TWI233991B - Automatic optical inspection system for production line of TFT LCD panel manufacturing process and light source distribution method - Google Patents

Description

1233991 五、發明說明（1) 一、 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種平面顯示器（Flat Panel Display)面板之自動光學檢測（Aut〇matic 〇ptical

Inspection)機台之光源配置方法及其裝置，尤指一種 TFT LCD面板之自動光學檢測機台之光源配置方法及其裝 置。 二、 【先前技術】 請參照圖1 ’其繪示一習知之平面顯示器面板自動光 學檢測機台之燈箱配置示意圖。如圖所示，習知之平面顯 示器面板自動光學檢測機台之燈箱（Lamp House) 75係配置 於一迷你潔淨室（Mini Clean R〇〇m)70之下方，再藉由一 光導官（Light Guide) 76將光傳導至迷你潔淨室70中待測 平面顯示器面板77之上方以便該平面顯示器面板自動光學 檢測機台進行光學檢測。惟此種燈箱75之配置方式具有下 列缺點：其光導管7 6須經由迷你潔淨室7 〇之側邊或側邊上 方進入再拉至待測平面顯示器面板7 7之上方各處，其光導 管76長度通常約達3至7公尺，如此將造成光亮度的嚴重衰 減（嚴重時可達8〇 %之衰減），不利於平面顯示器面板之光 學檢測。 請參照圖2，其繪示另一習知之平面顯示器面板自動 光學檢測機台之燈箱配置示意圖。如圖所示，習知之平面 顯示器面板自動光學檢測機台之燈箱8 5係配置於一迷你潔 淨室80外部之側邊燈箱隔間（c〇mpartment)8i内，以便進 行散熱及方便發光源之更換，再藉由一光導管86將光傳導

第6頁 1233991 五、發明說明（2) 〜 至待測平面顯示器面板8 7之上方進行檢測。此種方式雖可 降低光導管8 6之長度，但此種燈箱8 5之配置方式具有下列 缺點：（1 )因燈箱8 5係配置於迷你潔淨室8 〇外部之側邊燈 箱隔間81内’使得燈箱85之數量受到限制；（2)光導管^ 之長度仍無法降到可能的最短長度（shortest p0ssible length)。因此，無法提升應用於檢測大尺寸平面顯示器 面板之大型光學檢測機台之功效。 三、【發明内容】 針對上述習知平面顯示器面板自動光學檢測機台之缺 點’本發明之目的係提供一種^丁 LCD平面顯示器之面板 (Panel)製程生產線之自動光學檢測機台，其藉由將燈箱 配置於迷你潔淨室之強化頂蓋上方，再藉由光導管將光傳 導至迷你潔淨室中之平面顯示器面板移動載具上方處，以 便檢測平面顯示器面板之缺陷，藉由如此之配置方式，除 可大幅縮短光導管之長度外，亦可方便發光源之更換。 為達上述之目的，本發明之TFT LCD平面顯示器之面 板製程生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，其包 括下列步驟：提供一迷你潔淨室（Mini Clean Room);於 該迷你潔淨室之上方頂蓋（Top Cover)處提供至少一空氣 微粒濾清器（Particulate Air Filter)裝置；提供至少一 龍門結構（Gantry)，係被放置於該迷你潔淨室中，該龍門 t構上具有至少一攝像裝置；提供一平面顯示器面板移動 載具，其係置於該攝像裝置之下方，用以承載及移動該待 測平面顯示器面板；提供至少一燈箱（Lamp H〇use)，該燈

