CN2727794Y - Tft lcd面板制程生产线的自动光学检测机台 - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 52
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 5
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 claims description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 2
- 239000002689 soil Substances 0.000 claims description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract description 6
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 abstract 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007306 turnover Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- NHDHVHZZCFYRSB-UHFFFAOYSA-N pyriproxyfen Chemical compound C=1C=CC=NC=1OC(C)COC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=CC=C1 NHDHVHZZCFYRSB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
本实用新型是提供一种TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其包括：迷你洁净室；至少一龙门结构，是被放置于该迷你洁净室中，该龙门结构上具有至少一摄像装置；至少一空气微粒滤清器，是置于该迷你洁净室的上方顶盖处；面板移动载具，其是置于该摄像装置的下方，用以承载该待测面板；至少一灯箱，灯箱中具有至少一发光源以提供摄像所需的照明；以及至少一光导管，将灯箱发出的光传导至位于该迷你洁净室中的面板移动载具上方的待测面板处；以便当光导管所传导的光照射于待测面板上时，由摄像装置的取像即可判断该待测面板上是否有异物或缺陷，且于灯箱故障时，不需打开该迷你洁净室即可更换发光源。
Description
技术领域
本新型是有关于一种平面显示器(Flat Panel Display)面板的自动光学检测(Automatic Optical Inspection)机台的光源配置装置，尤指一种TFT LCD面板的自动光学检测机台的光源配置装置。
背景技术
请参照图1，其绘示一已知的平面显示器面板自动光学检测机台的灯箱配置示意图。如图所示，已知的平面显示器面板自动光学检测机台的灯箱(Lamp House)75是配置于一迷你洁净室(Mini Clean Room)70的下方，再由一光导管(Light Guide)76将光传导至迷你洁净室70中待测平面显示器面板77的上方以便该平面显示器面板自动光学检测机台进行光学检测。惟此种灯箱75的配置方式具有下列缺点：其光导管76须经由迷你洁净室70的侧边或侧边上方进入再拉至待测平面显示器面板77的上方各处，其光导管76长度通常约达3至7公尺，如此将造成光亮度的严重衰减(严重时可达80％的衰减)，不利于平面显示器面板的光学检测。
请参照图2，其绘示另一已知的平面显示器面板自动光学检测机台的灯箱配置示意图。如图所示，已知的平面显示器面板自动光学检测机台的灯箱85是配置于一迷你洁净室80外部的侧边灯箱隔间(compartment)81内，以便进行散热及方便发光源的更换，再由一光导管86将光传导至待测平面显示器面板87的上方进行检测。此种方式虽可降低光导管86的长度，但此种灯箱85的配置方式具有下列缺点：(1)因灯箱85是配置于迷你洁净室80外部的侧边灯箱隔间81内，使得灯箱85的数量受到限制；(2)光导管86的长度仍无法降到可能的最短长度(Shortest possible length)。因此，无法提升应用于检测大尺寸平面显示器面板的大型光学检测机台的功效。
实用新型内容
针对上述已知平面显示器面板自动光学检测机台的缺点，本新型的目的是提供一种TFT LCD平面显示器的面板(Panel)制程生产线的自动光学检测机台，其由将灯箱配置于迷你洁净室的强化顶盖上方，再由光导管将光传导至迷你洁净室中的平面显示器面板移动载具上方处，以便检测平面显示器面板的缺陷，由如此的配置方式，除可大幅缩短光导管的长度外，亦可方便发光源的更换。
为达上述的目的，本新型的一种TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，用以检测一待测面板，其特征在于，其包括：
一迷你洁净室；
