JP5252872B2 - プレーナ型電磁アクチュエータ - Google Patents
プレーナ型電磁アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5252872B2 JP5252872B2 JP2007254761A JP2007254761A JP5252872B2 JP 5252872 B2 JP5252872 B2 JP 5252872B2 JP 2007254761 A JP2007254761 A JP 2007254761A JP 2007254761 A JP2007254761 A JP 2007254761A JP 5252872 B2 JP5252872 B2 JP 5252872B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable plate
- torsion bar
- magnetic field
- static magnetic
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 80
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
図1〜図3に示すように、静磁界発生手段5が外側トーションバー7の軸線に平行な空隙11の部分を外側駆動コイル3の外側トーションバー7の軸線に平行な部分(辺3b,3e)に対向させ、内側トーションバー8の軸線に平行な空隙11の部分を内側駆動コイル4の内側トーションバー8の軸線に平行な部分(辺4b,4e)に対向させて配設されているので、外側可動板1の縁部に沿った外側駆動コイル3の辺3b,3eに交差する静磁界(外側可動板1の面に平行な静磁界成分)は、内から外に向かう静磁界B1,B2である。また、外側駆動コイル3の辺3a,3c,3d,3fは、静磁界発生手段5の外側に位置する(図1参照)ため、これらの辺に交差する静磁界は略ゼロである。
図4に矢印で示す方向に駆動電流が流れているときには、外側駆動コイル3の辺3bを流れる電流と静磁界B1との相互作用により、外側トーションバー7の軸線に平行な外側可動板1の辺1bに同図の手前側に向かう+Z方向のローレンツ力が発生する。また、外側トーションバー7の軸線に平行な外側可動板1の辺1eには、外側駆動コイル3の辺3eを流れる電流と静磁界B2との相互作用により同図の奥側に向かう−Z方向のローレンツ力が発生する。
図4に矢印で示す方向に駆動電流が流れているときには、内側駆動コイル4の辺4bを流れる電流と静磁界B3との相互作用により、内側トーションバー8の軸線に平行な内側可動板2の辺2bに同図の奥側に向かう−Z方向のローレンツ力が発生する。また、内側トーションバー8の軸線に平行な内側可動板2の辺2eには、内側駆動コイル4の辺4eを流れる電流と静磁界B4との相互作用により同図の手前側に向かう+Z方向のローレンツ力が発生する。
更に内側駆動コイル4の辺4a,4c,4d,4fに交差する静磁界のうち±X方向の磁界の影響を考えると、これらの磁界は電流と平行であるためローレンツ力は発生しない。
図6に示す静磁界発生手段5は、永久磁石10の内側可動板2側の端面に該永久磁石10の横断面よりも大きい形状の磁性材料から成る別のヨーク部材12を取着し、該別のヨーク部材12の縁部とヨーク部材9の側壁9bとの間に空隙11を設けたものである。これにより、永久磁石10の形状を小さくすることができ、静磁界発生手段5の製造コストを低減することができる。
2…内側可動板
3…外側駆動コイル
4…内側駆動コイル
5…静磁界発生手段
6…固定部
7…外側トーションバー
8…内側トーションバー
9…ヨーク部材
9a…底面
9b…側壁
9c…凸部
10…永久磁石
11…空隙
12…別のヨーク部材
13…外側空隙
14…内側空隙
15…可動板
16…トーションバー
17…駆動コイル
B,B1〜B6…静磁界
Claims (6)
- 固定部にトーションバーで回動可能に軸支された可動板と、
前記可動板の縁部に沿って前記トーションバーの軸線に対して対称に設けられ互いに同相の駆動電流が通電される一対の駆動コイルと、
前記可動板の上下面のどちらか一方側に離隔して設けられ、磁性材料から成り底面の周辺部に側壁を立設したヨーク部材と、該ヨーク部材の側壁に対して所定の空隙を設けてヨーク部材の中央部に設けられ、前記可動板側の端面及びその反対側の端面を磁極とする永久磁石とを備え、前記駆動コイルに対して前記可動板の内から外、又は外から内のいずれか一方向に交差する静磁界を発生する静磁界発生手段と、
を備えて構成し、
前記静磁界発生手段の前記空隙が、前記可動板の縁部に沿った駆動コイルの部分に位置するようにしたことを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。 - 固定部に外側トーションバーで回動可能に軸支された枠状の外側可動板と、
前記外側可動板に外側トーションバーの軸線と直交する内側トーションバーで回動可能に軸支された内側可動板と、
前記外側可動板にその縁部に沿って前記外側トーションバーの軸線に対して略対称に設けられ互いに同相の駆動電流が通電される一対の外側駆動コイルと、
前記内側可動板にその縁部に沿って前記内側トーションバーの軸線に対して略対称に設けられ互いに同相の駆動電流が通電される一対の内側駆動コイルと、
前記内側可動板の上下面のどちらか一方側に離隔して設けられ、磁性材料から成り底面の周辺部に側壁を立設し中央部に凸部を形成したヨーク部材と、該ヨーク部材の側壁に対して所定幅の外側空隙を設け、前記凸部に対して所定幅の内側空隙を設けて前記ヨーク部材の側壁と凸部との間に配設され、前記内側可動板側の端面及びその反対側の端面を磁極とする筒状の永久磁石とを備え、前記外側駆動コイルに対して前記外側可動板の内から外、又は外から内のいずれか一方向に交差し、前記内側駆動コイルに対しては前記方向とは反対方向で前記内側可動板の外から内、又は内から外のいずれか一方向に交差する静磁界を発生する静磁界発生手段と、
を備えて構成し、
前記枠状の外側可動板は、前記内側トーションバー及び前記内側可動板の各縁部との間に一定の距離を保って前記各縁部に沿った形状を成していることを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。 - 前記静磁界発生手段は、前記外側空隙が前記外側トーションバーの軸線に平行な前記外側駆動コイルの部分に位置し、前記内側空隙が前記内側トーションバーの軸線に平行な前記内側駆動コイルの部分に位置する構成としたことを特徴とする請求項2に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記静磁界発生手段は、前記外側空隙が前記外側駆動コイルの前記外側可動板の縁部に沿った部分に位置し、前記内側空隙が前記内側駆動コイルの前記内側可動板の縁部に沿った部分に位置する構成としたことを特徴とする請求項2に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石の前記可動板側の端面に該永久磁石の横断面よりも大きい形状の磁性部材からなる別のヨーク部材を取着し、該別のヨーク部材の縁部と前記ヨーク部材の側壁との間に前記空隙を設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
