JP2012203149A5 - - Google Patents

Description

より具体的には、各梁部材２３１、２３２の横断面の外形は、それぞれ、シリコンの（１００）に沿った１対の辺と、シリコンの（１１１）面に沿った１対の辺とで構成された平行四辺形をなしている。すなわち、梁部材２３１は、上面２３１１および下面２３１２がそれぞれシリコンの（１００）面で構成され、１対の側面２３１３、２３１４がそれぞれシリコンの（１１１）面で構成されている。同様に、梁部材２３２は、上面２３２１および下面２３２２がそれぞれシリコンの（１００）面で構成され、１対の側面２３２３、２３２４がそれぞれシリコンの（１１１）面で構成されている。ここで、側面２３１３、２３１４、２３２３、２３２４は、それぞれ、シリコンの（１１１）面で構成されているので、基体２の上面または下面（すなわちシリコンの（１００）面）に対する傾斜角θが５４．７３°となっている。このような横断面形状をなす各梁部材２３１、２３２は、板面がシリコンの（１００）面で構成されたシリコン基板を異方性エッチングすることにより簡単かつ確実に形成することができる。
このように連結部２３の外表面がシリコンの（１００）面および（１１１）面で構成されていると、後述するようにシリコンの（１１１）面をエッチングの停止層として利用し、簡単かつ高精度に連結部２３を形成することができる。

Claims (11)

1. 所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
   前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
   前記連結部を支持する支持部と、を有し、
   前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて十字状をなすことを特徴とするアクチュエーター。
2. 前記可動部の前記板厚方向からの平面視における外形は、主として、前記回動中心軸に平行な線分と、前記回動中心軸に対して垂直な線分とで構成されている請求項１に記載のアクチュエーター。
3. 前記可動部、前記支持部および前記連結部は、シリコン基板を異方性エッチングすることにより形成されたものである請求項１または２に記載のアクチュエーター。
4. 前記可動部の板面は、シリコンの（１００）面で構成されている請求項３に記載のアクチュエーター。
5. 前記可動部の側面は、主として、シリコンの（１１１）面で構成されている請求項３または４に記載のアクチュエーター。
6. 前記可動部の側面には、前記可動部の板面に直交する断面においてＶ字状をなす溝が形成されている請求項５に記載のアクチュエーター。
7. 前記連結部の表面は、シリコンの（１００）面および（１１１）面で構成されている請求項３ないし６のいずれかに記載のアクチュエーター。
8. 前記可動部は、前記板厚方向からの平面視にて前記可動部の前記回動中心軸に対して対称な形状をなしている請求項１ないし７のいずれかに記載のアクチュエーター。
9. 前記可動部は、前記板厚方向からの平面視にて前記可動部の中心を通りかつ前記可動部の前記回動中心軸に対して垂直な線分に対して対称な形状をなしている請求項１ないし８のいずれかに記載のアクチュエーター。
10. 光反射性を有する光反射部と、
    前記光反射部を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
    前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
    前記連結部を支持する支持部と、を有し、
    前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて十字状をなすことを特徴とする光スキャナー。
11. 光を出射する光源と、
    前記光源からの光を走査する光スキャナーと、を備え、
    前記光スキャナーは、
    光反射性を有する光反射部と、
    前記光反射部を備え、かつ所定の回動中心軸まわりに回動可能な板状の可動部と、
    前記可動部に連結し、かつ前記可動部の回動に伴って捩り変形する連結部と、
    前記連結部を支持する支持部と、を有し、
    前記可動部は、前記可動部の板厚方向からの平面視にて十字状をなすことを特徴とする画像形成装置。