至少一龙门结构，是被放置于该迷你洁净室中，该龙门结构上具有至少一摄像装置；
至少一空气微粒滤清器，是置于该迷你洁净室的上方顶盖处；
一面板移动载具，其是置于该摄像装置的下方，用以承载该待测面板；
至少一灯箱，该灯箱中具有至少一发光源以提供摄像所需的照明；以及
至少一光导管，将该光传导至位于该迷你洁净室中的面板移动载具上方的待测面板处；
以便该灯箱位于该面板移动载具平面的上方，且位于该迷你洁净室的上方顶盖外部；该光导管是从上方顶盖外部处向下方延伸，穿透并进入该迷你洁净室；该灯箱下方处的全部顶盖或部份顶盖是为一强化顶盖，其可承载100kg以上的重量，该强化顶盖是用以承载该灯箱及维修人员等，且于灯箱故障时，不需打开该迷你洁净室即可更换发光源；当该光导管所传导的光照射于该待测面板上时，由该摄像装置的取像即可判断该待测面板上是否有异物或缺陷。
其中该灯箱较佳是位于该顶盖的上方处且靠近该龙门结构处的摄像装置，以便缩短该光导管的长度并进一步减少光亮度的衰减。
其中该迷你洁净室顶盖是呈阶梯状，亦即其具有一较低顶盖及一较高顶盖，其中该灯箱是位于该迷你洁净室的较低顶盖上方处，该较低顶盖为一强化顶盖。
其中该空气微粒滤清器装置较佳是置于该较高顶盖之处。
其中该空气微粒滤清器装置较佳是置于该较低顶盖及该较高顶盖之处，且该灯箱置于该较低顶盖处的空气微粒滤清器装置上方的灯箱支撑平台的上方，且该空气微粒滤清器装置的上方入气口处与该灯箱支撑平台之间进一步保持有一气流通道。
其中该空气微粒滤清器装置较佳是置于该较低顶盖之处，且该灯箱置于该较低顶盖处的空气微粒滤清器装置上方的灯箱支撑平台的上方，且该较低顶盖处的空气微粒滤清器装置的上方入气口处与该灯箱支撑平台之间进一步保持有一气流通道。
其中该龙门结构上的摄像装置是一可沿该龙门结构的轴向做平行、来回运动，并且于顶盖上方处具有一灯箱运动平台，以便使该灯箱运动平台上方的该灯箱与该光导管可与该摄像装置一般做同步的平行、来回运动，以消除该光导管的来回扭动，并进一步消除因光导管来回扭动而产土剥落的微粒。
其中该灯箱置于该顶盖处的空气微粒滤清器装置上方的灯箱运动平台的上方，且该顶盖处的空气微粒滤清器装置的上方入气口处与该灯箱运动平台之间进一步保持有一气流通道。
其中该待测面板较佳是为一玻璃面板、一TFT面板、一TFT制程中半成品面板、一彩色滤光片面板、一彩色滤光片制程中半成品面板、一偏光板其中之一。
其中该摄像装置是为一CMOS线扫描相机或一CCD线扫描相机；该光导管是为一光纤导管；而该空气微粒滤清器装置较佳是为一高效率空气微粒滤清器装置或更高等级的空气微粒滤清器装置，是用以加强该迷你洁净室的洁净度。
附图说明
为进一步说明本实用新型的技术内容，以下结合实施例及附图详细说明如后，其中：
图1为一示意图，其绘示一已知的平面显示器面板自动光学检测机台的灯箱配置示意图。
图2为一示意图，其绘示另一已知的平面显示器面板自动光学检测机台的灯箱配置示意图。
图3A及图3B，其分别绘示根据本新型的一TFT lCD面板制程生产线的自动光学检测机台的平面及立体示意图。
图4为一示意图，其绘示本新型另一实施例的TFTLCD平面显示器面板的自动光学检测机台的平面示意图。
图5为一示意图，其绘示根据本新型又一实施例的TFT LCD平面显示器面板自动光学检测机台的平面示意图。
图6为一示意图，其绘示根据本新型之一实施例应用于大型TFT LCD平面显示器面板自动光学检测机台的立体示意图。
图7为一示意图，其绘示根据本新型之一实施例应用于大型TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台的立体示意图。
具体实施方式
请一并参照图3A及3B，其分别绘示根据本新型的一下FT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台的平面及立体示意图。如图所示，本新型的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台是用以检测一平面显示器面板上的异物或缺陷，其包括：一迷你洁净室(Mini Clean Room)10；至少一龙门结构(Gantry)20；至少一空气微粒滤清器(ParticulateAir Filter)装置30；平面显示器面板移动载具40；至少一灯箱50；以及至少一光导管(Light Guide)60所组合而成。
其中，该迷你洁净室10的顶盖是呈阶梯状，其进一步具有一较低顶盖(Lower Top Cover)11及一较高顶盖(Upper Top Cover)12，且该较低顶盖11较佳是为一强化顶盖(Mechanically Strengthened TopCover)，其可承载100kg以上的重量，以方便更换灯箱50中的发光源时，维修人员不需打开迷你洁净室10，即可爬上机台踩(亦或蹲)在该强化顶盖上更换发光源，以避免微尘进入迷你洁净室10中，而影响到待测平面显示器面板41的良率。其中该待测平面显示器面板较佳是为一玻璃面板、一TFT面板、一下FT制程中半成品面板、一彩色滤光片(Color Filter)面板、一彩色滤光片制程中半成品面板、一偏光板(Polarizing Sheet)其中之一。
