JP2007290304A5 - 脆性シート材分断方法及び脆性シート材分断装置 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 30
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating Effects 0.000 claims description 2
- 210000002858 crystal cell Anatomy 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
本発明の目的は、脆性シート材を実質的に機械的ストレスを加えずに少ない工数で分離線に沿って正確に損傷することなく円滑に分断できる脆性シート材分断方法及び脆性シート材分断装置を提供することである。
本発明の脆性シート材分断方法は、シール材を介して対向するように貼り合わされた実質的に透明な一対の脆性シート材を分断する脆性シート材分断方法であって、波長が紫外線領域以下のレーザ光を前記一対の脆性シート材のうちの前記レーザ光の照射側に配置された脆性シート材の表面に照射する工程と、前記表面にレーザ光が照射されている状態で、前記レーザ光と前記一対の脆性シート材との相対位置を、前記レーザ光が前記シール材上の前記表面を通過することのないように移動させて、所定の分離線に沿ったスリットを前記表面に形成する工程と、を有することを特徴とするものである。
また、本発明の脆性シート材分断装置は、実質的に透明な脆性シート材を予め設定されている分離線に沿って分断する脆性シート材分断装置であって、波長が紫外線領域以下のレーザ光を射出するレーザ発光素子と、前記レーザ発光素子と前記脆性シート材とを前記脆性シート材の表面に平行な平面内において直交するＸ、Ｙ方向へ互いに相対移動させるＸ−Ｙ移動機構と、前記レーザ光の照射方向を前記平面内における任意の方向に自在に走査させるレーザ光走査機構と、を有することを特徴とするものである。
Claims (5)
- シール材を介して対向するように貼り合わされた実質的に透明な一対の脆性シート材を分断する脆性シート材分断方法であって、
波長が紫外線領域以下のレーザ光を前記一対の脆性シート材のうちの前記レーザ光の照射側に配置された脆性シート材の表面に照射する工程と、
前記表面にレーザ光が照射されている状態で、前記レーザ光と前記一対の脆性シート材との相対位置を、前記レーザ光が前記シール材上の前記表面を通過することのないように移動させて、所定の分離線に沿ったスリットを前記表面に形成する工程と、
を有することを特徴とする脆性シート材分断方法。 - 前記レーザ光の照射位置と前記一対の脆性シート材とが前記表面に平行な平面内において直交する２方向へ互いに相対移動され、且つ、前記レーザ光の照射方向が前記平面内における任意の方向に自在に走査されることを特徴とする請求項１に記載の脆性シート材分断方法。
- 前記一対の脆性シート材は、複数の液晶セルを形成するために接合された一対のマザーガラス基板であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の脆性シート材分断方法。
- 前記シール材は枠状に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の脆性シート材分断方法。
- 実質的に透明な脆性シート材を予め設定されている分離線に沿って分断する脆性シート材分断装置であって、
波長が紫外線領域以下のレーザ光を射出するレーザ発光素子と、
前記レーザ発光素子と前記脆性シート材とを前記脆性シート材の表面に平行な平面内において直交するＸ、Ｙ方向へ互いに相対移動させるＸ−Ｙ移動機構と、
前記レーザ光の照射方向を前記平面内における任意の方向に自在に走査させるレーザ光走査機構と、を有することを特徴とする脆性シート材分断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006123049A JP2007290304A (ja) | 2006-04-27 | 2006-04-27 | 脆性シート材分断方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007290304A JP2007290304A (ja) | 2007-11-08 |
| JP2007290304A5 true JP2007290304A5 (ja) | 2009-03-05 |
Family
ID=38761404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006123049A Pending JP2007290304A (ja) | 2006-04-27 | 2006-04-27 | 脆性シート材分断方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2007290304A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100848854B1 (ko) | 2008-04-21 | 2008-07-30 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 취성기판의 스크라이빙 장치 및 그 방법 |
| US8327666B2 (en) | 2009-02-19 | 2012-12-11 | Corning Incorporated | Method of separating strengthened glass |
| US8341976B2 (en) | 2009-02-19 | 2013-01-01 | Corning Incorporated | Method of separating strengthened glass |
| US8592716B2 (en) * | 2009-07-22 | 2013-11-26 | Corning Incorporated | Methods and apparatus for initiating scoring |
| JP2013503105A (ja) | 2009-08-28 | 2013-01-31 | コーニング インコーポレイテッド | 化学強化ガラス基板からガラス品をレーザ割断するための方法 |
| KR101457445B1 (ko) * | 2013-05-09 | 2014-11-06 | 주식회사 케이엔제이 | 커버글라스 제조방법 및 커버글라스 커팅장치 |
| JP2016102048A (ja) * | 2014-11-13 | 2016-06-02 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | スクライブ方法並びにスクライブ装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100749972B1 (ko) * | 2002-03-12 | 2007-08-16 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 가공 대상물 절단 방법 |
| JP2004238269A (ja) * | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Seiko Epson Corp | 基板の切断方法及び基板の生産方法並びに基板の製造方法 |
| JP4781634B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2011-09-28 | 日東電工株式会社 | レーザー加工品の製造方法及びレーザー加工用保護シート |
| JP4074589B2 (ja) * | 2004-01-22 | 2008-04-09 | Ｔｄｋ株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
| JP4185016B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2008-11-19 | Ｔｄｋ株式会社 | レーザ加工副次物の集塵方法及びその装置、レーザ加工装置 |
| JP2005338281A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Sony Corp | 薄膜デバイスの製造方法およびガラス基板の貼り合わせ方法 |
| JP2006000865A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Mitsubishi Materials Corp | マーキング方法 |
-
2006
- 2006-04-27 JP JP2006123049A patent/JP2007290304A/ja active Pending
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