JP2007033934A - ステージユニット - Google Patents

ステージユニット Download PDF

Info

Publication number
JP2007033934A
JP2007033934A JP2005217836A JP2005217836A JP2007033934A JP 2007033934 A JP2007033934 A JP 2007033934A JP 2005217836 A JP2005217836 A JP 2005217836A JP 2005217836 A JP2005217836 A JP 2005217836A JP 2007033934 A JP2007033934 A JP 2007033934A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stage
sample
adapter
sample stage
microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005217836A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5464773B2 (ja
Inventor
Yoshihiro Kami
善裕 上
Shigeru Kobayashi
茂 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Priority to JP2005217836A priority Critical patent/JP5464773B2/ja
Publication of JP2007033934A publication Critical patent/JP2007033934A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5464773B2 publication Critical patent/JP5464773B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

【課題】 搭載する試料の大きさに関わらず、ピエゾ素子の位置調整を行うことなく、試料を精度よくZ方向に微動させる。
【解決手段】 顕微鏡ステージ5に搭載されるアダプタ8と、試料Aを載置する試料台9と、該試料台9とアダプタ8との間に配置され、アダプタ8に対して試料台9を近接または離間させる方向に伸縮させられるピエゾ素子10とを備え、該ピエゾ素子10の伸縮方向の両端が、アダプタ8および試料台9に接着されているステージユニット1を提供する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、顕微鏡ステージに搭載されるステージユニットに関するものである。
従来、顕微鏡のスライドガラスをZ軸方向に迅速かつ的確に微動させて焦点合わせを簡単に行うZ軸微動機構として、ピエゾ素子を使用したものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
このZ軸微動機構は、顕微鏡ステージの表面上に複数のピエゾ素子を配置し、この上面によってスライドガラスの載置面を規定したものである。ピエゾ素子に加える電圧を制御することによって、スライドガラスを直接ピエゾ素子によってZ軸方向に微動させることができる。
実開平6−2325号公報
しかしながら、特許文献1のZ軸微動機構は、顕微鏡ステージに搭載した複数のピエゾ素子の上面をスライドガラスの搭載面とするものであるため、種々の不都合が発生する。
すなわち、まず第1に、顕微鏡ステージの上面にピエゾ素子を載置するだけであるため、顕微鏡ステージの載置面およびピエゾ素子の接触面の面精度がスライドガラスの動作精度に大きな影響を与えることになる。このため、ピエゾ素子を極めて高い精度で製造しなければならないという不都合がある。
第2に、複数のピエゾ素子によって直接スライドガラスを支持する場合、スライドガラスの直下にピエゾ素子が配置される必要がある。このため、搭載するスライドガラスやディッシュの大きさが変わるたびに、これらを安定的に支持するには、ピエゾ素子の位置をその都度、調節する必要があり、観察者に手数をかけることとなるとともに、上述した移動精度の問題も発生する不都合が考えられる。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、搭載する試料の大きさに関わらず、ピエゾ素子の位置調整を行うことなく、試料を精度よくZ方向に微動させることができるステージユニットを提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、顕微鏡ステージに搭載されるアダプタと、試料を載置する試料台と、該試料台とアダプタとの間に配置され、アダプタに対して試料台を近接または離間させる方向に伸縮させられるピエゾ素子とを備え、該ピエゾ素子の伸縮方向の両端が、前記アダプタおよび試料台に接着されているステージユニットを提供する。
