JPS61191564A - 窒化珪素焼結体およびその製造方法 - Google Patents
窒化珪素焼結体およびその製造方法Info
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- JPS61191564A JPS61191564A JP60029749A JP2974985A JPS61191564A JP S61191564 A JPS61191564 A JP S61191564A JP 60029749 A JP60029749 A JP 60029749A JP 2974985 A JP2974985 A JP 2974985A JP S61191564 A JPS61191564 A JP S61191564A
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- Japan
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- silicon nitride
- powder
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- sintered body
- parts
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は窒化珪素焼結体およびその製造方法の改良に関
する。特に本発明はガスタービンエンジン、ヒラミツク
エンジン等の製造に適した窒化珪素焼結体およびその製
造方法に関する。
する。特に本発明はガスタービンエンジン、ヒラミツク
エンジン等の製造に適した窒化珪素焼結体およびその製
造方法に関する。
［従来の技術］
窒化珪素焼結体は構造用セラミックスとして注目されて
いる。この窒化珪素焼結体の高強度を実現する方法とし
て、優れた焼結助剤の開発、窒化珪素原料粉末の改良等
が図られている。
いる。この窒化珪素焼結体の高強度を実現する方法とし
て、優れた焼結助剤の開発、窒化珪素原料粉末の改良等
が図られている。
従来窒化珪素ならびに該窒化珪素の焼結助剤としで用い
られた酸化マグネシウム（以下マグネシアという。）お
よび酸化アルミニウム（以下アルミナという。）の三成
分から成る窒化珪素焼結体およびその製造方法として、
この焼結助剤の混合割合が、全体を１００モル％とした
場合、８〜４０モル％であり、しかも上記３成分の粉末
の粒径は特に限定されず、比較的粒径の大きなものを使
用して焼結されたと思われるものが知られている（特公
昭５２−３６４７）。
られた酸化マグネシウム（以下マグネシアという。）お
よび酸化アルミニウム（以下アルミナという。）の三成
分から成る窒化珪素焼結体およびその製造方法として、
この焼結助剤の混合割合が、全体を１００モル％とした
場合、８〜４０モル％であり、しかも上記３成分の粉末
の粒径は特に限定されず、比較的粒径の大きなものを使
用して焼結されたと思われるものが知られている（特公
昭５２−３６４７）。
しかしこの方法で製造された窒化珪素焼結体は、常温強
度および高温強度が実用上十分に大きいとはいえず、即
ち常ｍ’Ｓ度ハ２３〜４０ｋｇ／１ｌＩｌ１２程度であ
り、高温強度はこれよりも小さい。またこれは耐酸化性
も十分に良いとはいえず、大気雰囲気下での重量増加が
２〜１０ｍ１Ｊ／Ｃ１１’もある。
度および高温強度が実用上十分に大きいとはいえず、即
ち常ｍ’Ｓ度ハ２３〜４０ｋｇ／１ｌＩｌ１２程度であ
り、高温強度はこれよりも小さい。またこれは耐酸化性
も十分に良いとはいえず、大気雰囲気下での重量増加が
２〜１０ｍ１Ｊ／Ｃ１１’もある。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、上記欠点を克服するものであり、室温強度を
低下させずに高温まで該室温強度を維持し、耐酸化性を
向上さき、かつ緻密性の良い窒化珪素焼結体およびそれ
を製造する方法を提供することを目的とするものである
。
低下させずに高温まで該室温強度を維持し、耐酸化性を
向上さき、かつ緻密性の良い窒化珪素焼結体およびそれ
を製造する方法を提供することを目的とするものである
。
［問題点を解決するための手段］
本第１発明の窒化珪素焼結体は、窒化珪素、マグネシア
およびアルミナから成り、上記３成分の全量をｉｏｏ重
量部とする場合、マグネシアおよびアルミナは各々３重
量部以下であり、かつ該マグネシアおよび該アルミナの
