JPS61215260A - ＳｒＯ―ＭｇＯ―ＣｅＯ２系窒化珪素セラミックスの製造法 - Google Patents
ＳｒＯ―ＭｇＯ―ＣｅＯ２系窒化珪素セラミックスの製造法Info
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- JPS61215260A JPS61215260A JP60055252A JP5525285A JPS61215260A JP S61215260 A JPS61215260 A JP S61215260A JP 60055252 A JP60055252 A JP 60055252A JP 5525285 A JP5525285 A JP 5525285A JP S61215260 A JPS61215260 A JP S61215260A
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- Japan
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- sintering
- silicon nitride
- nitrogen gas
- pressure
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は内部と表面とが均質で強度の大きい窒化珪素セ
ラミックスを工業的に製造することができる窒化珪素セ
ラミックスの製造法に関するものである。
ラミックスを工業的に製造することができる窒化珪素セ
ラミックスの製造法に関するものである。
（従来の技術）
窒化珪素セラミックスは高温における強度、破壊靭性、
耐熱衝馨性、耐酸化性等において優れた特性を有し、炭
化珪素、ジルコニアセラミックスとともに構造用セラミ
ックスの中心的存在として期待されている材料であるが
、窒化珪素は自己焼結性に乏しいために焼結時に特別な
手段が必要とされており、工業的な製造法としては特開
昭５９−１８１６５号公報、特公昭５８−４９５０９号
公報、特開昭５７−７７０７２号公報′に示されるよう
な雰囲気加圧焼成法が普通である。ところがこれらの雰
囲気加圧焼成法は、いずれも成形体を高圧のガス雰囲気
中で常温から次第に昇温して焼結を行わせるものであり
、焼結の初期段階から高圧が加えられているために成形
体の内部に存在する気孔の内部も当然に高圧となり、焼
結過程で気孔を排除することが極めて困難となる欠点が
あった。このため、得られた製品は内部に多数の気孔を
含んだものとなり、機械的強度が低いうえに表面と内部
との焼結状態が異なり不均質なものとなり、特にターボ
ローターのような形状が複雑で羽根部分の肉厚と軸部分
の肉厚とが極度に異なる製品においては実用に耐える製
品を得ることが困難とされていた。一方、特開昭５８−
６４２７４号公報に示されるように、焼結の初期段階を
減圧下で行う方法も研究されているが、この場合には成
形体に含まれている焼結助剤や窒化珪素、酸化珪素等が
蒸発するために特に表面部分の気孔が多くなり、表面と
内部との特性差や肉厚差による焼結状態の差を防止でき
ないことは前記の方法による場合と同様であった。
耐熱衝馨性、耐酸化性等において優れた特性を有し、炭
化珪素、ジルコニアセラミックスとともに構造用セラミ
ックスの中心的存在として期待されている材料であるが
、窒化珪素は自己焼結性に乏しいために焼結時に特別な
手段が必要とされており、工業的な製造法としては特開
昭５９−１８１６５号公報、特公昭５８−４９５０９号
公報、特開昭５７−７７０７２号公報′に示されるよう
な雰囲気加圧焼成法が普通である。ところがこれらの雰
囲気加圧焼成法は、いずれも成形体を高圧のガス雰囲気
中で常温から次第に昇温して焼結を行わせるものであり
、焼結の初期段階から高圧が加えられているために成形
体の内部に存在する気孔の内部も当然に高圧となり、焼
結過程で気孔を排除することが極めて困難となる欠点が
あった。このため、得られた製品は内部に多数の気孔を
含んだものとなり、機械的強度が低いうえに表面と内部
との焼結状態が異なり不均質なものとなり、特にターボ
ローターのような形状が複雑で羽根部分の肉厚と軸部分