- 前記永久磁石の前記可動板側の縁部を面取り形成したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007254761A JP5252872B2 (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007254761A JP5252872B2 (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009089501A JP2009089501A (ja) | 2009-04-23 |
JP5252872B2 true JP5252872B2 (ja) | 2013-07-31 |
Family
ID=40662159
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007254761A Expired - Fee Related JP5252872B2 (ja) | 2007-09-28 | 2007-09-28 | プレーナ型電磁アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5252872B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010062591A1 (de) * | 2010-12-08 | 2012-06-14 | Robert Bosch Gmbh | Magnetischer Aktor |
JP5842356B2 (ja) | 2011-03-24 | 2016-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
JP2012220641A (ja) * | 2011-04-06 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
US11555892B2 (en) | 2017-03-13 | 2023-01-17 | Pioneer Corporation | Drive device and distance measurement apparatus |
CN107453576B (zh) * | 2017-08-30 | 2019-08-30 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 线性振动电机 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3421151B2 (ja) * | 1994-12-14 | 2003-06-30 | 日本信号株式会社 | 光軸方向可変型光検出装置 |
JP4111619B2 (ja) * | 1999-02-26 | 2008-07-02 | 日本信号株式会社 | プレーナ型光走査装置の実装構造 |
US6388789B1 (en) * | 2000-09-19 | 2002-05-14 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Multi-axis magnetically actuated device |
JP2003066362A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Olympus Optical Co Ltd | 光偏向器 |
JP4544972B2 (ja) * | 2003-12-04 | 2010-09-15 | オリンパス株式会社 | 光偏向器 |
-
2007
- 2007-09-28 JP JP2007254761A patent/JP5252872B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009089501A (ja) | 2009-04-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5252872B2 (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ | |
US10128731B2 (en) | Linear vernier motor | |
JP5015316B2 (ja) | リラクタンスモータ | |
JP2019091048A (ja) | 駆動装置 | |
US6774521B2 (en) | Brushless DC motor | |
JP2015177721A (ja) | モータ | |
WO2017195263A1 (ja) | 永久磁石型モータ | |
JPWO2012008012A1 (ja) | 永久磁石型回転電機 | |
WO2012043525A1 (ja) | 円柱状ボンド磁石 | |
JP2009201264A (ja) | 三相リニアモータ用コイルユニット及び三相リニアモータ | |
JP5499549B2 (ja) | 二重回転子構造磁気支持モータ及び該二重回転子構造磁気支持モータを搭載したターンテーブル | |
JP2009530141A (ja) | 印刷機又は印刷機のための電気機械 | |
JP5806089B2 (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ | |
JP4819746B2 (ja) | リニアモータ | |
JP5953746B2 (ja) | クローポール型モータ | |
JP4376513B2 (ja) | プレーナー型電磁アクチュエータ | |
JP7225504B2 (ja) | 偏平型ボイスコイルモータ | |
JP2005341771A (ja) | 振動型リニアアクチュエータ | |
JP5514513B2 (ja) | リニアモータ | |
WO2020110746A1 (ja) | 駆動装置 | |
JP5696403B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
JP2011128173A (ja) | Memsアクチュエータ | |
JP6721254B2 (ja) | アウターロータ型ブラシレスモータ | |
JP2012191817A (ja) | 電磁アクチュエータ | |
CN110120714B (zh) | 外转子型旋转电机 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100629 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121023 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130416 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130416 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5252872 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160426 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |