】上記したピエゾ素子を用いたステージは、
各種のものがあり、超高真空あるいは低温用走査型プロ
ーブ顕微鏡の試料ステージおよび探針のアプローチ機構
として広く用いられてきた。
各種のものがあり、超高真空あるいは低温用走査型プロ
ーブ顕微鏡の試料ステージおよび探針のアプローチ機構
として広く用いられてきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た先行技術（１）では、動作の信頼性に難があった。
た先行技術（１）では、動作の信頼性に難があった。
【０００６】また、上記した先行技術（２）では、動作
がリニアガイドによって一方向に限定されるとともに、
静止状態においてもホールド電圧が必要であり、それが
振動ノイズを発生するといった問題があった。
がリニアガイドによって一方向に限定されるとともに、
静止状態においてもホールド電圧が必要であり、それが
振動ノイズを発生するといった問題があった。
【０００７】上記した先行技術（３）はコンパクトで、
かつ大きな移動量を得ることができる微動機構であり、
超高真空あるいは低温用走査型プローブ顕微鏡の試料ス
テージおよび探針のアプローチ機構として広く用いられ
てきたが、その動作原理からして、動作がステージ上の
搭載物の重量に依存し、精密な位置決めおよび再現性の
良い操作は困難であった。
かつ大きな移動量を得ることができる微動機構であり、
超高真空あるいは低温用走査型プローブ顕微鏡の試料ス
テージおよび探針のアプローチ機構として広く用いられ
てきたが、その動作原理からして、動作がステージ上の
搭載物の重量に依存し、精密な位置決めおよび再現性の
良い操作は困難であった。
【０００８】更に、上記した先行技術（４）では、駆動
方向が規制され、一方向にしか駆動できないといった問
題があった。
方向が規制され、一方向にしか駆動できないといった問
題があった。
【０００９】本発明は、上記問題点を解決するために、
慣性力の代わりに摩擦力を用いた、位置決め精度の高い
無限軌道並進回転ステージを提供することを目的とす
る。
慣性力の代わりに摩擦力を用いた、位置決め精度の高い
無限軌道並進回転ステージを提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕無限軌道並進回転ステージにおいて、略正三角形
になるように配置され、２本の直交する伸縮型ピエゾ素
子に保持される硬度が高い３個の球体と、この３個の球
体によって支持される試料台とを備え、前記３個の球体
を所定のタイミングと方向に繰り返し振動させることに
より、摩擦力のみにて前記試料台を駆動することを特徴
とする。
成するために、 〔１〕無限軌道並進回転ステージにおいて、略正三角形
になるように配置され、２本の直交する伸縮型ピエゾ素
子に保持される硬度が高い３個の球体と、この３個の球
体によって支持される試料台とを備え、前記３個の球体
を所定のタイミングと方向に繰り返し振動させることに
より、摩擦力のみにて前記試料台を駆動することを特徴
とする。
【００１１】〔２〕上記〔１〕記載の無限軌道並進回転
ステージにおいて、前記ステージの中心部に磁石を配置
し、前記試料台に接触する３個の球体の３点に均等な垂
直抗力が働くようにこの試料台を吸引することを特徴と
する。
ステージにおいて、前記ステージの中心部に磁石を配置
し、前記試料台に接触する３個の球体の３点に均等な垂
直抗力が働くようにこの試料台を吸引することを特徴と
する。
【００１２】〔３〕上記〔１〕又は〔２〕記載の無限軌
道並進回転ステージにおいて、前記３個の球体は鋼球で
あることを特徴とする。
道並進回転ステージにおいて、前記３個の球体は鋼球で
あることを特徴とする。
【００１３】〔４〕上記〔１〕又は〔２〕記載の無限軌
道並進回転ステージにおいて、前記３個の球体の少なく
とも２個以上の振動により、前記試料台を駆動すること
を特徴とする。
道並進回転ステージにおいて、前記３個の球体の少なく
とも２個以上の振動により、前記試料台を駆動すること
を特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【００１５】図１は本発明の実施例を示す無限軌道並進
回転ステージの斜視図、図２はその平面図である。
回転ステージの斜視図、図２はその平面図である。
【００１６】これらの図において、１は平滑な試料台
（光学ウインドウ用サファイヤ製）、２，３，４はそれ
ぞれ２本の直交する積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ１、ｘ
２，ｙ２、ｘ３，ｙ３〔（株）トーキン製〕に固定され
た３個の球体としての鋼球、５はステージ７の中心部に
設置された微小な磁石、６は積層型ピエゾ素子のベース
である。
（光学ウインドウ用サファイヤ製）、２，３，４はそれ
ぞれ２本の直交する積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ１、ｘ
２，ｙ２、ｘ３，ｙ３〔（株）トーキン製〕に固定され
た３個の球体としての鋼球、５はステージ７の中心部に
設置された微小な磁石、６は積層型ピエゾ素子のベース
である。
【００１７】そこで、ベース６上にそれぞれ２本の直交
する積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ２、ｘ３，
ｙ３が配置され、それらの積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ
１、ｘ２，ｙ２、ｘ３，ｙ３に固定された３個の鋼球
２，３，４が略正三角形に配置されており、試料台１は
それらの３個の鋼球２，３，４で支持されており、ステ
ージ７の中心部に設置された磁石５によって試料台１の
３点に均等な垂直抗力が働くようにしている。
する積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ２、ｘ３，
ｙ３が配置され、それらの積層型ピエゾ素子ｘ１，ｙ
１、ｘ２，ｙ２、ｘ３，ｙ３に固定された３個の鋼球
２，３，４が略正三角形に配置されており、試料台１は
それらの３個の鋼球２，３，４で支持されており、ステ
ージ７の中心部に設置された磁石５によって試料台１の
３点に均等な垂直抗力が働くようにしている。
【００１８】試料台１と鋼球２，３，４間に働く動摩擦
力は静止摩擦力を越えないので、１つの鋼球が移動して
も、他の２つが静止していれば、試料台１は動かない。
実際には、１つの鋼球をある角度範囲で移動させても試
料台１が動かない範囲が存在する。
力は静止摩擦力を越えないので、１つの鋼球が移動して
も、他の２つが静止していれば、試料台１は動かない。
実際には、１つの鋼球をある角度範囲で移動させても試
料台１が動かない範囲が存在する。
【００１９】なお、上記実施例においては、積層型ピエ
ゾ素子を示したが、積層型に限定されるものではなく、
伸縮型ピエゾ素子で差し支えない。
ゾ素子を示したが、積層型に限定されるものではなく、
伸縮型ピエゾ素子で差し支えない。
【００２０】この点について、図３を用いて説明する。
【００２１】図３において、色がついた領域が安定領域
１１であり、安定領域１１を外れると不安定になるの
で、ここでは説明しないがベクトル制御で避けることに
する。つまり、試料台１が安定を保つための条件は、Σ
Ｆ＝０，ΣＭ＝０であり、つまり、 ｜Ｆ2 ｜2 ＝｜Ｆ1 ｜2 ×（４ｓｉｎ2 θ＋ｃｏｓ2 θ
＋√３ｓｉｎ２θ）／４ ｜Ｆ3 ｜2 ＝｜Ｆ1 ｜2 ×（４ｓｉｎ2 θ＋ｃｏｓ2 θ
−√３ｓｉｎ２θ）／４ Ｆ2 ＜Ｆ1 ，Ｆ3 ＜Ｆ1 であれば試料台は安定である。
１１であり、安定領域１１を外れると不安定になるの
で、ここでは説明しないがベクトル制御で避けることに
する。つまり、試料台１が安定を保つための条件は、Σ
Ｆ＝０，ΣＭ＝０であり、つまり、 ｜Ｆ2 ｜2 ＝｜Ｆ1 ｜2 ×（４ｓｉｎ2 θ＋ｃｏｓ2 θ
＋√３ｓｉｎ２θ）／４ ｜Ｆ3 ｜2 ＝｜Ｆ1 ｜2 ×（４ｓｉｎ2 θ＋ｃｏｓ2 θ
−√３ｓｉｎ２θ）／４ Ｆ2 ＜Ｆ1 ，Ｆ3 ＜Ｆ1 であれば試料台は安定である。
【００２２】θが、 −ａｒｃｔａｎ（√３／２）＜θ＜ａｒｃｔａｎ（√３
／２）または、 〔π−ａｒｃｔａｎ（√３／２）〕＜θ＜〔π＋ａｒｃ
ｔａｎ（√３／２）〕 この範囲であれば試料台１は安定である。
／２）または、 〔π−ａｒｃｔａｎ（√３／２）〕＜θ＜〔π＋ａｒｃ
ｔａｎ（√３／２）〕 この範囲であれば試料台１は安定である。
【００２３】上記した安定領域１１内で、鋼球２，３，
４を１つずつ順次同じ方向に移動し、最後に３つの鋼球
２，３，４を同時に逆方向に動かすことで、試料台１を
正確に移動させることが可能である。
４を１つずつ順次同じ方向に移動し、最後に３つの鋼球
２，３，４を同時に逆方向に動かすことで、試料台１を
正確に移動させることが可能である。
【００２４】図４はその試料台の１ステップ駆動の説明
図である。
図である。
【００２５】まず、図４（ａ）に示すように、鋼球２，
３，４は正三角形の位置になるように配置し、その上に
試料台１をセットする。