の肉厚とが極度に異なる製品においては実用に耐える製
品を得ることが困難とされていた。一方、特開昭５８−
６４２７４号公報に示されるように、焼結の初期段階を
減圧下で行う方法も研究されているが、この場合には成
形体に含まれている焼結助剤や窒化珪素、酸化珪素等が
蒸発するために特に表面部分の気孔が多くなり、表面と
内部との特性差や肉厚差による焼結状態の差を防止でき
ないことは前記の方法による場合と同様であった。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明はこのような従来の問題点を解決し、形状が複雑
で部分的な肉厚差のある場合にも表面も内部をも均質に
焼結させることができる窒化珪素セラミックスの製造法
を目的として完成されたものである。
で部分的な肉厚差のある場合にも表面も内部をも均質に
焼結させることができる窒化珪素セラミックスの製造法
を目的として完成されたものである。
（問題点を解決するための手段）
本発明は窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し成形したの
ち、絶対圧で１〜１．３ｋｇ／ｃｍ２の窒素ガス雰囲気
中においてｌ・４５０〜１６００℃の範囲内の一定温度
で１〜５時間の１次焼結を行い、次に５〜ｌｏｋｇ／ｃ
ｍ２の窒素ガス雰囲気中において１６００〜１８００℃
の温度で２次焼結を行うことを特徴とするものであり、
これによって表面も内部も特性が均一であり、全体とし
て緻密で高強度の窒化珪素セラミックスを経済的に製造
することができる０次に本発明の工程について更に詳細
に説明する。
ち、絶対圧で１〜１．３ｋｇ／ｃｍ２の窒素ガス雰囲気
中においてｌ・４５０〜１６００℃の範囲内の一定温度
で１〜５時間の１次焼結を行い、次に５〜ｌｏｋｇ／ｃ
ｍ２の窒素ガス雰囲気中において１６００〜１８００℃
の温度で２次焼結を行うことを特徴とするものであり、
これによって表面も内部も特性が均一であり、全体とし
て緻密で高強度の窒化珪素セラミックスを経済的に製造
することができる０次に本発明の工程について更に詳細
に説明する。
窒化珪素セラミックスの原料としては、微細で焼結性の
良好な粉末原料を選択して用いるものとし、市販されて
いる窒化珪素粉末のうち、粒径ｌμ以下でα−３ｉ、Ｎ
、の含有率が９０％以上のものが好ましい。焼結助剤と
してはＭｇＯ，５ｒＯ１ＹｚＯｓ 、Ｌ ａｔｏｓ 、
Ｃｅ Ｏｘ 、Ａ １ｚＯ＊等が用いられ、窒化珪素粉
末に対して通常は５〜１５％が添加される。窒化珪素粉
末と焼結助剤との混合物は粉砕混合機で更に粉砕して微
粉化するとともに焼結助剤との混合を確実なものとする
０次に少量の有機バインダを加えて顆粒としたうえプレ
ス成形、流込み成形、押出成形、射出成形等の任意の方
法により所定形状に成形する。
良好な粉末原料を選択して用いるものとし、市販されて
いる窒化珪素粉末のうち、粒径ｌμ以下でα−３ｉ、Ｎ
、の含有率が９０％以上のものが好ましい。焼結助剤と
してはＭｇＯ，５ｒＯ１ＹｚＯｓ 、Ｌ ａｔｏｓ 、
Ｃｅ Ｏｘ 、Ａ １ｚＯ＊等が用いられ、窒化珪素粉
末に対して通常は５〜１５％が添加される。窒化珪素粉
末と焼結助剤との混合物は粉砕混合機で更に粉砕して微
粉化するとともに焼結助剤との混合を確実なものとする
０次に少量の有機バインダを加えて顆粒としたうえプレ
ス成形、流込み成形、押出成形、射出成形等の任意の方
法により所定形状に成形する。
成形体は先ずを機バインダを取除くため空気中で約５０
０℃まで徐々に加熱し、有機バインダを燃焼させる。昇
温速度は成形体の形状によって異るが２０〜ｂ １．３ｋｇ／ａ！の窒素ガス雰囲気中において１４５０
〜１６００℃の範囲内の一定温度に１〜５時間保持する
１次焼結を行う、この１次焼結中に成形体の表面及び内
部で徐々に焼結が進行し、終了時点では理論密度の８０
％以上まで焼結するが、この間の窒素ガス雰囲気圧は常
圧に近いため、焼結助剤の蒸発水ｌ１ｌ（及び成形体内
部の気孔への高圧ガスの封じ込みを生ずることもなく表
面も内部も均一状態に焼結される。この１次焼結の温度
と焼結された窒化珪素セラミックスの抗折強度との関係
は第１図に示されるとおりであって、１４５０℃未満で
は長時間保持しても焼結が不十分となり、後の２次焼結
時に気孔に高圧ガスが入って緻密な製品が得られず、特
に内部に欠陥が残り易くなる。
０℃まで徐々に加熱し、有機バインダを燃焼させる。昇
温速度は成形体の形状によって異るが２０〜ｂ １．３ｋｇ／ａ！の窒素ガス雰囲気中において１４５０
〜１６００℃の範囲内の一定温度に１〜５時間保持する
１次焼結を行う、この１次焼結中に成形体の表面及び内
部で徐々に焼結が進行し、終了時点では理論密度の８０
％以上まで焼結するが、この間の窒素ガス雰囲気圧は常
圧に近いため、焼結助剤の蒸発水ｌ１ｌ（及び成形体内
部の気孔への高圧ガスの封じ込みを生ずることもなく表
面も内部も均一状態に焼結される。この１次焼結の温度
と焼結された窒化珪素セラミックスの抗折強度との関係
は第１図に示されるとおりであって、１４５０℃未満で
は長時間保持しても焼結が不十分となり、後の２次焼結
時に気孔に高圧ガスが入って緻密な製品が得られず、特
に内部に欠陥が残り易くなる。
逆に１６００℃を越えると、窒化珪素の分解や焼結助剤
の蒸発等により表面が多孔質となり易く、最終的に強度
の小さい製品しか得られなくなる。
の蒸発等により表面が多孔質となり易く、最終的に強度
の小さい製品しか得られなくなる。
このように、１４５０〜１６００℃の範囲内の一定温度
に維持しつつ１次焼結を行わせることが好ましく、緩や
かな昇温を行っても近似した結果が得られるものの、昇
温カーブによってはやはり表面と内部との差が出易くな
る。保持時間は第２図のグラフからも明らかなように、
肉厚によっても異なるが１時間未満では焼結が不十分と
なり、５時間を越えると若干の蒸発が生じて強度の低下
を生ずる。更に、窒素ガス雰囲気圧力は第３図からも明
らかなように１．０ｋｉ／ｃｄ未満、即ち減圧状態とな
ると焼結助剤の蒸発が増加して製品の強度が弱くなり、
逆に１．３ｋｇ／−を越えると気孔への高圧ガスの封じ
込みが生じてやはり製品強度の低下を生ずる。
に維持しつつ１次焼結を行わせることが好ましく、緩や
かな昇温を行っても近似した結果が得られるものの、昇
温カーブによってはやはり表面と内部との差が出易くな
る。保持時間は第２図のグラフからも明らかなように、
肉厚によっても異なるが１時間未満では焼結が不十分と
なり、５時間を越えると若干の蒸発が生じて強度の低下
を生ずる。更に、窒素ガス雰囲気圧力は第３図からも明
らかなように１．０ｋｉ／ｃｄ未満、即ち減圧状態とな
ると焼結助剤の蒸発が増加して製品の強度が弱くなり、
逆に１．３ｋｇ／−を越えると気孔への高圧ガスの封じ
込みが生じてやはり製品強度の低下を生ずる。
このようにして１次焼結を行わせた後引続き、あるいは
一度常温に冷却したうえで、２次焼結が行われる。２次
焼結は絶対圧で５〜ｌＱｋｇ／ｅ＋ａの窒素ガス雰囲気
中において１６００−１８００℃で行われる。２次焼結
は焼結を完全に行わせるために高温で行われ、窒化珪素
の熱分解や焼結助剤の蒸発が生し易い、このために窒素
ガス雰囲気の圧力を高めることが有効であるが、成形体
は１次焼結によって８０％以上焼結していて開気孔は少
いため、気孔内に高圧のガスが封入されることもなく焼
結が進行し、これにつれて表面及び内部の気孔は全て排
除されて均質かつ緻密な製品が得られる。なお、２次焼
結の温度が１６００℃未満では焼結が完結しにくく、１
８００℃を越えると窒化珪素の熱分解及び焼結助剤の蒸
発が顕著となり表面が多孔質となり易い、また２次焼結
における窒素ガス雰囲気圧は第４図に示されるように５
ｋｇ／ｃｄ以上で安定した特性が得られるが、１０ｋ
ｒ／−を越しても目立った効果はなく、不経済であるこ
のように本発明は１次焼結と２次焼結との組合せによっ
て表面も内部も均質で気孔の少ない高強度の窒化珪素セ
ラミックスを製造することができるものであるが、１次
焼結により１０％を越える収縮が生ずるので、高温高圧
を受ける２次焼結用の炉は比較的小さくて済み、経済性
に優れる利点もある。
一度常温に冷却したうえで、２次焼結が行われる。２次
焼結は絶対圧で５〜ｌＱｋｇ／ｅ＋ａの窒素ガス雰囲気
中において１６００−１８００℃で行われる。２次焼結
は焼結を完全に行わせるために高温で行われ、窒化珪素
