KR20060049624A - 티에프티 엘시디 판넬 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의광원 설치 방법 - Google Patents

티에프티 엘시디 판넬 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의광원 설치 방법 Download PDF

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KR20060049624A
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Abstract

테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비에 관한 것이다. 자동 광학 검사 장치는 소형 청정실과, 상기 소형 청정실 내에 배치되며 적어도 하나 이상의 촬상 장치를 포함하는 적어도 하나 이상의 갠트리와, 상기 소형 청정실의 탑 커버에 배치된 적어도 하나 이상의 분진 공기 필터와, 상기 촬상 장치 하부에 위치하며 테스트 중인 상기 판넬을 운반 및 이동하기 위한 판넬 운반기와, 이미지 캡쳐에 필요한 조명을 제공하는 적어도 하나 이상의 광원을 포함하는 적어도 하나 이상의 램프 하우스와, 상기 램프 하우스에서부터 상기 소형 청정실 내 상기 판넬 운반기 상에 위치한 테스트 중인 상기 판넬 위쪽으로 빛을 전달하기 위하여 적어도 하나 이상의 라이트 가이드를 포함한다. 테스트 중인 판넬 상에 라이트 가이드에 의하여 전달된 빛이 투사될 때, 촬상 장치에 의하여 캡쳐된 이미지는 테스트 중인 판넬이 이물질이나 결점을 가지고 있는지 여부를 결정할 수 있다. 그리고 램프 하우스가 고장이 났을 때, 고치거나 교체하기 위하여 소형 청정실을 개방할 필요가 없다. 더욱이, TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인에 사용되는 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법도 제공한다.
TFT LCD 판넬, 생산라인, 광학검사장비, 광원, 램프 하우스, 촬상 장치

Description

티에프티 엘시디 판넬 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법{Methods of Light Source Installation of an Automatic Optical Inspection Machine for the TFT LCD Panel Production Lines}
도 1은 종래의 평판형 표시장치용 자동 광학 검사 장비의 램프 하우스 설치의 일예를 나타내는 도면.
도 2는 종래의 평판형 표시장치용 자동 광학 검사 장비의 램프 하우스 설치의 다른 예를 나타내는 도면.
도 3A는 본 발명에 따른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장의 평면도.
도 3B는 본 발명에 따른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 대형 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인 용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 사시도.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 대형 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 사시도.
본 발명은 평판형 표시장치(FPD: Flat Panel Display)에 사용되는 자동 광학 검사 장비의 광원을 설치하는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 특히 TFT LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display) 판넬에 사용되는 자동 광학 검사 장비의 광원을 설치하는 방법 및 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래의 평판형 표시장치를 검사하기 위한 자동 광학 검사 장비에서 사용되는 램프 하우스의 설치를 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 종래의 평판형 표시장치를 검사하기 위한 광학 검사 장비의 램프 하우스(75)는 소형 청정실(70)의 밑 부분에 배치되며, 라이트 가이드(76)는 소형 청정실(70)내에서 빛을 평판형 표시장치(77)의 위쪽 부분으로 전달시킴으로써 자동 광학 검사 장비를 가동하여 평판형 표시장치(77)에 대한 광학 검사를 수행하기 위하여 사용된다. 하지만, 램프 하우스(75)에 사용되는 이런 종류의 설치 방법은 다음과 같은 결점이 있다. 라이트 가이드(76)는 소형 청정실(7) 내에서 측면 또는 측면 위쪽으로 통과하여야 하며, 테스터 중인 평판형 표시장치(77) 위쪽에 있는 모든 바람직한 위치에 연결되 어야 하기 때문에 라이트 가이드(76)의 길이는 보통 3미터 내지 7 미터가 된다. 이러한 라이트 가이드(76)의 길이는 명도의 현저한 감소(심한 경우에는 80%의 명도 감소)를 초래하며 평판형 표시 장치의 광학 검사에는 적합하지 않다.