全量は４重量部以下であり、残部が窒化珪素である窒化
珪素焼結体であって、上記窒化珪素焼結体のかさ密度が
３．１０ｇ／Ｃｌ１１３以上であり、かつ室温における
曲げ強度が７５ｋＱ／ｃｍ２以上であることを特徴とす
る。
およびアルミナから成り、上記３成分の全量をｉｏｏ重
量部とする場合、マグネシアおよびアルミナは各々３重
量部以下であり、かつ該マグネシアおよび該アルミナの
全量は４重量部以下であり、残部が窒化珪素である窒化
珪素焼結体であって、上記窒化珪素焼結体のかさ密度が
３．１０ｇ／Ｃｌ１１３以上であり、かつ室温における
曲げ強度が７５ｋＱ／ｃｍ２以上であることを特徴とす
る。
上記窒化珪素焼結体において、焼結助剤であるマグネシ
アおよびアルミナの各成分割合は、該マグネシアおよび
該アルミナの全量を１００重量部とする場合、該マグネ
シアは２５重量部以上５０（１間部以下、残部が該アル
ミナであるものが好ましい。
アおよびアルミナの各成分割合は、該マグネシアおよび
該アルミナの全量を１００重量部とする場合、該マグネ
シアは２５重量部以上５０（１間部以下、残部が該アル
ミナであるものが好ましい。
本第１発明の窒化珪素焼結体は、以下にのべる本第２発
明の窒化珪素焼結体の製造方法を使用することにより達
成される。
明の窒化珪素焼結体の製造方法を使用することにより達
成される。
本第２発明の窒化珪素焼結体の製造方法は、窒化１１素
粉末、マグネシア粉末およびアルミナ粉末とを混合した
原料粉末を成形し、この成形された成形体を焼成して窒
化珪素焼結体を製造する方法において、窒化珪素粉末の
平均粒径は２μｍ （以下中にμという。）以下であり
、マグネシア粉末およびアルミナ粉末の平均粒径は各々
０．１μ以下であり、 上記窒化珪素粉末、上記マグネシア粉末および上記アル
ミナ粉末の全量を１００重量部とする場合、該マグネシ
ア粉末および該アルミナ粉末は各々３重量部以下であり
、該マグネシア粉末および。
粉末、マグネシア粉末およびアルミナ粉末とを混合した
原料粉末を成形し、この成形された成形体を焼成して窒
化珪素焼結体を製造する方法において、窒化珪素粉末の
平均粒径は２μｍ （以下中にμという。）以下であり
、マグネシア粉末およびアルミナ粉末の平均粒径は各々
０．１μ以下であり、 上記窒化珪素粉末、上記マグネシア粉末および上記アル
ミナ粉末の全量を１００重量部とする場合、該マグネシ
ア粉末および該アルミナ粉末は各々３重量部以下であり
、該マグネシア粉末および。
該アルミナ粉末の全量は４重量部以下であり、残部が該
窒化珪素粉末であるように配合、混合して成形すること
を特徴とする。
窒化珪素粉末であるように配合、混合して成形すること
を特徴とする。
本発明の製造方法においては、原料粉末の窒化珪素粉末
と上記焼結助剤粉末の粒度および上記焼結助剤粉末の配
合割合に特色を有する。
と上記焼結助剤粉末の粒度および上記焼結助剤粉末の配
合割合に特色を有する。
原料粉末の粒度および焼結助剤粉末の配合割合以外の成
形工程、焼結工程等については従来の窒化珪素焼結体の
製造方法のそれらと同一である。
形工程、焼結工程等については従来の窒化珪素焼結体の
製造方法のそれらと同一である。
本製造方法においては原料粉末を構成する窒化珪素粉末
は、その平均粒径が２μ以下である。また、窒化珪素粉
末の望ましい平均粒径は０．２μ〜０．８μであり最も
望ましくは０．３μ程度である。
は、その平均粒径が２μ以下である。また、窒化珪素粉
末の望ましい平均粒径は０．２μ〜０．８μであり最も
望ましくは０．３μ程度である。
上記焼結助剤の配合割合は、上記窒化珪素粉末、上記マ
グネシア粉末および上記アルミナ粉末の全量を１００ｆ
ｌｆｆｉ部とする場合、該マグネシア粉末および該アル
ミナ粉末は各々３重量部以下（Ｏを含まない。）であり
、かつ該マグネシア粉末および該アルミナ粉末の全量は
４重Ｍ部以下であり、残部が該窒化珪素粉末である。即
ち上記マグネシア粉末およびアルミナ粉末の総重量は、
全体の４重量％以下である。なおこの配合割合は、好ま
しくは１〜４ｍ隋％程度である。また上記マグネシア粉
末および上記アルミナ粉末の各配合割合は、該マグネシ
ア粉末および該アルミナ粉末の全身をｉｏｏ重ｅ部とす
る場合、該マグネシア粉末は２５重量部以上５０重量部
以下、残部が該アルミナ粉末であるのが好ましい。なお
、本発明の製造方法においても、窒化珪素粉末と二種類
の焼結助剤粉末は可能な限り均一に混合されている必要
がある。このために、窒化珪素粉末と焼結助剤粉末をボ
ールミルその他の公知の適当な方法で十分に混合して使
用する必要がある。
グネシア粉末および上記アルミナ粉末の全量を１００ｆ
ｌｆｆｉ部とする場合、該マグネシア粉末および該アル
ミナ粉末は各々３重量部以下（Ｏを含まない。）であり
、かつ該マグネシア粉末および該アルミナ粉末の全量は
４重Ｍ部以下であり、残部が該窒化珪素粉末である。即
ち上記マグネシア粉末およびアルミナ粉末の総重量は、
全体の４重量％以下である。なおこの配合割合は、好ま
しくは１〜４ｍ隋％程度である。また上記マグネシア粉
末および上記アルミナ粉末の各配合割合は、該マグネシ
ア粉末および該アルミナ粉末の全身をｉｏｏ重ｅ部とす
る場合、該マグネシア粉末は２５重量部以上５０重量部
以下、残部が該アルミナ粉末であるのが好ましい。なお
、本発明の製造方法においても、窒化珪素粉末と二種類
の焼結助剤粉末は可能な限り均一に混合されている必要
がある。このために、窒化珪素粉末と焼結助剤粉末をボ
ールミルその他の公知の適当な方法で十分に混合して使
用する必要がある。
この原料粉末よりセラミックス成形体を製造する工程は
、従来のセラミックス成形体の製造工程をそのまま使用
することができる。例えば複雑な形状のセラミックス成
形体とするためには、セラミックス射出成形法を利用す
ることができる。セラミックス射出成形法は原料粉末に
樹脂を混合し、一定の混線物を形成した模、通常のプラ
スチックスの射出成形と同一の方法で射出成形し、その
成形体を加熱して樹脂を除去し、セラミックス成形体（
グリンコンパクト）とするものである。また、金型に原
料粉末を入れ、プレス等で圧縮して圧密化されたセラミ
ックス成形体を製造することもできる。さらに、スリッ
プキャスティング等の方法でセラミックス成形体を製造
することができる。
、従来のセラミックス成形体の製造工程をそのまま使用
することができる。例えば複雑な形状のセラミックス成
形体とするためには、セラミックス射出成形法を利用す
ることができる。セラミックス射出成形法は原料粉末に
樹脂を混合し、一定の混線物を形成した模、通常のプラ
スチックスの射出成形と同一の方法で射出成形し、その
成形体を加熱して樹脂を除去し、セラミックス成形体（
グリンコンパクト）とするものである。また、金型に原
料粉末を入れ、プレス等で圧縮して圧密化されたセラミ
ックス成形体を製造することもできる。さらに、スリッ
プキャスティング等の方法でセラミックス成形体を製造
することができる。
焼結工程も従来のセラミックス焼結体の製造り法の焼結
工程をそのまま採用することができる。
工程をそのまま採用することができる。
すなわち、上記のセラミックス成形体を窒素ガス雰囲気
下で１６５０〜１８００℃に、１〜４時間加熱し、窒化
珪素焼結体とするものである。
下で１６５０〜１８００℃に、１〜４時間加熱し、窒化
珪素焼結体とするものである。
［試験例］
以下、試験例により本発明を説明する。
窒化珪素粉末として平均粒径１．４μの窒化珪素粉末（
商品名５Ｎ９Ｓ、電気化学工業株式会社製）、平均粒径
２．７μの窒化珪素粉末（商品名ＳＮ９、電気化学工業
株式会社製のものを沈降分第 １ 表 離したもの）、平均粒径０．３μの窒化珪素粉末（商品
名ＴＳ７、東洋ソーダ株式会社製）の市販の３種類の粒
径の異なる窒化珪素粉末を入手又はｗＡ製した。
商品名５Ｎ９Ｓ、電気化学工業株式会社製）、平均粒径
２．７μの窒化珪素粉末（商品名ＳＮ９、電気化学工業
株式会社製のものを沈降分第 １ 表 離したもの）、平均粒径０．３μの窒化珪素粉末（商品
名ＴＳ７、東洋ソーダ株式会社製）の市販の３種類の粒
径の異なる窒化珪素粉末を入手又はｗＡ製した。
次にマグネシア粉末として平均粒径０．０１５μの７グ
ネシア粉末（商品名＃１００、宇部興産株式会ネを製＞
、平均粒径０．０８μのマグネシア第 ２ 表 粉末（商品名ＵＣ−９９、宇部化学株式会社製）、の２
種類の粒径の異なるマグネシア粉末を入手した。
ネシア粉末（商品名＃１００、宇部興産株式会ネを製＞
、平均粒径０．０８μのマグネシア第 ２ 表 粉末（商品名ＵＣ−９９、宇部化学株式会社製）、の２
種類の粒径の異なるマグネシア粉末を入手した。
さらにアルミナ粉末としで、平均粒径０．７μのアルミ
ナ粉末（商品名５Ａ−１、ｍ谷化学株式会社）、平均粒
径０．０２μのアルミナ粉末（岩谷化学株式会社、Ｂタ
イプ）の２種類の粒径の異なるアルミナ粉末を入手した
。
ナ粉末（商品名５Ａ−１、ｍ谷化学株式会社）、平均粒
径０．０２μのアルミナ粉末（岩谷化学株式会社、Ｂタ
イプ）の２種類の粒径の異なるアルミナ粉末を入手した
。
次に上記３種類の窒化珪素粉末と、上記２種類のマグネ
シア粉末と、上記２種類のアルミナ粉末とを組合わせ、
第１表に示す８個の原料粉末を調整した。なお、上記焼
結助剤粉末は１．０〜７゜０重量％の組成比とした。
シア粉末と、上記２種類のアルミナ粉末とを組合わせ、
第１表に示す８個の原料粉末を調整した。なお、上記焼
結助剤粉末は１．０〜７゜０重量％の組成比とした。
次に、上記の原料粉末を試染特級のエタノールを用いて
、９６時間ボールミルで混合し、乾燥後、圧力２００
ｋＭ ｃｍ２で一次成形し、最終的に１゜２ｔｏ口／’
Ｃｍ２で静水圧成形してセラミックス成形体を成形した
。これを１０気圧の窒素ガス中で１Ｅ′ＳＯＯ℃に４時
間焼結して窒化珪素焼結体を製造した。この焼結体をダ
イヤモンド砥石で研磨して、７種類の原料粉末に対して
、４０ｔａｍｘ ４ ｍｍｘ ３ Ｉｌｍの棒状テスト
ピースを各２０本製造した。
、９６時間ボールミルで混合し、乾燥後、圧力２００
ｋＭ ｃｍ２で一次成形し、最終的に１゜２ｔｏ口／’
Ｃｍ２で静水圧成形してセラミックス成形体を成形した
。これを１０気圧の窒素ガス中で１Ｅ′ＳＯＯ℃に４時
間焼結して窒化珪素焼結体を製造した。この焼結体をダ
イヤモンド砥石で研磨して、７種類の原料粉末に対して
、４０ｔａｍｘ ４ ｍｍｘ ３ Ｉｌｍの棒状テスト
ピースを各２０本製造した。
これらのテストピースの曲げ強ｒ！１ｋＱ／ａＷＡｔお
よび焼結体密度を測定し、その結果を第２表に示す。
よび焼結体密度を測定し、その結果を第２表に示す。
なお該曲げ強度は、室温下又は１０００℃下での３点曲
げ試験により測定し、焼結体密度は理論密度に対する値
である。
げ試験により測定し、焼結体密度は理論密度に対する値
である。
第２表より窒化珪素粉末の平均粒径が２μ以下。
かつ、２種類の焼結助剤粉末の各々の平均粒径が０．１
μ以下で、さらに、２種類の焼結助剤粉末の配合割合が
各々３重量％であり、かつこれらの焼結助剤の全量が４
重量％以下である原料粉末を用いて焼成された焼結体の
Ｎ００１〜Ｎｏ、４については、いづれも室温曲げ強度
が７９〜８４ｋｇ／ｍｍ’であり、１０００℃での曲げ
強度が７６〜８１ｋｇ／１ｌ１２テアリ、ｖ温から１０
００℃ヘノ曲げ強度の比は９６〜９８％でありこの強度
の低下は極めて小さかった。これに対して窒化珪素粉末
と焼結助剤粉末の粒度比および配合割合が本発明の範囲
内に入っていないＮ００５〜Ｎｏ、８の原料粉末で得ら
れた窒化珪素焼結体は、室温強度が５６〜７４に９／ｌ
１１２であり、１０００℃での曲げ強度は３８〜６６ｋ
ｇ／ｌ１ｌＩｌｌｚテアリ、室温カラ１０００℃への曲
げ強度の低下は５６〜８９％であり、いずれの強度も小
さいうえに、特にｉ ｏｏｏ℃への曲げ強度の低下は著
しかった。
μ以下で、さらに、２種類の焼結助剤粉末の配合割合が
各々３重量％であり、かつこれらの焼結助剤の全量が４
重量％以下である原料粉末を用いて焼成された焼結体の
Ｎ００１〜Ｎｏ、４については、いづれも室温曲げ強度
が７９〜８４ｋｇ／ｍｍ’であり、１０００℃での曲げ
強度が７６〜８１ｋｇ／１ｌ１２テアリ、ｖ温から１０
００℃ヘノ曲げ強度の比は９６〜９８％でありこの強度
の低下は極めて小さかった。これに対して窒化珪素粉末
と焼結助剤粉末の粒度比および配合割合が本発明の範囲
内に入っていないＮ００５〜Ｎｏ、８の原料粉末で得ら
れた窒化珪素焼結体は、室温強度が５６〜７４に９／ｌ
１１２であり、１０００℃での曲げ強度は３８〜６６ｋ
ｇ／ｌ１ｌＩｌｌｚテアリ、室温カラ１０００℃への曲
げ強度の低下は５６〜８９％であり、いずれの強度も小
さいうえに、特にｉ ｏｏｏ℃への曲げ強度の低下は著
しかった。
また本発明の範囲内に含まれるＮｏ、１〜Ｎｏ。
４の焼結体密度ばかさ密度３．１０〜３．１２！７７′
Ｃｍ３．９６〜９７％（対理論密ＩＬＬｔ、）ｒｃｌｉ
ｊす、緻密な焼結体が得られている。
Ｃｍ３．９６〜９７％（対理論密ＩＬＬｔ、）ｒｃｌｉ
ｊす、緻密な焼結体が得られている。
次に上記Ｎｏ、１．３．５．６のテストピースについて
、酸化増量測定による耐酸化性の試験を行ない、その結
果を第１図に示した。なおこの試験は、１０００℃の大
気中、湿度４５％下に上記テストピースを２００時間置
き、その後の酸化増刊を測定するものである。この結果
によれば、本発明の範囲内に含まれるＮＯ６１および３
のテストピースの酸化増量は各々０，０８．０．２ｍｇ
／ｃｍ２と少ないが、−六本発明の範囲に含まれてない
Ｎ００５８よび６の酸化増量は各々０．８．０゜７５１
！Ｉ／’Ｃ１１２と多い。
、酸化増量測定による耐酸化性の試験を行ない、その結
果を第１図に示した。なおこの試験は、１０００℃の大
気中、湿度４５％下に上記テストピースを２００時間置
き、その後の酸化増刊を測定するものである。この結果
によれば、本発明の範囲内に含まれるＮＯ６１および３
のテストピースの酸化増量は各々０，０８．０．２ｍｇ
／ｃｍ２と少ないが、−六本発明の範囲に含まれてない
Ｎ００５８よび６の酸化増量は各々０．８．０゜７５１
！Ｉ／’Ｃ１１２と多い。
［発明の効果］
本第１発明の窒化珪素焼結体は、窒化珪素、マグネシア
およびアルミナから成り、上記３成分の全６１を１００
ｆｆｌｆｆｉ部とする場合、マグネシアが３重石部以下
およびアルミナが３重量部以下であり、かつ該マグネシ
アおよびアルミナの２成分が４重間部以下であって、残
部が窒化珪素である窒化珪素焼結体であって、上記窒化
珪素焼結体のかさ密度が３ 、１０！１７Ｃｍ３以上で
あり、かつ室温における曲げ強度が７５ｋｇ／ｃａ２以
上であり、さらに高温においても室温強度を維持してい
る。
およびアルミナから成り、上記３成分の全６１を１００
ｆｆｌｆｆｉ部とする場合、マグネシアが３重石部以下
およびアルミナが３重量部以下であり、かつ該マグネシ
アおよびアルミナの２成分が４重間部以下であって、残
部が窒化珪素である窒化珪素焼結体であって、上記窒化
珪素焼結体のかさ密度が３ 、１０！１７Ｃｍ３以上で
あり、かつ室温における曲げ強度が７５ｋｇ／ｃａ２以
上であり、さらに高温においても室温強度を維持してい
る。
また本第２発明の窒化珪素焼結体の製造方法は、上記３
成分の配合割合が上述の割合になるように各粉末を配合
し、さらに窒化珪素粉末の平均粒径が２μ以下であり、
マグネシア粉末およびアルミナ粉末の平均粒径は各々０
．１μ以下であるものを使用して窒化珪素焼結体を製造
するものである。
成分の配合割合が上述の割合になるように各粉末を配合
し、さらに窒化珪素粉末の平均粒径が２μ以下であり、
マグネシア粉末およびアルミナ粉末の平均粒径は各々０
．１μ以下であるものを使用して窒化珪素焼結体を製造
するものである。
即ち本製造方法によれば窒化珪素粉末原料に対し、一層
微細な上記焼結助剤を用い、さらにこの焼結助剤の配合
邑を減少させることにより、上記のような室温強度を低
下させずに、高温まで該室温強度を維持し、耐酸化性を
向上させ、かつ緻密性の良い窒化珪素焼結体を製造する
ことができる。
微細な上記焼結助剤を用い、さらにこの焼結助剤の配合
邑を減少させることにより、上記のような室温強度を低
下させずに、高温まで該室温強度を維持し、耐酸化性を
向上させ、かつ緻密性の良い窒化珪素焼結体を製造する
ことができる。
第１図は窒化珪素焼結体の酸化重量と、焼結助剤の全量
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
Claims (3)
- （１）窒化珪素、酸化マグネシウムおよび酸化アルミニ
ウムから成り、 上記３成分の全量を１００重量部とする場合、酸化マグ
ネシウムおよび酸化アルミニウムは各々３重量部以下で
あり、該酸化マグネシウムおよび該酸化アルミニウムの
全量は４重量部以下であり、残部が窒化珪素である窒化
珪素焼結体であつて、上記窒化珪素焼結体のかさ密度が
３．１０ｇ／ｃｍ＾３以上であり、かつ室温における曲
げ強度が７５ｋｇ／ｃｍ＾２以上であることを特徴とす
る窒化珪素焼結体。 - （２）酸化マグネシウムおよび酸化アルミニウムの各成
分割合は、該酸化マグネシウムおよび該酸化アルミニウ
ムの全量を１００重量部とする場合、該酸化マグネシウ
ムは２５重量部以上５０重量部以下、残部が該酸化アル
ミニウムである特許請求の範囲第１項記載の窒化珪素焼
結体。 - （３）窒化珪素粉末、酸化マグネシウム粉末および酸化
アルミニウム粉末とを混合した原料粉末を成形し、この
成形された成形体を焼成して窒化珪素焼結体を製造する
方法において、 窒化珪素粉末の平均粒径は２μｍ以下であり、酸化マグ
ネシウム粉末および酸化アルミニウム粉末の平均粒径は
各々０．１μｍ以下であり、上記窒化珪素粉末、上記酸
化マグネシウム粉末および上記酸化アルミニウム粉末の
全量を１００重量部とする場合、該酸化マグネシウム粉
末および該酸化アルミニウム粉末は各々３重量部以下で
