JP5364452B2 - イマージョンレンズ支持装置 - Google Patents
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Description
DH1>DL1>DH2>DL2
を満たしている。このような条件を満たすことにより、レンズホルダ30において、固浸レンズ20が良好に保持される。
50…固浸レンズ支持装置、51…第1アーム部、51a…固定ネジ、52…第2アーム部、53…連結部、54…直線移動ガイド(リニアガイド)、55…移動テーブル、56…ガイド本体、57…おもり取付部、58…おもり、60…レンズ移動装置(XYZステージ)、80…支持台、81…第1支持台、82…第2支持台。
Claims (9)
- 対物レンズと観察対象の試料との間において、イマージョンレンズを前記対物レンズの光軸に垂直な方向に移動可能に支持する支持装置であって、
前記イマージョンレンズを、そのレンズ下面が下部開口を通して下方に突出した状態で固定せずにフリーな状態で保持するレンズホルダと、
前記レンズホルダの上部開口に対して設けられ、前記イマージョンレンズ側となるカバー下面が光軸に垂直な平面上にあって、前記イマージョンレンズの球面状のレンズ上面と1点接触するレンズカバーとを備え、
前記レンズカバーには、前記対物レンズを介して観察される前記レンズカバーの像を参照して、前記対物レンズに対する前記イマージョンレンズの位置決めを行うことが可能な位置決め部が設けられていることを特徴とするイマージョンレンズ支持装置。 - 前記レンズカバーの前記位置決め部は、前記光軸に垂直な平面に対して、前記レンズカバーの中心点を中心としてn回回転対称(nは2以上の整数)となるパターンで形成されていることを特徴とする請求項1記載のイマージョンレンズ支持装置。
- 前記レンズカバーは、
光を通過させる1または複数の開口部と、
前記レンズカバーの中心点を含むパターンで形成され、前記イマージョンレンズを前記レンズホルダと前記レンズカバーとの間に保持するとともに前記位置決め部として機能するレンズ保持部と
を有することを特徴とする請求項1または2記載のイマージョンレンズ支持装置。 - 前記レンズ保持部は、前記レンズカバーの中心点から放射状かつ等間隔に伸びる複数本の棒状部を有することを特徴とする請求項3記載のイマージョンレンズ支持装置。
- 前記レンズカバーは、
光を通過させる材料からなり、前記イマージョンレンズを前記レンズホルダと前記レンズカバーとの間に保持する板状部材と、
前記板状部材に設けられて前記位置決め部として機能する位置決めパターン部と
を有することを特徴とする請求項1または2記載のイマージョンレンズ支持装置。 - 前記位置決めパターン部は、同心円状のパターンで形成されていることを特徴とする請求項5記載のイマージョンレンズ支持装置。
- 前記レンズホルダから外方に伸び、前記イマージョンレンズを前記対物レンズの光軸に垂直な方向に移動させるための移動装置に連結されるアーム部を備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載のイマージョンレンズ支持装置。
- 前記アーム部は、前記移動装置に対し、前記光軸に沿った方向にスライドすることが可能な直線移動ガイドを介して連結されることを特徴とする請求項7記載のイマージョンレンズ支持装置。
- 前記アーム部は、おもりを取り付けることが可能なおもり取付部を有することを特徴とする請求項7または8記載のイマージョンレンズ支持装置。
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