JPS61186263A - 窒化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化珪素焼結体の製造方法Info
- Publication number
- JPS61186263A JPS61186263A JP60025500A JP2550085A JPS61186263A JP S61186263 A JPS61186263 A JP S61186263A JP 60025500 A JP60025500 A JP 60025500A JP 2550085 A JP2550085 A JP 2550085A JP S61186263 A JPS61186263 A JP S61186263A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- silicon nitride
- particle size
- oxide powder
- less
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は窒化珪素焼結体の製造方法の改良に関する。特
に本発明はガスタービンエンジン、セラミックエンジン
等の製造に適した窒化珪素焼結体の製造方法に関する。
に本発明はガスタービンエンジン、セラミックエンジン
等の製造に適した窒化珪素焼結体の製造方法に関する。
［従来の技術］
窒化珪素焼結体は構造用セラミックスとして注目されて
いる。この窒化珪素焼結体の高強度を実現する方法とし
て、優れた焼結助剤の開発、窒化珪素原料粉末の改良等
が図られている。
いる。この窒化珪素焼結体の高強度を実現する方法とし
て、優れた焼結助剤の開発、窒化珪素原料粉末の改良等
が図られている。
従来窒化珪素ならびに該窒化珪素の焼結助剤として用い
られた酸化イツトリウム（以下イットリアという。）お
よび酸化アルミニウム〈以下アルミナという。）の三成
分から成る窒化珪素焼結体の製造方法として、この焼結
助剤の混合割合が、全体を１００重量部とした場合、５
重量部以上であり、しかも上記三成分の粉末の粒度はい
ずれも１〜２μと大きく、しかも窒化珪素粉末と他の焼
結助剤の粒径の相対的大きさが特定されていないものが
知られている（特開昭５３−４６３０７）。
られた酸化イツトリウム（以下イットリアという。）お
よび酸化アルミニウム〈以下アルミナという。）の三成
分から成る窒化珪素焼結体の製造方法として、この焼結
助剤の混合割合が、全体を１００重量部とした場合、５
重量部以上であり、しかも上記三成分の粉末の粒度はい
ずれも１〜２μと大きく、しかも窒化珪素粉末と他の焼
結助剤の粒径の相対的大きさが特定されていないものが
知られている（特開昭５３−４６３０７）。
しかしこの方法で製造された窒化珪素焼結体は、高温強
度が実用上十分に大きいとはいえず、また耐酸化性も十
分に良いとはいえない。また上記特開昭５３−４６３０
７で開示された従来技術においては、上記焼結助剤の混
合割合が５重量部（％）未満の場合には、緻密な焼結体
が１ｑられないとしている。
度が実用上十分に大きいとはいえず、また耐酸化性も十
分に良いとはいえない。また上記特開昭５３−４６３０
７で開示された従来技術においては、上記焼結助剤の混
合割合が５重量部（％）未満の場合には、緻密な焼結体
が１ｑられないとしている。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、上記欠点を克服するものであり、室温強度を
低下させずに高温まで該室温強度を維持し、耐酸化性を
向上させ、かつ緻密性の良い窒化珪素焼結体を製造する
方法を提供することを目的とするものである。
低下させずに高温まで該室温強度を維持し、耐酸化性を
向上させ、かつ緻密性の良い窒化珪素焼結体を製造する
方法を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明の窒化珪素焼結体の製造方法は、窒化珪素粉末と
