JPH07181395A - 顕微鏡装置 - Google Patents
顕微鏡装置Info
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- JPH07181395A JPH07181395A JP34788093A JP34788093A JPH07181395A JP H07181395 A JPH07181395 A JP H07181395A JP 34788093 A JP34788093 A JP 34788093A JP 34788093 A JP34788093 A JP 34788093A JP H07181395 A JPH07181395 A JP H07181395A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 高性能の除振を実現できる磁気浮上による除
振装置に顕微鏡を搭載して、高拡大倍率を実現できる顕
微鏡装置を提供する。 【構成】 顕微鏡装置は、除振テーブル１に固定した磁
性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上
支持する設置床４に固定した浮上用電磁石３と、該浮上
用電磁石３と磁性体継鉄の隙間を測定する変位センサ５
と、除振テーブル１を安定に浮上するために、変位セン
サ５からの出力を基に電磁石励磁電流を出力する補償回
路、パワーアンプから構成するコントローラとを備えた
電磁アクチュエータ９を複数個用いて支持された除振テ
ーブル１に搭載されている。
振装置に顕微鏡を搭載して、高拡大倍率を実現できる顕
微鏡装置を提供する。 【構成】 顕微鏡装置は、除振テーブル１に固定した磁
性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上
支持する設置床４に固定した浮上用電磁石３と、該浮上
用電磁石３と磁性体継鉄の隙間を測定する変位センサ５
と、除振テーブル１を安定に浮上するために、変位セン
サ５からの出力を基に電磁石励磁電流を出力する補償回
路、パワーアンプから構成するコントローラとを備えた
電磁アクチュエータ９を複数個用いて支持された除振テ
ーブル１に搭載されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、理化学実験等で使用さ
れる微小な形状を観察する顕微鏡に係り、特にその設置
床からの微振動による拡大倍率の低下を防ぐことのでき
る（光学）顕微鏡に関する。
れる微小な形状を観察する顕微鏡に係り、特にその設置
床からの微振動による拡大倍率の低下を防ぐことのでき
る（光学）顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、光学顕微鏡の倍率の限界は約
千倍程度である。この拡大倍率を高く出来ない原因の一
つに、顕微鏡自体の振動により、観察像の揺れが生ずる
ことを挙げることができる。このように振動を極端に嫌
う顕微鏡は、従来から除振装置に搭載されていた。しか
しながら、従来の除振装置は、空気ばね、ゴムを用いた
簡単な構造のものであった。
千倍程度である。この拡大倍率を高く出来ない原因の一
つに、顕微鏡自体の振動により、観察像の揺れが生ずる
ことを挙げることができる。このように振動を極端に嫌
う顕微鏡は、従来から除振装置に搭載されていた。しか
しながら、従来の除振装置は、空気ばね、ゴムを用いた
簡単な構造のものであった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】空気ばね、ゴムを用い
た防振装置では、共振系を構成するため、設置床（設置
テーブル）からの振動を増幅する振動数範囲を無くすこ
とができない。そのため、空気ばね、ゴムを用いた防振
装置に搭載した顕微鏡では、振動を完全に除去すること
ができないため、拡大倍率を大きく出来なかった。
た防振装置では、共振系を構成するため、設置床（設置
テーブル）からの振動を増幅する振動数範囲を無くすこ
とができない。そのため、空気ばね、ゴムを用いた防振
装置に搭載した顕微鏡では、振動を完全に除去すること
ができないため、拡大倍率を大きく出来なかった。
【０００４】本発明は、係る従来の事情に鑑みなされた
もので、高性能の除振を実現できる磁気浮上による除振
装置に顕微鏡を搭載して、高拡大倍率を実現できる顕微
鏡装置を提供することを目的とする。
もので、高性能の除振を実現できる磁気浮上による除振
装置に顕微鏡を搭載して、高拡大倍率を実現できる顕微
鏡装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の顕微鏡装置は、
除振テーブルと、該除振テーブルに固定した磁性体継鉄
と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する
設置床に固定した浮上用電磁石と、該浮上用電磁石と磁
性体継鉄の隙間を測定する変位センサと、除振テーブル
を安定に浮上するために、変位センサからの出力を基に
電磁石励磁電流を出力する補償回路、パワーアンプから
構成するコントローラとを備えた電磁アクチュエータを
複数個用いて支持された前記除振テーブルに搭載された
ことを特徴とする。
除振テーブルと、該除振テーブルに固定した磁性体継鉄
と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触で浮上支持する
設置床に固定した浮上用電磁石と、該浮上用電磁石と磁
性体継鉄の隙間を測定する変位センサと、除振テーブル
を安定に浮上するために、変位センサからの出力を基に
電磁石励磁電流を出力する補償回路、パワーアンプから
構成するコントローラとを備えた電磁アクチュエータを
複数個用いて支持された前記除振テーブルに搭載された
ことを特徴とする。
【０００６】又、設置床に固定した水平方向振動制御用
電磁石と、前記除振テーブルに固定した水平方向制御用
磁性体継鉄と、前記除振テーブルに固定した水平方向絶
対加速度センサと、該水平方向絶対加速度センサからの
出力を基に水平方向振動制御用電磁石励磁電流を出力す
る補償回路、パワーアンプから構成するコントローラと
を備えた電磁石アクチュエータを複数個用いて、水平方
向の振動を制振制御することを特徴とする。
電磁石と、前記除振テーブルに固定した水平方向制御用
磁性体継鉄と、前記除振テーブルに固定した水平方向絶
対加速度センサと、該水平方向絶対加速度センサからの
出力を基に水平方向振動制御用電磁石励磁電流を出力す
る補償回路、パワーアンプから構成するコントローラと
を備えた電磁石アクチュエータを複数個用いて、水平方
向の振動を制振制御することを特徴とする。
【０００７】又、前記顕微鏡の鏡筒に振動センサを取付
け、その振動を測定し、その信号を最小化するように前
記電磁石励磁電流を制御することを特徴とする。又、前
記顕微鏡は、遠隔操作で顕微鏡の焦点あわせを可能にす
る機構を更に備えたことを特徴とする。又、前記顕微鏡
は、ＣＣＤカメラとＣＲＴディスプレイ装置を更に備え
たことを特徴とする。又、前記ＣＣＤカメラの出力をコ
ンピュータに入力する装置とコンピュータを接続したこ
とを特徴とする。
け、その振動を測定し、その信号を最小化するように前
記電磁石励磁電流を制御することを特徴とする。又、前
記顕微鏡は、遠隔操作で顕微鏡の焦点あわせを可能にす
る機構を更に備えたことを特徴とする。又、前記顕微鏡
は、ＣＣＤカメラとＣＲＴディスプレイ装置を更に備え
たことを特徴とする。又、前記ＣＣＤカメラの出力をコ
ンピュータに入力する装置とコンピュータを接続したこ
とを特徴とする。
【０００８】
【作用】顕微鏡を搭載する除振テーブルは、磁気的に非
接触で設置床から浮上用電磁石の磁気吸引力を用いたア
クチュエータにより支持される。この磁気浮上制御によ
り、浮上テーブルの水平方向の固有振動数を設置床の振
動周波数よりも、小さくすることができる。このため設
置床の振動は、ほとんど除振テーブルに伝達しない。
接触で設置床から浮上用電磁石の磁気吸引力を用いたア
クチュエータにより支持される。この磁気浮上制御によ
り、浮上テーブルの水平方向の固有振動数を設置床の振
動周波数よりも、小さくすることができる。このため設
置床の振動は、ほとんど除振テーブルに伝達しない。
【０００９】更に、除振テーブルと顕微鏡本体に取付け
た振動センサからの出力をゼロとなるようなフィードバ
ック制御を加えることで、鉛直方向の振動をも小さくで
きる。
た振動センサからの出力をゼロとなるようなフィードバ
ック制御を加えることで、鉛直方向の振動をも小さくで
きる。
【００１０】観察者が顕微鏡に触れると、振動が発生
し、倍率低下の原因となる。このため、遠隔操作で、顕
微鏡の焦点を合わす機構を取付ける。焦点があったかど
うかは、ＣＣＤカメラの出力をコンピュータで画像処理
して、その結果を焦点あわせの機構の駆動回路にフィー
ドバックすることで、観察者が介在することなく、焦点
合わせが可能となる。
し、倍率低下の原因となる。このため、遠隔操作で、顕
微鏡の焦点を合わす機構を取付ける。焦点があったかど
うかは、ＣＣＤカメラの出力をコンピュータで画像処理
して、その結果を焦点あわせの機構の駆動回路にフィー
ドバックすることで、観察者が介在することなく、焦点
合わせが可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例の顕微鏡装置につい
て添付図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の
一実施例の顕微鏡装置の構造を示し、図２は顕微鏡を搭
載した除振テーブルを磁気浮上支持するアクチュエータ
の構造を示す。光学顕微鏡装置２０は、除振テーブル１
に搭載され、複数のアクチュエータ９により設置床４か
ら磁気浮上支持されている。
て添付図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の
一実施例の顕微鏡装置の構造を示し、図２は顕微鏡を搭
載した除振テーブルを磁気浮上支持するアクチュエータ
の構造を示す。光学顕微鏡装置２０は、除振テーブル１
に搭載され、複数のアクチュエータ９により設置床４か
ら磁気浮上支持されている。
【００１２】除振テーブル１を浮上支持するアクチュエ
ータ９は、除振テーブル１に固定した磁性体継鉄２と、
その磁性体継鉄２を磁気力により非接触で浮上支持する
設置床４に固定した浮上用電磁石３とから構成される。
なお、設置床４は設置テーブルであってもよく、この場
合は設置テーブルが設置床に固定される。除振テーブル
１の鉛直方向の浮上位置は、浮上用電磁石３の磁性体継
鉄２の磁極面の隙間を測定する変位センサ５からの信号
を、補償回路６、パワーアンプ７からなるコントローラ
８により浮上用電磁石３の励磁電流を制御することによ
り行われる。
ータ９は、除振テーブル１に固定した磁性体継鉄２と、
その磁性体継鉄２を磁気力により非接触で浮上支持する
設置床４に固定した浮上用電磁石３とから構成される。
なお、設置床４は設置テーブルであってもよく、この場
合は設置テーブルが設置床に固定される。除振テーブル
１の鉛直方向の浮上位置は、浮上用電磁石３の磁性体継
鉄２の磁極面の隙間を測定する変位センサ５からの信号
を、補償回路６、パワーアンプ７からなるコントローラ
８により浮上用電磁石３の励磁電流を制御することによ
り行われる。
【００１３】顕微鏡装置を搭載した除振テーブル１の水
平方向の除振制御は、除振テーブル１に固定された水平
方向絶対加速度センサ１３からの出力に基づき、補償回
路１４及びパワーアンプ１５からなるコントローラ１６
により、振動を減衰する励磁電流を水平方向振動制御用
電磁石１１に与え、除振テーブル１に固定した水平方向
制御用磁性体継鉄との間に磁気吸引力を作用させる。
平方向の除振制御は、除振テーブル１に固定された水平
方向絶対加速度センサ１３からの出力に基づき、補償回
路１４及びパワーアンプ１５からなるコントローラ１６
により、振動を減衰する励磁電流を水平方向振動制御用
電磁石１１に与え、除振テーブル１に固定した水平方向
制御用磁性体継鉄との間に磁気吸引力を作用させる。
【００１４】更に、本実施例の顕微鏡装置は、顕微鏡の
鏡筒２１に振動センサ１７，１８を取り付け、鏡筒２１
に生じる実際の振動を測定する。水平方向振動センサ１
８の出力は、水平方向コントローラ１６に入力され、水
平方向の振動を最小化するように水平方向制御用電磁石
１１の励磁電流を制御する。同様に、鉛直方向振動セン
サ１７の出力は、鉛直方向コントローラ８に入力され、
鏡筒２１に生じた鉛直方向の振動を最小化するように浮
上用電磁石３の励磁電流が制御される。
鏡筒２１に振動センサ１７，１８を取り付け、鏡筒２１
に生じる実際の振動を測定する。水平方向振動センサ１
８の出力は、水平方向コントローラ１６に入力され、水
平方向の振動を最小化するように水平方向制御用電磁石
１１の励磁電流を制御する。同様に、鉛直方向振動セン
サ１７の出力は、鉛直方向コントローラ８に入力され、
鏡筒２１に生じた鉛直方向の振動を最小化するように浮
上用電磁石３の励磁電流が制御される。
【００１５】更に、本顕微鏡装置２０は遠隔操作で顕微
鏡の焦点合わせを可能にする焦点合わせ駆動機構２２を
備えている。焦点合わせ駆動機構２２は、例えばステッ
ピングモータとギアで構成され、顕微鏡の鏡筒２１を微
小距離上下方向に移動させることにより高拡大倍率の顕
微鏡の焦点を合わせることができる。ステッピングモー
タは、電気信号で駆動されるので、直接顕微鏡装置に人
手を触れることなく焦点合わせを行うことができる。
鏡の焦点合わせを可能にする焦点合わせ駆動機構２２を
備えている。焦点合わせ駆動機構２２は、例えばステッ
ピングモータとギアで構成され、顕微鏡の鏡筒２１を微
小距離上下方向に移動させることにより高拡大倍率の顕
微鏡の焦点を合わせることができる。ステッピングモー
タは、電気信号で駆動されるので、直接顕微鏡装置に人
手を触れることなく焦点合わせを行うことができる。
【００１６】更に、本顕微鏡装置２０は鏡筒２１の上部
にＣＣＤカメラ２３と、ＣＲＴディスプレー装置２４と
を備えている。また、ＣＣＤカメラ２３の出力はコンピ
ュータに入力する装置を介してコンピュータ２５と接続
されている。従って、光学顕微鏡装置２０の高拡大倍率
の拡大像はＣＣＤカメラ２３により撮像され、ＣＲＴデ
ィスプレー装置２４に表示することができる。従って、
人間が直接顕微鏡装置２０に触れることなく、高拡大倍
率の拡大像を観察することができる。
にＣＣＤカメラ２３と、ＣＲＴディスプレー装置２４と
を備えている。また、ＣＣＤカメラ２３の出力はコンピ
ュータに入力する装置を介してコンピュータ２５と接続
されている。従って、光学顕微鏡装置２０の高拡大倍率
の拡大像はＣＣＤカメラ２３により撮像され、ＣＲＴデ
ィスプレー装置２４に表示することができる。従って、
人間が直接顕微鏡装置２０に触れることなく、高拡大倍
率の拡大像を観察することができる。
【００１７】尚、以上の説明は光学顕微鏡の例について
行われたが、電子顕微鏡等の光学系以外の高拡大倍率の
顕微鏡に適用できるのは勿論のことである。このよう
に、本発明の趣旨を逸脱することなく、種々の変形実施
例が可能である。
行われたが、電子顕微鏡等の光学系以外の高拡大倍率の
顕微鏡に適用できるのは勿論のことである。このよう
に、本発明の趣旨を逸脱することなく、種々の変形実施
例が可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の除
振装置を備えた（光学）顕微鏡装置では、サブミクロン
の形状を容易に観察できる。
振装置を備えた（光学）顕微鏡装置では、サブミクロン
の形状を容易に観察できる。
【図１】本発明の一実施例の顕微鏡装置の説明図。
【図２】除振テーブルを磁気浮上するアクチュエータの
説明図。
説明図。
１ 除振テーブル ２，１２ 磁性体継鉄 ３ 浮上用電磁石 ４ 設置床 ５ 変位センサ ６，１４ 補償回路 ７，１５ パワーアンプ ８，１６ コントローラ ９ アクチュエータ １１ 水平方向振動制御用電磁石 １３ 加速度センサ １７，１８ 振動センサ ２０ 顕微鏡装置 ２１ 鏡筒 ２２ 焦点合わせ駆動機構 ２３ ＣＣＤカメラ ２４ ＣＲＴ表示装置 ２５ コンピュータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 幸雄 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 広瀬 政義 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会社 荏原製作所内 (72)発明者 箭野 憲一 東京都調布市飛田給２丁目19番１号 鹿島 建設株式会社技術研究所内
Claims (6)
- 【請求項１】 除振テーブルと、該除振テーブルに固定
した磁性体継鉄と、該磁性体継鉄を磁気力により非接触
で浮上支持する設置床に固定した浮上用電磁石と、該浮
上用電磁石と磁性体継鉄の隙間を測定する変位センサ
と、除振テーブルを安定に浮上するために、変位センサ
からの出力を基に電磁石励磁電流を出力する補償回路、
パワーアンプから構成するコントローラとを備えた電磁
アクチュエータを複数個用いて支持された前記除振テー
ブルに搭載されたことを特徴とする顕微鏡装置。 - 【請求項２】 設置床に固定した水平方向振動制御用電
磁石と、前記除振テーブルに固定した水平方向制御用磁
性体継鉄と、前記除振テーブルに固定した水平方向絶対
加速度センサと、該水平方向絶対加速度センサからの出
力を基に水平方向振動制御用電磁石励磁電流を出力する
補償回路、パワーアンプから構成するコントローラとを
備えた電磁石アクチュエータを複数個用いて、水平方向
の振動を制振制御することを特徴とする請求項１記載の
顕微鏡装置。 - 【請求項３】 前記顕微鏡の鏡筒に振動センサを取付
け、その振動を測定し、その信号を最小化するように前
記電磁石励磁電流を制御することを特徴とする請求項１
又は２記載の顕微鏡装置。 - 【請求項４】 前記顕微鏡は、遠隔操作で顕微鏡の焦点
あわせを可能にする機構を更に備えたことを特徴とする
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の顕微鏡装置。 - 【請求項５】 前記顕微鏡は、ＣＣＤカメラとＣＲＴデ
ィスプレイ装置を更に備えたことを特徴とする請求項１
乃至４のいずれか一項に記載の顕微鏡装置。 - 【請求項６】 前記ＣＣＤカメラの出力をコンピュータ
に入力する装置とコンピュータを接続したことを特徴と
する請求項５記載の顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5347880A JP2694681B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 顕微鏡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5347880A JP2694681B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 顕微鏡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07181395A true JPH07181395A (ja) | 1995-07-21 |
| JP2694681B2 JP2694681B2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=18393228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5347880A Expired - Fee Related JP2694681B2 (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 顕微鏡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2694681B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005099607A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101328036B1 (ko) * | 2011-08-31 | 2013-11-13 | 광주과학기술원 | 진동방지 구조를 갖는 현미경 어셈블리 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61215826A (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-25 | Sanai Kogyo Kk | 防振テ−ブル水平保持装置 |
| JPH02190640A (ja) * | 1989-01-18 | 1990-07-26 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 精密除振装置 |
| JPH02266134A (ja) * | 1989-04-04 | 1990-10-30 | Ebara Res Co Ltd | 除振台用制振装置 |
| JPH02309037A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-25 | Kosuke Nagaya | 磁気浮上防振台 |
| JPH0510388A (ja) * | 1991-07-03 | 1993-01-19 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 振動絶縁装置 |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP5347880A patent/JP2694681B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61215826A (ja) * | 1985-03-19 | 1986-09-25 | Sanai Kogyo Kk | 防振テ−ブル水平保持装置 |
| JPH02190640A (ja) * | 1989-01-18 | 1990-07-26 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 精密除振装置 |
| JPH02266134A (ja) * | 1989-04-04 | 1990-10-30 | Ebara Res Co Ltd | 除振台用制振装置 |
| JPH02309037A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-25 | Kosuke Nagaya | 磁気浮上防振台 |
| JPH0510388A (ja) * | 1991-07-03 | 1993-01-19 | Showa Electric Wire & Cable Co Ltd | 振動絶縁装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005099607A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Olympus Corp | 顕微鏡装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2694681B2 (ja) | 1997-12-24 |
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Legal Events
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