JP2005091866A - 顕微鏡ステージ - Google Patents

Abstract

【課題】 高倍観察時にも標本の位置合わせを確実に行なうことができ、小型で価格的にも安価にできる顕微鏡ステージを提供する。
【解決手段】 互いに直交する方向に移動可能な中ステージ１２と上ステージ１４を有する顕微鏡ステージにおいて、上ステージ１４の上面に設けられた凹部１４１内に中ステージ１２と上ステージ１４のそれぞれの移動方向に沿って移動可能に移動部材１６を設け、この移動部材１６の凹部１４１内での移動量を微動ハンドル１７、１８とプランジャ２１、２６により微調整する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ステージ上に置いた標本をその直下の対物レンズにより拡大観察する倒立型顕微鏡などに用いられる顕微鏡ステージに関するものである。

従来、ステージとして、例えば、図７に示すように主に光学測定機の分野で用いられる高精度ステージが知られている。このステージは、ステージの土台となるベース部１０１上に、レール１０２に沿ってＹ軸方向に粗移動するＹ移動部１０３が設けられ、また、Ｙ移動部１０３上に、レール１０４に沿ってＸ軸方向に粗移動するＸ移動部１０５が設けられ、粗動ハンドル１０６によりＹ移動部１０３がＹ軸方向に粗移動され、粗動ハンドル１０７によりＸ移動部１０５がＸ軸方向に粗移動されるようになっている。さらに、Ｘ移動部１０５上に、図示しないレールに沿ってＹ軸方向に微移動するＹ移動部１０８が設けられ、また、Ｙ移動部１０８上に、図示しないレールに沿ってＸ軸方向に微移動するＸ移動部１０９が設けられ、微動ハンドル１１０によりＹ移動部１０８がＹ軸方向に少量ずつ微移動され、微動ハンドル１１１によりＸ移動部１０９がＸ軸方向に少量ずつ微動移動されるようになっている。この場合、粗動ハンドル１０６、１０７および微動ハンドル１１０、１１１は、それぞれリードねじを有しており、これらのハンドル操作により移動部１０３、１０５、１０８、１０９をハンドルの回転軸方向に移動することで、標本１１２を観察に最適な位置まで移動できるようになっている。

一方、通常の顕微鏡分野で使用されている顕微鏡ステージとして、図８に示すようなものも知られている。このステージは、顕微鏡本体に取付けられる台座２０１上にガイド部２０７を介して中ステージ２０２が設けられ、また中ステージ２０２上にガイド部２０８を介して標本２００を載置する中座２０６を有する上ステージ２０３が設けられ、ハンドル２０４の回転により中ステージ２０２をＹ軸方向に移動可能とし、ハンドル２０５の回転により上ステージ２０３をＸ軸方向に移動可能にしている。この場合、ハンドル２０４を回転すると、中ステージ２０２は、ハンドル軸に固定されたピニオン（図示せず）と中ステージ２０２に設けられたラック（図示せず）によりガイド部２０７に沿ってＹ軸方向に移動され、同様にハンドル２０５を回転すると、上ステージ２０３は、ハンドル軸に固定されたピニオン（図示せず）と上ステージ２０３に設けられたラック（図示せず）によりガイド部２０８に沿ってＸ軸方向に移動され、これら中ステージ２０２と上ステージ２０３のＸＹ軸方向の移動により、標本２００を観察に最適な位置まで移動できるようになっている。

ところが、図７に示す構成のものは、租移動のためのＹ移動部１０３とＸ移動部１０５の他に、さらに微移動のためのＹ移動部１０８とＸ移動部１０９が積層方向に配置されるので、ステージ全体の厚みが大きくなってしまう。このことは、光学測定機などの大きな鏡体のものでは、支障なく使用することができるが、通常の顕微鏡のように比較的小さい鏡体のものでは、鏡体に装着される照明ユニットや対物レンズなどがステージと干渉してしまうことがあり、そのままでは使用することができない。また、仮に、鏡体に取付けることができたとしても、ステージが大きく、重量があるため、鏡体が変形してしまうことがあり、顕微鏡本来の光学性能を発揮できないという問題を生じる。さらに、ステージの構成が複雑で、大型化することにより、価格的にも高価となり、さらに、顕微鏡を僅かに移動するのにも人手を必要とするなど、取り扱いが面倒になるという問題もあった。