第7頁 1233991 五、發明說明（3) 箱中具有至少一發光源（Light Source)以提供攝像所需之 照明；以及提供至少一光導管（Light Guide)將該光傳導 至位於該迷你潔淨室中之平面顯示器面板移動載具上方之 待測平面顯示器面板處；俾，該燈箱置於該平面顯示器面 板移動載具平面之上方，且置於該迷你潔淨室之上方頂蓋 外部，因而於該燈箱維修時，不需打開該迷你潔淨室即可 更換該發光源；當該光導管所傳導之光照射於該待測平面 顯不裔面板上時’精由該攝像裝置之取像執行自動光學檢 測。 為達上述之目的’本發明之TFT LCD平面顯示器面板 製粒生產線之自動光學檢測機台，其包括··迷你潔淨室· 至少一龍門結構，係被放置於該迷你潔淨室中，該龍門結 構上具有至少一攝像裝置；至少一空氣微粒濾清器，係置 於該迷你潔淨室之上方頂蓋處；平面顯示器面板移動載 具i其係置於該攝像裝置之下方，用以承載該待測平面顯 示器面板；至少一燈箱，係位於該迷你潔淨室之上方頂蓋 之上方，該燈箱中具有至少一發光源以提供攝像所需之明 明；以及至少一光導管，將該光傳導至位於該迷你潔淨室、 :之=面顯示器面板移動載具上方之待測平面顯示器面板 ΐ該光導管所傳導之光源照射於該待測平面顯示 #由該攝像裝置之取像即可判斷該待測平面 是否有異物或缺陷，且於燈箱故障時，不需 打開该迷你潔淨室即可更換發光源。 * 四、【實施方式】

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請一併參照圖3A及3B，其分別繪示根據本發明之一 TFT LCD平面顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機台 的平面及立體示意圖。如圖所示，本發明之TFT LCD平面 顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機台係用以檢測_ 平面顯示器面板上之異物或缺陷，其包括：一迷你潔淨室 (Mini Clean Room)10 ;至少一龍門結構（Gantry)20 ;至 少一空氣微粒濾、清器（Particulate Air Filter)裝置3〇 · 平面顯示器面板移動載具40 ;至少一燈箱50 ;以及至少_ 光導管（Light Guide)60所組合而成。

其中，該迷你潔淨室1 0之頂蓋係呈階梯狀，其進一步 具有一較低頂蓋（Lower Top Cover)ll及一較高頂蓋 (Upper Top C〇ver)12，且該較低頂蓋1丨較佳係為一強化 頂蓋（Mechanically strengthened Top Cover)，其可承

載100 kg以上之重量，以方便更換燈箱5〇中之發光源時， 維修人員不需打開迷你潔淨室丨〇，即可爬上機台踩（亦或 蹲）在該強化頂蓋上更換發光源，以避免微塵進入迷你潔 二爭至1 0中，而影響到待測平面顯示器面板4丨之良率。其中 α亥待測平面顯示器面板較佳係為一玻璃面板、一TFτ面 板、一TFT製程中半成品面板、一彩色濾光片（c〇1〇r 1 Iter)面板、一彩色濾光片製程中半成品面板、一偏光 板（Polarizing Sheet)其中之一。 "亥龍門結構2 0 ’係被放置且固定於該迷你潔淨室1 〇 ，且該龍門結構20之上具有至少一攝像裝置21，例如但 艮於為CMOS線掃描相機（Line_scan camera)或ccd線

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五、發明說明（5) 掃描相機等相機’且該攝像裝置21較佳係與位於平面顯示 器面板移動載具4 0上之待測平面顯示器面板4丨之上方。此 外於不同實施例中’該龍門結構20上之攝像裝置21亦或可 係一可沿該龍門結構2 0之軸向（X -軸）做平行、來回運動 者’且該燈箱50與該光導管60較佳係與該攝像裝置21可做 同步平行運動’以消除該光導管60之來回扭動（bending to and fro)，並進一步消除因光導管6〇來回扭動而產生 剝落之微粒（particulate)。 該空氣微粒濾清器裝置3 0 ’例如但不限於為一高效率 空氣微粒濾清器裝置（High Efficieney PaFtieuUte

