JPS6293535A - 防振テ−ブル水平保持装置 - Google Patents
防振テ−ブル水平保持装置Info
- Publication number
- JPS6293535A JPS6293535A JP23133885A JP23133885A JPS6293535A JP S6293535 A JPS6293535 A JP S6293535A JP 23133885 A JP23133885 A JP 23133885A JP 23133885 A JP23133885 A JP 23133885A JP S6293535 A JPS6293535 A JP S6293535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibration
- fixed
- control table
- center
- magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/03—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using magnetic or electromagnetic means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は防振装置の防振テーブルに外力が作用して振動
しても直に該振動を停止し防振テーブルを水平に保持す
るようにした防振テーブル水平保持装置に関するもので
ある。
しても直に該振動を停止し防振テーブルを水平に保持す
るようにした防振テーブル水平保持装置に関するもので
ある。
（従来技術）
従来弾性部材で支持された基板上にエアー。
マグネット、コイルスプリング等の浮上部材を介して防
振テーブルを配設するようにした防振装置は周知である
が防振テーブル自体に外力が作用して防振テーブルを動
かすと元の水平状態に停止させる迄数秒間（約３秒程度
）を必要としその間測定が出来ないので超精密測定には
不適であるという問題点があった。
振テーブルを配設するようにした防振装置は周知である
が防振テーブル自体に外力が作用して防振テーブルを動
かすと元の水平状態に停止させる迄数秒間（約３秒程度
）を必要としその間測定が出来ないので超精密測定には
不適であるという問題点があった。
（目 的）
本発明は防振装置の防振テーブル上に超精密測定装置を
載置して測定中に防振チーシルに外力が作用して防振テ
ーブルを動かしても瞬時にその動きを停止し防振テーブ
ルを水平に保持し正確な超精密測定を行うと共に磁束の
漏洩を防止することを目的をしている。
載置して測定中に防振チーシルに外力が作用して防振テ
ーブルを動かしても瞬時にその動きを停止し防振テーブ
ルを水平に保持し正確な超精密測定を行うと共に磁束の
漏洩を防止することを目的をしている。
（構 成） ゛
本発明は上記目的を達成するため基板上にエアー、マグ
ネット、コイルスプリング等の浮上部材を介して防振テ
ーブルを配設し、基板及び防振テーブルの対向面の一方
に磁性板を固定し。
ネット、コイルスプリング等の浮上部材を介して防振テ
ーブルを配設し、基板及び防振テーブルの対向面の一方
に磁性板を固定し。
他方に複数個の磁石を固定し、該磁石の磁極を順次異極
として閉磁路を構成する如クシ、磁性板及び基板中心に
形成した中心孔より防振テーブル下面中心下方に突設し
たシャフトを垂下し下端に重錘を固定したことを特徴と
するものである。
として閉磁路を構成する如クシ、磁性板及び基板中心に
形成した中心孔より防振テーブル下面中心下方に突設し
たシャフトを垂下し下端に重錘を固定したことを特徴と
するものである。
以下実施例に基づいて具体的に説明する。１はゴム等の
弾性部材２で下面を支持した４角形の基板で、その上面
４隅にエアー、マグネット、コイルスプリング等の浮上
部材３を介して防振テーブル４を配設し、基板１上面中
央部に磁性板５を固定し、該磁性板５に対向して防振テ
ーブル４下面中心部に４個の磁石６を中心対象に固定し
、各磁石６の磁性板５に対向した磁極を順次異極として
閉磁路を構成する如くなし、磁性板５及び基板１中心に
形成した中心孔７より防振テーブル４下面中心下方に突
設したシャフト８を垂下し、下端に重錘９を固定しであ
る。
弾性部材２で下面を支持した４角形の基板で、その上面
４隅にエアー、マグネット、コイルスプリング等の浮上
部材３を介して防振テーブル４を配設し、基板１上面中
央部に磁性板５を固定し、該磁性板５に対向して防振テ
ーブル４下面中心部に４個の磁石６を中心対象に固定し
、各磁石６の磁性板５に対向した磁極を順次異極として
閉磁路を構成する如くなし、磁性板５及び基板１中心に
形成した中心孔７より防振テーブル４下面中心下方に突
設したシャフト８を垂下し、下端に重錘９を固定しであ
る。
次に作用について説明する。防振テーブル４上に超精密
測定機を載置して測定を行っている時防振テーブル４に
外力が加わり防振テーブル４を動かすと防振テーブル４
と一体のシャフト８下端の重錘９が振子の様に振動し７
次第に振ｒｊＪを小さくして垂直位置に停止して防振テ
ーブル４を水平にしようとするが、この時磁性板５と磁
石６により防振テーブル４は常に下方向に吸引され、Ｒ
つ浮上部材３で上方向に浮上されているので前記重錘９
の振子作用は瞬時に制動を受け、防振テーブル４は瞬時
（約０．１〜０．３秒程度）に動きが停止し水平に保持
