JP2005099607A - 顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液晶基板5の観察面に近接し、かつ顕微鏡13の対物レンズ15を通る光軸上に観察用の開口部24を設けた防音板23を液晶基板5を覆って設けた。
【選択図】 図1
Description
Claims (6)
- 試料を載置するステージと、
前記試料を拡大視する対物レンズを有する顕微鏡と、
前記顕微鏡を支持するフレームと、
前記試料の前記観察面に近接すると共に前記試料の観察領域を含む少なくとも一部を覆い、かつ前記顕微鏡の前記対物レンズ用の観察窓を設けた制振板と、
を具備したことを特徴とする顕微鏡装置。 - 前記制振板は、空気中を伝播してくる空気振動を反射、吸収することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡装置。
- 前記制振板は、前記ステージを介して前記試料に伝達される振動を、前記試料との間における薄い厚さの空気層によって減衰することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡装置。
- 前記制振板は、前記顕微鏡装置及び前記試料に有する機械共振周波数の近傍に共振周波数を持たず、かつ前記空気振動を反射、吸収する材質により形成されることを特徴とする請求項1記載の顕微鏡装置。
- 前記制振板は、光透過性の板材の両面を各金属板により挟み、かつ前記各金属板に前記観察用の前記開口部を設けたハニカム構造であることを特徴とする請求項1記載の顕微鏡装置。
- 前記制振板の前記観察窓に光透過性部材を設けたことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡装置。
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-
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- 2003-09-26 JP JP2003335466A patent/JP4472300B2/ja not_active Expired - Fee Related
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