JP2010084814A - 振動除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動除去装置10は、慣性体と慣性体を駆動するアクチュエータ機構とを含んで構成される装置本体部20と、図示されていないが定盤8のX方向加速度αを検出してこれを取得し、装置本体部20にこのαを打ち消すように慣性体の反力を生じさせる制御を行う制御部12とを含んで構成される。装置本体部20は、筐体22と、筐体22の内部に、軸方向移動に対する剛性が径方向移動に対する剛性よりも小さい支持バネ26によって支持される慣性体24と、慣性体24を筐体22に対し軸方向に保持する保持バネ50,52と、慣性体24をX方向に移動駆動するアクチュエータ機構30と、速度センサ40とを含んで構成される。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 振動除去の対象である対象物に取り付けられて固定される筐体と、
軸方向移動に対する剛性が径方向移動に対する剛性よりも小さい支持バネによって筐体に対し移動可能に支持される慣性体と、
慣性体に移動駆動力を非接触で与えるアクチュエータ機構と、
筐体を介して慣性体の移動の反力を対象物に伝えて対象物の振動の加速度を打ち消すように、対象物の加速度に応じてアクチュエータ機構を駆動制御する制御部と、
を有することを特徴とする振動除去装置。 - 請求項1に記載の振動除去装置において、
慣性体を筐体に対し中立位置に支持する支持部材であって、そのバネ定数と、慣性体の質量とで定まる固有振動数が0.1Hz以上10Hz以下である支持部材を有することを特徴とする振動除去装置。 - 請求項1に記載の振動除去装置において、
慣性体の移動状態を検出するセンサを有し、
制御部は、
センサの検出値に基いて慣性体の速度を求め、その速度をフィードバックするフィードバック手段と、
速度のフィードバック量を調整して慣性体の移動のダンピング特性を調整する調整手段と、
を含むことを特徴とする振動除去装置。 - 請求項3に記載の振動除去装置において、
アクチュエータ機構は、
筐体側に駆動電流が供給される駆動コイルを含み、慣性体側に永久磁石を含み、駆動コイルによって生成される磁束と永久磁石との協働で慣性体に移動駆動力を与えるボイスコイルモータであり、
センサは、アクチュエータ機構と同じ形状を有し、慣性体を挟んでアクチュエータ機構と反対側に配置され、慣性体側に永久磁石を含み、筐体側に検出コイルを含む速度センサであることを特徴とする振動除去装置。 - 請求項1に記載の振動除去装置において、
筐体は、磁性体で構成されていることを特徴とする振動除去装置。 - 請求項1に記載の振動除去装置において、
筐体は、その外側を電磁シールド材料で囲まれることを特徴とする振動除去装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008252498A JP2010084814A (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | 振動除去装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102820761A (zh) * | 2012-07-30 | 2012-12-12 | 北京航空航天大学 | 一种基于非线性膜簧的音圈作动器 |
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-
2008
- 2008-09-30 JP JP2008252498A patent/JP2010084814A/ja active Pending
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