도 2는 또 다른 종래의 평판형 표시장치를 검사하기 위한 자동 광학 검사 장비에서 사용되는 램프 하우스의 설치를 나타내는 도면이다. 도 2를 참조하면, 종래의 평판형 표시장치를 검사하기 위한 광학 검사 장비의 램프 하우스(85)는 열 방출 및 광원(전구)의 용이한 교체를 위하여 소형 청정실의 바깥 측면에 위치한 램프 하우스실(81)(Lamp House Compartment) 내에 배치된다. 라이트 가이드(86)는 테스터 중인 평판형 표시장치(87)의 위쪽으로 빛을 전달시키기 위하여 사용된다. 이러한 설치 방법은 라이트 가이드(87)의 길이는 줄일 수 있지만, 이러한 방법으로 램프 하우스(85)를 설치하는 것은 다음과 같은 단점이 있다. 램프 하우스는 소형 청정기(80)의 바깥 측면 상에 위치한 램프 하우스실(81) 내에 설치되기 때문에, 램프 하우스의 수는 제한된다. 더욱이, 이러한 라이트 가이드(86)의 길이는 성취 가능한 최소한의 길이가 아니기 때문에, 대형 평판 표시장치를 위하여 대형 광학 검사 장비에 사용되는 라이트 가이드(86)의 성능을 최적화할 수 없게 된다.
종래의 평판형 표시장치를 위한 자동 광학 검사 장치의 결점들을 감안하여, 본 발명은 평판형 표시장치의 결점 검사를 위하여 물리적으로 강화된 소형 청정실의 탑 커버에 램프 하우스를 설치하고 소형 청정실 내의 평판형 표시장치 운반기 위쪽으로 빛을 전달하는 라이트 가이드를 사용하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 제공하는 것이 목적이다. 이러한 설치 방법에 따르면 라이트 가이드의 길이를 최대한으로 축소시킬 수 있을 뿐 아니라, 사용자들이 용이하게 광원(전구)를 교체할 수 있게 한다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 소형 청정실을 제공하는 단계, 상기 소형 청정실의 탑 커버에 배치된 적어도 하나 이상의 분진 공기 필터를 제공하는 단계, 상기 소형 청정실 내에 배치되며 적어도 하나 이상의 촬상 장치를 포함하는 적어도 하나 이상의 갠트리를 제공하는 단계, 상기 촬상 장치 하부에 위치하며 테스트 중인 상기 판넬을 운반 및 이동하기 위한 판넬 운반기를 제공하는 단계, 이미지 캡쳐에 필요한 조명을 제공하는 적어도 하나 이상의 광원을 포함하는 적어도 하나 이상의 램프 하우스를 제공하는 단계, 상기 램프 하우스에서부터 상기 소형 청정실 내 상기 판넬 운반기 상에 위치한 테스트 중인 상기 판넬 위쪽으로 빛을 전달하기 위하여 적어도 하나 이상의 라이트 가이드를 제공하는 단계를 포함하며 램프 하우스는 평판형 표시장치 운반기의 평면 위쪽 및 소형 청정실의 탑 커버 바깥쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법을 제공한다. 따라서, 램프 하우스를 정기적으로 관리하거나 수리할 때, 광원(전구)를 교체하기 위하여 소형 청정실을 개방할 필요가 없다. 평판형 표시장치 상에 라이트 가이드에 의하여 전달된 빛이 투사될 때, 촬상 장치에 의하여 캡쳐된 이미지는 자동 광학 검사를 수행하기 위하여 사용된다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 소형 청정실, 상기 소형 청정실 내에 배치되며 적어도 하나 이상의 촬상 장치를 포함하는 적어도 하나 이상의 갠트리, 상기 소형 청정실의 탑 커버에 배치된 적어도 하나 이상의 분진 공기 필터, 상기 촬상 장치 하부에 위치하며 테스트 중인 상기 판넬을 운반 및 이동하기 위한 판넬 운반기, 이미지 캡쳐에 필요한 조명을 제공하는 적어도 하나 이상의 광원을 포함하는 적어도 하나 이상의 램프 하우스, 상기 램프 하우스에서부터 상기 소형 청정실 내 상기 판넬 운반기 상에 위치한 테스트 중인 상기 판넬 위쪽으로 빛을 전달하기 위하여 적어도 하나 이상의 라이트 가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 제공한다. 그래서, 평판형 표시장치 상에 라이트 가이드에 의하여 전달된 빛이 투사될 때, 촬상 장치에 의하여 캡쳐된 이미지는 테스트 중인 평판형 표시장치 상에 이물질이나 결점이 있는지를 찾아낼 수 있다. 더욱이, 램프 하우스가 고장이 나면, 광원을 고치거나 교체하기 위하여 소형 청정실을 개방할 필요가 없다.
도 3A 및 도 3B는 각각 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 평면도 및 사시도이다. 도면을 참조하면, 평판 표시장치 상에 이물질이나 결점을 검사하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인에서 TFT LCD 판넬을 검사하는 자동 광학 검사 장비는 소형 청정실(10), 하나 이상의 갠트리(gantry)(20), 하나 이상의 분진 공기 필터(30), 평판형 표시장치 운반기(40), 하 나 이상의 램프 하우스(50), 그리고 하나 이상의 라이트 가이드(60)를 포함한다.
소형 청정실(10)의 탑 커버는 대체적으로 계단 형태이며, 하부 탑 커버(11)와 상부 탑 커버(12)를 포함한다. 하부 탑 커버(11)는, 램프 하우스(50)의 광원을 교체하기 위하여 청정실(10)을 개방하지 않고 하부 탑 커버위에서 정비사가 작업할 수 있도록 100Kg 이상의 몸무게를 지탱할 수 있는, 바람직하게 물리적으로 강화된 탑 커버이며, 정비사들이 광원을 교체함에 있어, 청정실(10)을 개방하지 않고, 물리적으로 강화된 탑 커버 위에서 작업하여, 작은 먼지들이 소형 청정실(10) 내로 들어가는 피할 수 있어, 테스터 중인 평판형 표시장치(41)의 생산량에 영향을 미친는 것을 피할 수 있다. 테스터 중인 평판형 표시장치는 유리 판넬, TFT 판넬, TFT 제조 공정 중의 반제품 판넬, 칼라 필터 판넬, 칼라 필터 제조 공정 중의 반제품 판넬, 및 편광 시트 판넬 중에서 바람직한 하나를 선택한다.
갠트리(20)는 소형 청정실(10)에 배치되며, 적어도 하나 이상의 촬상 장치(21)를 포함하고 있다. 촬상 장치(21)는 CMOS 라인-스캔 카메라 또는 CCD 라인-스캔 카메라를 포함하며, 이에 한정되지는 않는다. 촬상 장치(21)는 바람직하게 평판형 표시장치 운반기(40) 상에 있는 평판형 표시장치(41) 위쪽에 배치된다. 갠트리(20) 상에 배치된 촬상 장치(21)는 다른 실시예에서는 갠트리(20)의 X 축에 평행한 경로를 따라서 앞뒤로 움직일 수 있다. 라이트 가이드(60)가 앞뒤로 구부러질 때 이로 인하여 떨어지는 분진들이 생겨나기 때문에 이를 방지하기 위하여 라이트 가이드(60), 촬상 장치(21) 및 램프 하우스(50)등이 모두 함께 동시적으로 평행하게 움직이는 것이 이상적이다.
고효율 분진 공기 필터(HEPA: High Efficiency Particulate Air filter)를 포함하는 분진 공기 필터(30)는 상부 탑 커버(12)의 위치에 배치된다. 여기서, 고효율 분진 공기 필터에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 공기는 분진 공기 필터(30)의 위쪽에서부터 분진 공기 필터(30)쪽으로 유입되며, 소형 청정실(10)의 청결함을 강화하기 위하여 소형 청정실 내의 아래 방향으로 흐른다. 본 발명의 실시예에서는 하나의 분진 공기 필터(30)가 사용되지만 다수의 분진 공기 필터들을 사용할 수 있다.
갠트리(20)(gantry)의 내부에 배치되며 촬상 장치(21)의 하부에 위치하는 평판형 표시장치 운반기(40)는 테스터 중인 평판형 표시장치(41)를 운반하며, 표시장치(41)의 광학 스캐닝을 위해 필요한 일정한 속도의 움직임을 제공하고, 표시장치(41)의 기계적인 움직임(판넬이 들어오고 나가는)을 제공한다.
램프 하우스(50)는 조명을 제공하기 위하여 적어도 하나 이상의 광원(도시되지 않음)을 포함한다. 라이트 가이드(60)의 한쪽 끝은 램프 하우스(50)에 부착되어 있고, 탑 커버의 외부에 있는 램프 하우스(50)로부터 아래쪽으로 연장된다. 그리고, 라이트 가이드(60)는 소형 청정실(10) 내의 평판형 표시장치 운반기(41)의 위쪽으로 빛을 전달하기 위하여 소형 청정실(10)을 통과하여 들어온다. 이러한 연결 방식으로 검사에 필요한 광원을 제공한다.
램프 하우스(50)는 바람직하게 하부 탑 커버(11)의 위쪽에 배치되며, 가능한 라이트 가이드(60)의 길이를 최소화하고 빛이 라이트 가이드(60)를 통과할 때 명도 감소를 줄이기 위하여 갠트리(20) 상의 촬상 장치(21)에 근접하게 위치한다. 그 결 과로서, 또한 광학 스캐닝 성능을 향상시킨다. 본 발명의 실시예에서는 램프 하우스(50)가 하부 탑 커버(11)에 배치되지만 그 위치에 제한되는 것은 아니다.