该龙门结构20，是被放置且固定于该迷你洁净室10中，且该龙门结构20的上具有至少一摄像装置21，例如但不限于为一CMOS线扫描相机(Line-scan Camera)或CCD线扫描相机等相机，且该摄像装置21较佳是与位于平面显示器面板移动载具40上的待测平面显示器面板41的上方。此外于不同实施例中，该龙门结构20上的摄像装置21亦或可是一可沿该龙门结构20的轴向(X-轴)做平行、来回运动，且该灯箱50与该光导管60较佳是与该摄像装置21可做同步平行运动，以消除该光导管60的来回扭动(bending to and fro)，并进一步消除因光导管60来回扭动而产生剥落的微粒(particulate)。
该空气微粒滤清器装置30，例如但不限于为一高效率空气微粒滤清器装置(High Efficiency Particulate Air Filter，简称HEPA Filter)，是被置于该较高顶盖12之处，使空气可由该空气微粒滤清器装置30的上方进入该空气微粒滤清器装置30，并经由空气微粒滤清器装置30过滤后往下进入迷你洁净室10中，以加强迷你洁净室10的洁净效果，在本实施例中是以一个空气微粒滤清器装置30为例加以说明，但不以此为限。
该平面显示器面板移动载具40，是位于该龙门结构20内侧，且位于该摄像装置21的下方，用以承载该待测平面显示器面板41，以便提供光学扫描该待测面板时所需的等速移动，以及提供该待测面板进出机台所需的相关机械动作。
该灯箱50中具有至少一发光源(因投影关系故图未示)以提供照明的光源。该光导管60一端耦接至该灯箱50中，且该光导管60是从上方顶盖外部灯箱50处向下方延伸，穿透并进入该迷你洁净室，用以将该光传导至位于该迷你洁净室10中的平面显示器面板移动载具40上方处，以便提供检测时所需的光源。
该灯箱50较佳是置于该较低顶盖11的上方处且靠近该龙门结构20处的摄像装置21，以便尽量缩短该光导管60的长度并进一步减少光经过光导管之后的光亮度衰减，增加光学扫描的效能。在本实施例中，该灯箱50是以放置于较低顶盖11上方为例加以说明，但并不以此为限。此外，检测机台的下方处进一步具有复数个轮子14，以方便该自动光学检测机台安装时的移动。
本实用新型的平面显示器面板的自动光学检测机台于检测动作时，可先将待测面板4下置于平面显示器面板移动载具40上，随着平面显示器面板移动载具40的移动，当该待测面板4下移动至该摄像装置2下的下方处时，该光导管60所传导的光即照射于该待测面板41上，并由该摄像装置21的取像即可判断该待测面板4下上是否有异物或缺陷等瑕疵，且于灯箱50故障时，不需打开该迷你洁净室10即可更换发光源，除可确保迷你洁净室10的洁净外，亦可缩短维修时间进而提高生产效率；此外，该迷你洁净室10的大小亦可视需要而扩大，其较低顶盖11上的灯箱50的数量亦可视需要而增加，以符合大型平面显示器面板自动光学检测机台的需要。
请参照图4，其绘示本新型另一实施例的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台的示意图。如图所示，本新型的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，亦可将空气微粒滤清器装置30置于该较低顶盖11及该较高顶盖12之处，且该灯箱50是置于该较低顶盖11处的空气微粒滤清器装置30的上方的灯箱支撑平台(SupportivePlatform)15上，且该较低顶盖处的空气微粒滤清器装置30的上方入气口处与该灯箱支撑平台15之间进一步保持有一气流通道(Air Gap)13，使空气可由气体通道13进入该空气微粒滤清器装置30，并经由空气微粒滤清器装置30的过滤后向下流入(down flow into)该迷你洁净室10中，以加强迷你洁净室10的洁净效果。此外，保持该气流通道(Air Gap)13的高度亦定为了使下方的空气微粒滤清器装置30易于维修之故。
请参照图5，其绘示根据本新型又一实施例的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台的示意图。如图所示，本新型的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其中该较低顶盖11与该较高顶盖12是为一同一高度之一顶盖。可将空气微粒滤清器装置30置于该顶盖两侧之处，使空气可由该空气微粒滤清器装置30的上方进入该空气微粒滤清器装置30，并经由空气微粒滤清器装置30的过滤后向下流入迷你洁净室10中，以加强迷你洁净室10的洁净效果。
请参照图6，其绘示根据本新型的一实施例应用于大型TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台的立体示意图。如图所示，本新型的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台当应用于大型的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台时，可于该迷你洁净室10中放置复数个龙门结构20、复数个摄像装置27及平面显示器面板移动载具40(因投影关系故图未示)，再将复数个灯箱50放置于较低顶盖11上方或灯箱支撑平台15上方，再由复数个光导管60将光传导至待测面板41上，使本新型的平面显示器面板自动光学检测机台可以同时利用复数个摄像装置21检测大型待测面板47，以增加检测效率及速度。复数个灯箱50是可排列成一排或复数排。
请参照图7，其绘示根据本新型之一实施例应用于大型TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台的立体示意图。如图所示，本新型的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台其龙门结构20上的摄像装置21是一可沿该龙门结构20的轴向(X-轴)做平行、来回运动者运动，且该灯箱50与该光导管60较佳是与该摄像装置21可做同步平行运动，例如该摄像装置21与该光导管60可沿著X-轴(即垂直于该待测平面显示器面板41的进出及扫描方向Y-轴)来回运动，而该灯箱50则可由该灯箱50底下的灯箱运动平台(X-table)16(在图示中是位于较低顶盖11的上方)作X-轴方向的同步、来回运动，用以消除该光导管60的来回扭动(bending to and fro)，并进一步消除因光导管60来回扭动而产生剥落的微粒(particulate)。
所以，经由本实用新型的实施，其由将灯箱配置于迷你洁净室的强化顶盖上，再由光导管将光源传导至迷你洁净室中的平面显示器面板移动载具上方处，以便检测出平面显示器面板的缺陷，由如此的配置方式，除可缩短光导管的长度外，亦可方便发光源的更换，且该迷你洁净室的大小、空气微粒滤清器装置的数量及灯箱的数量亦可视需要而增加，以符合大型平面显示器面板自动光学检测机台的需要。
本新型所揭示的，为较佳实施例，凡是局部的变更或修饰而源于本新型的技术思想而为熟习该项技术的人所易于推知的，俱不脱本新型的专利权范畴。
Claims (10)
1.一种TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，用以检测一待测面板，其特征在于，其包括：
一迷你洁净室；
至少一龙门结构，是被放置于该迷你洁净室中，该龙门结构上具有至少一摄像装置；
至少一空气微粒滤清器，是置于该迷你洁净室的上方顶盖处；
一面板移动载具，其是置于该摄像装置的下方，用以承载该待测面板；
至少一灯箱，该灯箱中具有至少一发光源以提供摄像所需的照明；以及
至少一光导管，将该光传导至位于该迷你洁净室中的面板移动载具上方的待测面板处；
以便该灯箱位于该面板移动载具平面的上方，且位于该迷你洁净室的上方顶盖外部；该光导管是从上方顶盖外部处向下方延伸，穿透并进入该迷你洁净室；该灯箱下方处的全部顶盖或部份顶盖是为一强化顶盖，其可承载100kg以上的重量，该强化顶盖是用以承载该灯箱及维修人员等，且于灯箱故障时，不需打开该迷你洁净室即可更换发光源；当该光导管所传导的光照射于该待测面板上时，由该摄像装置的取像即可判断该待测面板上是否有异物或缺陷。
2.如权利要求1所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该灯箱较佳是位于该顶盖的上方处且靠近该龙门结构处的摄像装置，以便缩短该光导管的长度并进一步减少光亮度的衰减。
3.如权利要求1所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该迷你洁净室顶盖是呈阶梯状，亦即其具有一较低顶盖及一较高顶盖，其中该灯箱是位于该迷你洁净室的较低顶盖上方处，该较低顶盖为一强化顶盖。
4.如权利要求3所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该空气微粒滤清器装置较佳是置于该较高顶盖之处。
5.如权利要求3所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该空气微粒滤清器装置较佳是置于该较低顶盖及该较高顶盖之处，且该灯箱置于该较低顶盖处的空气微粒滤清器装置上方的灯箱支撑平台的上方，且该空气微粒滤清器装置的上方入气口处与该灯箱支撑平台之间进一步保持有一气流通道。
6.如权利要求3所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该空气微粒滤清器装置较佳是置于该较低顶盖之处，且该灯箱置于该较低顶盖处的空气微粒滤清器装置上方的灯箱支撑平台的上方，且该较低顶盖处的空气微粒滤清器装置的上方入气口处与该灯箱支撑平台之间进一步保持有一气流通道。
7.如权利要求下所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该龙门结构上的摄像装置是一可沿该龙门结构的轴向做平行、来回运动，并且于顶盖上方处具有一灯箱运动平台，以便使该灯箱运动平台上方的该灯箱与该光导管可与该摄像装置一般做同步的平行、来回运动，以消除该光导管的来回扭动，并进一步消除因光导管来回扭动而产土剥落的微粒。