３，４は正三角形の位置になるように配置し、その上に
試料台１をセットする。
【００２６】次に、図４（ｂ）に示すように、鋼球２の
みを駆動して所定距離（ここでは、Ｘ，Ｙ軸方向）変位
させる。ここでは、鋼球３，４から試料台１に働く静止
摩擦力が、鋼球２から働く動摩擦力より大であるため
に、試料台１は移動しない。
みを駆動して所定距離（ここでは、Ｘ，Ｙ軸方向）変位
させる。ここでは、鋼球３，４から試料台１に働く静止
摩擦力が、鋼球２から働く動摩擦力より大であるため
に、試料台１は移動しない。
【００２７】次に、図４（ｃ）に示すように、鋼球３の
みを駆動して所定距離（ここでは、Ｘ，Ｙ軸方向）変位
させる。ここでも、鋼球２，４から試料台１に働く静止
摩擦力が、鋼球３から働く動摩擦力より大であるため
に、試料台１は移動しない。
みを駆動して所定距離（ここでは、Ｘ，Ｙ軸方向）変位
させる。ここでも、鋼球２，４から試料台１に働く静止
摩擦力が、鋼球３から働く動摩擦力より大であるため
に、試料台１は移動しない。
【００２８】次に、図４（ｄ）に示すように、鋼球４の
みを駆動して所定距離（ここでは、Ｘ，Ｙ軸方向）変位
させる。ここでも、鋼球２，３から試料台１に働く静止
摩擦力が、鋼球４から働く動摩擦力より大であるため
に、試料台１は移動しない。
みを駆動して所定距離（ここでは、Ｘ，Ｙ軸方向）変位
させる。ここでも、鋼球２，３から試料台１に働く静止
摩擦力が、鋼球４から働く動摩擦力より大であるため
に、試料台１は移動しない。
【００２９】次に、図４（ｅ）に示すように、鋼球２，
３，４を同時に逆方向に所定距離（ここでは、−Ｘ，−
Ｙ軸方向に所定距離）変位させると、試料台１の動摩擦
力が静止摩擦力を上回るために、試料台１は逆方向（−
Ｘ，−Ｙ軸方向）に所定距離移動する。
３，４を同時に逆方向に所定距離（ここでは、−Ｘ，−
Ｙ軸方向に所定距離）変位させると、試料台１の動摩擦
力が静止摩擦力を上回るために、試料台１は逆方向（−
Ｘ，−Ｙ軸方向）に所定距離移動する。
【００３０】この１ステップ駆動を繰り返すことによ
り、試料台１を任意の距離と方向に移動させることがで
きる。
り、試料台１を任意の距離と方向に移動させることがで
きる。
【００３１】図５は鋼球１個の動きに対する試料台の挙
動を示す図である。
動を示す図である。
【００３２】鋼球２，３，４をある角度に移動した時
に、試料台１の移動量を計測したものである。移動量の
単位はナノメートルで、鋼球の移動量は１．３μｍであ
る。
に、試料台１の移動量を計測したものである。移動量の
単位はナノメートルで、鋼球の移動量は１．３μｍであ
る。
【００３３】この図からも、ある角度範囲においては試
料台１が殆ど移動しないことが分かる。このような角度
制限があるために、鋼球を不安定角度方向に移動するに
は、安定領域で２回の移動を行えば所望の方向へ移動を
行うことができる。
料台１が殆ど移動しないことが分かる。このような角度
制限があるために、鋼球を不安定角度方向に移動するに
は、安定領域で２回の移動を行えば所望の方向へ移動を
行うことができる。
【００３４】回転、並進の違いは、１つ１つの鋼球の移
動の方向によって生ずる。回転の場合には、それぞれの
鋼球を単一の円弧に沿うように移動させる。
動の方向によって生ずる。回転の場合には、それぞれの
鋼球を単一の円弧に沿うように移動させる。
【００３５】図６は本発明の実施例を示す無限軌道並進
回転ステージの移動量の測定結果を示す図であり、この
図において、縦軸は移動量（μｍ）、横軸は移動の回数
を示している。
回転ステージの移動量の測定結果を示す図であり、この
図において、縦軸は移動量（μｍ）、横軸は移動の回数
を示している。
【００３６】この場合、上方向への並進駆動を示してお
り、１サイクル当たりの移動量は約１．３μｍであり、
前進および後進とも再現性良く移動可能であることが示
された。
り、１サイクル当たりの移動量は約１．３μｍであり、
前進および後進とも再現性良く移動可能であることが示
された。
【００３７】なお、上記実施例においては、鋼球を示し
たが、硬度が高い球体であれば、素材は何でもよい。
たが、硬度が高い球体であれば、素材は何でもよい。
【００３８】また、試料台の重心がその正三角形の重心
と一致していれば、各球体にかかる抗力は力とトルクの
釣り合いから自動的に均等になる。試料台が移動すれ
ば、当然ながら重心が移動して抗力も不均等になる。
と一致していれば、各球体にかかる抗力は力とトルクの
釣り合いから自動的に均等になる。試料台が移動すれ
ば、当然ながら重心が移動して抗力も不均等になる。