또한, 검사 장치는 필요할 때 자동 광학 검사 장비의 이동을 원할하게 하기 위하여 밑면에 다수의 바퀴들(14)을 더 포함한다.
본 발명의 실시예를 따른 평판형 표시장치용 자동 광학 검사 장비가 작동 중일 때, 검사 중의 판넬(41)은 먼저 평판형 표시장치 운반기(40) 상에 놓여지며 동시에 움직인다. 판넬(41)이 촬상 장치(21)의 아래 부분으로 움직일 때, 라이트 가이드(60)에 의해서 이동된 빛은 테스터 중인 판넬(41) 상에 투사되어진다. 촬상 장치(21)에 의해서 캡쳐된 이미지는 테스트 중인 판넬(41) 상에 이물질이나 결점이 있는지를 결정한다. 만약 램프 하우스(50)가 고장난다면, 광원을 교체하기 위하여 소형 청정실(10)을 개방할 필요가 없다. 본 발명을 통하여, 소형 청정실(10)의 청결함을 유지할 뿐만 아니라 점검 시간을 줄일 수 있으며 생산 능력을 향상시킨다. 더욱이, 실제 상황에서는 소형 청정실(10)의 크기는 확장될 수 있으며, 하부 탑 커버(11)의 위쪽에 배치되는 램프 하우스(50)의 수량도 증가 될 수 있다. 따라서, 대형 평판형 표시장치에 사용되는 자동 광학 검사 장비 장치의 요구사항을 만족시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비는 분진 공기 필터(30)를 하부 탑 커버(11) 및 상부 탑 커버(12)에 배치할 수 있다. 램프 하우스(50)는 하부 탑 커버(11)에 위치한 분진 공기 필터(30)의 위쪽에 있는 지지플랫폼(15)(supportive platform)에 배치된다. 에어 갭(13)은 하부 탑 커버(11)에 위치한 분진 공기 필터(30) 상의 공기 유입구들 사이에서 유지된다. 따라서, 공기는 에어 갭(13)으로부터 분진 공기 필터(30) 방향으로 흐르며, 소형 청정실(10)의 청결함을 강화하기 위하여 분진 공기 필터(30)에 의하여 여과된 후 하방으로 흘러서 소형 청정실(10)로 들어간다. 더욱이, 에어 갭(13)의 높이는 아래쪽에 위치한 분진 공기 필터(30)의 교체에 필요한 정비를 보다 용이하게 실행하기 위하여 유지된다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 도면이다. 도 5를 참조하면, TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비는 서로 같은 높이를 가진 하부 탑 커버(11) 및 상부 탑 커버(12)에 의하여 형성된 탑 커버를 포함한다. 분진 공기 필터(30)는 탑 커버의 양쪽 면에 위치하여서 공기가 분진 공기 필터(30)의 위쪽에서부터 분진 공기 필터(30) 안쪽으로 들어가고, 소형 청정실(10)의 청결함을 강화하기 위하여 분진 공기 필터(30)에 의하여 여과된 후 하방으로 흘러서 소형 청정실(10)로 들어간다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대형 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 사시도이다. 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 대형 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비는 소형 청정실(10) 내의 다수의 갠트리들(20), 다수의 촬상 장치들(21) 및 평판형 표시장치 운반기(40)(도시되지 않음)를 설치하며, 하부 탑 커버(11) 상의 다수의 램프 하우스들(50) 또는 램프 하우스(50)의 지지플랫폼 및 테스트 중인 판넬(41)에 빛을 전달하는 다수의 라이트 가이드들(60)을 더 설치한다. 그리하여, 본 발명에 따른 대형 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비는 동시적으로 다수의 촬상 장치(21)를 이용하여 테스터 중인 대형 판넬(41)을 검사하기 때문에 검사 시간과 속도를 향상시킨다. 다수의 램프 하우스들은 한 줄 또는 다수의 줄들로 배열된다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대형 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비를 나타내는 사시도이다. 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 대형 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비는 갠트리(20) 상에 위치한 촬상 장치(21)를 포함하며, 촬상 장치(21)는 갠트리(20)의 축 방향(x축)에 평행한 방향으로 앞뒤로 움직일 수 있다. 램프 하우스(50) 및 라이트 가이드(60)는 되도록이면 촬상 장치(21)와 더불어서 동시적으로 평행적인 움직임을 실행한다. 예를 들어, 촬상 장치(21) 및 라이트 가이드(60)는 x축(테스트 중인 평판형 표시장치(41)의 스캐닝 방향 및 판넬이 들어오고 나가는 방향에 수직한 축)을 따라서 앞뒤로 움직일 수 있고 램프 하우스(50)는 램프 하우스(50)의 아래쪽에 있는 X-테이블(16)(도 7에 도시된 바와 같이 하부 탑 커버(11) 위쪽에 위치한)의 이동에 의하여 x축을 따라서 동시적인 움직임을 실행할 수 있다. 그러므로, 라이트 가이드(60)가 앞뒤로 구부러질 때 이로 인하여 떨어지는 분진들이 생겨는 것을 방지할 수 있다.