本発明によれば、顕微鏡ステージにアダプタを搭載し試料台に試料を載置して、ピエゾ素子に電圧を加えることにより、アダプタに対して試料台が近接または離間させる方向に微動させられる。ピエゾ素子はアダプタおよび試料台に接着されているので、ピエゾ素子の両端の面精度に依存することなく、また、試料台への試料の載置の仕方にかかわらず、電圧によって一意的に定まる位置に、アダプタに対して試料台を精度よく移動させることができる。また、ピエゾ素子に直接試料を載置するのではなく、ピエゾ素子に接着された試料台に載置するので、複数のピエゾ素子どうしの間隔寸法よりも小さい試料の観察も可能となり、試料台への試料の載置の仕方によって、試料が傾斜したりしなかったりする不都合の発生を防止できる。
上記発明においては、前記ピエゾ素子が、接着剤により接着されていることが好ましい。
また、上記発明においては、前記ピエゾ素子が、防水性接着剤によりコーティングされていることが好ましい。
このようにすることで、試料台上に液体内に試料を浸漬させたシャーレ等を搭載する場合において、シャーレから液体がこぼれた場合においても、ピエゾ素子と試料台あるいはアダプタとの接着部を保護し、あるいは、ピエゾ素子自体を保護して、耐久性を向上することができる。
また、使用者に対してピエゾ素子を電気的に絶縁することができる。
また、上記発明においては、前記試料台が略円板状に形成され、前記ピエゾ素子が、試料台の周方向に等間隔をあけて3個以上配置されていることとしてもよい。
このようにすることで、アダプタに対して試料台を安定的に支持することができる。
また、上記発明においては、前記アダプタに、対物レンズを挿入可能な中央孔が設けられ、前記試料台が試料からの光を透過可能に設けられていることとしてもよい。
このように構成することで、アダプタに設けた中央孔に対物レンズを挿入し、試料からの光を試料台を透過させて対物レンズにより集光することで、倒立顕微鏡に適用することができる。シャーレの底面に接着して成長する細胞を観察するのに適している。試料台が光を透過可能とするために、試料台に貫通孔を設けることとしてもよく、また、試料台自体を透明な材質により構成することにしてもよい。
さらに、上記発明においては、前記中央孔が、試料台に向かって漸次細くなるテーパ内面を有することとしてもよい。
上記のように倒立顕微鏡に適用する場合、対物レンズと、該対物レンズを挿入する中央孔との干渉が問題となる場合がある。特に、試料を搭載する試料台を軽量化することが望ましく、ピエゾ素子の間隔を短縮するために、アダプタの中央孔を小さくする必要がある。本発明によれば、中央孔がテーパ内面を有しているので、対物レンズとの干渉が緩和され、アダプタに対する対物レンズの光軸に交差する方向の相対移動範囲を確保することができる。また、このようにすることで、アダプタと対物レンズとの相対移動範囲を確保しつつ、試料台を小型軽量化できるので、ピエゾ素子を小型化し、あるいは、試料台の動作速度を向上することができる。
また、上記発明においては、前記アダプタが、顕微鏡ステージに設けられた貫通孔に挿入される略円筒状に形成されるとともに、顕微鏡ステージの上面に載置される外鍔状のフランジ部と、前記ピエゾ素子を搭載する内鍔状の載置部とを備え、前記試料台上面が前記顕微鏡ステージの上面とほぼ同一位置に配されるように、該試料台がアダプタの内部に収容されていることとしてもよい。
このようにすることで、ステージユニットを搭載しない場合の試料の位置と、ステージユニットを搭載した場合の試料の位置とをほぼ同一位置に設定することができる。
本発明によれば、搭載する試料の大きさに関わらず、ピエゾ素子の位置調整を行うことなく、試料を精度よくZ方向に微動させることができるという効果を奏する。
以下、本発明の一実施形態に係るステージユニット1について、図1〜図4を参照して説明する。
本実施形態に係るステージユニット1は、図1に示される顕微鏡2に用いられる。この顕微鏡2は、例えば、倒立型のレーザ共焦点顕微鏡であって、レーザ光を出射するレーザ光源3aと、レーザ光を走査し顕微鏡に導入するスキャンユニット3と、出射されたレーザ光を照射し、試料Aからの蛍光を集光する対物レンズ4と、試料Aを搭載するXYステージ5とを備えている。前記スキャンユニット3は、前記対物レンズ4により集光された蛍光を検出する機能を備えている。また、前記XYステージ5は、観察したい位置に試料Aを位置合わせする目的で使用され、画像取得に際しては、XYステージ5を固定した状態でスキャンユニット3によりレーザ光を走査することで、試料の蛍光画像を取得していくようになっている。