イツトリア粉末およびアルミナ粉末とを混合した原料粉
末を成形し、この成形された成形体を焼成して窒化珪素
焼結体を製造する方法において、窒化珪素粉末の最大粒
径が５μｍ （以下単にμという。）以下、平均粒径が
１μ以下であり、イツトリア粉末およびアルミナ粉末の
最大粒径、平均粒径は窒化珪素粉末の最大粒径、平均粒
径の各々１／１０以下、１／４以下であり、上記窒化ケ
イ素粉末、上記イツトリア粉末および上記アルミナ粉末
の全量を１００重量部とする場合、該イツトリア粉末お
よび該アルミナ粉末は６重量部以下、残部が該窒化ケイ
素粉末であるように配合、混合して成形することを特徴
とする。
イツトリア粉末およびアルミナ粉末とを混合した原料粉
末を成形し、この成形された成形体を焼成して窒化珪素
焼結体を製造する方法において、窒化珪素粉末の最大粒
径が５μｍ （以下単にμという。）以下、平均粒径が
１μ以下であり、イツトリア粉末およびアルミナ粉末の
最大粒径、平均粒径は窒化珪素粉末の最大粒径、平均粒
径の各々１／１０以下、１／４以下であり、上記窒化ケ
イ素粉末、上記イツトリア粉末および上記アルミナ粉末
の全量を１００重量部とする場合、該イツトリア粉末お
よび該アルミナ粉末は６重量部以下、残部が該窒化ケイ
素粉末であるように配合、混合して成形することを特徴
とする。
本発明の製造方法においては、原料粉末の窒化珪素粉末
と上記焼結助剤粉末の粒度および上記焼結助剤粉末の配
合割合に特色を有する。
と上記焼結助剤粉末の粒度および上記焼結助剤粉末の配
合割合に特色を有する。
原料粉末の粒度および焼結助剤粉末の配合割合以外の成
形工程、焼結工程等については従来の窒化珪素焼結体の
製造方法のそれらと同一である。
形工程、焼結工程等については従来の窒化珪素焼結体の
製造方法のそれらと同一である。
本発明の製造方法においては原料粉末を構成する窒化珪
素粉末は、その最大粒径が５μ以下、平均粒径が１μ以
下である。なお、最大粒径が５μ、平均粒径が１μを上
回る場合には高強度の窒化珪素焼結体が得られない。最
も好ましい窒化珪素粉末の最大粒径範囲は１〜３μであ
る。また、窒化珪素粉末の最も望ましい平均粒径は０．
５μ〜０゜８μである。
素粉末は、その最大粒径が５μ以下、平均粒径が１μ以
下である。なお、最大粒径が５μ、平均粒径が１μを上
回る場合には高強度の窒化珪素焼結体が得られない。最
も好ましい窒化珪素粉末の最大粒径範囲は１〜３μであ
る。また、窒化珪素粉末の最も望ましい平均粒径は０．
５μ〜０゜８μである。
本発明の製造方法に用いられる焼結助剤の種類は、イツ
トリアおよびアルミナである。これらの焼結助剤粉末の
粒径は、窒化珪素粉末の粒径に対して規制される。これ
らの焼結助剤粉末のいずれもの最大粒径は、窒化珪素粉
末の最大粒径の１／１ｏ以下、これらの焼結助剤粉末の
いずれもの平均粒径は窒化珪素粉末の平均粒径の１／４
以下とする必要がある。なお、より好ましいイツトリア
粉末の最大粒径は窒化珪素粉末の最大粒径の１／４０〜
１／８０である。またイツトリア粉末およ＝ ５ − びアルミナ粉末の平均粒径は、窒化珪素粉末の平均粒径
の約１／１０以下（○を含まない。）程度が好ましい。
トリアおよびアルミナである。これらの焼結助剤粉末の
粒径は、窒化珪素粉末の粒径に対して規制される。これ
らの焼結助剤粉末のいずれもの最大粒径は、窒化珪素粉
末の最大粒径の１／１ｏ以下、これらの焼結助剤粉末の
いずれもの平均粒径は窒化珪素粉末の平均粒径の１／４
以下とする必要がある。なお、より好ましいイツトリア
粉末の最大粒径は窒化珪素粉末の最大粒径の１／４０〜
１／８０である。またイツトリア粉末およ＝ ５ − びアルミナ粉末の平均粒径は、窒化珪素粉末の平均粒径
の約１／１０以下（○を含まない。）程度が好ましい。
上記焼結助剤の配合割合は、上記窒化ケイ素粉末、上記
イツトリア粉末および上記アルミナ粉末の全量を１００
重量部とする場合、該イツトリア粉末および該アルミナ
粉末は６重量部以下〈Ｏを含まない。）、残部が該窒化
ケイ素粉末である。
イツトリア粉末および上記アルミナ粉末の全量を１００
重量部とする場合、該イツトリア粉末および該アルミナ
粉末は６重量部以下〈Ｏを含まない。）、残部が該窒化
ケイ素粉末である。
即ち上記イツトリア粉末およびアルミナ粉末の総重量は
、全体の６重量％以下である。なおこの配合割合は、好
ましくは０．８〜４重量％程度である。また上記イソ１
〜リア粉末および上記アルミナ粉末の各配合割合は、該
イツトリア粉末および該アルミナ粉末の全量を１００重
量部とする場合、該イツトリア粉末は３３重量部以上６
７重量部以下、残部が該アルミナ粉末であるのが好まし
い。
、全体の６重量％以下である。なおこの配合割合は、好
ましくは０．８〜４重量％程度である。また上記イソ１
〜リア粉末および上記アルミナ粉末の各配合割合は、該
イツトリア粉末および該アルミナ粉末の全量を１００重
量部とする場合、該イツトリア粉末は３３重量部以上６
７重量部以下、残部が該アルミナ粉末であるのが好まし
い。
なお、本発明の製造方法においても、窒化珪素粉末と二
種類の焼結助剤粉末は可能な限り均一に混合されている
必要がある。このために、窒化珪素粉末と焼結助剤粉末
をボールミルその他の公知の適当な方法で十分に混合し
て使用する必要がある。
種類の焼結助剤粉末は可能な限り均一に混合されている
必要がある。このために、窒化珪素粉末と焼結助剤粉末
をボールミルその他の公知の適当な方法で十分に混合し
て使用する必要がある。
この原料粉末にリセラミックス成形体を製造する工程は
、従来のセラミックス成形体の製造工程をそのまま使用
することができる。例えば複雑な形状のセラミックス成
形体と丈るためには、セラミックス割出成形法を利用す
ることができる。セラミックス射出成形法は原料粉末に
樹脂を混合し、一定の混練物を形成した後、通常のプラ
スチックスの射出成形と同一の方法で射出成形し、その
成形体を加熱して樹脂を除去し、セラミックス成形体（
グリンコンパクト）とするものである。また、金型に原
料粉末を入れ、プレス等で圧縮して圧密化されたセラミ
ックス成形体を製造することもできる。さらに、スリッ
プキャスティング等の方法でセラミックス成形体を製造
することができる。
、従来のセラミックス成形体の製造工程をそのまま使用
することができる。例えば複雑な形状のセラミックス成
形体と丈るためには、セラミックス割出成形法を利用す
ることができる。セラミックス射出成形法は原料粉末に
樹脂を混合し、一定の混練物を形成した後、通常のプラ
スチックスの射出成形と同一の方法で射出成形し、その
成形体を加熱して樹脂を除去し、セラミックス成形体（
グリンコンパクト）とするものである。また、金型に原
料粉末を入れ、プレス等で圧縮して圧密化されたセラミ
ックス成形体を製造することもできる。さらに、スリッ
プキャスティング等の方法でセラミックス成形体を製造
することができる。
焼結工程も従来のセラミックス焼結体の！１ＩｉＩ造方
法の焼結工程をそのまま採用することができる。
法の焼結工程をそのまま採用することができる。
すなわち、上記のセラミックス成形体を窒素ガス雰囲気
下で１６５０〜１８００℃に、１〜４時間加熱し、窒化
珪素焼結体とするものである。
下で１６５０〜１８００℃に、１〜４時間加熱し、窒化
珪素焼結体とするものである。
［試験例］
以下、試験例により本発明を説明する。
試験例１
窒化珪素粉末として最大粒径１０μ、平均粒径１．４μ
の窒化珪素粉末（商品名５Ｎ９Ｓ、電気化学工業株式会
社製）、最大粒径５μ、平均粒径０．９μの窒化珪素粉
末（商品名５Ｎ９ＦＷ、電気化学工業株式会社製）、最
大粒径４μ、平均粒径０．３μの窒化珪素粉末（商品名
ＴＳ７、東洋ソーダ株式金相製）の市販の３種類の粒径
の異なる窒化珪素粉末を入手した。
の窒化珪素粉末（商品名５Ｎ９Ｓ、電気化学工業株式会
社製）、最大粒径５μ、平均粒径０．９μの窒化珪素粉
末（商品名５Ｎ９ＦＷ、電気化学工業株式会社製）、最
大粒径４μ、平均粒径０．３μの窒化珪素粉末（商品名
ＴＳ７、東洋ソーダ株式金相製）の市販の３種類の粒径
の異なる窒化珪素粉末を入手した。
次にイブ１−リア粉末として最大粒径２μ、平均粒径０
．６μのイツトリア粉末（信越化学製品の微粉末を沈降
分離させたもの）、最大粒径０．３μ、平均粒径０．２
μのイツトリア粉末（日本イツトリウム株式会社製、微
粉末）、最大粒径０゜０５μ、平均粒径０．０３μのイ
ツトリア粉末（高純度化学株式会社製のイツトリウムア
ルコキサイドから調製したもの）の３種類の粒径の異な
るイツトリア粉末を入手又は調製した。
．６μのイツトリア粉末（信越化学製品の微粉末を沈降
分離させたもの）、最大粒径０．３μ、平均粒径０．２
μのイツトリア粉末（日本イツトリウム株式会社製、微
粉末）、最大粒径０゜０５μ、平均粒径０．０３μのイ
ツトリア粉末（高純度化学株式会社製のイツトリウムア
ルコキサイドから調製したもの）の３種類の粒径の異な
るイツトリア粉末を入手又は調製した。
さらにアルミナ粉末として、最大粒径４μ、平均粒径Ｏ
１７μのアルミナ粉末（商品名５Ａ−１、岩谷化学株式
会社）、最大粒径０．４μ、平均粒径０，０２μのアル
ミナ粉末（岩谷化学株式会社、Ｂタイプ）の２種類の粒
径の異なるアルミナ粉末を入手した。
１７μのアルミナ粉末（商品名５Ａ−１、岩谷化学株式
会社）、最大粒径０．４μ、平均粒径０，０２μのアル
ミナ粉末（岩谷化学株式会社、Ｂタイプ）の２種類の粒
径の異なるアルミナ粉末を入手した。
次に上記３種類の窒化珪素粉末と、上記３種類のイツト
リア粉末と、上記２種類のアルミナ粉末とを組合わせ、
第１表に示す１２個の原料粉末を調整した。なお、上記
焼結助剤粉末は０．８〜１０重量％の組成比とした。
リア粉末と、上記２種類のアルミナ粉末とを組合わせ、
第１表に示す１２個の原料粉末を調整した。なお、上記
焼結助剤粉末は０．８〜１０重量％の組成比とした。
次に、上記の原料粉末を試薬特級のエタノールを用いて
、９６時間ボールミルで混合し、乾燥侵、圧力２００
ｋ！］／ ｃｍ２で一次成形し、最終的に１゜２ ｔｏ
ｎ ／ｃｍ’で静水圧成形してセラミックス成形体を成
形した。これを１０気圧の窒素ガス中で１８００℃に４
時間焼結して窒化珪素焼結体を製造した。この焼結体を
ダイヤモンド砥石で研磨して、１種類の原料粉末に対し
て、４０ ｍｍｘ ４ ｍｍｘ ３ ｎ＋ｎ＋の棒状テ
ストピースを各４０本製造した。
、９６時間ボールミルで混合し、乾燥侵、圧力２００
ｋ！］／ ｃｍ２で一次成形し、最終的に１゜２ ｔｏ
ｎ ／ｃｍ’で静水圧成形してセラミックス成形体を成
形した。これを１０気圧の窒素ガス中で１８００℃に４
時間焼結して窒化珪素焼結体を製造した。この焼結体を
ダイヤモンド砥石で研磨して、１種類の原料粉末に対し
て、４０ ｍｍｘ ４ ｍｍｘ ３ ｎ＋ｎ＋の棒状テ
ストピースを各４０本製造した。
第 ２ 表
これらのテストピースの曲げ強度１０１／ｍｍ２および
焼結体密度を測定し、その結果を第２表に示す。
焼結体密度を測定し、その結果を第２表に示す。
なお該曲げ強度は、室温下又は１０００℃下での３点曲
げ試験により２０本づつ測定し、焼結体密度は理論密度
に対する値である。
げ試験により２０本づつ測定し、焼結体密度は理論密度
に対する値である。
第十表より窒化珪素粉末の最大粒径が５μ以下で、平均
粒径が１μ以下、かつ、２種類の焼結助＝ １０
− 剤粉末の各々の最大粒径、平均粒径が０．５μ以下で、
かつ、２種類の焼結助剤粉末の各々の最大粒径が窒化珪
素粉末の最大粒径の１／１０以下、および同様の焼結助
剤粉末の各々の平均粒径が窒化珪素粉末の平均粒径の１
／４以下の原料粉末、Ｎｏ、６〜Ｎ０．１２については
、いづれも室湿曲げ強度が７６〜８０（ｋｇ／ｎ１ｍ２
）テアリ、１０００℃での曲げ強度が７２〜７９ ｋ（
］／ｎｖ２テ［す、１０００℃の曲げ強度の室温に対す
る比は９５〜９９％でありｉ ｏｏｏ℃の曲げ強度の低
下は極めて小さかった。これに対して窒化珪素粉末と焼
結助剤粉末の粒度比が本発明の粒度比に入っていないＮ
ｏ、１〜Ｎｏ、５の原料粉末で得られた窒化珪素焼結体
は、室温強度が５６〜７４ｋｇ／ｍｍ２であり、１００
０℃での曲げ強度は３３〜４７ ｋＧ／１１１１１１２
であり、１０００℃の曲げ強度の室温に対する比は５９
〜７１％であり、いずれの強度も小さいうえに、特に１
０００℃への曲げ強度の低下は著しかった。
粒径が１μ以下、かつ、２種類の焼結助＝ １０
− 剤粉末の各々の最大粒径、平均粒径が０．５μ以下で、
かつ、２種類の焼結助剤粉末の各々の最大粒径が窒化珪
素粉末の最大粒径の１／１０以下、および同様の焼結助
剤粉末の各々の平均粒径が窒化珪素粉末の平均粒径の１
／４以下の原料粉末、Ｎｏ、６〜Ｎ０．１２については
、いづれも室湿曲げ強度が７６〜８０（ｋｇ／ｎ１ｍ２
）テアリ、１０００℃での曲げ強度が７２〜７９ ｋ（
］／ｎｖ２テ［す、１０００℃の曲げ強度の室温に対す
る比は９５〜９９％でありｉ ｏｏｏ℃の曲げ強度の低
下は極めて小さかった。これに対して窒化珪素粉末と焼
結助剤粉末の粒度比が本発明の粒度比に入っていないＮ
ｏ、１〜Ｎｏ、５の原料粉末で得られた窒化珪素焼結体
は、室温強度が５６〜７４ｋｇ／ｍｍ２であり、１００
０℃での曲げ強度は３３〜４７ ｋＧ／１１１１１１２
であり、１０００℃の曲げ強度の室温に対する比は５９
〜７１％であり、いずれの強度も小さいうえに、特に１
０００℃への曲げ強度の低下は著しかった。
また本発明の範囲内に含まれるＮｏ、６〜Ｎｏ。
１２の焼結体密度は９６〜９７％（対理論密度比）であ
り、緻密な焼結体が得られている。
り、緻密な焼結体が得られている。
次に上記Ｎ０８４〜９のテストピースについて、酸化増
量測定による耐酸化性の試験を行ない、その結果を第１
図に示した。なおこの試験は、１゜００℃の大気中、湿
度４５％下に上記デス１ヘビースを２００時間置き、そ
の後の酸化増量を測定づ−るものである。この結果によ
れば、本発明の範囲内に含まれるＮｏ、６〜９のテスト
ピースの酸化増量は０．１〜０．３ｍｇ／ｃｍ２と少な
いが、−力木発明の範囲に含まれてないＮｏ、４〜５の
酸化増量は０．９５〜１ 、０１ ｍｏ／ｃｍ２と多い
。
量測定による耐酸化性の試験を行ない、その結果を第１
図に示した。なおこの試験は、１゜００℃の大気中、湿
度４５％下に上記デス１ヘビースを２００時間置き、そ
の後の酸化増量を測定づ−るものである。この結果によ
れば、本発明の範囲内に含まれるＮｏ、６〜９のテスト
ピースの酸化増量は０．１〜０．３ｍｇ／ｃｍ２と少な
いが、−力木発明の範囲に含まれてないＮｏ、４〜５の
酸化増量は０．９５〜１ 、０１ ｍｏ／ｃｍ２と多い
。
［発明の効果］
本発明の窒化珪素焼結体の製造方法は、窒化珪素粉末の
最大粒径が５μ以下、平均粒径が１μ以下であり、酸化
イツトリウム粉末および酸化アルミニウム粉末の最大粒
径、平均粒径は窒化珪素粉末の最大粒径、平均粒径の各
々１／１０以下、１／４以下であり、 上記窒化ケイ素粉末、上記酸化イツトリウム粉末および
上記酸化アルミニウム粉末の全量を１００重量部とする
場合、該酸化イツトリウム粉末おＪ：び該酸化アルミニ
ウム粉末は６重量部以下、残部が該窒化ケイ素粉末であ
るように配合、混合して成形することを特徴とする。
最大粒径が５μ以下、平均粒径が１μ以下であり、酸化
イツトリウム粉末および酸化アルミニウム粉末の最大粒
径、平均粒径は窒化珪素粉末の最大粒径、平均粒径の各
々１／１０以下、１／４以下であり、 上記窒化ケイ素粉末、上記酸化イツトリウム粉末および
上記酸化アルミニウム粉末の全量を１００重量部とする
場合、該酸化イツトリウム粉末おＪ：び該酸化アルミニ
ウム粉末は６重量部以下、残部が該窒化ケイ素粉末であ
るように配合、混合して成形することを特徴とする。
即ち窒化珪素粉末原料に対し、一層微細な上記焼結助剤
を用い、さらにこの焼結助剤の配合量を減少させること
ににす、室温強度を低下させずに、高湿まで該空温強度
を維持し、耐酸化性を向上させ、かつ緻密性の良い窒化
珪素焼結体を製造することができる。
を用い、さらにこの焼結助剤の配合量を減少させること
ににす、室温強度を低下させずに、高湿まで該空温強度
を維持し、耐酸化性を向上させ、かつ緻密性の良い窒化
珪素焼結体を製造することができる。
第１図は窒化珪素焼結体の酸化重量と、焼結助剤の全量
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
Claims (2)
- （１）窒化珪素粉末と酸化イットリウム粉末および酸化
アルミニウム粉末とを混合した原料粉末を成形し、この
成形された成形体を焼成して窒化珪素焼結体を製造する
方法において、 窒化珪素粉末の最大粒径が５μｍ以下、平均粒径が１μ
ｍ以下であり、酸化イットリウム粉末および酸化アルミ
ニウム粉末の最大粒径、平均粒径は窒化珪素粉末の最大
粒径、平均粒径の各々１／１０以下、１／４以下であり
、 上記窒化ケイ素粉末、上記酸化イットリウム粉末および
上記酸化アルミニウム粉末の全量を１００重量部とする
場合、該酸化イットリウム粉末および該酸化アルミニウ
ム粉末は６重量部以下、残部が該窒化ケイ素粉末である
ように配合、混合して成形することを特徴とする窒化珪
素焼結体の製造方法。 - （２）酸化イットリウム粉末および酸化アルミニウム粉
末の各配合割合は、該酸化イットリウム粉末および該酸
化アルミニウム粉末の全量を１００重量部とする場合、
該酸化イットリウム粉末は３３重量部以上６７重量部以
下、残部が該酸化アルミニウム粉末である特許請求の範
囲第１項記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025500A JPS61186263A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025500A JPS61186263A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61186263A true JPS61186263A (ja) | 1986-08-19 |
Family
ID=12167781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60025500A Pending JPS61186263A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61186263A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0259471A (ja) * | 1988-08-25 | 1990-02-28 | Honda Motor Co Ltd | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
| US5017530A (en) * | 1987-01-28 | 1991-05-21 | Tosoh Corporation | Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55104976A (en) * | 1978-11-08 | 1980-08-11 | Ngk Insulators Ltd | Silicon nitride substrate sintering composition and its use |
| JPS59184771A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | トヨタ自動車株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
-
1985
- 1985-02-13 JP JP60025500A patent/JPS61186263A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55104976A (en) * | 1978-11-08 | 1980-08-11 | Ngk Insulators Ltd | Silicon nitride substrate sintering composition and its use |
