JPS61191847U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のウエハー等の搬送装置の平面
図、第２図は同装置の側面図、第３図はバキユー
ムチヤツクとウエハーとの位置関係を示す平面図
、第４図はバキユームチヤツクの一部破断正面図
、第５図はロータリテーブルの一部破断側面図、
第６図はロータリテーブルとキヤリアの位置決め
部分を示す一部の平面図、第７図はスイングアー
ムの先端部分の側面図である。 １……ウエハー等の搬送装置、２……多関節ロ
ボツト、３……スイングアーム、４……ラツピン
グ装置、５……ロータリテーブル、９……上下動
軸、１１ａ，１１ｂ……バキユームチヤツク、１
４，１５……センサー、１６……キヤリア、１７
……ワーク、１８……孔、２５……支点軸、２６
……シリンダ、２８……スライダ、２９……ワー
ク供給手段、３０……ワーク排出手段、３２……
バキユームチヤツク。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ウエハー等のワークのはまる孔を周方向に
   複数有するキヤリアと、このキヤリアおよびワー
   クを同時につかんで搬送する多関節ロボツトと、
   この多関節ロボツトの移動域内に位置し、上記キ
   ヤリアが着脱自在に乗る作業装置およびロータリ
   テーブルと、上記ワークをつかんで旋回し、供給
   および排出動作をするスイングアームと、このス
   イングアームの移動域に位置したワーク供給手段
   、ワーク排出手段および上記ロータリテーブルよ
   りなることを特徴とするワーク等の搬送装置。 (2) スイングアームの支点位置を移動手段に取
   り付けてなることを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲第１項記載のウエハー等の搬送装置。