KR101241335B1 - 판 스프링 가이드 구조의 보이스 코일 구동기 및 이를 이용한 능동 방진 테이블 및 능동 방진 시스템 - Google Patents

Abstract

구동축 수직 방향 선형 운동은 허용하고 수평 방향 선형 운동을 제한하면서 코일이 요크에 접촉되지 않도록 하여 코일 및/또는 요크의 손상을 방지하며 방진 테이블의 수평 운동 및 회전을 허용할 수 있는 보이스 코일 구동기 및 이를 구비한 능동 방진 테이블 및 능동 방진 시스템이 제공된다.영구 자석은 자계를 형성한다. 코일은 로렌츠 힘을 발생하기 위해, 상기 영구 자석에 의해 형성된 자계에 수직 방향으로 전류가 흐를 수 있도록 상기 영구 자석을 둘러싸도록 설치된다. 요크는 상기 영구 자석 및 상기 코일을 내부에 수납하고 상기 영구 자석의 자속을 제공받아 자화되어 능동 방진 시스템을 구동한다. 복수의 스프링은 상기 코일 및 상기 요크에 수직으로 결합되어 방진 테이블의 회전 시에 상기 코일 및 상기 요크를 탄력적으로 지지하여 상기 코일과 상기 요크 간의 공극을 일정하게 유지하는 상태로 상기 요크에 대한 상기 코일의 회전을 구속하여 상기 요크, 상기 코일, 및 상기 영구 자석이 선형 운동하도록 가이드한다.

보이스 코일 구동기, 능동 방진 테이블

Description

판 스프링 가이드 구조의 보이스 코일 구동기 및 이를 이용한 능동 방진 테이블 및 능동 방진 시스템{Voice coil actuator using leaf spring structure guide and active vibration isolation table and active vibration isolation system with the actuator}

본 발명은 보이스 코일 구동기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 보이스 코일 구동기, 이를 구비한 능동 방진 테이블 및 능동 방진 시스템에 관한 것이다.

방진 테이블은, 미세가공 또는 초정밀 계측 시스템으로 유입되는 외부 진동을 절연하여 가공 및 측정 분해능을 유지하기 위한 보조 장비이다. 전자 현미경(TEM/SEM) 또는 원자 현미경(AFM) 등의 서브 나노급 분해능을 가지는 계측장비는 시편의 형상뿐만 아니라, 미세한 진동까지 측정되기 때문에, 측정 이미지를 고분해능으로 유지하기 위해서는 방진 테이블이 필수적이다.

계측 시스템에 영향을 미치는 진동은 수직 성분뿐만이 아니라, 수평 성분까지 존재하기 때문에 능동형 방진 시스템은 6 자유도의 진동 제어가 필요하고, 적어도 6개의 구동기가 필요하다. 특히, 대변위 진동 제어를 위해 보이스 코일 구동기를 이용하게 되는데, 수직 운동 및 수평 운동을 담당하는 구동기는 동일 평판에 서 로 직교하게 장착된다. 하나의 구동축 방향 선형 운동 혹은 축 중심의 회전운동은 서로 직교한 다른 축의 입장에서는 구동축에 직교하는 방향으로의 운동을 발생시키고, 적절한 기구 없이는, 보이스 코일 구동기의 코일과 요크 사이의 공극의 변화를 야기한다. 공극의 변화는 구동기 사이의 거리와 회전 각도에 비례하고, 만약, 이동변위가 과도하게 커지면 코일은 요크면에 접촉하게 되고, 이로 인해 코일이 손상될 수 있다.

도 1은 요크(110)와 코일(120)이 각각 방진 테이블의 상판(200) 및 하판(300)에 고정된 형태의 종래의 다축 제어용 구동기를 나타낸 개략도이다. 선형 가이드를 사용하면 6축의 운동에 제약이 있어 사용할 수 없다. 선형 가이드를 사용하지 않고 대신에 기존의 멤브레인 또는 링 타입의 스프링을 사용하여 6축의 운동을 확보한다. 도 1은 평형 상태에서 요크(110) 및 코일(120)로 구성된 구동기 모듈이 수직 구동용과 수평 구동용으로 하나씩, 즉, 수직 구동용 구동기 모듈(100) 및 수평 구동용 구동기 모듈(150)이 상호 직교한 방향을 향하고 부착된 형상을 보여준다. 도 2는 도 1의 상태에서 상판(200)이 수평 방향 선형 운동을 하는 경우를 나타낸 개략도이다. 도 3은 도 1의 상태에서 상판(200)이 회전 운동을 하는 경우를 나타낸 개략도이다. 멤브레인 또는 링 타입의 스프링의 스프링 상수가 너무 강하면 방진 테이블의 제어 성능이 떨어지고 너무 약하면 도 2와 같이 수평 선형 운동이 있을 때, 운동 방향과 직교한 구동기 모듈에서 요크(110)와 코일(120)의 간격이 변화하고, 도 3과 같이 회전 운동이 있을 때 두 개의 구동기 모듈, 즉 수직 구동용 구동기 모듈(100) 및 수평 구동형 구동기 모듈(500) 모두에서 요크(110)와 코 일(120)의 간격이 변화함을 보여준다. 만약, 변위가 커지게 되면 코일(120)이 요크(110)에 접촉하게 되어 코일(120)이 손상될 수 있다.

도 4는 구면 가공된 막대형 접점 지지 기구(410)와 멤브레인 또는 링 타입의 코일 지지 기구(420)를 이용한 종래의 방진 테이블 구동기의 구성도를 보여준다. 막대형 접점 지지 기구(410)를 사용함으로써 수직 운동과 수평 운동 및 회전 운동을 허용하고 있지만 대변위의 수평 및 회전 운동이 발생하였을 때 코일(120)이 요크(110)에 접촉할 수 있고 심하면 막대가 누인 상태에서 제어가 이루어질 수 있어 좋은 성능을 얻을 수 없다. 도 5는 종래의 점 접촉 기구로서 슬라이딩 로드(510)를 구비한 방진 테이블 구동기에서 회전 운동이 존재할 경우를 나타낸 개략도이다. 슬라이딩 로드(510)를 사용함으로써 수직 운동과 수평 운동 및 회전 운동을 허용하고 있지만 대변위의 수평 및 회전 운동이 발생하였을 때 코일(120)이 요크(110)에 닿아 손상될 수 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 구동축 수직 방향 선형 운동은 허용하고 수평 방향 선형 운동을 제한하면서 코일이 요크에 접촉되지 않도록 하여 코일 및/또는 요크의 손상을 방지하며 방진 테이블의 수평 운동 및 회전을 허용할 수 있는 보이스 코일 구동기 및 이를 구비한 능동 방진 테이블 및 능동 방진 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른, 보이스 코일 구동기는 자계를 형성하기 위한 영구 자석; 로렌츠 힘을 발생하기 위해 상기 영구 자석을 둘러싸도록 설치되어 상기 영구 자석에 의해 형성된 자계에 따른 전류가 흐르는 코일; 상기 영구 자석 및 상기 코일을 내부에 수납하고 상기 영구 자석의 자속을 제공받아 자화되어 능동 방진 시스템을 구동하는 요크; 및 상기 코일 및 상기 요크에 수직으로 결합되어 방진 테이블의 회전 시에 상기 코일 및 상기 요크를 탄력적으로 지지하여 상기 코일과 상기 요크 간의 공극을 일정하게 유지하는 상태로 상기 요크에 대한 상기 코일의 회전을 구속하여 상기 요크, 상기 코일, 및 상기 영구 자석이 선형 운동하도록 가이드하는 복수의 판 스프링;을 포함한다.

그리고, 상기 복수의 판 스프링은 힌지 타입인 것이 바람직하다.

또한, 상기 복수의 판 스프링은 한 쌍의 판 스프링이며, 각각 동일한 원판 형상을 갖고, 상기 한 쌍의 판 스프링은 상기 요크에 대하여 상호 수직하게 교차하 도록 상호 일정한 간격을 두고 상기 요크에 결합되며, 상기 한 쌍의 판 스프링 중의 하나는 상기 코일의 x 축 중심의 회전 운동을 구속하고 나머지 하나는 상기 코일의 y 축 중심의 회전 운동을 구속하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 복수의 판 스프링의 하부에 체결되고 상기 방진 테이블에 점 접촉한 상태에서 구름 마찰하여 상기 방진 테이블의 수평 방향 선형 운동 및 회전 운동을 허용하도록 지지하는 볼 캐스터;를 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 요크로부터 하향으로 연장되어 형성되어 상기 복수의 판 스프링을 상기 요크에 고정하는 적어도 2 쌍의 결합 돌기를 더 포함하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 코일과 상기 복수의 판 스프링 사이에 설치되는 코일 홀더를 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 복수의 판 스프링 사이에 체결되는 간격 유지 부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른, 능동 방진 테이블은 상판; 상기 상판과 대향하는 하판; 상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되어 자계를 형성하기 위한 영구 자석; 로렌츠 힘을 발생하기 위해 상기 영구 자석을 둘러싸도록 설치되어 상기 영구 자석에 의해 형성된 자계에 따른 전류가 흐르는 코일; 상기 영구 자석 및 상기 코일을 내부에 수납하여 상기 상판에 면접하도록 설치되어 상기 영구 자석의 자속을 제공받아 자화되는 요크; 및 상기 코일 및 상기 요크에 수직으로 결합되어 상기 상판의 회전 시에 상기 요크를 탄력적으로 지지하여 상기 코일과 상기 요크 간의 공극을 일정하게 유지하는 상태로 상기 요크에 대한 상기 코일의 회전을 구속하여 상기 영구 자석, 상기 코일, 및 상기 요크가 선형 운동하도록 가이드하는 복수의 판 스프링;를 포함한다.

그리고, 상기 복수의 판 스프링의 하부에 체결되고 상기 하판에 점 접촉한 상태에서 구름 마찰하여 상기 상판 및 상기 하판의 수평 방향 선형 운동 및 회전 운동을 지지하는 볼 캐스터;를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 복수의 판 스프링은 힌지 타입 판 스프링인 것이 바람직하다.

그리고, 상기 복수의 판 스프링은 한쌍의 판 스프링이며, 각각 동일한 원판 형상을 갖고, 상기 한 쌍의 힌지 타입 판 스프링은 상기 요크에 대하여 상호 수직하게 교차하도록 상호 일정한 간격을 두고 상기 요크에 결합되며, 상기 한 쌍의 판 스프링 중의 하나는 상기 코일의 x 축 중심의 회전 운동을 구속하고 나머지 하나는 상기 코일의 y 축 중심의 회전 운동을 구속하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 코일과 상기 복수의 판 스프링 사이에 설치되는 코일 홀더를 더 포함하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 복수의 판 스프링 사이에 체결되는 간격 유지 부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 2개의 판 스프링을 이용한 코일 지지 기구는 수직축 구동기 및 수평축 구동기가 서로 직교하고 있는 구동 시스템에서 구동 기간의 운동 간섭 없이 진동 제어하게 한다.

선형 가이드 및 힌지 타입의 비접촉식 판 스프링을 이용한 마찰 없는 선형 가이드 장치와 점 접촉 기구인 볼 캐스터를 이용하면, 보이스 코일 구동기의 회전 및 선형 이동을 발생시키지 않고 요크-코일 사이의 공극을 일정하게 유지할 수 있으며, 요크의 중심축 방향으로의 제어력을 발생할 수 있다.

구동기 축의 선형 운동을 제외한 회전 운동 및 수평 운동을 막아 방진 테이블에 8개의 구동기가 장착되었을 때 테이블이 쓰러지지 않고 전체적인 형상을 유지시켜 준다.

선형 가이드의 하부에 장착된 볼 캐스터를 이용한 점 접촉 기구는 방진 테이블의 수평 운동 및 회전 운동을 허용하여 6축 운동 간섭을 최소화하게 한다.

위의 두 기구 구조를 사용하게 되면, 요크와 코일의 간격은 일정하게 유지되며, 마찰에 의한 비선형성을 최소화하여 코일의 손상을 방지하고 제어 성능을 향상시킬 수 있다.

이하, 첨부된 예시 도면에 의거하여 본 발명의 실시예에 따른 선형 가이드 구조를 갖는 6 자유도 보이스 코일 구동기를 상세히 설명한다.

도 6은 본 발명에서 사용될 좌표축을 나타낸다. 보이스 코일 구동기는 수직 구동용 구동기 모듈 및 수평 구동용 구동기 모듈로 나눌 수 있다. 이후 부분에서는 설명의 편의를 위해, 수직 구동용 구동기 모듈과 수평 구동용 구동기 모듈에 관계없이, 구동기 모듈과 접촉하는 평판을 기준으로 평판에 직교하는 방향으로의 운동을 수직(z축 중심) 운동으로, 평판 상의 운동을 수평(x축 및 y축 중심) 운동으로 정의한다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기를 나타낸 단면도이다. 도 8은 도 7에 도시된 보이스 코일 구동기의 사시도이다. 도 9는 도 7에 도시된 보이스 코일 구동기의 분해 사시도이다. 도 10은 도 7에 도시된 보이스 코일 구동기의 내부 연결 관계를 나타낸 단면도이다. 도 12는 방진 테이블이 회전 운동을 하는 경우 본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기의 동작을 설명하는 개략도이다.

본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기는 영구 자석(710), 코일(720), 요크(730), 및 복수의 판 스프링(740)을 포함한다.

영구 자석(710)은 자계를 형성한다. 코일(720)은, 로렌츠 힘을 발생하기 위해, 상기 영구 자석(710)에 의해 형성된 자계에 수직 방향으로 전류가 흐를 수 있도록 상기 영구 자석(710)을 둘러싸도록 설치된다. 요크(730)는 상기 영구 자석(710) 및 상기 코일(720)을 내부에 수납하고 상기 영구 자석(710)의 자속을 제공받아 자화되어 능동 방진 시스템(도시안됨)을 구동한다.

복수의 판 스프링(740)은 상기 코일(720) 및 상기 요크(730)에 수직으로 결합되어 방진 테이블의 회전 시에 상기 코일(720) 및 상기 요크(730)를 탄력적으로 지지하여 상기 코일(720)과 상기 요크(730) 간의 공극을 일정하게 유지하는 상태로 상기 요크(730)에 대한 상기 코일(720)의 회전을 구속하여 상기 영구 자석(710), 상기 코일(720), 및 상기 요크(730)가 선형 운동하도록 가이드한다.

도 11은 도 7 내지 도 10에 도시된 한 쌍의 판 스프링을 확대하여 나타낸 구성도이다.

도 9 내지 도 11을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의하면, 상기 복수의 판 스프링(740)은 힌지 타입인 것이 바람직하다. 상기 복수의 판 스프링(740)은 한 쌍의 판 스프링이며, 각각 동일한 원판 형상을 갖는다. 상기 한 쌍의 판 스프링은 상기 요크(730)에 대하여 상호 수직하게 교차하도록 상호 일정한 간격을 두고 결합부(742)를 통하여 상기 요크(730)에 결합된다. 상기 한 쌍의 힌지 타입 판 스프링은 상호 보완적으로 동작하며, 상기 한 쌍의 힌지 타입 판 스프링 중의 하나는 상기 코일(720)의 x 축 중심의 회전 운동을 구속하고, 나머지 하나는 상기 코일(720)의 y 축 중심의 회전 운동을 구속한다.

본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기는 볼 캐스터(750), 적어도 2 쌍의 결합 돌기(760), 코일 홀더(770), 및 간격 유지 부재(780)를 더 포함한다.

볼 캐스터(750)는 상기 복수의 판 스프링의 하부에 체결되고 상기 방진 테이블의 하판(900)에 점 접촉한 상태에서 구름 마찰하여 상기 방진 테이블의 수평 방향 선형 운동 및 회전 운동을 허용하도록 지지한다.

적어도 2 쌍의 결합 돌기(760)는 상기 요크(730)로부터 하향으로 연장되어 형성되어 상기 복수의 판 스프링(740)을 상기 요크(730)에 고정한다. 코일 홀더(770)는 상기 코일(720)과 상기 복수의 판 스프링(740) 사이에 설치되어 상기 코일(720)을 지지한다. 간격 유지 부재(780)는 상기 복수의 판 스프링(740) 사이에 체결되어 판 스프링(740) 간의 일정한 간격을 유지시킨다. 도 12를 참조하면, 상판(800), 하판(900), 및 수직 평판(950)은 상기 방진 테이블을 구성한다.

도 7 내지 도 12를 참조하면, 외부의 회전 운동이 수행될 때 상판(800)은 회전하고 구동기를 구성하는 상기 영구 자석(710), 상기 코일(720), 및 상기 요크(730)는 회전하지 않게 하기 위해 복수의 힌지 타입 판 스프링(740) 및 볼 캐스터(750)가 제공된다.

상기 한 쌍의 힌지 타입 판 스프링(740) 및 볼 캐스터(750)를 이용하여 구동축 선형 운동은 허용하지만 구동축 외의 선형 운동 및 회전 운동을 제한할 수 있다.

도 11에 도시된 상부 판 스프링(740)은 x축 중심의 회전 운동을 구속하고 하부 판 스프링(740)은 y축 중심의 회전 운동을 구속한다. 두 개의 구조물, 즉 한 쌍의 힌지 타입 판 스프링(740)을 장착함으로써, 요크(730)를 중심으로 코일(720)의 두 방향 회전 운동은 물론, 수평 방향의 선형 운동도 구속하여 오직 수직 방향으로의 선형 운동만 허용한다. 상기 방진 테이블의 수평방향 선형운동과 회전 운동은 점 접촉을 하고 있는 볼 캐스터(750)가 구름 마찰 형태로 회전함으로써 이루어진다.

도 13은 본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기를 구비한 능동 방진 테이블을 나타낸 구성도이다.

본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기를 구비한 능동 방진 테이블은 상판(800), 하판(900), 영구 자석(710), 코일(720), 요크(730), 복수의 판 스프링(740), 및 볼 캐스터(750)를 포함한다.

하판(900)은 상기 상판(800)과 대향한다. 영구 자석(710)은 상기 상 판(800)과 상기 하판(900) 사이에 설치되어 자계를 형성한다. 코일(720) 은 로렌츠 힘을 발생하기 위해 상기 영구 자석(710)을 둘러싸도록 설치되어 상기 영구 자석(710)에 의해 형성된 자계에 따른 전류가 흐른다. 요크(730)는 상기 영구 자석(710) 및 상기 코일(720)을 내부에 수납하여 상기 상판(800)에 면접하도록 설치되어 상기 영구 자석(710)의 자속을 제공받아 자화된다.

복수의 판 스프링(740)은 상기 코일(720) 및 상기 요크(730)에 수직으로 결합되어 상기 상판(800)의 회전 시에 상기 코일(720) 및 상기 요크(730)를 탄력적으로 지지하여 상기 코일(720)과 상기 요크(730) 간의 공극을 일정하게 유지하는 상태로 상기 요크(730)에 대한 상기 코일(720)의 회전을 구속하여 상기 영구 자석(710), 상기 코일(720), 및 상기 요크(730)가 선형 운동하도록 가이드한다.

볼 캐스터(750)는 상기 복수의 판 스프링(740)의 하부에 체결되고 상기 하판(900)에 점 접촉한 상태에서 구름 마찰하여 상기 상판(800) 및 상기 하판(900)의 수평 방향 선형 운동 및 회전 운동을 지지한다.

본 발명에 따른 6축 능동 방진 시스템은 도 7 내지 도 11에 도시된 보이스 코일 구동기 8개, 구체적으로는 수직 구동용 구동기 모듈 4개와 수평 구동용 구동기 모듈 4개를 사용하여 구성할 수 있다. 본 발명에 따른 6축 능동 방진 시스템은 또한 도 13에 도시된 능동 방진테이블 8개를 사용하여 구성할 수 있다.

또한, 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안 될 것이다.

도 1은 요크와 코일이 각각 방진 테이블의 상판 및 하판에 고정된 형태의 종래의 다축 제어용 구동기를 나타낸 개략도이다.

도 2는 도 1의 상태에서 상판이 수평 방향 선형 운동을 하는 경우를 나타낸 개략도이다.

도 3은 도 1의 상태에서 상판이 회전 운동을 하는 경우를 나타낸 개략도이다.

도 4는 구면 가공된 막대형 접점 지지 기구 및 멤브레인 또는 링 타입의 코일 지지 기구를 이용한 종래의 방진 테이블 구동기를 나타낸 구성도이다.

도 5는 종래의 점 접촉 기구로서 슬라이딩 로드를 구비한 방진 테이블 구동기에서 회전 운동이 존재할 경우를 나타낸 개략도이다.

도 6은 본 발명에서 사용되는 좌표축을 나타낸 도면이다.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기를 나타낸 단면도이다.

도 8은 도 7에 도시된 보이스 코일 구동기의 사시도이다.

도 9는 도 7에 도시된 보이스 코일 구동기의 분해 사시도이다.

도 10은 도 7에 도시된 보이스 코일 구동기의 내부 연결 관계를 나타낸 단면도이다.

도 11은 도 7 내지 도 10에 도시된 힌지 타입 판 스프링을 확대하여 나타낸 구성도이다.

도 12는 방진 테이블이 회전 운동을 하는 경우 본 발명의 실시예에 따른 보 이스 코일 구동기의 동작을 설명하는 개략도이다.

도 13은 본 발명의 실시예에 따른 보이스 코일 구동기를 구비한 능동 방진 테이블을 나타낸 구성도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

710: 영구 자석 720: 코일

730: 요크 740: 판 스프링

742: 결합부 750: 볼 캐스터

760: 결합 돌기 770: 코일 홀더

780: 간격 유지 부재 800: 상판

900: 하판

Claims (15)

1. 자계를 형성하기 위한 영구 자석;

   로렌츠 힘을 발생하기 위해 상기 영구 자석을 둘러싸도록 설치되어 상기 영구 자석에 의해 형성된 자계에 따른 전류가 흐르는 코일;

   상기 영구 자석 및 상기 코일을 내부에 수납하고 상기 영구 자석의 자속을 제공받아 자화되어 능동 방진 시스템을 구동하는 요크; 및

   상기 코일 및 상기 요크에 수직으로 결합되어 방진 테이블의 회전 시에 상기 코일 및 상기 요크를 탄력적으로 지지하여 상기 코일과 상기 요크 간의 공극을 일정하게 유지하는 상태로 상기 요크에 대한 상기 코일의 회전을 구속하여 상기 요크, 상기 코일, 및 상기 영구 자석이 선형 운동하도록 가이드하는 힌지 타입의 복수의 판 스프링;을 포함하고,

   상기 복수의 판 스프링은 한 쌍의 판 스프링이며, 각각 동일한 원판 형상을 갖고, 상기 한 쌍의 판 스프링은 상기 요크에 대하여 상호 수직하게 교차하도록 상호 일정한 간격을 두고 상기 요크에 결합되며, 상기 한 쌍의 판 스프링 중의 하나는 상기 코일의 x 축 중심의 회전 운동을 구속하고 나머지 하나는 상기 코일의 y 축 중심의 회전 운동을 구속하는 것을 특징으로 하는 보이스 코일 구동기.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제1 항에 있어서,

   상기 복수의 판 스프링의 하부에 체결되고 상기 방진 테이블에 점 접촉한 상태에서 구름 마찰하여 상기 방진 테이블의 수평 방향 선형 운동 및 회전 운동을 허용하도록 지지하는 볼 캐스터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보이스 코일 구동기.
5. 제1 항에 있어서,

   상기 요크로부터 하향으로 연장되어 형성되어 상기 복수의 판 스프링을 상기 요크에 고정하는 적어도 2 쌍의 결합 돌기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보이스 코일 구동기.
6. 제1 항에 있어서,

   상기 코일과 상기 복수의 판 스프링 사이에 설치되는 코일 홀더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보이스 코일 구동기.
7. 제1 항에 있어서,

   상기 복수의 판 스프링 사이에 체결되는 간격 유지 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보이스 코일 구동기.
8. 상판;

   상기 상판과 대향하는 하판;

   상기 상판과 상기 하판 사이에 설치되어 자계를 형성하기 위한 영구 자석;

   로렌츠 힘을 발생하기 위해 상기 영구 자석을 둘러싸도록 설치되어 상기 영구 자석에 의해 형성된 자계에 따른 전류가 흐르는 코일;

   상기 영구 자석 및 상기 코일을 내부에 수납하여 상기 상판에 면접하도록 설치되어 상기 영구 자석의 자속을 제공받아 자화되는 요크; 및

   상기 코일 및 상기 요크에 수직으로 결합되어 상기 상판의 회전 시에 상기 요크를 탄력적으로 지지하여 상기 코일과 상기 요크 간의 공극을 일정하게 유지하는 상태로 상기 요크에 대한 상기 코일의 회전을 구속하여 상기 영구 자석, 상기 코일, 및 상기 요크가 선형 운동하도록 가이드하는 힌지 타입의 복수의 판 스프링;를 포함하고,

   상기 복수의 판 스프링은 한 쌍의 판 스프링이며, 각각 동일한 원판 형상을 갖고, 상기 한 쌍의 판 스프링은 상기 요크에 대하여 상호 수직하게 교차하도록 상호 일정한 간격을 두고 상기 요크에 결합되며, 상기 한 쌍의 판 스프링 중의 하나는 상기 코일의 x 축 중심의 회전 운동을 구속하고 나머지 하나는 상기 코일의 y 축 중심의 회전 운동을 구속하는 것을 특징으로 하는 능동 방진 테이블.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 복수의 판 스프링의 하부에 체결되고 상기 하판에 점 접촉한 상태에서 구름 마찰하여 상기 상판 및 상기 하판의 수평 방향 선형 운동 및 회전 운동을 지지하는 볼 캐스터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 능동 방진 테이블.
10. 삭제
11. 삭제
12. 제 8항에 있어서,

    상기 코일과 상기 복수의 판 스프링 사이에 설치되는 코일 홀더를 더 포함하는 능동 방진 테이블.
13. 제 8항에 있어서,

    상기 복수의 판 스프링 사이에 체결되는 간격 유지 부재를 더 포함하는 보이스 능동 방진 테이블.
14. 제1항 또는 제4항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 기재된 보이스 코일 구동기 8개를 이용한 능동 방진 시스템.
15. 제8항, 제9항, 제12항, 또는 제13항 중 어느 한 항에 기재된 능동 방진 테이블 8개를 이용한 능동 방진 시스템.

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