| JPS59184771A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | トヨタ自動車株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5017530A (en) * | 1987-01-28 | 1991-05-21 | Tosoh Corporation | Silicon nitride sintered body and process for preparation thereof |
| JPH0259471A (ja) * | 1988-08-25 | 1990-02-28 | Honda Motor Co Ltd | 高温高強度窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4511402A (en) | Sintered silicon nitride products and processes for fabrication thereof | |
| US4908171A (en) | Method of sintering articles of silicon nitride | |
| JPS6054976A (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
| JP2001080967A (ja) | Ｓｉ３Ｎ４セラミックスとその製造用Ｓｉ基組成物及びこれらの製造方法 | |
| JPH06507142A (ja) | 窒化できるケイ素材の製造法 | |
| JPS59184771A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS61186263A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS6077174A (ja) | 窒化けい素焼結体の製造法 | |
| JP2645028B2 (ja) | セラミック発熱体の製造方法 | |
| JPS61191565A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS63185855A (ja) | 黒色装飾材料の製造方法 | |
| JPS61191564A (ja) | 窒化珪素焼結体およびその製造方法 | |
| JPH04209761A (ja) | ジルコニア磁器及びその製造方法 | |
| JPS63319263A (ja) | 窒化ケイ素系セラミックス | |
| JP2805969B2 (ja) | 高靭性および高強度を有する酸化アルミニウム基セラミックス | |
| JPS61256963A (ja) | 高強度アルミナ焼結体及びその製造方法 | |
| JP2687632B2 (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS61178473A (ja) | Ｓｉ↓３ Ｎ↓４焼結体の製造方法 | |
| JPS63134551A (ja) | アルミナ質焼結体およびその製造法 | |
| JPS63147867A (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPS6317259A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPS60210571A (ja) | 炭化珪素含有のアルミナ質焼結体の製造方法 | |
| JP2909264B2 (ja) | 窒化珪素焼結体及びその製造方法 | |
| JPH06166569A (ja) | 窒化珪素焼結体の製造方法 | |
| JPH0517210A (ja) | アルミナ基複合焼結体の製造方法及びアルミナ基複合焼結体 |