Filter，簡稱HEPA Filter)，係被置於該較高頂蓋12之 處，使空氣可由該空氣微粒濾清器裝置3 〇之上方進入該空 氣微粒滤清器裝置3 0 ’並經由空氣微粒濾清器裝置3 〇過漁 後往下進入迷你潔淨室10中，以加強迷你潔淨室1〇之潔f 效果，在本實施例中係以一個空氣微粒濾清器裝置3〇為例 加以說明，但不以此為限。 該平面顯示器面板移動載具40，係位於該龍門結構2〇 内侧，且位於該攝像裝置21之下方，用以承載該待測平面 顯示器面板41，以便提供光學掃描該待測面板時所需之等 速移動，以及提供該待測面板進出機台所需之相關機械動 作0 該燈箱50中具有至少一發光源（因投影關係故圖未示） 以提供照明之光源。該光導管6 〇 —端耦接至該燈箱μ中， 且該光導管60係從上方頂蓋外部燈箱5〇處向下方延伸，穿

1233991 五、發明說明（6) 透並進入該迷你 ^ 淨室1 0中之平面g、t至’用以將该光傳導至位於該迷你潔 檢測時所需之光j不器面板移動載具40上方處，以便提供 该燈箱5 〇較佳位 龍門結構2 0處之据Ϊ置於該較低頂蓋11之上方處且靠近該 度並進一步減+ 象裝置21，俾儘量縮短該光導管60之長 學掃描之效能：在：ί光導管之後的光亮度衰減，增加光 頂叢1 1卜t 本貫施例中，該燈箱50係以放置於較低 加以說明，但並不以此為限。此外，檢測 學檢測機台複數個輪子14 ’以方便該自動光 ,^ ^平面顯示器面板之自動光學檢測機台於檢測動 乍^ I先將待測面板41置於平面顯示器面板移動載具4〇 上，k者平面顯示器面板移動載具40的移動，當該待測面 板4|移動至該攝像裝置21之下方處時，$光導管6〇所傳導 之光即照射於該待測面板41上，並藉由該攝像裝置21之取 像即可判斷該待測面板4丨上是否有異物或缺陷等瑕疵，且 於燈箱5 0故障時，不需打開該迷你潔淨室1 0即可更換發光 源’除可確保迷你潔淨室〗〇的潔淨外，亦可縮短維修時間 進而提高生產效率；此外，該迷你潔淨室丨〇之大小亦可視 需要而擴大，其較低頂蓋11上之燈箱50之數量亦可視需要 而增加，以符合大型平面顯示器面板自動光學檢測機台之 需要。 請參照圖4，其繪示本發明另一實施例之TFT LCD平 面顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機台的示意圖。

第11頁 1233991 五、發明說明（7) 如圖所示，本發明之TFT LCD平面顯示器面板製程生產線 之自動光學檢測機台，亦可將空氣微粒濾清器裝置3 〇置於 該較低頂蓋11及該較高頂蓋1 2之處，且該燈箱5 0係置於該 較低頂蓋11處之空氣微粒濾清器裝置3 0之上方之燈箱支撐 平台（Supportive Platform)15上，且該較低頂蓋處之空 氣微粒濾清器裝置30之上方入氣口處與該燈箱支撐平台15 之間進一步保持有一氣流通道（Air Gap)13，使空氣可由 氣體通道1 3進入該空氣微粒濾清器裝置3 〇，並經由空氣微 粒濾清器裝置30之過渡後向下流入（down flow into)該迷 你潔淨室1 0中，以加強迷你潔淨室1 〇之潔淨效果。此外， 保持該氣流通道（A i r Gap ) 1 3之高度亦是為了使下方之空 氣微粒滤清器裝置3 〇易於維修之故。 請參照圖5，其繪示根據本發明又一實施例之TFT LCD 平面顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機台的示意 圖。如圖所示，本發明之TFT LCD平面顯示器面板製程生 產線之自動光學檢測機台，其中該較低頂蓋丨丨與該較高頂 蓋1 2係為一同一高度之一頂蓋。可將空氣微粒濾清器裝置 3 0置於该頂蓋兩側之處，使空氣可由該空氣微粒遽清器裝 置30之上方進入該空氣微粒濾清器裝置3〇，並經由空氣微 粒遽清器裝置3 0之過濾後向下流入迷你潔淨室丨0中，以加 強迷你潔淨室1 0之潔淨效果。 請參照圖6，其繪示根據本發明之一實施例應用於大 ，TFT LCD平面顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機 台之立體示意圖。如圖所示，本發明之TFT LCD平面顯示

