JPH02309037A - 磁気浮上防振台 - Google Patents
磁気浮上防振台Info
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- JPH02309037A JPH02309037A JP12849489A JP12849489A JPH02309037A JP H02309037 A JPH02309037 A JP H02309037A JP 12849489 A JP12849489 A JP 12849489A JP 12849489 A JP12849489 A JP 12849489A JP H02309037 A JPH02309037 A JP H02309037A
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- Japan
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- permanent magnet
- displacement
- speed
- voltage
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- Pending
Links
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Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
近年工作・計測技術の高度化に伴い、機械・構造物の防
撮対策が重要になりつつある。とくに精2!機械・計i
11器を支持する防振台については、高精度の位置の保
持と撮動抑制対策が要求されている。
撮対策が重要になりつつある。とくに精2!機械・計i
11器を支持する防振台については、高精度の位置の保
持と撮動抑制対策が要求されている。
本発明はこのような分野における防振台に間するもので
ある。
ある。
(従来の技術)
従来の防振台は質量の大きなテーブルを空気ばね等で支
持し、微小厖動をテーブルの慣性力で遮断するものが主
であるが、このような防振台は大型でかつ高価なため、
小さな実験室で手軽に利用できる状況には無い。とくに
近年計測の高精度化が要求され、極めて安定した防振台
が必要であり、かつ小型・軽量のハンディ−タイプのも
のも要求されてはいるが、従来の大型防振台では、この
要求を満たすことができなかった。また近年アクティブ
に振動を制御し、機器を防娠する方法も開発されている
が、それに用いられるアクチュエータは空圧、油圧、電
磁気であり、いずれも機器重量をもそれで支えるため、
エネルギー消費が大であった・ 〈発明が解決しようとする課題〉 本発明は、上記した従来の欠点を改善するもので、その
目的は高精度でかつ小型・軽量のハンディ−タイプの省
エネルギー型防振台を得ることである。
持し、微小厖動をテーブルの慣性力で遮断するものが主
であるが、このような防振台は大型でかつ高価なため、
小さな実験室で手軽に利用できる状況には無い。とくに
近年計測の高精度化が要求され、極めて安定した防振台
が必要であり、かつ小型・軽量のハンディ−タイプのも
のも要求されてはいるが、従来の大型防振台では、この
要求を満たすことができなかった。また近年アクティブ
に振動を制御し、機器を防娠する方法も開発されている
が、それに用いられるアクチュエータは空圧、油圧、電
磁気であり、いずれも機器重量をもそれで支えるため、
エネルギー消費が大であった・ 〈発明が解決しようとする課題〉 本発明は、上記した従来の欠点を改善するもので、その
目的は高精度でかつ小型・軽量のハンディ−タイプの省
エネルギー型防振台を得ることである。
(課題を解決するための手段)
本目的を達するため、本発明は、永久磁石と電磁石を結
合した磁石と、さらにそれと同種の磁極を対向させた永
久磁石により磁気浮上を実現させ、それら磁石の一方に
テーブルを取り付け、その変位と速度を検出し、これを
電磁石にフィードバックし、永久磁石の磁束を制御する
ことによりテーブルの撮動を制御するように構成される
ことを特徴とする磁気浮上防振台を与えるものである。
合した磁石と、さらにそれと同種の磁極を対向させた永
久磁石により磁気浮上を実現させ、それら磁石の一方に
テーブルを取り付け、その変位と速度を検出し、これを
電磁石にフィードバックし、永久磁石の磁束を制御する
ことによりテーブルの撮動を制御するように構成される
ことを特徴とする磁気浮上防振台を与えるものである。
なお本発明に用いている電磁石の代わりに永久磁石に直
接コイルを巻いても同様の効果が得られる。
接コイルを巻いても同様の効果が得られる。
(作用)
高精度でかつ小型・軽量のハンディ−タイプの安価な防
振台の開発は未だ不十分で、レーザ等を用いた一般の実
験室での精密計測に支障を来している。したがって本発
明により、高精度の工作機械、肚測器ならびに高精度の
制御機器の開発が促進される。
振台の開発は未だ不十分で、レーザ等を用いた一般の実
験室での精密計測に支障を来している。したがって本発
明により、高精度の工作機械、肚測器ならびに高精度の
制御機器の開発が促進される。
(実施例)
本発明で提案する小型防振台は永久磁石と電磁石を結合
した固定磁石とそれと同じ磁極が対向する可動永久磁石
から成り、機器重量の支持力としては永久磁石による磁
気浮上刃を用い、所定位置からの微小補正のための操作
力ならびに外乱が作用したときの撮動制御力を電磁石に
より永久磁石の磁界を変化させて得るものである。この
台の防振法の原理は外乱により発生する防振台テーブル
の撮動の変位と速度をセンサーにより検出し、それを電
磁石にフィードバックしてS勤を消失させるものである
。
した固定磁石とそれと同じ磁極が対向する可動永久磁石
から成り、機器重量の支持力としては永久磁石による磁
気浮上刃を用い、所定位置からの微小補正のための操作
力ならびに外乱が作用したときの撮動制御力を電磁石に
より永久磁石の磁界を変化させて得るものである。この
台の防振法の原理は外乱により発生する防振台テーブル
の撮動の変位と速度をセンサーにより検出し、それを電
磁石にフィードバックしてS勤を消失させるものである
。
以上に基ずく具体的な実施例を以下に説明する。
本発明の防振台の実施例は第1図に示されようなもので
、環状の希土類永久磁石4およびその外径と鉄芯径が等
しい電磁石5とが接合されたもの〈以下永電磁石とも称
する)に案内棒を取り付け、この固定永久磁石と同一の
永久磁石3が取り付けられた可動物体(以下テーブルと
称する)2が、固定磁石と同種の極が対向するように配
置され、磁極間−こ作用する反発力により浮上している
。このテーブル2に外乱による変位あるいは速度が与え
られた場合に、最適レギュレータによりテーブルの応答
を制御するものである。テーブル2はアルミニウム製で
、その上面の変位を非接触変位計で検出し、直流分キャ
ンセルアダプタ7を通して釣合位置での出力電圧を零と
する。この出力電圧を分岐し、ひとつは微分回路8を通
して速度電圧に変換し、加算回路9の速度端子に入力す
る。もうひとつは加算回路の変位端子に人力する。加算
回路では変位電圧と速度電圧とをそれぞれの最適フィー
ドバック係数に等しい割合で加算し、その出力電圧をパ
ワーアンプ10で増幅し、必要な操作電流を得る。テー
ブルの変位は直流分キャンセルアダプタからの出力電圧
をペン書オシロ11に記録する。また外乱の初朋変位は
電圧計6で監視して与えるようにしである。
、環状の希土類永久磁石4およびその外径と鉄芯径が等
しい電磁石5とが接合されたもの〈以下永電磁石とも称
する)に案内棒を取り付け、この固定永久磁石と同一の
永久磁石3が取り付けられた可動物体(以下テーブルと
称する)2が、固定磁石と同種の極が対向するように配
置され、磁極間−こ作用する反発力により浮上している
。このテーブル2に外乱による変位あるいは速度が与え
られた場合に、最適レギュレータによりテーブルの応答
を制御するものである。テーブル2はアルミニウム製で
、その上面の変位を非接触変位計で検出し、直流分キャ
ンセルアダプタ7を通して釣合位置での出力電圧を零と
する。この出力電圧を分岐し、ひとつは微分回路8を通
して速度電圧に変換し、加算回路9の速度端子に入力す
る。もうひとつは加算回路の変位端子に人力する。加算
回路では変位電圧と速度電圧とをそれぞれの最適フィー
ドバック係数に等しい割合で加算し、その出力電圧をパ
ワーアンプ10で増幅し、必要な操作電流を得る。テー
ブルの変位は直流分キャンセルアダプタからの出力電圧
をペン書オシロ11に記録する。また外乱の初朋変位は
電圧計6で監視して与えるようにしである。
第2図はこのような実験により得られた電磁石の無い単
純な@気浮上防掘台の応答であり、縦軸Xはテーブル変
位を、横軸tは時間を表す。また第3図は本発明による
永電磁石を用いたアクティブ制御されたテーブルの応答
の一例である。第2図と第3図を比べると、明かに本発
明の防振台テーブルの方が速やかに撮動が減衰している
ことがわかる。
純な@気浮上防掘台の応答であり、縦軸Xはテーブル変
位を、横軸tは時間を表す。また第3図は本発明による
永電磁石を用いたアクティブ制御されたテーブルの応答
の一例である。第2図と第3図を比べると、明かに本発
明の防振台テーブルの方が速やかに撮動が減衰している
ことがわかる。
(発明の効果)
本発明は以上のように構成したので、つぎのような効果
が得られた。
が得られた。
(1)本発明の防振台は通常の防振台に比べ、防振台の
テーブルの位置を高精度に保持でき、かつ安価である。
テーブルの位置を高精度に保持でき、かつ安価である。
(2)従来の防振台は重量があり、簡単に持ち運ぶこと
が困難であったが、本防振台は小型・軽量であるので、
ハンディ−タイプとすることができる。
が困難であったが、本防振台は小型・軽量であるので、
ハンディ−タイプとすることができる。
(3)本発明の防振台は機器の支持力には永久磁石を用
いており、防振テーブルの位置の微小補正と外乱の制御
だけに電磁石を用いているので、従来のアクティブ制御
型防振台に比べても、小型・軽量とすることができ、か
つ電力消費量を極端に小さくできる。
いており、防振テーブルの位置の微小補正と外乱の制御
だけに電磁石を用いているので、従来のアクティブ制御
型防振台に比べても、小型・軽量とすることができ、か
つ電力消費量を極端に小さくできる。
第1図は本発明の実施例の構成図、第2図は実施例と同
じ重量のテーブルを有し、かつ同じ永久磁石で構成され
た通常の磁気浮上防振台テーブルの振動応答のグラフ図
であり、第3図は本発明の実施例の防振台テーブルの振
動応答のグラフ図の一例である。 図中符号、1・・・非接触変位計、2・・・テーブル、
3・・・可動永久磁石、4・・・固定永久磁石、6・・
・電磁石、6・・・直流電圧計、7・・・直流分キャン
セルアダプタ、8・・・微分回路、9・・・加算回路、
10・・・電力増幅器、it・・・ペン書きオシログラ
フ。
じ重量のテーブルを有し、かつ同じ永久磁石で構成され
た通常の磁気浮上防振台テーブルの振動応答のグラフ図
であり、第3図は本発明の実施例の防振台テーブルの振
動応答のグラフ図の一例である。 図中符号、1・・・非接触変位計、2・・・テーブル、
3・・・可動永久磁石、4・・・固定永久磁石、6・・
・電磁石、6・・・直流電圧計、7・・・直流分キャン
セルアダプタ、8・・・微分回路、9・・・加算回路、
10・・・電力増幅器、it・・・ペン書きオシログラ
フ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 永久磁石と電磁石を結合した磁石と さらにそれと同種の磁極を対向させた永久磁石により磁
気浮上を実現させ、 それら磁石の一方にテーブルを取り付け、 その変位と速度を検出し、これを電磁石にフィードバッ
クし、永久磁石の磁束を制御することによりテーブルの
振動を制御するように構成されることを特徴とする磁気
浮上防振台
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12849489A JPH02309037A (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 磁気浮上防振台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12849489A JPH02309037A (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 磁気浮上防振台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02309037A true JPH02309037A (ja) | 1990-12-25 |
Family
ID=14986138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12849489A Pending JPH02309037A (ja) | 1989-05-22 | 1989-05-22 | 磁気浮上防振台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02309037A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07181395A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Ebara Corp | 顕微鏡装置 |
-
1989
- 1989-05-22 JP JP12849489A patent/JPH02309037A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07181395A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-21 | Ebara Corp | 顕微鏡装置 |
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