더욱이, 테스터 중인 평판형 표시장치(41)를 검사하기 위하여 본 발명에 따 른 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원을 설치하는 방법은 소형 청정실(10)을 제공하는 단계(단계1)와, 상부에 적어도 하나 이상의 촬상 장치(21)를 포함하며 소형 청정실(10)에 위치하는 적어도 하나이상의 갠트리(20)를 제공하는 단계(단계2)와, 상기 청정실(10)의 상부에 배치되는 적어도 하나이상의 분진 공기 필터(30)를 제공하는 단계(단계3)와, 테스트 중인 평판용 표시장치(41)를 운반하기 위하혀 촬상 장치(21)의 하부에 위치하는 평판형 표시장치 운반기(40)를 제공하는 단계(단계4)와, 조명을 제공하기 위한 적어도 하나 이상의 광원을 포함하는 적어도 하나 이상의 램프 하우스(50)를 제공하는 단계(단계5)와, 소형 청정실(10)의 내부에 위치하는 평판형 표시장치 운반기(40)의 상부쪽으로 빛을 전달하는 라이트 가이드(60)를 제공하는 단계(단계6)를 포함하여 이루어진다. 그리하여, 라이트 가이드(60)에 의하여 전달된 빛이 테스트 중인 평판형 표시장치에 투사될 때, 촬상 장치(21)에 의해서 캡쳐된 이미지는 테스터 중인 판넬(41) 상에 이물질이나 결점이 있는지를 결정한다. 만약 램프 하우스(50)가 고장난다면, 광원(전구)을 고치거나 교체하기 위하여 소형 청정실(10)을 개방할 필요가 없다.
전술한 단계1에서, 소형 청정실(10)의 탑 커버는 대체적으로 계단 형태이며, 하부 탑 커버(11)와 상부 탑 커버(12)를 포함한다. 하부 탑 커버(11)는 바람직하게 물리적으로 강화된 탑 커버이며, 소형 청정실(10)을 개방할 필요가 없이 램프 하우스(50)의 광원을 교체하기 위하여 그 위에서 정비사가 작업할 수 있도록 100Kg 이상의 몸무게를 지탱할 수 있다. 정비사들은 단지 물리적으로 강화된 탑 커버 위에서 작업하여, 광원을 교체하기에 작은 먼지들이 소형 청정실(10) 내로 들어가는 것을 피할 수 있어, 테스터 중인 평판형 표시장치(41)의 생산량에 영향을 미치는 것을 피할 수 있다. 테스터 중인 평판형 표시장치는 유리 판넬, TFT 판넬, TFT 제조 공정 중의 반제품 판넬, 칼라 필터 판넬, 칼라 필터 제조 공정 중의 반제품 판넬, 및 편광 시트 판넬 중에서 바람직한 하나를 선택한다. 더불어, 소형 청정실(10)은 자동 광학 검사 장비의 용이한 이동을 위하여 밑면에 다수의 바퀴들(14)을 더 포함한다.
단계2에서, 갠트리(20)는 소형 청정실(10)에 배치되어 고정되며, 적어도 하나 이상의 촬상 장치(21)를 포함하고 있다. 촬상 장치(21)는 CMOS 라인-스캔 카메라 또는 CCD 라인-스캔 카메라를 포함하여, 이에 한정되는 것은 아니다. 촬상 장치(21)는 바람직하게 평판형 표시장치 운반기(40) 상에 있는 평판형 표시장치(41) 위쪽에 배치된다. 갠트리(20) 상에 배치된 촬상 장치(21)는 고정된 장치이다. 더욱이, 갠트리(20) 상에 배치된 촬상 장치(21)는 다른 실시예에서는 갠트리(20)의 X 축에 평행한 경로를 따라서 앞뒤로 움직일 수 있다. 라이트 가이드(60)가 구부러질 때(앞뒤로) 이로 인하여 떨어지는 분진들이 생겨나기 때문에 이를 방지하기 위하여 라이트 가이드(60), 촬상 장치(21) 및 램프 하우스(50)등이 모두 함께 동시적으로 평행하게 움직이는 것이 이상적이다.
