JP6529997B2 - 試料ホルダの調整装置、調整装置付き顕微鏡及び方法 - Google Patents
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- G02B7/003—Alignment of optical elements
- G02B7/005—Motorised alignment
Description
2 ベース
3 キャリア
3.1 キャリア面
4.1 第1の連結要素
4.2 第2の連結要素
4.3 第3の連結要素
5.1 第1の駆動部
5.2 第2の駆動部
5.3 第3の駆動部
5.11 第1の駆動スピンドル
5.21 第2の駆動スピンドル
5.31 第3の駆動スピンドル
5.1A 第1の駆動軸
5.2A 第2の駆動軸
5.3A 第3の駆動軸
6 試料ホルダ
7 試料
8 光学的有効要素(カバーガラス)
9 ピエゾスキャナ
10 顕微鏡
10.1 (顕微鏡10の)光軸
11 対物レンズ
12 ボルト
12.1 ボルトの縦軸
13 ボア
14 制御ユニット
15 ボールジョイント
16 ばね要素
17 センサ装置
A1 第1の移動軸
A2 第2の移動軸
A3 第3の移動軸
B 基準軸
P 回動中心
F (キャリア面3.1の)面積重心
M (キャリア3の)重心
X X方向
Y Y方向
Z Z方向
XY X−Y平面
Claims (9)
- 試料ホルダの調整装置であって、
‐ ベースと、
‐ 前記ベース上に配置された複数の駆動部と、
‐ 前記複数の駆動部によって調整可能であり、前記試料ホルダを受け入れるために構成されたキャリアと、
‐ 前記ベースと前記キャリアとを連結するように構成された各前記駆動部に対する連結要素であって、各連結要素は、Z軸周りの少なくとも1つの回転移動を行うとともに前記回転移動を変換してZ軸方向に沿った少なくとも1つの直線移動を行う、連結要素と、
を備えた調整装置において、
‐ 前記連結要素の前記キャリアへの接続部は、前記各連結要素から前記キャリアへ向けられた、Z軸に交差する方向に延在するそれぞれの軸に沿って移動可能なボルトによって形成されていることにより、前記キャリアは、前記それぞれの軸に沿って直線的に移動可能であり、
‐ 前記キャリアは、前記キャリアの前記それぞれの軸についての直線的な移動及び/又は前記各連結要素の前記直線移動によって、デカルト座標系の各軸の方向に調整可能であり、
‐ 前記キャリアは、前記駆動部によって、X軸及びY軸周りに、又は、X軸及びY軸に平行な軸周りに傾動可能であり、
‐ 前記それぞれの軸同士は、前記キャリアの傾動移動が起こる回動中心で仮想的に交差し、前記回動中心は、キャリア面の面積重心である、ことを特徴とする調整装置。 - 前記各連結要素は、
Z軸方向に延在する駆動スピンドルと、
前記駆動スピンドルの延在方向に移動可能に取り付けられ、前記回転移動を前記直線移動に変換するジョイントと、を備え、
前記ボルトは前記ジョイントに取り付けられ、
前記キャリアは前記ボルトの一端に取り付けられている、
請求項1記載の調整装置。 - 前記駆動部は前記キャリア面の頂点に位置し、前記回動中心は前記キャリア面上に位置する、請求項1又は2記載の調整装置。
- 3つの駆動部が存在する、請求項1乃至3いずれか1項記載の調整装置。
- 前記駆動部はそれぞれの駆動軸に沿う移動を、それぞれの前記連結要素へ伝達するように構成されており、
前記駆動軸は、互いに平行でありかつ前記ベースに垂直である、請求項1乃至4いずれか1項記載の調整装置。 - 前記ベース及び前記キャリアが、Z軸と交差する軸周りに傾動可能及び/又はZ軸周りに回転可能に取り付けられている、請求項1乃至5いずれか1項記載の調整装置。
- 請求項1乃至6いずれか1項記載の調整装置を含む顕微鏡。
- 前記回動中心が顕微鏡の光軸上にある、請求項1乃至7いずれか1項記載の調整装置を含む顕微鏡。
- 基準軸又は基準面に対して試料ホルダの配向を調整する方法であって、
請求項7又は8記載の顕微鏡において、
前記試料ホルダの現在の配向を検出するステップであって、前記顕微鏡の光軸が前記試料ホルダを通って方向づけられている、ステップと、
前記試料ホルダの光学的有効要素の現在の配向を検出するステップであって、前記光学的有効要素を通って前記光軸が方向づけられている、ステップと、
検出された前記光学的有効要素の現在の配向を、前記基準軸又は前記基準面の配向及び位置と比較することにより、前記光学的有効要素の現在の配向の、前記基準軸又は前記基準面からの現在の相違を検出するステップと、
検出された現在の相違が許容可能な相違公差よりも大きい場合は、前記基準軸又は前記基準面からの前記光学的有効要素の現在の配向の相違が、許容可能な相違公差よりも小さくなるように制御して前記試料ホルダの配向を変更することにより、前記現在の相違を変更するステップと、を有する方法。
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