の熱分解や焼結助剤の蒸発が生し易い、このために窒素
ガス雰囲気の圧力を高めることが有効であるが、成形体
は１次焼結によって８０％以上焼結していて開気孔は少
いため、気孔内に高圧のガスが封入されることもなく焼
結が進行し、これにつれて表面及び内部の気孔は全て排
除されて均質かつ緻密な製品が得られる。なお、２次焼
結の温度が１６００℃未満では焼結が完結しにくく、１
８００℃を越えると窒化珪素の熱分解及び焼結助剤の蒸
発が顕著となり表面が多孔質となり易い、また２次焼結
における窒素ガス雰囲気圧は第４図に示されるように５
ｋｇ／ｃｄ以上で安定した特性が得られるが、１０ｋ
ｒ／−を越しても目立った効果はなく、不経済であるこ
のように本発明は１次焼結と２次焼結との組合せによっ
て表面も内部も均質で気孔の少ない高強度の窒化珪素セ
ラミックスを製造することができるものであるが、１次
焼結により１０％を越える収縮が生ずるので、高温高圧
を受ける２次焼結用の炉は比較的小さくて済み、経済性
に優れる利点もある。
（実施例）
実施例１
純度９９．５％、粒径ｌμ以下、α−３ｉ、Ｎｎ９０％
以上の窒化珪素む）末２０ ｋｇに対し、３ｒＯ１゜５
％、ＭｇＯ１５，０％、Ｃｅ Ｏｔ ４．０％を加えて
トロンメルに投入し、Ｚｒ０１球石を用いて乾式にて６
時間粉砕用合した。その後珪石を分離したうえＰＶＡ扮
末を全体の“２％加えてＶ型ミキサーで十分混合した。
以上の窒化珪素む）末２０ ｋｇに対し、３ｒＯ１゜５
％、ＭｇＯ１５，０％、Ｃｅ Ｏｔ ４．０％を加えて
トロンメルに投入し、Ｚｒ０１球石を用いて乾式にて６
時間粉砕用合した。その後珪石を分離したうえＰＶＡ扮
末を全体の“２％加えてＶ型ミキサーで十分混合した。
これを金型プレスにより２ ｔｏｎ／ａＪの圧力でプレ
スして６０Ｘ６０Ｘ１５ｆｉの板状サンプルを成形した
。成形物を電気炉中で加熱して５００℃で３時間保持し
、ＰＶＡを完全に除去した。その後この成形体を窒素ガ
ス雰囲気焼結炉に入れ、窒素ガス圧１．０ｋｒ／ｃｍ２
の雰囲気中で５００℃／Ｈの割合で１４００．１４５０
，１５００．１５５０．１６００．１６５０℃まで昇温
し、それぞれの温度で１時間保持して１次焼結したうえ
、引続いて窒素ガス圧を８．０ｋｒ／−とし、２００℃
／Ｈの割合で１７００℃まで昇温しで１時間保持の２次
焼結を行った。得られた板状のサンプルから曲試験用サ
ンプルを切出し、万能試験機によりＪＩＳに規定される
４点曲げ強度を測定した。その結果は第１図に示された
とおりであり、１４５０−１６００℃で１次焼結したも
のは表面、内部ともに均質で高強度の窒化珪素セラミッ
クスが得られた。
スして６０Ｘ６０Ｘ１５ｆｉの板状サンプルを成形した
。成形物を電気炉中で加熱して５００℃で３時間保持し
、ＰＶＡを完全に除去した。その後この成形体を窒素ガ
ス雰囲気焼結炉に入れ、窒素ガス圧１．０ｋｒ／ｃｍ２
の雰囲気中で５００℃／Ｈの割合で１４００．１４５０
，１５００．１５５０．１６００．１６５０℃まで昇温
し、それぞれの温度で１時間保持して１次焼結したうえ
、引続いて窒素ガス圧を８．０ｋｒ／−とし、２００℃
／Ｈの割合で１７００℃まで昇温しで１時間保持の２次
焼結を行った。得られた板状のサンプルから曲試験用サ
ンプルを切出し、万能試験機によりＪＩＳに規定される
４点曲げ強度を測定した。その結果は第１図に示された
とおりであり、１４５０−１６００℃で１次焼結したも
のは表面、内部ともに均質で高強度の窒化珪素セラミッ
クスが得られた。
実施例２
実施例１と同一の原料から２．５ｔｏｎ／ｃｍ２の圧力
で６０Ｘ６０Ｘ５重目と６０ｘ６０ｘ３０龍の板状サン
プルを成形し、実施例１と同様にバインダーを除去した
うえ窒素ガス雰囲気焼結炉に入れ窒素ガス圧１．１ ｋ
ｇ ／ （Ｊｌ 、温度１５００℃、保持時間０．５〜
６時間の１次焼結と、引続いて窒素ガス圧１０ｋｇ ／
ａＪ、温度１７００℃、１時間の２次焼結を行った。
で６０Ｘ６０Ｘ５重目と６０ｘ６０ｘ３０龍の板状サン
プルを成形し、実施例１と同様にバインダーを除去した
うえ窒素ガス雰囲気焼結炉に入れ窒素ガス圧１．１ ｋ
ｇ ／ （Ｊｌ 、温度１５００℃、保持時間０．５〜
６時間の１次焼結と、引続いて窒素ガス圧１０ｋｇ ／