XYステージ5には、上下方向に貫通する貫通孔7が設けられており、該貫通孔7に、本実施形態に係るステージユニット1が位置決め状態に取り付けられるようになっている。貫通孔7の内面は、上方に向かって先細になるテーパ内面状に形成されている。また、上向きに配置された対物レンズ4の先端にもテーパ面が設けられている。これにより、対物レンズ4を試料に近接させた状態で、XYステージ5を動作させても、XYステージ5と対物レンズ4との干渉が回避され、比較的広い範囲にわたってXYステージ5を作動させることができるようになっている。
本実施形態に係るステージユニット1は、図2に示されるように、XYステージ5の貫通孔7に挿入され、XY方向に位置決め状態に配置されるアダプタ8と、試料Aを載置する試料台9と、これら試料台9とアダプタ8との間に接着される複数のピエゾ素子10とを備えている。各ピエゾ素子10にはピエゾドライバ11が接続され、同一の電圧信号がピエゾドライバ11から供給されるようになっている。
アダプタ8は、中央孔12を有する略円筒状に形成され、その外面に全周にわたって突出し前記XYステージ5の上面に載置されるフランジ部13と、中央孔12内面に全周にわたって突出する内鍔状の載置部14とを備えている。フランジ部13の外面はXYステージ5に設けられた円形の段部15内面に嵌合し、XYステージ5の移動によってもアダプタ8が相対移動しないように位置決めするようになっている。
内鍔状の載置部14は中央孔12の下部に設けられ、その内面に上方に向かって漸次先細になるテーパ内面14aを備え、対物レンズ4の先端との干渉を極力回避できるように構成されている。
載置部14の上面には前記ピエゾ素子10が、周方向に間隔をあけて複数、例えば、図3に示す例では、3カ所に配置されている。さらに、ピエゾ素子10の上端にはリング板状の試料台9が配置されている。試料台9は、中央に板厚方向に貫通する貫通孔17を備え、該貫通孔17の内面も上方に向かって先細になるテーパ内面状に形成されている。
全てのピエゾ素子10は、電圧を加えることにより、上下方向に伸縮するように配置されている。ピエゾ素子10の下端はアダプタ8の載置部14に、上端は試料台9に、例えば、エポキシ系接着剤によりそれぞれ強固に接着されている。また、ピエゾ素子10全体が、例えば、シリコーン系接着剤のような防水性接着剤16により被覆されている。
ピエゾ素子10としては、同一の電圧を加えることにより同一の変位量を達成するものが選択されている。また、ピエゾ素子10は、それらの伸縮方向が相互に平行になるように調節された状態で、両端をアダプタ8および試料台9に接着されている。したがって、各ピエゾ素子10の伸縮方向が揃えられた状態で、アダプタ8および試料台9に接着固定されることにより、アダプタ8に対して、常に平行状態を保ちながら試料台9を上下方向に変位させることができるようになっている。
本実施形態においては、円筒状に形成されたアダプタ8の中央孔12内に、ピエゾ素子10および試料台9が配置されている。試料台9の下面位置は、図2に示されるように、XYステージ5のアダプタ8が載置されている面とほぼ同等の高さ位置に配されるようになっている。これにより、図4に示されるように、同一厚さ寸法の試料台9′が、直接、XYステージ5に載置されたときに、ほぼ同等の試料Aの載置面高さを達成することができるようになっている。
試料Aは、例えば、シャーレ状のディッシュ18内に貯留した培地B内において、ディッシュ18の底面に接着して成長している接着性の細胞である。
このように構成された本実施形態に係るステージユニット1の作用について以下に説明する。
本実施形態に係るステージユニット1を用いて、試料Aの観察を行う場合、まず、顕微鏡2のXYステージ5上にステージユニット1を搭載する。ステージユニット1のアダプタ8がXYステージ5の段部15に嵌合し、XY方向に位置決め状態に維持される。また、アダプタ8を比較的重く構成することで、XYステージ5に対してZ方向にも移動しないように位置決め状態に維持される。
次いで、試料台9上に、試料Aである細胞を収容したディッシュ18を搭載する。そして、XYステージ5を作動させて試料Aの観察したい領域と対物レンズ4とを位置合わせし、その後、レーザ光源3からレーザ光を出射して蛍光観察を行う。
ピエゾ素子10を作動させることなくレーザ光を照射すると、対物レンズ4の焦点位置において発生した蛍光のスキャンユニット3光検出部により選択的に検出される。これにより、対物レンズ4の焦点位置を含む一の水平面で切断した試料Aの断面の蛍光画像を取得することができる。