단계3에서, 고효율 분진 공기 필터를 포함하는 분진 공기 필터(30)는 상부 탑 커버(12)의 위치에 배치되며, 이에 한정되는 것은 아니다. 그리하여, 공기는 분진 공기 필터(30)의 위쪽에서부터 분진 공기 필터(30)쪽으로 유입되며, 소형 청정실(10)의 청결함을 강화하기 위하여 분진 공기 필터(30)에 의하여 여과된 후 하방 으로 흘러서 소형 청정실(10)로 들어간다. 본 발명의 실시예에서는 하나의 분진 공기 필터(30)가 사용되지만 다수의 분진 공기 필터들을 사용할 수 있다.
단계4에서, 갠트리(20)의 내부면에 배치되며 촬상 장치(21)의 밑쪽에 위치하는 평판형 표시장치 운반기(40)는 테스터 중인 평판형 표시장치(41)를 운반하며, 표시장치(41)의 광학 스캐닝을 위해 필요한 일정한 속도의 움직임을 제공하고, 표시장치(41)의 기계적인 움직임(판넬이 들어오고 나가는)을 제공한다.
단계5에서, 램프 하우스(50)는 조명을 제공하기 위하여 적어도 하나이상의 광원(도시되지 않음)을 포함한다. 램프 하우스(50)는 바람직하게 하부 탑 커버(11)의 위쪽에 배치되며, 가능한 라이트 가이드(60)의 길이를 최소화하고 빛이 라이트 가이드(60)를 통과할 때 명도 감소를 줄이기 위하여 갠트리(20) 상의 촬상 장치(21)에 근접하게 위치한다. 그 결과로서, 또한 광학 스캐닝 성능을 향상시킨다. 본 발명의 실시예에서, 램프 하우스(50)는 하부 탑 커버(11)에 배치되지만 그 위치에 제한되지는 않는다.
단계6에서, 라이트 가이드(60)의 한쪽 끝은 램프 하우스(50)에 부착되어 있고, 라이트가이드(60)는 탑 커버의 외부에 있는 램프 하우스(50)로부터 하방으로 연장된다. 그리고, 라이트 가이드(60)는 소형 청정실(10) 내의 평판형 표시장치 운반기(41)의 위쪽으로 빛을 전달 시키기 위하여 소형 청정실(10)을 통과하여 들어온다. 이러한 연결 방식으로 검사에 필요한 광원을 제공한다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본 질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
본 발명의 실시예를 통하여, 램프 하우스는 소형 청정실의 물리적으로 강화된 탑 커버 상에 배치되며, 라이트 가이드에 의해서 이동된 빛은 평판형 표시장치의 결점을 검사하기 위한 소형 청정실 내의 평판형 표시장치 운반기의 위쪽에서 투사된다. 이러한 배열은 라이트 가이드의 길이를 최소화하며 명도 감소를 줄이고 광원(전구)의 교체를 용이하게 한다. 필요에 따라, 소형 청정실의 사이즈, 분진 공기 필터 및 램프 하우스의 수량을 증가 시킬 수 있다. 따라서, 대형 평판형 표시장치에 사용되는 자동 광학 검사 장비 장치의 요구사항을 만족시킬 수 있다.