ａＪ、温度１７００℃、１時間の２次焼結を行った。
１次焼結のための昇温速度は７００℃／Ｈ１２次焼結の
ための昇温速度は３００℃／Ｈである。得られた板状サ
ンプルの中心部から３×４×４０ ｍｌのテストピース
を切出して強度測定した結果、第２図に示すように肉厚
３０關の場合には１次焼結の保持時間は２〜５時間が好
ましく、肉厚５龍の場合には１〜５時間が適当であるこ
とが明らかとなった。
ための昇温速度は３００℃／Ｈである。得られた板状サ
ンプルの中心部から３×４×４０ ｍｌのテストピース
を切出して強度測定した結果、第２図に示すように肉厚
３０關の場合には１次焼結の保持時間は２〜５時間が好
ましく、肉厚５龍の場合には１〜５時間が適当であるこ
とが明らかとなった。
実施例３
実施例２と同様に６０ Ｘ ６０ Ｘ ５ 鶴の仮杖サ
ンプルを成形し、０．９〜１．４ｋｇ／ａｎ！の窒素ガ
ス雰囲気中で１５００℃、２時間の１次焼結を行い、次
いて４〜１２ｋｒ／ｃｍ２の窒素ガス雰囲気中で１７５
０℃、３０分の２次焼結を行った。得られた板状サンプ
ルからテストピースを切出し強度測定した結果、第３図
及び第４図に示されるように１次焼結時の窒素ガス雰囲
気圧は１．０〜１．３ｋｇ／ｃｍ２が好ましく、２次焼
結時の窒素ガス雰囲気圧は５〜ｌＯｋｇ ／ ｃｄが適
当であることが判明した。
ンプルを成形し、０．９〜１．４ｋｇ／ａｎ！の窒素ガ
ス雰囲気中で１５００℃、２時間の１次焼結を行い、次
いて４〜１２ｋｒ／ｃｍ２の窒素ガス雰囲気中で１７５
０℃、３０分の２次焼結を行った。得られた板状サンプ
ルからテストピースを切出し強度測定した結果、第３図
及び第４図に示されるように１次焼結時の窒素ガス雰囲
気圧は１．０〜１．３ｋｇ／ｃｍ２が好ましく、２次焼
結時の窒素ガス雰囲気圧は５〜ｌＯｋｇ ／ ｃｄが適
当であることが判明した。
実施例４
実施例１と同様に６０ Ｘ ６０ Ｘ １５１ｍの板状
サンプルを成形し、１．２ｋｇ／ｃＪの窒素ガス雰囲気
中で１５００℃に２時間保持した後、常温まで冷却して
寸法を測定したところ５．２０ Ｘ ５．２２ Ｘ １
３．ｏｍｍであった。これを７に＋ｒ／ｃｍ２の窒素ガ
ス雰囲気中で１７００℃、１時間の２次焼結を行ったと
ころ、抗折強度が８０ｋｔ／−を越える高強度の窒化珪
素セラミックスが得られた。２次焼結後に再度寸法を測
定したところ５．１３ Ｘ ５．１４ Ｘ １２．８龍
であった。
サンプルを成形し、１．２ｋｇ／ｃＪの窒素ガス雰囲気
中で１５００℃に２時間保持した後、常温まで冷却して
寸法を測定したところ５．２０ Ｘ ５．２２ Ｘ １
３．ｏｍｍであった。これを７に＋ｒ／ｃｍ２の窒素ガ
ス雰囲気中で１７００℃、１時間の２次焼結を行ったと
ころ、抗折強度が８０ｋｔ／−を越える高強度の窒化珪
素セラミックスが得られた。２次焼結後に再度寸法を測
定したところ５．１３ Ｘ ５．１４ Ｘ １２．８龍
であった。
（発明の効果）
本発明は以上の説明からも明らかなように、比較的低い
焼結温度と雰囲気圧力下で内部、表面ともに均質で強度
の大きい窒化珪素セラミックスを得ることができ、肉厚
差のある場合についても均質で緻密な製品を得ることが
できるものである。
焼結温度と雰囲気圧力下で内部、表面ともに均質で強度
の大きい窒化珪素セラミックスを得ることができ、肉厚
差のある場合についても均質で緻密な製品を得ることが
できるものである。
また、本発明は低圧の１次焼結により収縮した成形体を
２次焼結するので、２次焼結を別の炉で行う場合には比
較的小型の炉を用いることができる利点もある。このよ
うに、本発明は構造用セラミックスとして期待されてい
る窒化珪素セラミックスを形状の如何を問わず工業的に
生産することができるものであるから、従来の窒化珪素
セラミックスの製造法の問題点を解消したものとして産
業の発展に寄与するところは極めて大である。
２次焼結するので、２次焼結を別の炉で行う場合には比
較的小型の炉を用いることができる利点もある。このよ
うに、本発明は構造用セラミックスとして期待されてい
る窒化珪素セラミックスを形状の如何を問わず工業的に
生産することができるものであるから、従来の窒化珪素
セラミックスの製造法の問題点を解消したものとして産