一方、図８に示す構成のものは、ハンドル操作によるステージ２０２、上ステージ２０３の移動量が比較的大きく、しかもラックのラック（図示せず）のガタがあるため、例えば、高倍対物レンズと撮像素子（ＣＣＤ）の組み合わせなどによる高倍観察などの場合、これらの影響により観察視野内に標本の見たい範囲を一致させるのが難しいという問題がある。また、仮に観察視野内に見たい標本の範囲を合わせることがてきたとしても、ハンドル操作が原因によるステージのたわみなどにより観察像が移動してしまうというような問題もある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、高倍観察時にも標本の位置合わせを確実に行なうことができ、小型で価格的にも安価にできる顕微鏡ステージを提供することを目的とする。

請求項１記載の発明は、互いに直交する方向に移動可能な中ステージと上ステージを有する顕微鏡ステージにおいて、前記上ステージの上面に設けられた凹部と、前記凹部内に前記中ステージと上ステージのそれぞれの移動方向に沿って移動可能に設けられた移動部材と、前記凹部内での前記移動部材の移動量を微調整する移動操作手段とを具備したことを特徴としている。

請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記移動操作手段は、前記移動部材を押圧して微移動させる押圧手段と、該押圧手段の押圧力を前記移動部材を介して受け止める弾性手段とを具備したことを特徴としている。

請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記移動部材は、ばね部材を介して支持され、前記移動操作手段は、電気信号により変形動作する圧電素子を有し、該圧電素子の変形量に応じて前記移動部材を前記ばね部材を介して微移動させることを特徴としている。

本発明によれば、中ステージおよび上ステージにより移動部材を移動させて標本の概略的な位置合わせを行ない、さらに、移動操作手段により移動部材の移動量を微調整できるので、高倍観察の場合に観察像の移動量を少しずつ微調整することができ、標本上の観察したい範囲を観察視野内に確実に位置合わせすることができる。

また、本発明によれば、上ステージ上面に形成された凹部内に微移動調整可能な移動部材が配置されるので、厚さ方向の寸法を大幅に小さくできて小型化を実現でき、さらに、軽量で、価格的にも安価にできる。

さらに、本発明によれば、移動部材は、上ステージの凹部内で微移動するようになるので、高倍観察時において、移動部材がコンデンサや対物レンズなどの他の光学素子と干渉することもなく、移動部材の微移動調整を安定して行なうことができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。

（第１の実施の形態）
図１は、本発明の顕微鏡ステージが適用される倒立型顕微鏡の概略構成を示している。

図において、１は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１の上部には、ステージ２が配置されている。また、このステージ２上には標本３が載置されている。

顕微鏡本体１には、ステージ２上方に向け照明支柱４が設けられている。この照明支柱４は、先端部をほぼ直角に折り曲げられ、この先端部がステージ２面に対して水平方向に配置されている。

照明支柱４の先端部には、透過照明用の光源５が設けられている。この光源５には、ハロゲンランプや水銀ランプなどが用いられる。

また、照明支柱４の先端部には、コンデンサ６が設けられている。このコンデンサ６は、光源５の照明光路上に配置されており、光源５からの照明光を標本３の位置に集光するようになっている。

一方、ステージ２の下方には、対物レンズ７が配置されている。対物レンズ７は、倍率の異なる複数本がレボルバー８に保持されている。レボルバー８は、回転操作可能になっていて、複数本の対物レンズ７を択一的に観察光軸上に位置させるようになっている。この場合、レボルバー８は、顕微鏡本体１に図示しない保持部材を介して保持されるとともに、焦準ハンドル９の操作により観察光軸に沿って上下動され、ステージ２と対物レンズ７との相対距離を変化させ、標本３のピント合わせを可能にしている。

そして、標本３を透過し対物レンズ７より拡大された観察像を、図示しない反射ミラーで斜め上方向（水平に対し４５°の角度）に反射し、この反射された観察像を、図示しないリレー光学系でリレーし、接眼レンズ１０に入射し、観察者により目視観察されるようになっている。

図２は、本発明の適用される顕微鏡ステージとして、上述したステージ２の概略構成を示している。

図において、１１は、顕微鏡本体１に取付けられる台座で、この台座１１には、Ｙ軸方向に沿ってガイド部１９が設けられている。このガイド部１９には、中ステージ１２が設けられている。この中ステージ１２は、ハンドル１３の回転により、ハンドル軸に固定されたピニオン（図示せず）と中ステージ１２側に設けられたラック（図示せず）によりガイド部１９に沿ってＹ軸方向に移動するようになっている。

中ステージ１２には、Ｙ軸方向と直交するＸ軸方向に沿ってガイド部２０が設けられている。このガイド部２０には、上ステージ１４が設けられている。この上ステージ１４は、ハンドル１５の回転により、ハンドル軸に固定されたピニオン（図示せず）と上ステージ１４側に設けられたラック（図示せず）によりガイド部２０に沿ってＸ軸方向に移動するようになっている。

上ステージ１４上面には、矩形状の凹部１４１が形成されている。この場合、凹部１４１は、一方の相対向する端面１４ａ、１４ｂがＸ軸方向に沿って形成され、また、他方の相対向する端面１４ｃ、１４ｄがＹ軸方向に沿って形成されている。

上ステージ１４の凹部１４１内には、矩形状の移動部材１６が配置されている。この場合、移動部材１６は、凹部１４１の底面に摺動可能に載置されている。また、移動部材１６は、一方の相対向する側面１６ａ、１６ｂが凹部１４１の一方の端面１４ａ、１４ｂと所定の間隔をおいて、他方の相対向する側面１６ｃ、１６ｄが凹部１４１の他方の端面１４ｃ、１４ｄと所定の間隔をおいて配置されている。

上ステージ１４には、移動操作手段としての微動ハンドル１７，１８とプランジャ２１、２６が設けられている。このうち押圧手段としての微動ハンドル１７は、Ｘ軸方向に沿って上ステージ１４を貫通して設けられ、先端を凹部１４１内の移動部材１６の側面１６ｄに当接している。この場合、微動ハンドル１７の先端は球状に形成されている。また、微動ハンドル１７は、周面にピッチの細かいねじ部１７ａが形成され、上ステージ１４の微動ハンドル１７が貫通する穴部のねじ部（図示せず）にねじ込まれていて、微動ハンドル１７の回転操作により先端部の凹部１４１側への突出量を微調整して、移動部材１６の側面１６ｄにＸ軸方向の押圧力を作用させるようになっている。

上ステージ１４の凹部１４１の端面１４ｃと移動部材１６の側面１６ｃとの間には、弾性手段としてのプランジャ２１が設けられている。このプランジャ２１は、微動ハンドル１７の中心軸の延長線上に配置されていて、微動ハンドル１７による移動部材１６への押圧力を移動部材１６の側面１６ｃで受け止めるようになっている。

図３はプランジャ２１の概略構成を示すものである。

上ステージ１４の凹部１４１の端面１４ｃには、貫通穴２２が設けられている。この貫通穴２２には、先端部を尖らせた移動ピン２３とコイルバネ２４が順に挿入され、さらにセットビス２５により固定されている。これにより、移動ピン２３は、先端部を凹部１４１の端面１４ｃから突出し、常時、移動部材１６の側面１６ｃにコイルバネ２４の弾性力をもって当接されている。

一方、他の押圧手段としての微動ハンドル１８は、Ｙ軸方向に沿って上ステージ１４を貫通して設けられ、先端を凹部１４１内に位置する移動部材１６の側面１６ｂに当接している。この場合も、微動ハンドル１８の先端は球状に形成されている。また、微動ハンドル１８は、周面にピッチの細かいねじ部（図示せず）が形成され、上ステージ１４の微動ハンドル１８が貫通する穴部のねじ部（図示せず）にねじ込まれていて、微動ハンドル１８の回転操作により先端部の凹部１４１側への突出量を微調整し、移動部材１６の側面１６ｂにＹ軸方向の押圧力を作用させるようになっている。また、上ステージ１４の凹部１４１の端面１４ａと移動部材１６の側面１６ａとの間には、弾性手段としてのプランジャ２６が設けられている。このプランジャ２６は、微動ハンドル１８の中心軸の延長線上に配置されていて、微動ハンドル１８による移動部材１６への押圧力を移動部材１６の側面１６ａ側で受け止めるようになっている。なお、プランジャ２６については、上述したプランジャ２６と全く同様であり、ここでの説明は省略する。

なお、微動ハンドル１７、１８の先端部が当接される移動部材１６の側面１６ｄ、１６ｂは、底面側に向かうほど徐々に突出するようなテーパ面に形成されていて、これらの側面１６ｄ、１６ｂに微動ハンドル１７、１８の球状先端が当接した状態で、移動部材１６を凹部１４１底面側に押し付けるような力を作用させ、微動ハンドル１７、１８の出し入れにより移動部材１６が波打ったり、抜け落ちたりしないようにしている。また、微動ハンドル１７、１８による移動部材１６の移動力量は、ハンドル１３，１５による中ステージ１２、上ステージ１４の移動力量より十分小さく設定されており、移動部材１６の作動により上ステージ１４が誤って動かないようになっている。

移動部材１６は、中央部に円形の開口部１６１が形成されている。この開口部１６１は、対物レンズ７の観察光軸上に位置するものである。そして、この開口部１６１上には、標本３が載置されている。

次に、このように構成した第１の実施の形態の動作を説明する。

まず、移動部材１６の開口部１６１上に標本３を載置し、この状態で、ハンドル１３、１５により標本３の概略的な位置合わせを行なう。この場合、ハンドル１３の回転により、中ステージ１２をガイド部１９に沿ってＹ軸方向に移動させ、また、ハンドル１５の回転により、上ステージ１４をガイド部２０に沿ってＸ軸方向に移動させることで、標本３の概略の位置決めを行なう。

次に、微動調整を行なうには、まず、微動ハンドル１７を回転し、先端部の凹部１４１側への突出量を微調整して、移動部材１６をプランジャ２１の弾性力に抗してＸ軸方向に移動させる。また、微動ハンドル１８を回転し、先端部の凹部１４１側への突出量を微調整して、移動部材１６をプランジャ２６の弾性力に抗してＹ軸方向に移動させる。この場合、これら微動ハンドル１７、１８は、ピッチの細かいねじ部が形成されており、移動部材１６を微小な移動によりＸＹ方向に調整できる。

なお、図２に示す移動部材１６上に載置された標本３より小さい標本を観察したいような場合は、例えば、図２と同一部分には同符号を付した図４に示すように、移動部材１６に代えて、小さい径の開口部２９１を有する移動部材２９を上ステージ１４の凹部１４１内に配置し、このような移動部材２９の開口部２９１に小さな標本３０１を載置して観察を行なうようにする。このようにすれば、標本３０１を落下することなく標本観察を行なうことができる。また、逆に、図２に示す移動部材１６上に載置された標本３より大きな標本を観察したい場合は、図示しないが、移動部材１６に代えて、大きい径の開口部を有する移動部材を上ステージ１４の凹部１４１内に配置し、このような移動部材の開口部に大きな標本を載置して観察を行なう。このようにして、標本の大きさに応じて観察者が移動部材を選択的に変更することもできる。

従って、このようにすれば、ハンドル１３、１５の操作により上ステージ１４とともに移動部材１６をＸＹ軸方向に移動させて標本３の概略的な位置合わせを行ない、さらに、微動ハンドル１７、１８を回転し、それぞれの先端部の凹部１４１側への突出量が微調整して、移動部材１６をプランジャ２１、２６の弾性力に抗してＸＹ軸方向に微移動できるようにしたので、例えば、高倍対物レンズと撮像素子（ＣＣＤ）の組み合わせなどによる高倍観察の場合にも、観察像の移動量を少しずつ微調整することができ、観察視野内に標本３上の観察したい範囲を確実に位置合わせすることができる。

また、このような微移動調整可能な移動部材１６を上ステージ１４の凹部１４１内に設けたことにより、従来の粗移動と微移動のためのＸＹ移動部をそれぞれ積層方向に多層に配置したものと比べ、厚さ方向の寸法を大幅に小さくできて小型化を実現でき、さらに、軽量で、価格的にも安価にできる。

さらに、移動部材１６は、上ステージ１４の凹部１４１底面に沿って移動するようになるので、高倍観察時において、移動部材１６がコンデンサ６や対物レンズ７などと干渉することもなく、移動部材１６の微移動調整を安定して行なうことができる。

さらに、移動部材１６は、標本３の大きさに応じて開口部２９１の大きさの異なるものと簡単に交換できるので、種々の大きさの標本３を観察することができる。

なお、上述した実施の形態では、移動部材１６の周囲を微動ハンドル１７，１８とプランジャ２１，２６により４点で支持した状態で、微動作させるようにしたが、例えば、移動部材１６の周囲を、微動ハンドル１７，１８に相当する２個の押圧部材と、プランジャ２１（２６）に相当する１個の弾性部材により３点支持し、この状態で、２個の押圧部材を微調整することで、微動作させるようにしてもよい。この他には、減速比の大きいラックとピニオンを用いたり、超音波モータを用いることもできる。

（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。

図５は、本発明が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示すもので、図２と同一部分には、同符号を付している。

この場合、上ステージ１４上面の矩形状の凹部１４１には、バネステージ３０が装着されている。

図６は、バネステージ３０の概略構成を示している。

図において、３１はステージ本体で、このステージ本体３１は、矩形状の板部材からなっている。ステージ本体３１の中央部には、四方をスリット３２ａ〜３２ｄで囲まれた矩形状の移動部材３３が設けられている。この場合、各スリット３２ａ〜３２ｄは、それぞれの端部を直角に折り曲げるとともに、これら折り曲げ部を隣接するもの同士で所定間隔をおいて重ねて配置され、これら重ね部分をバネ部３４ａ〜３４ｄとして形成している。これらバネ部３４ａ〜３４ｄは、移動部３３の四隅を弾性支持するもので、移動部３３のＸＹ軸方向の移動を可能にしている。

移動部３３は、中央部に開口部３３ａを有している。また、この移動部３３上には、矩形状の上板３５が配置されている。この上板３５は、開口部３３ａに連通する開口部３５ａを有するもので、移動部３３とともに移動するようになっている。この上板３５は、観察する標本の大きさによって開口部３５ａの大きさの異なるものが選択的に用いられるようになっている。

ステージ本体３１には、移動操作手段としての圧電素子３６，３７が配置されている。圧電素子３６は、ケーブル３８を介して与えられる電気信号の大きさに応じて変形するもので、この変形量により図示しないてこ機構部を介して移動部３３をＸ軸方向に微移動可能にしている。同様に、圧電素子３７は、ケーブル３９を介して与えられる電気信号の大きさに応じて変形するもので、この変形量により図示しないてこ機構部を介して移動部３３をＹ軸方向に微移動可能にしている。

圧電素子３６，３７のそれぞれのケーブル３８，３９は、図５に示すように上ステージ１４上面の案内溝１４２を介して外部に導出され、制御部４０に接続されている。制御部４０は、２個の調整ダイアル４０ａ、４０ｂを有するもので、調整ダイアル４０ａにより、ケーブル３８を介して圧電素子３６に与える電気信号の大きさを制御し、調整ダイアル４０ｂにより、ケーブル３９を介して圧電素子３７に与える電気信号の大きさを制御するようにしている。

なお、圧電素子３６，３７による移動部３３の移動力量はハンドル１３、１５による中ステージ１２、上ステージ１４の移動力量より十分小さく設定されおり、移動部３３の作動により上ステージ１４が誤って動かないようになっている。

次に、このように構成した第２の実施の形態の動作を説明する。

この場合、移動部３３の上板３５の開口部３５ａ上に標本３を載置し、ハンドル１３の回転により、中ステージ１２をガイド部１９に沿ってＹ軸方向に移動させ、また、ハンドル１５の回転により、上ステージ１４をガイド部２０に沿ってＸ軸方向に移動させることで、標本３の概略の位置決めを行なう。

次に、微動調整を行なうには、制御部４０の調整ダイアル４０ａを回転操作する。すると、ケーブル３８を介して圧電素子３６に与えられる電気信号の大きさが制御され、圧電素子３６の変形量が調整されるので、バネ部３４ａ〜３４ｄを介して移動部３３がＸ軸方向に微移動される。同様に、制御部４０の調整ダイアル４０ｂを回転操作すると、ケーブル３９を介して圧電素子３７に与えられる電気信号の大きさが制御され、圧電素子３７の変形量が調整されるので、バネ部３４ａ〜３４ｄを介して移動部３３がＹ軸方向に微移動される。これにより、移動部３３は、調整ダイアル４０ａ、４０ｂの回転量に応じてＸＹ軸方向に微動調整される。