Claims (21)

  1. 소형 청정실을 제공하는 단계;
    상기 소형 청정실의 탑 커버에 배치된 적어도 하나 이상의 분진 공기 필터를 제공하는 단계;
    상기 소형 청정실 내에 배치되며 적어도 하나 이상의 촬상 장치를 포함하는 적어도 하나 이상의 갠트리를 제공하는 단계;
    상기 촬상 장치 하부에 위치하며 테스트 중인 상기 판넬을 운반 및 이동하기 위한 판넬 운반기를 제공하는 단계;
    이미지 캡쳐에 필요한 조명을 제공하는 적어도 하나 이상의 광원을 포함하는 적어도 하나 이상의 램프 하우스를 제공하는 단계;
    상기 램프 하우스에서부터 상기 소형 청정실 내 상기 판넬 운반기 상에 위치한 테스트 중인 상기 판넬 위쪽으로 빛을 전달하기 위하여 적어도 하나 이상의 라이트 가이드를 제공하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며,
    상기 램프 하우스는 상기 판넬 운반기의 평면 위쪽에 배치되고 상기 소형 청정실의 상기 탑 커버의 바깥쪽에 위치하며, 상기 라이트 가이드는 상기 탑 커버의 바깥쪽에서 상기 소형 청정실의 내부 아래 방향으로 연장되며, 선택적으로 상기 램프 하우스의 하부에 위치한 상기 탑 커버의 일부분 또는 전체는 물리적으로 강화된 탑 커버이며, 상기 램프 하우스 및 정비사의 무게를 지탱할 수 있도록 100Kg 이상의 무게를 견딜 수 있어, 상기 램프 하우스를 유지관리할 때, 상기 광원을 교체하 기 위하여 상기 소형 청정실을 개방할 필요가 없고, 상기 라이트 가이드에 의해서 전달된 상기 빛이 테스트 중인 상기 판넬 상에 투사될 때, 상기 촬상 장치에 의하여 캡쳐된 이미지는 자동 광학 검사에 사용되는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 램프 하우스는 상기 라이트 가이드의 길이를 축소시키며 명도 감소를 최소화하기 위하여 바람직하게 상기 탑 커버 상에 배치되며 상기 갠트리 상의 상기 촬상 장치에 근접한 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 소형 청정실의 상기 탑 커버는 대체적으로 계단 형태이며, 하부 탑 커버와 상부 탑 커버를 포함하고, 상기 램프 하우스가 상기 하부 탑 커버 상에 배치되며 상기 하부 탑 커버는 물리적으로 강화된 탑 커버인 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 분진 공기 필터는 바람직하게 상기 상부 탑 커버에 배치되는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설 치 방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 분진 공기 필터는 바람직하게 상기 하부 탑 커버 및 상기 상부 탑 커버에 배치되며, 상기 램프 하우스는 상기 하부 탑 커버의 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 지지플랫폼 상에 배치되며, 에어 갭은 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 공기 유입구와 상기 램프 하우스용 상기 지지플랫폼 사이에서 유지되는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 분진 공기 필터는 바람직하게 상기 하부 탑 커버에 배치되며, 상기 램프 하우스는 상기 하부 탑 커버 상의 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 지지플랫폼 상에 배치되며, 에어 갭은 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 상기 공기 유입구와 상기 램프 하우스용 상기 지지플랫폼 사이에서 유지되는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 갠트리 상에 배치된 상기 촬상 장치는 상기 갠트리의 축 방향에 평행한 방향을 따라서 앞뒤로 움직일 수 있는 장치이고, 상기 라이트 가이드가 구부러짐( 앞뒤로)으로 인하여 떨어지는 분진들이 생겨나는 것을 방지하기 위하여 상기 램프 하우스 및 상기 라이트 가이드는 상기 촬상 장치와 모두 동시적으로 움직이는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 램프 하우스는 상기 탑 커버의 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 X-테이블 상에 배치되며, 에어 갭은 상기 탑 커버 상에 배치된 상기 분진 공기 필터의 위쪽에 위치한 상기 공기 유입구와 상기 램프 하우스용 지지플랫폼 상의 X-테이블 사이에서 유지되는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    테스터 중인 상기 평판형 표시장치는 유리 판넬, TFT 판넬, TFT 제조 공정 중의 반제품 판넬, 칼라 필터 판넬, 칼라 필터 제조 공정 중의 반제품 판넬, 및 편광 시트 판넬 중에서 바람직한 하나를 선택하는 것을 특징으로 하는 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비의 광원 설치 방법.