8.如权利要求7所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该灯箱置于该顶盖处的空气微粒滤清器装置上方的灯箱运动平台的上方，且该顶盖处的空气微粒滤清器装置的上方入气口处与该灯箱运动平台之间进一步保持有一气流通道。
9.如权利要求1所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该待测面板较佳是为一玻璃面板、一TFT面板、一TFT制程中半成品面板、一彩色滤光片面板、一彩色滤光片制程中半成品面板、一偏光板其中之一。
10.如权利要求1所述的TFT LCD面板制程生产线的自动光学检测机台，其特征在于，其中该摄像装置是为一CMOS线扫描相机或一CCD线扫描相机；该光导管是为一光纤导管；而该空气微粒滤清器装置较佳是为一高效率空气微粒滤清器装置或更高等级的空气微粒滤清器装置，是用以加强该迷你洁净室的洁净度。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200420005962 CN2727794Y (zh) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | Tft lcd面板制程生产线的自动光学检测机台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200420005962 CN2727794Y (zh) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | Tft lcd面板制程生产线的自动光学检测机台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2727794Y true CN2727794Y (zh) | 2005-09-21 |
Family
ID=35043807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200420005962 Expired - Fee Related CN2727794Y (zh) | 2004-07-07 | 2004-07-07 | Tft lcd面板制程生产线的自动光学检测机台 |
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| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2727794Y (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102540515A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-04 | 北京凌云光视数字图像技术有限公司 | 用于tft液晶屏的质量检测系统 |
| CN101995680B (zh) * | 2009-08-27 | 2013-04-24 | 沋博普利斯金股份有限公司 | Lcd检测设备的校准台 |
| CN103529571A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶面板离子检测装置及检测方法 |
| CN104111547A (zh) * | 2014-05-23 | 2014-10-22 | 苏州日和科技有限公司 | 一种彩色滤光片自动切换装置 |
| CN104950482A (zh) * | 2014-03-25 | 2015-09-30 | 常州驰网智能检测技术有限公司 | 一种lcd智能检测仪 |
-
2004
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Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101995680B (zh) * | 2009-08-27 | 2013-04-24 | 沋博普利斯金股份有限公司 | Lcd检测设备的校准台 |
| CN102540515A (zh) * | 2012-01-12 | 2012-07-04 | 北京凌云光视数字图像技术有限公司 | 用于tft液晶屏的质量检测系统 |
| CN103529571A (zh) * | 2013-10-25 | 2014-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶面板离子检测装置及检测方法 |
| CN103529571B (zh) * | 2013-10-25 | 2016-01-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 液晶面板离子检测装置及检测方法 |
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