次いで、ピエゾドライバ11の作動により、ピエゾ素子10に所定の電圧を加えることで、アダプタ8に対して試料台9を上下方向の所定位置にステップ式に移動させることができる。これにより、試料台9に搭載されている試料Aをステップ式に移動させ、対物レンズ4の焦点位置を試料A内の他のZ方向位置に配置することができ、試料Aを異なる水平面で切断した断面の蛍光画像を取得することができる。
また、ピエゾ素子10に異なる電圧を段階的に加えることで、アダプタ8に対して試料台9を上下方向に段階的に移動させ、これによって、異なる複数の水平面で切断した試料Aの断面の蛍光画像を取得することができる。
特に、ピエゾ素子10によって微動させることで試料Aの観察断面を切り替えることができるので、顕微鏡2側で焦点位置の調整を行う場合と比較して、可動質量が小さいため、高速に観察断面を切り替えることができる。したがって、高速に変化する試料Aの状態を逃すことなく観察できるという利点がある。
この場合において、本実施形態に係るステージユニット1によれば、複数のピエゾ素子10に試料Aを直接掛け渡すように配置するのではなく、ピエゾ素子10に接着状態に固定された試料台9上に試料Aを載置するので、試料台9上における試料Aの載置の仕方にかかわらず、常に同一の変位量で、試料Aを傾けることなく水平状態を維持したまま移動させることができる。
また、複数のピエゾ素子10に試料Aを直接掛け渡すように配置するのではなく、ピエゾ素子10に掛け渡された試料台9に試料Aを載置するので、ピエゾ素子10の間隔にかかわらず、種々の大きさの試料Aを試料台9上に載置することができる。
また、ピエゾ素子10が試料台9およびアダプタ8に、例えば、エポキシ系接着剤のような接着剤で強固に固定されているので、ピエゾ素子10の高速動作によっても試料台9がずれることがない。また、ピエゾ素子10全体をシリコーン系接着剤16により被覆しておくことにより、ピエゾ素子10自体を浸水や湿度から保護することができる。また、使用者をピエゾ素子10から電気的に絶縁することができる。
また、アダプタ8の中央孔12を必要最小限に小さくし、試料台9を小型化することで、アダプタ8を比較的重く、試料台9を軽量化することができる。これにより、ピエゾ素子10によって駆動される可動部分を軽量化し、試料台9に搭載した試料Aを高速駆動することができる。したがって、高速に変化する試料の状態を観察することが可能となる。
また、アダプタ8の中央孔12を小さくしても、内面14aをテーパ内面状に形成することで、対物レンズ4との干渉を低減して、対物レンズ4に対するXYステージ5の動作範囲を比較的広く確保することが可能となる。
また、本実施形態に係るステージユニット1によれば、中央孔12内に設けた載置部14を下方に配置し、ピエゾ素子10の設置スペースを比較的低い位置に配置することで、試料台9の位置をXYステージ5の載置面の位置とほぼ同等に配置しているので、ステージユニット1を使用することなく、試料台9を直接XYステージ5に載置して観察する場合においても、試料Aの位置をさほど変化させずに済むという利点がある。この場合、ステージユニット1を使用する場合と使用しない場合とで対物レンズ4の高さ位置調節を行う必要がなく、簡易に切り替えることができる。
なお、本実施形態においては、倒立型のレーザ共焦点顕微鏡2に使用されるステージユニット1について説明したが、これに代えて、正立型の顕微鏡あるいは多光子励起型蛍光顕微鏡、あるいは透過式の顕微鏡に適用することにしてもよい。また、ピエゾ素子10のヒステリシスを考慮すると、片方向駆動により位置精度を向上することが好ましいが、任意の方法で補正できる場合には、両方向駆動としてさらに高速性を向上してもよい。
また、ディッシュ18を試料台9に載置することとしたが、ディッシュ18と試料台9との間に石油系のワックスを塗布することにより、両面テープより着脱容易で、かつ、強力に固定することとしてもよい。
また、試料台9に貫通孔17を設けることで、ディッシュ18の下方からレーザ光を照射し、蛍光を観察することを可能としたが、これに代えて、レーザ光および蛍光を透過可能な透明な材質により試料台9を構成することにしてもよい。
また、ピエゾ素子を、等間隔に3カ所設けることとしたが、これに代えて、2カ所または4カ所以上でもよい。アダプタ8に対して試料台9を安定的に支持するためには、3カ所以上であることが好ましい。
本発明の一実施形態に係るステージユニットを適用する顕微鏡の一例を示す全体構成図である。 本発明の一実施形態に係るステージユニットを示す縦断面図である。 図2のステージユニットの試料台とピエゾ素子の配置例を示す平面図である。 図2のステージユニットを用いることなく試料台を直接XYステージに載置した場合の試料の位置を説明する図である。
符号の説明
A 試料
1 ステージユニット
5 XYステージ(顕微鏡ステージ)
8 アダプタ
9 試料台
10 ピエゾ素子
12 中央孔
13 フランジ部
14 載置部
14a テーパ内面
16 接着剤(防水性接着剤)

Claims (7)

  1. 顕微鏡ステージに搭載されるアダプタと、
    試料を載置する試料台と、
    該試料台とアダプタとの間に配置され、アダプタに対して試料台を近接または離間させる方向に伸縮させられるピエゾ素子とを備え、
    該ピエゾ素子の伸縮方向の両端が、前記アダプタおよび試料台に接着されているステージユニット。
  2. 前記ピエゾ素子が、接着剤により接着されている請求項1に記載のステージユニット。
  3. 前記ピエゾ素子が、防水性接着剤によりコーティングされている請求項2に記載のステージユニット。
  4. 前記試料台が略円板状に形成され、
    前記ピエゾ素子が、試料台の周方向に等間隔をあけて3個以上配置されている請求項1から請求項3のいずれかに記載のステージユニット。
  5. 前記アダプタに、対物レンズを挿入可能な中央孔が設けられ、
    前記試料台が試料からの光を透過可能に設けられている請求項1から請求項4のいずれかに記載のステージユニット。
  6. 前記中央孔が、試料台に向かって漸次細くなるテーパ内面を有する請求項5に記載のステージユニット。
  7. 前記アダプタが、顕微鏡ステージに設けられた貫通孔に挿入される略円筒状に形成されるとともに、顕微鏡ステージの上面に載置される外鍔状のフランジ部と、前記ピエゾ素子を搭載する内鍔状の載置部とを備え、
    前記試料台上面が前記顕微鏡ステージの上面とほぼ同一位置に配されるように、該試料台がアダプタの内部に収容されている請求項1から請求項6のいずれかに記載のステージユニット。
JP2005217836A 2005-07-27 2005-07-27 ステージユニット Expired - Fee Related JP5464773B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005217836A JP5464773B2 (ja) 2005-07-27 2005-07-27 ステージユニット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005217836A JP5464773B2 (ja) 2005-07-27 2005-07-27 ステージユニット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007033934A true JP2007033934A (ja) 2007-02-08
JP5464773B2 JP5464773B2 (ja) 2014-04-09

Family

ID=37793260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005217836A Expired - Fee Related JP5464773B2 (ja) 2005-07-27 2005-07-27 ステージユニット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5464773B2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101576195B1 (ko) 2013-08-21 2015-12-09 가부시키가이샤 미락쿠 고가쿠 현미경용 휴대 단말 어댑터 및 휴대 단말 어댑터를 이용한 현미경 촬상 방법
US20180284415A1 (en) * 2017-03-29 2018-10-04 Hikari Instruments, L.L.C. Microscope Focusing Device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0458102A (ja) * 1990-06-28 1992-02-25 Kosaka Kenkyusho:Kk 光学式顕微鏡付走査型トンネル顕微鏡とその探針の位置合わせ方法
JP2001108595A (ja) * 1999-10-04 2001-04-20 Seiko Instruments Inc 微小領域走査装置
JP2002090282A (ja) * 2000-09-12 2002-03-27 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 無限軌道並進回転ステージ
JP2002277749A (ja) * 2001-03-21 2002-09-25 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡装置
JP2002353118A (ja) * 2001-05-28 2002-12-06 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP2004513801A (ja) * 2000-08-14 2004-05-13 ダブリュー・アール・グレイス・アンド・カンパニー−コネチカット 水和可能なセメント性組成物キャスティングのための粒子でコーティングされた結合系及びその製造法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0458102A (ja) * 1990-06-28 1992-02-25 Kosaka Kenkyusho:Kk 光学式顕微鏡付走査型トンネル顕微鏡とその探針の位置合わせ方法
JP2001108595A (ja) * 1999-10-04 2001-04-20 Seiko Instruments Inc 微小領域走査装置
JP2004513801A (ja) * 2000-08-14 2004-05-13 ダブリュー・アール・グレイス・アンド・カンパニー−コネチカット 水和可能なセメント性組成物キャスティングのための粒子でコーティングされた結合系及びその製造法
JP2002090282A (ja) * 2000-09-12 2002-03-27 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 無限軌道並進回転ステージ
JP2002277749A (ja) * 2001-03-21 2002-09-25 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡装置
JP2002353118A (ja) * 2001-05-28 2002-12-06 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101576195B1 (ko) 2013-08-21 2015-12-09 가부시키가이샤 미락쿠 고가쿠 현미경용 휴대 단말 어댑터 및 휴대 단말 어댑터를 이용한 현미경 촬상 방법
US20180284415A1 (en) * 2017-03-29 2018-10-04 Hikari Instruments, L.L.C. Microscope Focusing Device
US10234670B2 (en) * 2017-03-29 2019-03-19 Hikari Instruments, Llc Microscope focusing device

Also Published As

Publication number Publication date
JP5464773B2 (ja) 2014-04-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7327514B2 (en) Microscope system comprising actuator element for moving the objective lens for focussing
JP4584917B2 (ja) 顕微鏡及び試料観察方法
US6628459B2 (en) Focus stabilizing apparatus
JP2008256927A (ja) 走査型共焦点顕微鏡装置
JP2001091849A (ja) 顕微鏡用液浸対物レンズ
JP5364452B2 (ja) イマージョンレンズ支持装置
JP2007132781A (ja) 液中用カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡
JP5464773B2 (ja) ステージユニット
JP2017146603A (ja) 試料ホルダの調整装置、調整装置付き顕微鏡及び方法
JP2019128371A (ja) 倒立型顕微鏡および標本観察方法
US8343765B2 (en) Gene injection apparatus and gene injection method
WO2006090593A1 (ja) 走査型プローブ顕微鏡用変位検出機構およびこれを用いた走査型プローブ顕微鏡
US7307784B2 (en) High-stability optical microscope
CN107850620B (zh) 用于扫描探针显微镜的样本容器保持器
JPH09318506A (ja) ペトリ皿載置装置
JP2008225218A (ja) 対物レンズユニット
CN110543003A (zh) 微球透镜探针组件及微球透镜显微成像系统
JP2004144839A (ja) 光走査装置
JP4914537B2 (ja) 倒立型顕微鏡に適用される試料支持装置
JP5108627B2 (ja) 観察装置及び観察方法
CN210572985U (zh) 微球透镜探针组件及微球透镜显微成像系统
JP2000069953A (ja) 特定物質の細胞導入装置及びこれを用いた観察装置
US20190353680A1 (en) Sample container mounting member and sample container sealing method
US8181267B2 (en) Scanning-type probe microscope
JP4914580B2 (ja) 走査型プローブ顕微鏡

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080723

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110426

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110624

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120417

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120614

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130122

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130806

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131101

A911 Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20131112

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140114

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140121

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5464773

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees