JPH075119U - 対物レンズ一体可動型スペーシャルフイルタ装置 - Google Patents

対物レンズ一体可動型スペーシャルフイルタ装置

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Publication number
JPH075119U
JPH075119U JP4149793U JP4149793U JPH075119U JP H075119 U JPH075119 U JP H075119U JP 4149793 U JP4149793 U JP 4149793U JP 4149793 U JP4149793 U JP 4149793U JP H075119 U JPH075119 U JP H075119U
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JP
Japan
Prior art keywords
pinhole
spatial filter
objective lens
filter device
lens
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Pending
Application number
JP4149793U
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English (en)
Inventor
洵 石川
英昭 石附
Original Assignee
英昭 石附
有限会社石川光学造形研究所
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Publication date
Application filed by 英昭 石附, 有限会社石川光学造形研究所 filed Critical 英昭 石附
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 レンズ系とピンホール系を一体とし、精密な
三次元移動機構を設けることにより高精度な光軸合わせ
を行う。 【構成】 レンズ用支柱1とピンホール用支柱2を同一
の架台11上に設定し、可動板及び送り6、7による二
次元的移動と、移動台9及び送り8による光軸方向の精
密移動機構を有する。ピンホールホルダ5あるいは、ダ
ミーホルダは交換可能でフランジ4のネジ部に確実に嵌
合する。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、レーザー光線を使用したホログラフイ撮影装置等において、対物レ ンズ系及びピンホール微動部により、空間フイルタリングを可能にするスペーシ ャルフイルタ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のスペーシャルフイルタにおいては、対物レンズ系とピンホール部の光軸 調整の際に、それぞれが独立したユニットになっているため、三次元的な動き方 向の軸調整は、装着面のあおり、ねじれとあわせて非常に面倒であった。このた め調整の自由度が多すぎ、レンズ及びピンホールの交換の際にも光軸合わせの再 調整が難しく、精度をあげるのが困難であった。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
本考案は、対物レンズ系とピンホール部を装着するユニットを、同一の盤上の 架台に設置し、機構的にそれぞれの装着面のあおり、ねじれをなくし、光軸の容 易に三次元的な微調整が可能である装置を提供することを目的としている。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本考案におけるスペーシャルフイルタ装置では、 対物レンズを装着する可動板を取付け固定する支柱、及びピンホール部を装着す る可動板を設けた支柱を、同一の架台上で互いに光軸(Z軸)方向に移動できる ように考えた。これらの支柱は、ひとつの架台に固定された精度的に遊びのない ガイド上を、スムーズに移動するため、支柱に装着された光軸に垂直な可動板の 面の、あおり、ねじれの自由度はなくなる。
【0005】 さらに、光軸を調整する要素は、二次元平面内で高さ方向(Y輸)及び、これ に垂直な横方向(X軸)の移動微調整が不可欠である。このため、レンズ及びピ ンホール部を装着する可動板内で、確実にX、Y軸方向に移動が可能なための規 制ガイドを設け、動きが微調整出来るような工夫を考案した。
【0006】 又、ピンホールは穴径が非常に小さいため光軸調整が難しい。調整の前段階と して穴径の大きめなダミーピンホールによる方法をを考案し、この取り外しが簡 単にできる機構を設けた。
【0007】
【作用】
上記の各支柱の両方、あるいは片方が、送りネジの微少回転によりガイド上を 光軸方向(Z軸方向)にスムーズにスライドする。又、各支柱に設けたガイド板 は、互いに二次元面内で直行する軸方向に、その二端に固定された送りネジの微 少回転により微少移動する。これらの三次元的な移動調整により光軸合わせが厳 密になり、対物レンズとピンホールホルダは決められた位置に固定される。
【0008】
【実施例】
実施例について図面を参照して説明すると、図1が本考案の目的とするスペー シャルフイルタ装置の斜視全体図である。レーザー光線を集光するための顕微鏡 用の対物レンズ17(詳細図2)を装着するレンズ用支柱1と、レンズ表面の傷 、ゴミ等に起因する異常散乱等を除去する目的で、ピンホール板を有するピンホ ールホルダ5(詳細図3)を装着するためのピンホール用支柱2が、一つの架台 11上に配置されている。
【0009】 対物レンズの焦点位置の調節、対物一ピンホール間の位置の調節は、レンズ用 支柱1を移動台9上に固定し、ガイド10に規制され図1のZ軸方向に前後移動 することによりなされる。この移動は、移動台9に直結した送り8のつまみネジ を回転することにより連続的にスムーズに移動し、調整後一定の位置に固定され る。図では、ピンホール用支柱2を架台11に固定し、レンズ用支柱1のみを移 動させているが、当然この両方を同時に移動させる方法であってもよい。
【0010】 レーザー光線の光軸合わせは、ネジによる送り6、送り7により、それぞれ図 1のX、Y軸方向に移動する。図2は、レンズ用支柱1に取り付けた部材による 移動機構を示す例で(a)はその機構の側画図、(b)はその正面図を示す。こ の移動機構は、ピンホール用支柱2に対しても基本的に同じ構成のものであって よい。対物レンズ17は、そのネジ部が可動板12に加工されたフランジのネジ 部と嵌合後、押えリング3により共締め固定される。
【0011】 可動板12は、Y軸方向に対し全く遊びのないよう可動板13の内枠で規制さ れ送り6のネジ回転により、X軸方向に移動する。可動板13は、X軸方向に対 し遊びのないよう規制ガイド14により規制され、送り7のネジ回転によりY軸 方向に移動する。いずれの可動板の動きも、送りネジと反対側に圧縮バネ等を用 い加圧することにより移動位置によらずガタが常に生じないような機構を考案し たものである。
【0012】 図3の(a)は、レンズ用支柱1とほぼ同じ構造を持ったピンホール用支柱2 の側面図を示す。フランジ4は、支柱内の移動板に加工されたもので、ピンホー ルホルダ5を図のZ方向より挿入しネジにより嵌合する。図3の(c)は、本考 案によるピンホールホルダであり、例えば数十ミクロンのピンホールを薄い円盤 の中心に穴開けした型式のピンホール板15を、軽い接着等により固定できるよ うに考案したものである。
【0013】 図3の(b)は、ピンホールホルダの簡易型として用いられるダミーホルダ1 6であり、ピンホール板15に比して調整が簡単であるように比較的大きな、例 えば直径が1−2ミリの貫通穴が開けられている。調整の第一段階でダミーホル ダ16を用い光軸を調整後、次にこれを取り外しその三次元的な位置を保ったま ま、ピンホールホルダ5と交換する方式を考案した。厳密な光軸調整では、送り 6、7を微動することにより最も適切なX、Y軸の位置にピンホール板15の穴 径の中心を設定する。
【0014】
【考案の効果】
本考案は、以上に説明された様に構成されるので、以下に記載されたような効 果を生む。
【0015】 同一の架台上でガイドによりガタがなく移動するため、従来の方式と異なって 対物レンズ及びピンホールホルダの装着面に空間的なあおり、ねじれが生じない 。対物レンズの可動台等が三次元的に微動できるため、レーザー光線に対するレ ンズ中心の位置合わせ、及びピンホール対する焦点位置の合わせが容易に行える 。
【0016】 最初に穴径の大きいダミーホルダを用いることにより、ピンホールの光軸合わ せが容易に行える。又、これらのホルダの交換、及び対物レンズの交換が容易で 、交換に際してもその中心の空間的なずれがなく、光軸合わせの微調整が容易で ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案による主な実施例で、スペーシャルフイ
ルタ全体の斜視図である。
【図2】レンズ用支柱部分の具体図で、側面図、正面図
を示す。
【図3】ピンホール用支柱部分への二種類のピンホール
用ホルダの取付と、その構成を示す。
【符号の説明】
1 レンズ用支柱 2 ピンホール用支柱 3 押えリング 4 フランジ 5 ピンホールホルダ 6、7、8 送り 9 移動台 10 ガイド 11 架台 12、13 可動板 14 規制ガイド 15 ピンホール板 16 ダミーホルダ 17 対物レンズ