【００３９】例えば、磁石を正三角形の重心位置に設置
して重心位置で試料台を常に吸引すれば、磁力が試料台
の重量に比べて十分に大きければ、試料台の位置によら
ず、高い精度で常に均等な抗力を維持できる。磁石を用
いなくとも試料台の移動量が三角形の大きさに比べて十
分に小さいように制限されていれば、良い近似で均等な
抗力を維持できる。その意味で、磁力はこの範囲を広げ
る役目をする。
して重心位置で試料台を常に吸引すれば、磁力が試料台
の重量に比べて十分に大きければ、試料台の位置によら
ず、高い精度で常に均等な抗力を維持できる。磁石を用
いなくとも試料台の移動量が三角形の大きさに比べて十
分に小さいように制限されていれば、良い近似で均等な
抗力を維持できる。その意味で、磁力はこの範囲を広げ
る役目をする。
【００４０】上記したことから明らかなように、本発明
の無限軌道並進回転ステージは、３点支持（キネマテッ
クマウント）を採用していることから、平行度の高いス
テージ移動を、リニアガイドなどを用いずに実現でき
る。
の無限軌道並進回転ステージは、３点支持（キネマテッ
クマウント）を採用していることから、平行度の高いス
テージ移動を、リニアガイドなどを用いずに実現でき
る。
【００４１】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００４２】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００４３】（Ａ）慣性力の代わりに摩擦力を用いた、
位置決め精度の高い無限軌道並進回転ステージを提供す
ることができる。
位置決め精度の高い無限軌道並進回転ステージを提供す
ることができる。
【００４４】（Ｂ）３点支持（キネマテックマウント）
を採用していることから、平行度の高いステージ移動
を、リニアガイドなどを用いずに実現できる。
を採用していることから、平行度の高いステージ移動
を、リニアガイドなどを用いずに実現できる。
【００４５】（Ｃ）簡単な機構により、微小移動を可能
にすることができる。
にすることができる。
【００４６】（Ｄ）球体の駆動の態様により、任意の方
向に駆動させることができる。
向に駆動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す無限軌道並進回転ステー
ジの透視斜視図である。
ジの透視斜視図である。
【図２】本発明の実施例を示す無限軌道並進回転ステー
ジの平面図である。
ジの平面図である。
【図３】本発明の実施例を示す無限軌道並進回転ステー
ジの試料台に作用する力と安定領域の説明図である。
ジの試料台に作用する力と安定領域の説明図である。
【図４】本発明の実施例を示す無限軌道並進回転ステー
ジの１ステップ駆動原理を示す図である。
ジの１ステップ駆動原理を示す図である。
【図５】本発明の実施例を示す無限軌道並進回転ステー
ジの球体１個の動きに対する挙動を示す図である。
ジの球体１個の動きに対する挙動を示す図である。
【図６】本発明の実施例を示す無限軌道並進回転ステー
ジの移動量の測定結果を示す図である。
ジの移動量の測定結果を示す図である。
１ 試料台（光学ウインドウ用サファイヤ製） ２，３，４ ３個の鋼球 ｘ１，ｙ１、ｘ２，ｙ２、ｘ３，ｙ３ ２本の直交す
る積層型ピエゾ素子 ５ ステージの中心部に設置された磁石 ６ ベース ７ ステージ １１ 安定領域
る積層型ピエゾ素子 ５ ステージの中心部に設置された磁石 ６ ベース ７ ステージ １１ 安定領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０２Ｎ 2/00 Ｇ０１Ｂ 7/34 Ｚ // Ｇ０１Ｂ 7/34 Ｇ１２Ｂ 1/00 ６０１Ｇ (72)発明者 横山 浩 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院電子技術総合研究所内 (72)発明者 井上 貴仁 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院電子技術総合研究所内 (72)発明者 多辺 由佳 茨城県つくば市梅園１丁目１番４ 工業技 術院電子技術総合研究所内 Ｆターム(参考） 2F063 AA43 EA16 EB23 FA07 ZA03 2F078 CA06 CA08 CB14 CC11 2H052 AA07 AD19 AD21 5H680 BB02 BB13 BB19 BB20 BC10 CC02 DD23 FF24
Claims (4)
