JP2017146603A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 試料ホルダの調整装置であって、
   ‐ ベースと、
   ‐ 前記ベース上に配置された駆動部と、
   ‐ 前記駆動部によって調整可能であり、前記試料ホルダを受け入れるために構成されたキャリアと、
   ‐ 前記ベースと前記キャリアとを連結するように構成された各前記駆動部に対する連結要素であって、各連結要素は、少なくとも１つの直線移動及び少なくとも１つの回転移動の両方を行う連結要素と、
   を備えた調整装置において、
   ‐ 前記キャリアは、前記各連結要素から前記キャリアへ向けられたそれぞれの移動軸について直線的に移動可能であり、
   ‐ 前記キャリアは、駆動される前記連結要素によって、デカルト座標系の各軸の方向に調整可能であり、
   ‐ 前記移動軸は、前記キャリアの回動中心で仮想的に交差し、前記回動中心は、キャリア面の面積重心である、ことを特徴とする調整装置。
2. 前記駆動部は前記キャリア面の頂点及び前記キャリア面上の回動中心に位置する、請求項１記載の調整装置。
3. ３つの駆動部が存在する、請求項１記載の調整装置。
4. 前記駆動部はそれぞれの駆動軸に沿う移動を、それぞれの前記連結要素へ伝達するように構成されており、
   前記駆動軸は、互いに平行でありかつ前記ベースに垂直である、請求項１記載の調整装置。
5. 前記連結要素の前記キャリアへの接続部は、前記移動軸に沿って移動可能なボルトによって形成されている、請求項１記載の調整装置。
6. 前記ベース及び前記キャリアが、回動可能及び／又は回転可能に取り付けられている、請求項１記載の調整装置。
7. 請求項１記載の調整装置を含む顕微鏡。
8. 前記回動中心が顕微鏡の光軸上にある、請求項１記載の調整装置を含む顕微鏡。
9. 基準軸又は基準面に対して試料ホルダの配向を調整する方法であって、
   請求項７記載の顕微鏡において、
   前記試料ホルダの現在の配向を検出するステップであって、前記顕微鏡の光軸が前記試料ホルダを通って方向づけられている、ステップと、
   前記試料ホルダの光学的有効要素の現在の配向を検出するステップであって、前記光学的有効要素を通って前記光軸が方向づけられている、ステップと、
   検出された前記光学的有効要素の現在の配向を、前記基準軸又は前記基準面の配向及び位置と比較することにより、前記光学的有効要素の現在の配向の、前記基準軸又は前記基準面からの現在の相違を検出するステップと、
   検出された現在の相違が許容可能な相違公差よりも大きい場合は、前記基準軸又は前記基準面からの前記光学的有効要素の現在の配向の相違が、許容可能な相違公差よりも小さくなるように制御して前記試料ホルダの配向を変更することにより、前記現在の相違を変更するステップと、を有する方法。