JP2007290304A5 - 脆性シート材分断方法及び脆性シート材分断装置 - Google Patents

脆性シート材分断方法及び脆性シート材分断装置 Download PDF

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Description

本発明の目的は、脆性シート材を実質的に機械的ストレスを加えずに少ない工数で分離線に沿って正確に損傷することなく円滑に分断できる脆性シート材分断方法及び脆性シート材分断装置を提供することである。
本発明の脆性シート材分断方法は、シール材を介して対向するように貼り合わされた実質的に透明な一対の脆性シート材を分断する脆性シート材分断方法であって、波長が紫外線領域以下のレーザ光を前記一対の脆性シート材のうちの前記レーザ光の照射側に配置された脆性シート材の表面に照射する工程と、前記表面にレーザ光が照射されている状態で、前記レーザ光と前記一対の脆性シート材との相対位置を、前記レーザ光が前記シール材上の前記表面を通過することのないように移動させて、所定の分離線に沿ったスリットを前記表面に形成する工程と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の脆性シート材分断装置は、実質的に透明な脆性シート材を予め設定されている分離線に沿って分断する脆性シート材分断装置であって、波長が紫外線領域以下のレーザ光を射出するレーザ発光素子と、前記レーザ発光素子と前記脆性シート材とを前記脆性シート材の表面に平行な平面内において直交するX、Y方向へ互いに相対移動させるX−Y移動機構と、前記レーザ光の照射方向を前記平面内における任意の方向に自在に走査させるレーザ光走査機構とを有することを特徴とするものである。

Claims (5)

  1. シール材を介して対向するように貼り合わされた実質的に透明な一対の脆性シート材を分断する脆性シート材分断方法であって、
    波長が紫外線領域以下のレーザ光を前記一対の脆性シート材のうちの前記レーザ光の照射側に配置された脆性シート材の表面に照射する工程と、
    前記表面にレーザ光が照射されている状態で、前記レーザ光と前記一対の脆性シート材との相対位置を、前記レーザ光が前記シール材上の前記表面を通過することのないように移動させて、所定の分離線に沿ったスリットを前記表面に形成する工程と、
    を有することを特徴とする脆性シート材分断方法。
  2. 前記レーザ光の照射位置と前記一対の脆性シート材とが前記表面に平行な平面内において直交する2方向へ互いに相対移動され、且つ、前記レーザ光の照射方向が前記平面内における任意の方向に自在に走査されることを特徴とする請求項1に記載の脆性シート材分断方法。
  3. 前記一対の脆性シート材は、複数の液晶セルを形成するために接合された一対のマザーガラス基板であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の脆性シート材分断方法
  4. 前記シール材は枠状に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3の何れかに記載の脆性シート材分断方法。
  5. 実質的に透明な脆性シート材を予め設定されている分離線に沿って分断する脆性シート材分断装置であって、
    波長が紫外線領域以下のレーザ光を射出するレーザ発光素子と、
    前記レーザ発光素子と前記脆性シート材とを前記脆性シート材の表面に平行な平面内において直交するX、Y方向へ互いに相対移動させるX−Y移動機構と、
    前記レーザ光の照射方向を前記平面内における任意の方向に自在に走査させるレーザ光走査機構と、を有することを特徴とする脆性シート材分断装置。
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