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 二次元的な移動をする可動板(12)、
    (13)を含むレンズ用支柱(1)と、同様な機構のピ
    ンホール用支柱(2)とを、同じ架台(11)上に一体
    として設定した機構のスペーシャルフイルタ装置。
  2. 【請求項2】 レンズ用支柱(1)、あるいはピンホー
    ル用支柱(2)が移動台(9)等に固定され、移動台
    (9)がガイド(10)の案内で互いに光軸方向に前後
    移動する機構を有する請求項1記載のスペーシャルフイ
    ルタ装置。
  3. 【請求項3】 微細穴径のスリットを有するピンホール
    ホルダ(5)と、荒い調整に必要なだけの穴径を有する
    ダミーホルダ(16)を、対物レンズ(17)まで取り
    外すことなく装置の外側から容易に脱着し交換する方式
    のスペーシャルフイルタ装置。
JP4149793U 1993-06-21 1993-06-21 対物レンズ一体可動型スペーシャルフイルタ装置 Pending JPH075119U (ja)

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JP4149793U JPH075119U (ja) 1993-06-21 1993-06-21 対物レンズ一体可動型スペーシャルフイルタ装置

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JPH075119U true JPH075119U (ja) 1995-01-24

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002014286A (ja) * 2000-06-28 2002-01-18 Nikon Corp 走査型共焦点顕微鏡及びその遮光板の位置調整方法
US6871963B2 (en) 2000-09-20 2005-03-29 Seiko Epson Corporation Projector

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