JP3725272B2

JP3725272B2 - 振動発生機構

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Publication number: JP3725272B2
Application number: JP35082896A
Authority: JP
Inventors: 悦則藤田; 豊坂本; 均三上; 泰弘丸川
Original assignee: Neomax Co Ltd
Current assignee: Hitachi Metals Ltd
Priority date: 1996-12-27
Filing date: 1996-12-27
Publication date: 2005-12-07
Anticipated expiration: 2016-12-27
Also published as: US6060804A; CN1240680A; JPH10192785A; EP0967022B1; EP0967022A1; CN100394683C

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は振動発生機構に関し、更に詳しくは、複数の永久磁石の反発力を利用して垂直方向に振動エネルギを発生させる振動発生機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ある構造体の振動特性を調べるために、人為的に振動を発生させる加振機が使用されている。また、加振機としては、動電型のものと不釣り合い質量やカム式のものとが一般に知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、クランク等のリンク機構を使用した加振機では、駆動モータに直接負荷が加わることから比較的大きな駆動モータが必要となり、動電型の場合、低周波の対応ができないという問題があった。
また、装置自体が大規模なため、設置場所の確保及び工事が必要となるばかりか、発熱量が大きいことから強制空冷が必要となり、ファン等の排気音により異音評価ができないという問題があった。
さらに、上記加振機はいずれも構成が複雑で、重たく、かつ、高価であることから、軽量で安価なものが望まれていた。
【０００４】
本発明は、従来技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであり、複数の永久磁石を組み込むことにより、コンパクトで騒音の少ない安価な加振機が実現可能な振動発生機構を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のうちで請求項１に記載の発明は、互いに離間し反発磁極が対向する少なくとも二つの永久磁石と、該少なくとも二つの永久磁石のいずれか一方の永久磁石を駆動する動電型アクチュエータとを備え、該動電型アクチュエータが、設置面に対し摺動自在に取り付けられ上記一方の永久磁石が固着されたホルダと、該ホルダの少なくとも一端に巻回されたコイルと、該コイルと所定距離離間した少なくとも一つの永久磁石とを有し、上記少なくとも二つの永久磁石を垂直方向に離間せしめる一方、該永久磁石の両側の各々に一対の永久磁石を反発磁極が対向した状態で垂直方向に離間せしめ、該一対の永久磁石の反発力を利用して垂直方向に加わる負荷を支持するとともに、上記コイルにパルス電流を流すことにより上記ホルダとともに上記一方の永久磁石を他方の永久磁石に対し周期的に往復移動させて上記永久磁石の対向面積を変化させることにより上記他方の永久磁石を振動させるようにした振動発生機構である。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
互いに離間し同磁極を対向させた少なくとも二つの永久磁石を有する磁性バネ構造体の場合、離間した永久磁石同士は非接触のため、構造体自体の摩擦損失等を無視すると、その静特性は入力時（行き）と同一ライン上を非線形で出力され（帰り）、さらに、非接触対偶特有の自由度、浮上制御系の不安定度を利用することにより、小さな入力で静磁界（磁石の配置）を変化させることで負の減衰を生じやすい。
【００１０】
本発明はこの事実に着目してなされたものであり、二つの永久磁石間の幾何学的寸法を運動行程内機構あるいは外力により入力側（行き）と出力側（帰り）で変化させ、その運動系内で反発力に変換させることにより、二つの永久磁石の平衡位置からの入力側の反発力より出力側の反発力を大きくしている。
【００１１】
以下、その基本原理について説明する。
図１は、入力側と出力側における二つの永久磁石２，４の平衡位置を示した模式図で、図２は、いずれか一方の永久磁石に加えられた荷重と、二つの永久磁石の平衡位置からの変位量との関係を示した磁性バネ構造体の基本特性を示している。
【００１２】
図１に示されるように、永久磁石２に対する永久磁石４の入力側の平衡位置とバネ定数をそれぞれｘ₀，ｋ₁とし、出力側の平衡位置とバネ定数をそれぞれｘ₁，ｋ₂とすると、ｘ₀〜ｘ₁の間で面積変換が行われ、各平衡位置では次の関係が成立する。
−ｋ₁／ｘ₀＋ｍｇ＝０
−ｋ₂／ｘ₁＋ｍｇ＝０
ｋ₂＞ｋ₁
【００１３】
従って、その静特性は、図２に示されるように負の減衰特性を示し、位置ｘ₁と位置ｘ₀におけるポテンシャルの差が発振のポテンシャルエネルギと考えることができる。
【００１４】
また、図１のモデルを製作し、荷重と変位量との関係を、荷重を加える時間を変えて実測したところ、図３に示されるようなグラフが得られた。これは、二つの永久磁石２，４が最近接位置に近づくと、大きな反発力が作用すること、また、平衡位置からの変位量が微小に変化すると摩擦損失が磁性バネのダンパー効果により発生し、そのことにより減衰項が現れたものと解釈される。
【００１５】
図３において、（ａ）は一定荷重を加えた場合のグラフで、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順で荷重を加えた時間が短くなっている。すなわち、荷重の加え方により静特性が異なり、荷重を加える時間が長いほど力積が大きい。
【００１６】
また、希土類磁石は、磁化の強さが磁界に依存しない。つまり、内部磁気モーメントが磁界による影響を受けにくいので、減磁曲線上で磁化の強さはほとんど変化せず、ほぼその飽和磁化の強さの値を保っている。従って、希土類磁石では、端面上に磁荷が均一に分布していると仮定したチャージモデルを用いて、入出力が考えられる。
【００１７】
図４はその考え方を示しており、磁石を最小単位の磁石の集合と定義し、各単位磁石間の力の関係を三つに分類して計算したものである。
（ａ）吸引（ｒ，ｍとも同一なので、２タイプを１つで定義する）
ｆ⁽¹⁾＝（ｍ²／ｒ²）ｄｘ₁ｄｙ₁ｄｘ₂ｄｙ₂
ｆ_x ⁽¹⁾＝ｆ⁽¹⁾ｃｏｓθ
ｆ_z ⁽¹⁾＝ｆ⁽¹⁾ｓｉｎθ
（ｂ）反発
ｆ_x ⁽²⁾＝ｆ⁽²⁾ｃｏｓθ
ｆ_z ⁽²⁾＝ｆ⁽²⁾ｓｉｎθ
（ｃ）反発
ｆ_x ⁽³⁾＝ｆ⁽³⁾ｃｏｓθ
ｆ_z ⁽³⁾＝ｆ⁽³⁾ｓｉｎθ
従って、
−ｆ_x＝２ｆ_x ⁽¹⁾−ｆ_x ⁽²⁾−ｆ_x ⁽³⁾
−ｆ_z＝２ｆ_z ⁽¹⁾−ｆ_z ⁽²⁾−ｆ_z ⁽³⁾
ここで、クーロンの法則は次のように表されるので、

上記−ｆ_x，−ｆ_zを磁石の寸法の範囲で積分して力を求めることができる。
【００１８】
これを図５に示されるように、対向する磁石を各磁気ギャップ毎に完全にラップした状態（ｘ軸移動量＝０ｍｍ）から完全にずれた状態（ｘ軸移動量＝５０ｍｍ）まで移動させて計算したのが図６のグラフである。ただし、「内部磁気モーメントは一定」と定義してあるが、磁気ギャップが小さいときは磁石の周辺で乱れが生じるので、補正している。
【００１９】
上記計算結果は実測値とも略一致しており、図２のポイントａからｂに移動させる力がｘ方向荷重で、出力はｚ方向荷重で表されており、不安定系故の入力＜出力の関係が静的に明確になっている。
【００２０】
また、図７は、図５に示される磁石の離間距離を３ｍｍに保持し、完全にずれた状態から完全にラップした状態まで移動させ、さらにこの状態から完全にずれた状態まで移動した時の関係を表したグラフである。このグラフは、ｘ方向荷重の絶対値は同じで出力方向が逆になって出てくる特性で、完全ラップ状態に近づく場合は抵抗つまり減衰となり、完全ラップ状態から完全にずれた状態に移行する場合は加速されることを示している。
【００２１】
また、図８に示されるように、対向する磁石の回転角度を変化させると、図９に示されるようなグラフが得られた。当然のことながら、対向面積が減少すると最大荷重が減少し、所定の入力を加えることによる面積変換を介して出力を変化させることが可能なことを示している。
【００２２】
図１０は、永久磁石としてネオジム系磁石を採用した場合の磁石間距離と荷重との関係を示すグラフであり、反発力は質量増加とともに増加する。ここで、反発力Ｆは、
Ｆ∝Ｂｒ²×（幾何学的寸法）Ｂｒ：磁化の強さ
で表され、幾何学的寸法とは、対向する磁石の離間距離、対向面積、磁束密度、磁界の強さ等により決定される寸法を意味する。磁石材料が同一の場合、磁化の強さ（Ｂｒ）は一定であるので、幾何学的寸法を変化させることにより磁石の反発力を変えることができる。
【００２３】
図１１は、永久磁石２，４の一方を他方に対しスライドさせて対向面積を変化させることにより幾何学的寸法を変化させるようにしたスライド型原理モデルを示している。
【００２４】
図１１に示されるように、永久磁石２は基台６に摺動自在に取り付けられており、直動スライダ８は基台６に固定されるとともに、上方に垂直に立設せしめられている。直動スライダ８にはＬ型アングル１０が上下動自在に取り付けられており、Ｌ型アングル１０の下面には、永久磁石４が永久磁石２に対し同一（反発）磁極を対向させた状態で固定されている。
【００２５】
上記構成のスライド型原理モデルにおいて、永久磁石２，４として５０ｍｍＬ×２５ｍｍＷ×１０ｍｍＨのもの（住友特殊金属社製NEOMAX-39SH）を使用するとともに、合計質量３.１３５ｋｇの負荷を使用して、永久磁石２をスライドさせたところ、図１２に示されるような結果が得られた。
【００２６】
図１２は、入出力の実験値を仕事（Ｊ）で示したもので、約０．５Ｊの入力仕事に対し約４Ｊの出力仕事が得られており、対向する二つの永久磁石２，４で構成される磁性バネが有する負の減衰特性を利用することにより、あるいは、静磁エネルギを変化させることにより小さな入力仕事で大きな出力仕事を引き出すことが可能となる。
【００２７】
図１３は、上記スライド型原理モデルの応用例を示す振動発生機構を示している。
図１３に示される振動発生機構は、駆動源として使用される動電型アクチュエータ１２と、動電型アクチュエータ１２に固着された第１永久磁石１４と、第１永久磁石１４から上方に所定距離離間し上下動自在の第２永久磁石１６とを備えており、第１及び第２永久磁石１４，１６は同一（反発）磁極が対向した状態で配置されている。
【００２８】
図１３乃至図１５に示されるように、動電型アクチュエータ１２は、ホルダ１８と、ホルダ１８の両側に設けられた磁気回路２０，２０と、ホルダ１８の下面に取り付けられたリニアベアリング２２と、設置面に固定されリニアベアリング２２が摺動自在に取り付けられるリニアガイド２４とを備えている。
【００２９】
磁気回路２０，２０は、ホルダ１８の両端に巻回されたコイル２６，２６と、ホルダ１８の各側においてコイル２６と上下方向（ホルダ１８の摺動面に対し垂直な方向）に所定距離離間した複数の永久磁石２８,…,２８とからなる。
【００３０】
コイル２６，２６は、ホルダ１８の両端において上下２段に巻回されているが、図１６に示されるように、一本の銅線を直列に接続したものである。すなわち、図１３及び図１４において、端子Ａ及びＢを接続し、さらに左上コイルから左下コイルを形成した後、端子Ｃ及びＤに順次接続し、次に右下コイルから右上コイルを形成し、最後に端子Ｅ及びＦの順で接続したものである。
【００３１】
一方、永久磁石２８,…,２８は、図１７に示されるように、ホルダ１８の各端部に巻回されたコイル２６（図１３における左上コイルと左下コイル、あるいは、右上コイルと右下コイル）と対向しており、逆磁極を下側に向けた状態でケーシング３０の上部壁下面に固着された二つの永久磁石２８，２８と、この永久状態２８，２８と逆磁極が対向しケーシング３０の底壁上面に固着された二つの永久磁石２８，２８とからなる。
【００３２】
上記構成の磁気回路に対し、図１７に示されるように励磁電流を流すと、フレミングの左手の法則に基づいてコイル２６には力Ｆが加わり、ホルダ１８がリニアガイド２４に沿って力Ｆの方向に移動する。従って、コイル２６，２６にパルス励磁電流を流すと、コイル２６，２６はホルダ１８と一体的に往復運動を行う。すなわち、本発明にかかる動電型アクチュエータ１２は、電気エネルギを機械的エネルギに変換する。
【００３３】
なお、上記実施形態においては、コイル２６，２６をホルダ１８の両端に巻回した構成としたが、必ずしも両端に巻回する必要はなく、図１８に示される動電型アクチュエータ１２Ａのように、ホルダ１８の一端に１本の銅線を直列に接続することによりコイル２６を形成することもできる。
【００３４】
また、上記実施形態においては、ケーシング３０の上部壁下面と底壁上面にそれぞれ二つの永久磁石２８，２８を固着する構成としたが、上部壁下面と底壁上面の各々にそれぞれ一つの永久磁石２８を設け、逆磁極を互いに対向させる構成とすることもできる。
【００３５】
さらに、図１９に示される動電型アクチュエータ１２Ｂのように、ホルダ１８両端に位置する各ケーシング３０の底壁上面にのみ１個の永久磁石２８を取り付けた構成とすることもできる。
【００３６】
また、図１３乃至図１５に示される実施形態において、永久磁石２８,…,２８としてネオジム系磁石（住友特殊金属社製ＮＥＯＭＡＸ−４２）（１１ｍｍＨ×３５ｍｍＷ×４２ｍｍＬ）を片側で４個使用するとともに、コイル２６，２６としてφ０.７２−ＥＩＷの銅線を１６０ターン巻回した偏平型空芯コイルを、片側２個の計４個を樹脂製ボビンに接着固定した後直列に接続した。この時の直流抵抗は４.５１Ωであった。また、磁気回路の重量は１８５０ｇ×２個＝３７００ｇで、コイル全体の重量は８９０ｇであった。
【００３７】
上記仕様の動電型アクチュエータ１２の１Ａ当たりの推力分布を測定したところ、図２０に示される結果が得られた。図２０の結果によれば、ストローク３０ｍｍの中央では、２.６４ｋｇｆ／Ａ（２６Ｎ／Ａ）の推力が得られている。
【００３８】
上記構成において、第２永久磁石１６に負荷Ｗを加えた状態で、駆動源である動電型アクチュエータ１２により第１永久磁石１４をリニアガイド２４に沿って往復移動させると、第１永久磁石１４に対し同一磁極が対向する第２永久磁石１６は垂直方向に移動する。すなわち、図１３乃至図１５の振動発生機構は、対向する一対の永久磁石１４，１６の対向面積を周期的に変化させることより励振を発生し、垂直方向の周期的な振動を発生させる。
【００３９】
なお、第２永久磁石１６に加えられる負荷Ｗに応じて、第１及び第２永久磁石１４，１６の片側に一対の永久磁石３２，３４と、その反対側にもう一対の永久磁石３６，３８とを同一磁極を対向させて配置することもできる。この構成において、動電型アクチュエータ１２とその両側に配置される永久磁石３２，３６とを例えば基台４０に固着させる一方、第２永久磁石１６とその両側に配置される永久磁石３４，３８とを例えば頂板４２に固着させ、頂板４２を基台４０に対し複数の垂直軸等を介して上下方向に摺動自在に取り付けることにより、負荷Ｗに周期的振動を発生させることができる。
【００４０】
上記構成をさらに詳述すると、固定磁石３２，３４，３６，３８で荷重を支持するとともに、平衡点と加振磁石（第１永久磁石１４）のボリュームで振幅を仮設定し、加振磁石１４のスライド移動により垂直方向の振動を発生させる。また、加振磁石１４のストローク量については、荷重曲線、振幅及び負荷質量で設定する。その中心が基準位置となり駆動源である動電型アクチュエータ１２の中立位置とする。
【００４１】
また、加振磁石１４の水平方向のストローク量で垂直方向の上死点と下死点が決定され、上下各死点における加振磁石１４の第２永久磁石１６に対するラップ量とギャップ量で各点の水平方向及び垂直方向の荷重が決定される。
【００４２】
なお、上記構成において、第２永久磁石１６に加えられる負荷Ｗを動電型アクチュエータ１２の両側に配置された二対の永久磁石３２，３４，３６，３８で支持するようにしたが、二対の永久磁石３２，３４，３６，３８に代えて複数（例えば２本）のコイルスプリング等の弾性部材を使用し、この弾性部材の復元力を利用して第２永久磁石１６に加えられる負荷Ｗを支持することもできる。
【００４３】
次に、上記構成の振動発生機構の制御について説明する。
アクチュエータ１２の駆動波としてｓｉｎ波あるいはランダム波等が使用され、アクチュエータ１２を所定の位置や加速度に制御（フィードバック）するためには、図２１の機械モデルで示されるように、アクチュエータ１２の動きを感知するポテンショメータ等のセンサが必要となる。
【００４４】
すなわち、駆動波としてｓｉｎ波を使用した場合、加振台（図１３における頂板４２）の動きを感知し振幅制御を行う場合、ロータリエンコーダやポテンショメータ等の位置センサが必要となり、加振台の加速度を感知し加速度制御を行う場合、加速度センサが必要となる。また、駆動波としてランダム波を使用した場合、加振台の動きを感知するロータリエンコーダ等の位置センサが必要となる。
【００４５】
図２２は、アクチュエータ１２を図２３に示されるｓｉｎ波で駆動する場合のクローズドループ制御のブロック図を示している。
図２２において、ｓｉｎ波テーブル７６から所定のタイミング（例えば１ｍｓｅｃ毎）でＤ／Ａ（デジタルーアナログ変換器）７８にデータを出力し、その電圧値をＰＷＭ（パルス幅変調）制御アンプ等のアクチュエータ用アンプ８０に入力し、アクチュエータ１２を駆動する。アクチュエータ１２にはポテンショメータ８２が接続されており、ポテンショメータ８２の値と出力を比較器８４で比較するとともに、その差分をＤ／Ａ７８に出力してアクチュエータ１２を目的の位置まで駆動する。また、ｓｉｎ波テーブル７６を例えばパソコン等に接続し、パソコンからｓｔａｒｔコマンドを送信することによりｓｉｎ波テーブル７６から所定のｓｉｎ波を出力し、ｓｔｏｐコマンドあるいはｃｌｅａｒコマンドが送信されるまで出力し続けるようにすることもできる。
【００４６】
また、駆動波として図２４に示されるようなランダム波を使用することも可能で、パソコンから送信されるｓｔａｒｔコマンドに基づいて所定のタイミングでアンプ８０より振幅値を出力し、アクチュエータ１２が目的の位置に設定されるようクローズドループ制御を行うとともに、次のデータがアンプ８０から送信されるまでその出力を保持することができる。
【００４７】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
本発明のうちで、請求項１に記載の発明によれば、動電型アクチュエータからの駆動力で対向する少なくとも二つの永久磁石の一方を他方に対し周期的に往復移動させて永久磁石の対向面積を変化させることにより他方の永久磁石を振動させるようにしたので、他方の永久磁石に加わる負荷を永久磁石の反発力を利用して振動させることができ、騒音が少なくコンパクトで安価な振動発生機構の製作が容易である。
【００４８】
また、上記少なくとも二つの永久磁石を垂直方向に離間せしめる一方、その両側の各々に一対の永久磁石を反発磁極が対向した状態で垂直方向に離間せしめ、永久磁石の反発力を利用して垂直方向に加わる負荷を支持するようにしたので、大きな負荷に対しても対応でき、所望の振動を発生させることが可能である。
【００４９】
さらに、動電型アクチュエータを、永久磁石が固着されたホルダと、ホルダの少なくとも一端に巻回されたコイルと、コイルと所定距離離間した少なくとも一つの永久磁石とで構成したので、ホルダの摺動部分を除く他の部分が全て非接触状態となり、従来のアクチュエータに比べ騒音が少なく、コンパクトで廉価な振動発生機構を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる磁性バネにおいて、二つの永久磁石の入力側と出力側の平衡位置を示した模式図である。
【図２】図１の磁性バネにおいて、加えられた荷重と永久磁石の平衡位置からの変位量との関係を示す基本特性のグラフである。
【図３】実測された荷重と変位量との関係を示すグラフである。
【図４】永久磁石の端面上に磁荷が均一に分布していると仮定したチャージモデルにおける入出力の考え方を示す模式図であり、（ａ）は吸引を、（ｂ）は反発を、（ｃ）は（ｂ）とは異なる部位の反発をそれぞれ示している。
【図５】同磁極を対向させた永久磁石において、一方を他方に対し移動させた（対向面積を変えた）場合の模式図である。
【図６】図５に基づいて計算した場合のＸ軸移動量に対するＸ軸及びＺ軸方向の荷重を示すグラフである。
【図７】図５の永久磁石の離間距離を一定に保持し、一方を他方に対し完全にずれた状態から完全にラップした状態まで移動し、さらにこの状態から完全にずれた状態まで移動させた時の変位量と荷重との関係を示すグラフである。
【図８】同磁極を対向させた永久磁石において、一方を他方に対し回転させた（対向面積を変えた）場合の模式図である。
【図９】図８に基づいて永久磁石を回転させた場合の対向面積に対する最大荷重を示すグラフである。
【図１０】永久磁石としてネオジム系磁石を採用した場合の磁石間距離と荷重との関係を示すグラフである。
【図１１】永久磁石の対向面積を変化させることにより幾何学的寸法を変化させるようにしたスライド型原理モデルの斜視図である。
【図１２】図１１のスライド型原理モデルにより得られた入出力の関係を示すグラフである。
【図１３】図１１のスライド型原理モデルの応用例を示す振動発生機構の概略斜視図である。
【図１４】図１３の振動発生機構の駆動源である動電型アクチュエータの一部を切り欠いた平面図である。
【図１５】図１４の動電型アクチュエータの部分断面側面図である。
【図１６】図１４の動電型アクチュエータに設けられたコイルの結線図である。
【図１７】図１４の動電型アクチュエータに設けられた磁気回路の概略側面図である。
【図１８】動電型アクチュエータの変形例を示す斜視図である。
【図１９】動電型アクチュエータの別の変形例を示す部分断面側面図である。
【図２０】図１４の動電型アクチュエータに１Ａの電流を流した場合の推力分布を示すグラフである。
【図２１】本発明にかかる振動発生機構の機械モデルを示す概略図である。
【図２２】振動発生機構の駆動源としてＶＣＭを使用するとともに、ＶＣＭをｓｉｎ波で駆動する場合のクローズドループ制御のブロック図である。
【図２３】駆動波として使用されるｓｉｎ波を示すグラフである。
【図２４】駆動波として使用されるランダム波を示すグラフである。
【符号の説明】
2,4,28,32,34,36,38 永久磁石
６基台
８直動スライダ
１０Ｌ型アングル
12,12A,12B 動電型アクチュエータ
１４第１永久磁石
１６第２永久磁石
１８ホルダ
２０磁気回路
２２リニアベアリング
２４リニアガイド
２６コイル
３９ケーシング
４０基台
４２頂板
７６ｓｉｎ波テーブル
７８デジタルーアナログ変換器
８０アンプ
８２ポテンショメータ
８４比較器

Claims

互いに離間し反発磁極が対向する少なくとも二つの永久磁石と、該少なくとも二つの永久磁石のいずれか一方の永久磁石を駆動する動電型アクチュエータとを備え、該動電型アクチュエータが、設置面に対し摺動自在に取り付けられ上記一方の永久磁石が固着されたホルダと、該ホルダの少なくとも一端に巻回されたコイルと、該コイルと所定距離離間した少なくとも一つの永久磁石とを有し、上記少なくとも二つの永久磁石を垂直方向に離間せしめる一方、該永久磁石の両側の各々に一対の永久磁石を反発磁極が対向した状態で垂直方向に離間せしめ、該一対の永久磁石の反発力を利用して垂直方向に加わる負荷を支持するとともに、上記コイルにパルス電流を流すことにより上記ホルダとともに上記一方の永久磁石を他方の永久磁石に対し周期的に往復移動させて上記永久磁石の対向面積を変化させることにより上記他方の永久磁石を振動させるようにしたことを特徴とする振動発生機構。