あり、かつ該酸化マグネシウム粉末および該酸化アルミ
ニウム粉末の全量は４重量部以下であり、残部が該窒化
珪素粉末であるように配合、混合して成形することを特
徴とする窒化珪素焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029749A JPS61191564A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | 窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60029749A JPS61191564A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | 窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61191564A true JPS61191564A (ja) | 1986-08-26 |
Family
ID=12284740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60029749A Pending JPS61191564A (ja) | 1985-02-18 | 1985-02-18 | 窒化珪素焼結体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61191564A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5104293A (en) * | 1990-07-16 | 1992-04-14 | United Technologies Corporation | Method for applying abrasive layers to blade surfaces |
| CN113429211A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-09-24 | 中南大学湘雅医院 | 一种氮化硅陶瓷材料及其制备方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55104976A (en) * | 1978-11-08 | 1980-08-11 | Ngk Insulators Ltd | Silicon nitride substrate sintering composition and its use |
| JPS59184771A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | トヨタ自動車株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
-
1985
- 1985-02-18 JP JP60029749A patent/JPS61191564A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55104976A (en) * | 1978-11-08 | 1980-08-11 | Ngk Insulators Ltd | Silicon nitride substrate sintering composition and its use |
| JPS59184771A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | トヨタ自動車株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5104293A (en) * | 1990-07-16 | 1992-04-14 | United Technologies Corporation | Method for applying abrasive layers to blade surfaces |
| CN113429211A (zh) * | 2021-08-27 | 2021-09-24 | 中南大学湘雅医院 | 一种氮化硅陶瓷材料及其制备方法 |
| CN113429211B (zh) * | 2021-08-27 | 2021-11-02 | 中南大学湘雅医院 | 一种氮化硅陶瓷材料及其制备方法 |
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