1233991 五、發明說明（8) --- " 面板製程生產線之自動光學檢測機台當應用於大型之 1丁 LCD平面顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機台 時’可於該迷你潔淨室丨〇中放置複數個龍門結構2〇、複數 個攝像裝置21及平面顯示器面板移動載具4〇(因投影關係 故^未示），再將複數個燈箱50放置於較低頂蓋^上方或 燈相支撐平台15上方，再藉由複數個光導管6〇將光傳導至 待測面板41上，使本發明之平面顯示器面板自動光學檢測 機台可以同時利用複數個攝像裝置21檢測大型待測面板 41，以增加檢測效率及速度。複數個燈箱5 〇係可排列成一 排或複數排。 ，明參妝圖7，其繪示根據本發明之一實施例應用於大 ，TFT LCD_平面顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機 f之立體示意圖。如圖所示，本發明之TFT LCD平面顯示 器面板製転生產線之自動光學檢測機台其龍門結構2〇上之 攝像裝置21係一可沿該龍門詰構2〇之軸向（χ-軸）做平行、 $回運動者運動者，且該燈箱5〇與該光導管6〇較佳係與該 f裝置21可做同步平行運動，例如該攝像裝置21與該光 導官60可沿著X—軸（即垂直於該待測平面顯示器面板41之 進出及掃描方向Y-軸）來回運動，而該燈箱5〇則可藉由該 下之燈箱運動平台（χ —table)16(在圖示中係位於 車=低頂盍11之上方）作X一軸方向之同步、來回運動，用以 消除該光導管60之來回扭動（bending t〇 and fr〇)，並進 -步消除因光導管60來回扭動而產生剝落之微粒 (particulate) ° 1233991 五、發明說明（9) 此外，本發明亦提供一種TFT LCD平面顯示器面板製 程生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，用以檢測 一待測平面顯示器面板41 ’其包括下列步驟··提供一迷你 潔淨室1 〇(步驟1 );提供至少一龍門結構20，係被放置於 該迷你潔淨室1 〇中，該龍門結構20之頂端具有至少一攝像 裝置21 (步驟2);於該迷你潔淨室10之上方處提供至少一 空氣微粒濾清器裝置3 0 (步驟3);提供一平面顯示器面板 移動載具40，其係置於該攝像裝置21之下方，用以承載該 待測平面顯示器面板41 (步驟4);提供至少一燈箱5〇，該 燈箱中具有至少一發光源以提供照明之光源（步驟5);以 及提供一光導管6 0將該光源傳導至位於該迷你潔淨室丨〇中 之平面顯示器面板移動載具4〇上方處（步驟㈠；俾，當該 光導官6 0所傳導之光照射於該待測平面顯示器面板4丨上 時，藉由該攝像裝置21之取像即可判斷該待測平面顯示器 面板41上是否有異物或缺陷，且於燈箱5 〇故障時，不 開該迷你潔淨室1 〇即可更換發光源。 梯狀其：進於=中’該迷你潔淨室10之頂蓋係呈階 ir頁蓋11較佳係為-強化頂蓋，其可二二 里以方便更換燈箱中之發光源時，雊橡Λ 。 逑你潔淨室1 0，即可t 4 +、、、、隹L人貝不需打開 源，以避免灰塵進入迷你潔淨室10中 3更換發光 面顯示器面板41之良率，盆中 而衫f到待測平 佳係為-玻璃面板、_m、/j待測平面顯示器面板41較 TFT面板、一TFT製程中半成品面