従って、このようにしても、ハンドル１３、１５の操作により上ステージ１４とともにバネステージ３０をＸＹ軸方向に移動させて標本３の概略的な位置合わせを行ない、さらに、制御部４０の調整ダイアル４０ａ、４０ｂを回転操作し、それぞれ対応する圧電素子３６、３７の変形量の変形量を微調整して、移動部３３をバネ部３４ａ〜３４ｄを介してＸＹ軸方向に微移動できるようにしたので、高倍観察の場合にも、観察像の移動量を少しずつ微調整することができ、観察視野内に標本３上の観察したい範囲を確実に位置合わせすることができる。

また、このような微移動調整可能なバネステージ３０を上ステージ１４の凹部１４１内に設けたことにより、従来の粗移動と微移動のためのＸＹ移動部をそれぞれ積層方向に多層に配置したものと比べ、厚さ方向の寸法を大幅に小さくできて小型化を実現でき、さらに、軽量で、価格的にも安価にできる。

さらに、バネステージ３０は、上ステージ１４の凹部１４１底面に沿って移動するようになるので、高倍観察時において、バネステージ３０がコンデンサ６や対物レンズ７などと干渉することもなく、バネステージ３０の微移動調整を安定して行なうことができる。

さらに、移動部３３上に載置される上板３５は、標本３の大きさに応じて開口部３５ａの大きさの異なるものと簡単に交換できるので、種々の大きさの標本３を観察することができる。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。

さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。

本発明の第１の実施の形態が適用される倒立型顕微鏡の概略構成を示す図。 本発明の第１の実施例の顕微鏡ステージの概略構成を示す図。 第１の実施例の顕微鏡ステージに用いられるプランジャの概略構成を示す図。 第１の実施例の顕微鏡ステージの変形例の概略構成を示す図。 本発明の第２の実施例の顕微鏡ステージの概略構成を示す図。 第２の実施例の顕微鏡ステージに用いられるバネステーションの概略構成を示す図。 従来のステージの一例の概略構成を示す図。 従来のステージの他例の概略構成を示す図。

符号の説明

１…顕微鏡本体、２…ステージ、３…標本
４…照明支柱、５…光源、６…コンデンサ
７…対物レンズ、８…レボルバー、９…焦準ハンドル
１０…接眼レンズ、１１…台座、１２…中ステージ
１３…ハンドル、１３．１５…ハンドル、１４…上ステージ
１４ａ．１４ｂ…端面、１４ｃ．１４ｄ…端面
１４１…凹部、１４２…案内溝、１５…ハンドル、１６…移動部材
１６ａ．１６ｂ…側面、１６ｃ．１６ｄ…側面
１７．１８…微動ハンドル、１９…ガイド部
２０…ガイド部、２１．２６…プランジャ
２２…貫通穴、２３…移動ピン、２４…コイルバネ
２５…セットビス、２９…移動部材、２９１…開口部
３０１…標本、３０…バネステージ
３１…ステージ本体、３２ａ〜３２ｄ…スリット
３３…移動部、３３ａ…開口部、３４ａ〜３４ｄ…バネ部
３５…上板、３５ａ…開口部、３６．３７…圧電素子
３８．３９…ケーブル、４０…制御部
４０ａ．４０ｂ…調整ダイアル

Claims (3)

1. 互いに直交する方向に移動可能な中ステージと上ステージを有する顕微鏡ステージにおいて、
   前記上ステージの上面に設けられた凹部と、
   前記凹部内に前記中ステージと上ステージのそれぞれの移動方向に沿って移動可能に設けられた移動部材と、
   前記凹部内での前記移動部材の移動量を微調整する移動操作手段と
   を具備したことを特徴とする顕微鏡ステージ。
2. 前記移動操作手段は、前記移動部材を押圧して微移動させる押圧手段と、該押圧手段の押圧力を前記移動部材を介して受け止める弾性手段とを具備したことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡ステージ。
3. 前記移動部材は、ばね部材を介して支持され、
   前記移動操作手段は、電気信号により変形動作する圧電素子を有し、該圧電素子の変形量に応じて前記移動部材を前記ばね部材を介して微移動させることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡ステージ。

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