される。そして各磁石４は閉磁路を構成しているので磁
束が漏洩せず有効に利用できる。
測定機を載置して測定を行っている時防振テーブル４に
外力が加わり防振テーブル４を動かすと防振テーブル４
と一体のシャフト８下端の重錘９が振子の様に振動し７
次第に振ｒｊＪを小さくして垂直位置に停止して防振テ
ーブル４を水平にしようとするが、この時磁性板５と磁
石６により防振テーブル４は常に下方向に吸引され、Ｒ
つ浮上部材３で上方向に浮上されているので前記重錘９
の振子作用は瞬時に制動を受け、防振テーブル４は瞬時
（約０．１〜０．３秒程度）に動きが停止し水平に保持
される。そして各磁石４は閉磁路を構成しているので磁
束が漏洩せず有効に利用できる。
なお防振テーブルに磁性板を、基板に磁石を対向して配
設したり、基板を弾性材以外の他の部材で支持してもよ
い。
設したり、基板を弾性材以外の他の部材で支持してもよ
い。
（効 果）
本発明によると基板上にエアー、マグネット、コイルス
プリング等の浮上部材を介して防振テーブルを配設し、
基板及び防振テーブル対向面の一方に磁性板を、他方に
複数個の磁石を固定し、各磁石の磁極を順次異極として
閉磁路を構成する如くし、磁性板及び一基板中心に形成
した中心孔より防振テーブル下面中心下方に突設したシ
ャフトを垂下し下端に重錘を固定しであるので、防振テ
ーブル上に超精密測定装置を載置して測定中に防振テー
ブルに外力が作用して防振テーブルを動かしても瞬時に
その動きを停止し防振テーブルを水平に保持するので正
確な超精密測定を行うことができ、又各磁石は閉磁路を
構成しているので磁束が漏洩せず有効に利用できる。゛
プリング等の浮上部材を介して防振テーブルを配設し、
基板及び防振テーブル対向面の一方に磁性板を、他方に
複数個の磁石を固定し、各磁石の磁極を順次異極として
閉磁路を構成する如くし、磁性板及び一基板中心に形成
した中心孔より防振テーブル下面中心下方に突設したシ
ャフトを垂下し下端に重錘を固定しであるので、防振テ
ーブル上に超精密測定装置を載置して測定中に防振テー
ブルに外力が作用して防振テーブルを動かしても瞬時に
その動きを停止し防振テーブルを水平に保持するので正
確な超精密測定を行うことができ、又各磁石は閉磁路を
構成しているので磁束が漏洩せず有効に利用できる。゛
第１図は本発明の一実施例正断面図、第２図は第１図の
Ａ−Ａ平面図である。 １・・・基板 ３・・・浮上部材４・・・
防振テーブル ５・・・磁性板６・・・磁石
７・・・中心孔８・・・シャフト ９
・・・重錘第１図 第２図
Ａ−Ａ平面図である。 １・・・基板 ３・・・浮上部材４・・・
防振テーブル ５・・・磁性板６・・・磁石
７・・・中心孔８・・・シャフト ９
・・・重錘第１図 第２図
Claims (1)
- 基板上にエアー、マグネット、コイルスプリング等の浮
上部材を介して防振テーブルを配設し、基板及び防振テ
ーブル対向面の一方に磁性板を、他方に複数個の磁石を
固定し、該磁石の磁極を順次異極として閉磁路を構成す
る如くし、磁性板及び基板中心に形成した中心孔より防
振テーブル下面中心下方に突設したシャフトを垂下し下
端に重錘を固定した防振テーブル水平保持装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23133885A JPS6293535A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 防振テ−ブル水平保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23133885A JPS6293535A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 防振テ−ブル水平保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6293535A true JPS6293535A (ja) | 1987-04-30 |
Family
ID=16922067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23133885A Pending JPS6293535A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 防振テ−ブル水平保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6293535A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59205036A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-20 | Hitachi Ltd | 免震装置 |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP23133885A patent/JPS6293535A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59205036A (ja) * | 1983-05-04 | 1984-11-20 | Hitachi Ltd | 免震装置 |
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