第14頁 1233991 五、發明說明（10) 〜--- 板、:彩色遽光片（Color Fi Iter)面板、一彩色濾光片擎 私中半成口口面板、一偏光板（p〇larizing Sheet)其中之 一。此外，該迷你潔淨室丨〇之下方處進一步具有複數個輪 子14，以方便該自動光學檢測機台之移動。 阳 於該步驟2中，該龍門結構2〇，係被放置且固定於該 迷你潔淨室1 0中，且該龍門結構2〇之上具有至少一攝像裝 置21，例如但不限於為一CM〇s線掃描相機（Line-scan 、 Camera)或CCD線掃描相機等相機，且該攝像裝置21較佳係 與位於平面顯示器面板移動載具4〇上之待測平面顯示器面 板41上方。該龍門結構2〇上之攝像裝置21可為一固定者。 此外’该龍門結構2 0上之攝像裝置2 1亦係一可沿該龍門結 構20之軸向（X-軸）做平行、來回運動者，且該燈箱5〇與該 光導管60較佳係與該攝像裝置21可做同步平行運動，以^ 除該光導管60之來回扭動（bending t0 and fro)，並進一 步消除因光導管6 0來回扭動而產生剝落之微粒 (particulate) ° 於該步驟3中，該至少一空氣微粒濾清器裝置3〇，例 如但不限於為一高效率空氣微粒濾清器裝置（H丨gh

Efficiency Particulate Air Filter ，簡稱HEPA

Filter)，係被置於該較高頂蓋12之處，使空氣可由該空 氣微粒濾清器裝置3 0之上方進入該空氣微粒濾清器裝置 3 0 ’並經由空氣微粒滤清器裝置3 〇之過滤後向下流入 (down flow into)迷你潔淨室1〇中，以加強迷你潔淨室1〇 之潔淨效果’在本實施例中係以1個空氣微粒濾清器裝置

1233991 五、發明說明（11) 3 0為例加以說明，但不以此為限。 於該步驟4中，該平面顯示器面板移動載具4〇， 於該龍門結構2 0内側，且位於該攝像裝置2〗之下方，“ 承載該待測平面顯示器面板4 !，以便提供光學掃描：二 面板時所需之等迷移動，以及提供該待測面板進^ △測 需之相關機械動作。 ；^口所 於該步驟5中，該該燈箱5〇中具有至少一發 影關係故圖未示）以提供昭明之井满， 原（因投 祝伢”、、明之光源，較佳係置於該較彻 頂盍11之上方處且靠近該龍門結構2〇處之攝 - 縮短該光導管60之長度並進一步減少光亮度 ， 貫施例中係以放置於較低頂蓋u上方為例加 2 不以此為限。 ^ 但並 i於該：驟6中，該光導管6〇 一端耦接至該燈箱5〇中， ::亥光導官60係從上方頂蓋外部燈箱5〇處向下方延伸，而 淨室10中之平面趣-L : 傳導至位於該迷你潔 檢測時…板移動載具40上方處，以便提供 淨室Γ二案；！其藉由將燈箱配置於迷你潔 藉由光導管將光源傳導至迷你潔淨 顯干Τ面板移動載具上方4 ’以便檢測出平面 之缺陷’藉由如此之配置方式，除可縮短光導 卜：，可方便發光源之更換，且該迷你潔淨室之 =小、2氣微粒滤冑器裝置之數量Α燈箱之 要而增加’以符合大型平面顯示器面 1233991 五、發明說明（12) 之需要。 本發明所揭示者，乃較佳實施例，舉凡局部之變更或 修飾而源於本發明之技術思想而為熟習該項技藝之人所易 於推知者，倶不脫本發明之專利權範疇。 綜上所陳，本發明無論就目的、手段與功效，在在顯 示其迥異於習知之技術特徵，且其首先發明合於實用，亦 在在符合新型之專利要件，懇請 貴審查委員明察，並祈 早曰賜予專利，俾嘉惠社會，實感德便。

第17頁 1233991 圖式簡單說明 五、【圖式之簡單說明】 圖1為一示意圖，其繪示一習知之平面顯示器面板自 動光學檢測機台之燈箱配置示意圖。 圖2為一示意圖，其繪示另一習知之平面顯示器面板 自動光學檢測機台之燈箱配置示意圖。 圖3A及3B，其分別繪示根據本發明之一TFT LCD平面 顯示器面板製程生產線之自動光學檢測機台的平面及立體 示意圖。 圖4為一示意圖，其繪示本發明另一實施例之TFT LCD 平面顯示器面板之自動光學檢測機台的平面示意圖。 圖5為一示意圖，其繪示根據本發明又一實施例之TFT LCD平面顯示器面板自動光學檢測機台的平面示意圖。 圖6為一示意圖，其繪示根據本發明之一實施例應用 於大型TFT LCD平面顯示器面板自動光學檢測機台之立體 不意圖。 圖7為一示意圖，其繪示根據本發明之一實施例應用於 大型TFT LCD平面顯示器面板製程生產線之自動光學檢測 機台之立體示意圖。 【圖式元件標號說明】 迷你潔淨室1 0 較低頂蓋11 較高頂蓋1 2 氣體通道13 輪子14 燈箱支撐平台15

第18頁 1233991 圖式簡單說明 燈箱運動平台16 龍門結構20 空氣微粒濾清器裝置30 平面顯示器 待測玻璃面板41 燈箱50 迷你潔淨室70 燈箱75 待測平面顯示器面板7 7 燈箱隔間8 1 燈箱8 5 待測平面顯示器面板8 7 攝像裝置21 面板移動載具40 光導管60 光導管76 迷你潔淨室8 0 光導管86

Claims (1)

1233991 六、申請專利範圍 1· 一種TFT LCD平面顯示器面板製程生產線之自動光 學檢測機台之光源配置方法，用以檢測一待測面板 (Panel )，其包括下列步驟： 提供一迷你潔淨室（Mini Clean Room); 於該迷你潔淨室之上方頂蓋（Top Cover)處提供至少 一空氣微粒濾清器（Particulate Air Filter)裝置； 提供至少一龍門結構（Gantry )，係被放置於該迷你潔 淨至中’該龍門結構上具有至少一攝像裝置（I m a g i n g Device);

提供一面板移動載具，其係置於該攝像裝置之下方， 用以承载及移動該待測面板； 提供至少一燈箱（Lamp House)，該燈箱中具有至少一 發光源（Light Source)以提供攝像所需之照明；以及 提供至少一光導管（Light Guide) ’將該燈箱發出之 光傳導至位於該迷你潔淨室中之面板移動載具上方之待測 面板處；

俾，該燈箱位於該面板移動載具平面之上方，且位於 該迷你潔淨室之上方頂蓋外部；該光導管係從上方頂蓋外 部處向下方延伸，穿透並進入該迷你潔淨室；該燈箱下方 處之全部頂蓋或部份頂蓋係為一強化頂蓋"““心⑸丨ly Strengthened Top Cover)，其可承載 1〇〇kg 以上之重量， 該強化頂蓋係用以承載該燈箱及維修人員等；而於該燈箱 維修2，不需打開该迷你潔淨室即可更換該發光源；當該 光導管所傳導之光照射於該待測面板上時，藉由該攝像裝

第20頁 1233991 六、申請專利範圍 置之取像執行自動光學檢測。 2 ·如申请專利範圍第1項戶斤述之T F T L C D平面顯示器面 板製程生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，其中 該燈箱較佳係位於於該頂蓋之上方處且靠近該龍門結構之 處之攝像裝置，俾縮短該光導管之長度並進一步減少光亮 度的衰減。 3·如申請專利範圍第1項所述之TFT LCD平面顯示器 面板製程生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，其 中該迷你潔淨室頂蓋係呈階梯狀，亦即其具有一較低頂蓋