- 【請求項１】（ａ）略正三角形になるように配置され、
２本の直交する伸縮型ピエゾ素子に保持される硬度が高
い３個の球体と、（ｂ）該３個の球体によって支持され
る試料台とを備え、（ｃ）前記３個の球体を所定のタイ
ミングと方向に繰り返し振動させることにより、摩擦力
のみにて前記試料台を駆動することを特徴とする無限軌
道並進回転ステージ。 - 【請求項２】 請求項１記載の無限軌道並進回転ステー
ジにおいて、前記ステージの中心部に磁石を配置し、前
記試料台に接触する３個の球体の３点に均等な垂直抗力
が働くように前記試料台を吸引することを特徴とする無
限軌道並進回転ステージ。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の無限軌道並進回転
ステージにおいて、前記３個の球体は鋼球であることを
特徴とする無限軌道並進回転ステージ。 - 【請求項４】 請求項１又は２記載の無限軌道並進回転
ステージにおいて、前記３個の球体の少なくとも２個以
上の振動により、前記試料台を駆動することを特徴とす
る無限軌道並進回転ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000276434A JP3844114B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 無限軌道並進回転ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000276434A JP3844114B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 無限軌道並進回転ステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090282A true JP2002090282A (ja) | 2002-03-27 |
| JP3844114B2 JP3844114B2 (ja) | 2006-11-08 |
Family
ID=18761898
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000276434A Expired - Lifetime JP3844114B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 無限軌道並進回転ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3844114B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6603239B1 (en) * | 1999-07-30 | 2003-08-05 | Forschungszentrum Julich Gmbh | Micromanipulator with piezoelectric movement elements |
| JP2004257844A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 高精度微小移動装置 |
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Also Published As
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|---|---|
| JP3844114B2 (ja) | 2006-11-08 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
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|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040127 |
|
| A521 | Written amendment |
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060703 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090825 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
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