  10. 소형 청정실;
    상기 소형 청정실 내에 배치되며 적어도 하나 이상의 촬상 장치를 포함하는 적어도 하나 이상의 갠트리;
    상기 소형 청정실의 탑 커버에 배치된 적어도 하나 이상의 분진 공기 필터;
    상기 촬상 장치 하부에 위치하며 테스트 중인 상기 판넬을 운반 및 이동하기 위한 판넬 운반기;
    이미지 캡쳐에 필요한 조명을 제공하는 적어도 하나 이상의 광원을 포함하는 적어도 하나 이상의 램프 하우스;
    상기 램프 하우스에서부터 상기 소형 청정실 내 상기 판넬 운반기 상에 위치한 테스트 중인 상기 판넬 위쪽으로 빛을 전달하기 위하여 적어도 하나 이상의 라이트 가이드를 포함하여 이루어지며,
    상기 램프 하우스는 상기 판넬 운반기의 평면 위쪽에 배치되고 상기 소형 청정실의 상기 탑 커버의 바깥쪽에 위치하며, 상기 라이트 가이드는 상기 탑 커버의 바깥쪽에서 상기 소형 청정실의 내부 아래 방향으로 연장되며, 선택적으로 상기 램프 하우스의 하부에 위치한 상기 탑 커버의 일부분 또는 전체는 물리적으로 강화된 탑 커버이며, 상기 램프 하우스 및 정비사의 무게를 지탱할 수 있도록 100Kg 이상의 무게를 견딜 수 있어, 상기 램프 하우스를 관리할 때, 상기 광원을 교체하기 위하여 상기 소형 청정실을 개방할 필요가 없으며, 상기 라이트 가이드에 의해서 전달된 상기 빛이 테스트 중인 상기 판넬 상에 투사될 때, 상기 촬상 장치에 의하여 캡쳐된 이미지는 자동 광학 검사에 사용되는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 램프 하우스는 상기 라이트 가이드의 길이를 축소시키며 명도 감소를 최소화하기 위하여 바람직하게 상기 탑 커버 상에 배치되며 상기 갠트리 상의 상기 촬상 장치에 근접한 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 소형 청정실의 상기 탑 커버는 대체적으로 계단 형태이며, 하부 탑 커버와 상부 탑 커버를 포함하고, 상기 램프 하우스가 상기 하부 탑 커버 상에 배치되며 상기 하부 탑 커버는 물리적으로 강화된 탑 커버인 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 분진 공기 필터는 바람직하게 상기 상부 탑 커버에 배치되는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 분진 공기 필터는 바람직하게 상기 하부 탑 커버 및 상기 상부 탑 커버 에 배치되며, 상기 램프 하우스는 상기 하부 탑 커버의 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 지지플랫폼 상에 배치되며, 에어 갭은 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 상기 공기 유입구와 상기 램프 하우스를 위한 상기 지지플랫폼 사이에서 유지되는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 분진 공기 필터는 바람직하게 상기 하부 탑 커버에 배치되며, 상기 램프 하우스는 상기 하부 탑 커버 상의 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 지지플랫폼 상에 배치되며, 에어 갭은 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 상기 공기 유입구와 상기 램프 하우스용 상기 지지플랫폼 사이에서 유지되는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 갠트리 상에 배치된 상기 촬상 장치는 상기 갠트리의 축 방향에 평행한 방향을 따라서 앞뒤로 움직일 수 있는 장치이고, 램프 하우스 X-테이블은 상기 탑 커버의 위쪽에 배치함으로써, 상기 라이트 가이드가 구부러짐(앞뒤로)으로 인하여 떨어지는 분진들이 생겨나는 것을 방지하기 위하여 상기 램프 하우스 및 상기 라이트 가이드는 상기 촬상 장치와 모두 동시적으로 움직이는 것을 특징으로 하는 테스 트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 램프 하우스는 상기 탑 커버의 상기 분진 공기 필터 위쪽에 위치한 X-테이블 상에 배치되며, 에어 갭은 상기 탑 커버 상에 배치된 상기 분진 공기 필터의 위쪽에 위치한 상기 공기 유입구와 상기 램프 하우스용 지지플랫폼 상의 X-테이블 사이에서 유지되는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  18. 제10항에 있어서,
    테스터 중인 상기 평판형 표시장치는 유리 판넬, TFT 판넬, TFT 제조 공정 중의 반제품 판넬, 칼라 필터 판넬, 칼라 필터 제조 공정 중의 반제품 판넬, 및 편광 시트 판넬 중에서 바람직하게 하나를 선택하는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  19. 제10항에 있어서,
    상기 촬상 장치는 CMOS 라인-스캔 카메라 및 CCD 라인-스캔 카메라의 조합에서 하나를 선택하는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  20. 제10항에 있어서,
    상기 라이트 가이드는 광섬유 라이트 가이드인 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
  21. 제10항에 있어서,
    상기 분진 공기 필터는 바람직하게 고효율 분진 공기 필터 및 상기 고효율 분진 공기 필터의 상위 레벨의 조합에서 하나를 선택하여 상기 소형 청정실의 청결함을 강화하기 위하여 사용되는 것을 특징으로 하는 테스트 중인 판넬을 검사하기 위한 TFT LCD 판넬 제조 공정의 생산 라인용 자동 광학 검사 장비.
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