(Lower Top Cover)及一較高頂蓋（Upper Top Cover)，其 中該燈箱係位於該迷你潔淨室之較低頂蓋上方處（p丨aced above the lower top c〇ver)，該較低頂蓋為一強化頂 蓋。 申請專 生產線 微粒濾 申請專 生產線 微粒濾 ，且該 之燈箱 利範圍 之自動 清器裝 利範圍 之自動 清器裝 燈箱置 支撐平 粒濾清 步保持 利範圍 4 ·如 面板製程 中該空氣 5.如 面板製程 中該空氣 頂蓋之處 裝置上方 方，且該空氣微 撐平台之間進一 6·如申請專 第3項所述之TFT 光學檢測機台之 置較佳係置於該 第3項所述之TFT 光學檢測機台之 i車交佳係置於該 於該較低頂蓋處 σ Support i ve 器裝置之上方入 有—氣流通道（A 第3項所述之TFT LCD平面顯示器 光源配置方法，其 較高頂蓋之處。 LCD平面顯不器 光源配置方法，其 較低頂蓋及該較高 之空氣微粒濾清器 Plat form)之上 氣口處與該燈箱支 i r Gap) ° LCD平面顯示器

1233991 六、申請專利範圍 面板製程生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，其 中該空氣微粒濾清器裝置較佳係置於該較低頂蓋之處，且 该燈箱置於該較低頂蓋處之空氣微粒遽清器裝置上方之燈 箱支撐平台之上方，且該較低頂蓋處之空氣微粒濾清器裝 置之上方入氣口處與該燈箱支撐平台之間進一步保持有一 氣流通道。 7 ·如申請專利範圍第1項所述之τ F T L C D平面顯示器 面板製程生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，其 中該龍門結構上之攝像裝置係一可沿該龍門結構之軸向做 平行、來回運動者，且該燈箱與該光導管係與該攝像裝置 一般可做同步之平行、來回運動，以消除該光導管之來回 扭動（bending to and fro)，並進一步消除因光導管來回 扭動而產生剝落之微粒（particulate)。 8.如申請專利範圍第7項所述之TFT LCD平面顯示器 面，製程生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，其 中該燈箱置於該頂蓋處之空氣微粒濾清器裝置上方之燈箱 ^動平台（X-table)之上，且該頂蓋處之空氣微粒濾清器 、置之上方入氣口處與該燈箱運動平台之間進一步保持有 一氣流通道。 ^如申請專利範圍第1項所述之扦丁 LCD平面顯示器 ^製私生產線之自動光學檢測機台之光源配置方法，其 ^待測面板較佳係為一玻璃面板pMd)、一 TFT 2、一TFT製程中半成品面板、一彩色濾光片（c〇1〇r er)面板、一彩色濾光片製程中半成品面板、一偏光

1233991 六、申請專利範圍 板（Polarizing Sheet)其中之一。 1〇· —種TFT LCD平面顯示器面板製程生產線之自動 光學檢測機台，用以檢測一待測面板，其包括： 一逑你潔淨室； 至少一龍門結構’係被放置於該迷你潔淨室中，該龍 門結構上具有至少一攝像裝置； 至少一空氣微粒濾清器，係置於該迷你潔淨室之 頂蓋處； 一面板移動載具，其係置於該攝像裝置之下方，用以 承載該待測面板； 至少一燈箱，該燈箱中具有至少一發光源以提供 所需之照明；以及 至少一光導管，將該光傳導至位於該迷你潔淨室 面板移動載具上方之待測面板處； 兮…俾，該燈箱位於該面板移動載具平面之上方，且位於 ^ ί仏/糸淨室之上方頂蓋外部；該光導管係從上方頂蓋外 二地向下方延伸，穿透並進入該迷你潔淨室；該燈箱下方 ^ ^全部頂，或部份頂蓋係為一強化頂蓋，其可承載1〇〇 】以上之重5，該強化頂蓋係用以承載該燈箱及維修人員 择JL =燈箱故障時’ +需打開該迷你潔淨室即可更換發 由^棬:該光導管所傳導之光照射於該待測面板上時，藉 攝像裝置之取像即可判斷該待測面板上是否有異物; 11.如申晴專利範圍第1 〇項所述之TFT LCD平面顯示 1233991 六、申請專利範圍 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該燈疒 係位於該頂盍之上方處且靠近該龍門結構處之攝像=佳 俾縮短該光導管之長度並進一步減少光亮度的衰減。X ’ 12·如申請專利範圍第1〇項所述之71?丁 [CD平面_ 一 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中哕"、^不 *室頂蓋係呈階梯狀，亦即其具有一較低頂蓋及二較;二淨 蓋，其中該燈箱係位於該迷你潔淨室之較低頂 : 該較低頂蓋為一強化頂蓋。 处’ 13·如申請專利範圍第12項所述之7{?丁 LC]) 一 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中爷* ;不 濾清器裝置較佳係置於該較高頂蓋之處。 -工乳倣粒 14·如申請專利範圍第12項所述之TFT LCD平面翻 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中誃不 濾清器裝置較佳係置於該較低頂蓋及該較高頂===微粒 該燈箱置於該較低頂蓋處之空氣微粒濾清器 =，且 箱支撐平台之上方，且該空氣微粒濾清器裝置之燈 口處t燈Λ支撐平台之間進一步保持有-氣流通：，氣 面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該十上顯示器 清器、f置較佳係置於該較低頂蓋之處，且該燈：：❹濾 低頂盍處之空氣微粒濾清器裝置上方之燈箱支‘：该較 方，且該較低頂蓋處之空氣微粒濾清器裝置之之上 處與1燈箱支樓平台之間進一步保持有一氣流通氣口 •如申請專利範圍第1〇項所述之TFT LCD平面顯示

1233991 六、申請專利範圍 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該龍門結構 上之攝像裝置係一可沿該龍門結構之軸向做平行、來回運 動者，並且於頂蓋上方處具有一燈箱運動平台 (X-table)，俾使該燈箱運動平台上方之該燈箱與該光導 管可與該攝像裝置一般做同步之平行、來回運動者，以消 除該光導管之來回扭動，並進一步消除因光導管來回扭動 而產生剝落之微粒。 17·如申請專利範圍第16項所述之TFT LCD平面顯示 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該燈箱置於 該頂蓋處之空氣微粒濾清器裝置上方之燈箱運動平台之上 方’且該頂蓋處之空氣微粒濾清器裝置之上方入氣口處與 該燈箱運動平台之間進一步保持有一氣流通道。 18·如申請專利範圍第1〇項所述之TFT LCD平面顯示 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該待測面板 較佳係為一玻璃面板、一TFT面板、一TFT製程中半成品面 板、一彩色濾光片面板、一彩色濾光片製程中半成品面 板、一偏光板其中之一。 19·如申請專利範圍第1〇項所述之TFT LCD 平面顯示 面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該攝像裝置 係為一CMOS線掃描相機（Line-scan Camera)或一CCD線掃 描相機等。 20·如申請專利範圍第1〇項所述之TFT LCD平面顯示 器面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該光導管係 為一光纖導管（Optical Fiber Light Guide)。

第25頁 1233991 六、申請專利範圍 21.如申請專利範圍第10所述之TFT LCD 平面顯示器 面板製程生產線之自動光學檢測機台，其中該空氣微粒濾 清器裝置較佳係為一高效率空氣微粒濾清器（H i gh Efficiency Particulate Air Filter)裝置或更高等級之 空氣微粒濾清器裝置，係用以加強該迷你潔淨室之潔淨 度。

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