業の発展に寄与するところは極めて大である。
第１図は１次焼結温度と製品の抗折強度との関係を示す
グラフ、第２図は１次焼結時の保持時間と抗折強度との
関係を示すグラフ、第３図は１次焼結時の窒素ガス雰囲
気圧と抗折強度との関係を示すグラフ、第４図は２次焼
結時の窒素ガス雰囲気圧と抗折強度との関係を示すグラ
フである。 第１図 τ、’ｔｏｙ灸−１１Ｊ虻 （”Ｃ）第２図 １吹焼峰膓碕吟− 第３図 １；欠焼物吟１１零日帆氏 １ 秦４図 １吹ａｒｉ粂舛 ２戻曖玲吟の雰囲駄 τ蒙
グラフ、第２図は１次焼結時の保持時間と抗折強度との
関係を示すグラフ、第３図は１次焼結時の窒素ガス雰囲
気圧と抗折強度との関係を示すグラフ、第４図は２次焼
結時の窒素ガス雰囲気圧と抗折強度との関係を示すグラ
フである。 第１図 τ、’ｔｏｙ灸−１１Ｊ虻 （”Ｃ）第２図 １吹焼峰膓碕吟− 第３図 １；欠焼物吟１１零日帆氏 １ 秦４図 １吹ａｒｉ粂舛 ２戻曖玲吟の雰囲駄 τ蒙
Claims (1)
- 窒化珪素粉末と焼結助剤とを混合し成形したのち、絶対
圧で１〜１．３ｋｇ／ｃｍ＾２の窒素ガス雰囲気中にお
いて１４５０〜１６００℃の範囲内の一定温度で１〜５
時間の１次焼結を行い、次に５〜１０ｋｇ／ｃｍ＾２の
窒素ガス雰囲気中において１６００〜１８００℃の温度
で２次焼結を行うことを特徴とする窒化珪素セラミック
スの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60055252A JPS61215260A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | ＳｒＯ―ＭｇＯ―ＣｅＯ２系窒化珪素セラミックスの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60055252A JPS61215260A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | ＳｒＯ―ＭｇＯ―ＣｅＯ２系窒化珪素セラミックスの製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61215260A true JPS61215260A (ja) | 1986-09-25 |
| JPH0321503B2 JPH0321503B2 (ja) | 1991-03-22 |
Family
ID=12993403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60055252A Granted JPS61215260A (ja) | 1985-03-19 | 1985-03-19 | ＳｒＯ―ＭｇＯ―ＣｅＯ２系窒化珪素セラミックスの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61215260A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6252177A (ja) * | 1985-08-31 | 1987-03-06 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製造方法 |
| JPS63147868A (ja) * | 1986-12-09 | 1988-06-20 | マツダ株式会社 | 耐摩性摺動部材の製造方法 |
| JPH03131572A (ja) * | 1989-07-18 | 1991-06-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 高強度窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1985
- 1985-03-19 JP JP60055252A patent/JPS61215260A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0321503B2 (ja) | 1991-03-22 |
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