JPS61165717A - タ−ゲツトアラインメント装置 - Google Patents
タ−ゲツトアラインメント装置Info
- Publication number
- JPS61165717A JPS61165717A JP543485A JP543485A JPS61165717A JP S61165717 A JPS61165717 A JP S61165717A JP 543485 A JP543485 A JP 543485A JP 543485 A JP543485 A JP 543485A JP S61165717 A JPS61165717 A JP S61165717A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ccd camera
- image
- lens
- target
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/36—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はターゲットアライメント装置に関し、特に非常
に微少なターゲットからの反射光の像を得てそれらの像
の大きさより現在の焦点の位置をもとめそれらの大小関
係からずれ量を検出し自動的に焦光レンズを駆動する装
置に関する。
に微少なターゲットからの反射光の像を得てそれらの像
の大きさより現在の焦点の位置をもとめそれらの大小関
係からずれ量を検出し自動的に焦光レンズを駆動する装
置に関する。
従来、この徳の装置は第３図に示すように、ターゲット
３１からの反射光をターゲットの像と共役な位置にある
ＣＣＤカメラ３４で得て、その画像が人間がモニターし
ながら反射光の像が最小になるようにレンズを駆動して
いた。又、反射光のエネルギー密度が最大になるように
レンズを自動的に駆動していた。図中、３２は集光レン
ズ、３３は透過型ミラーを示す。
３１からの反射光をターゲットの像と共役な位置にある
ＣＣＤカメラ３４で得て、その画像が人間がモニターし
ながら反射光の像が最小になるようにレンズを駆動して
いた。又、反射光のエネルギー密度が最大になるように
レンズを自動的に駆動していた。図中、３２は集光レン
ズ、３３は透過型ミラーを示す。
上述した従来の７ラインメント装置では、人間がアニュ
アルでアラインメントを行なう為、操作者の主観により
、再現性が得られないことと、時間がかかるという欠点
がある。
アルでアラインメントを行なう為、操作者の主観により
、再現性が得られないことと、時間がかかるという欠点
がある。
又、反射光のエネルギー密度を最大にする方法ではずれ
の絶対量がわからないという欠点があり、ひとつひとつ
最大であるかどうかを判定しながら駆動するので時間が
かかっていた。
の絶対量がわからないという欠点があり、ひとつひとつ
最大であるかどうかを判定しながら駆動するので時間が
かかっていた。
本発明のアライメント装置はターゲットからの反射光を
集光するレンズとターゲットと像的に共役になる位置に
おかれたＣＣＤカメラと、そのＣＣＤカメラと前後等距
離におかれた２台のＣＣＤカメラと、それぞれのＣＣＤ
カメラから、その位置でのビーム径を求める直径検出器
と求められたビーム径より現在の焦点位置をもとめる焦
点検出器と現在の焦点位置と正常な焦点位置の差だけレ
ンズを駆動する駆動装置を有している。
集光するレンズとターゲットと像的に共役になる位置に
おかれたＣＣＤカメラと、そのＣＣＤカメラと前後等距
離におかれた２台のＣＣＤカメラと、それぞれのＣＣＤ
カメラから、その位置でのビーム径を求める直径検出器
と求められたビーム径より現在の焦点位置をもとめる焦
点検出器と現在の焦点位置と正常な焦点位置の差だけレ
ンズを駆動する駆動装置を有している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例の構成図である。
１１はアラインメント用ターゲット、１２はターゲット
に導びくための集光レンズ、１３はＣＣＤカメラに像を
結ぶ為のレンズ、１４はターゲットの像と共役な位置に
あるＣＣＤカメラ、１５はＣＣＤカメラ１３と像的に前
におかれたＣＣＤカメラ、１６はＣＣＤカメラ１３と像
的に後におかれたＣＣＤカメラ、１７はＣＣＤカメラ３
，４，５にて得られた像から大きさく直径）を求める直
径検出器であり、１８はこうして求められたビーム径か
ら現在の焦点位置を求める焦点検出器であり、１９は集
光レンズを駆動する駆動装置である。
に導びくための集光レンズ、１３はＣＣＤカメラに像を
結ぶ為のレンズ、１４はターゲットの像と共役な位置に
あるＣＣＤカメラ、１５はＣＣＤカメラ１３と像的に前
におかれたＣＣＤカメラ、１６はＣＣＤカメラ１３と像
的に後におかれたＣＣＤカメラ、１７はＣＣＤカメラ３
，４，５にて得られた像から大きさく直径）を求める直
径検出器であり、１８はこうして求められたビーム径か
ら現在の焦点位置を求める焦点検出器であり、１９は集
光レンズを駆動する駆動装置である。
ここで実際に集光レンズのずれ量を求める方法について
第２図を用いて説明する。ＣＣＤカメラ１４で得られた
像の直径を２ｒｚｖＣＣＤカメラ１５で得られた像の直
径を２ｒｔ、ＣＣＤカメラ１６で得られた像の直径を２
ｒ３ｔＣＣＤカメラ１４とＣＣＤカメラ１５及びＣＣＤ
カメラ１４とＣＣＤカメラ１６の距離をそれぞれａとす
ると、第２図に示すように集光レンズのずれ量により’
Ｉｔ ｒｚ＊ ｒｓの大小関係が変わる。
第２図を用いて説明する。ＣＣＤカメラ１４で得られた
像の直径を２ｒｚｖＣＣＤカメラ１５で得られた像の直
径を２ｒｔ、ＣＣＤカメラ１６で得られた像の直径を２
ｒ３ｔＣＣＤカメラ１４とＣＣＤカメラ１５及びＣＣＤ
カメラ１４とＣＣＤカメラ１６の距離をそれぞれａとす
ると、第２図に示すように集光レンズのずれ量により’
Ｉｔ ｒｚ＊ ｒｓの大小関係が変わる。
（１） ’ｌｔ’！ｔｒ３の中でｒｚが一番小さい場
合。
合。
現在の焦点位置はＣＣＤカメラ１４からの距離を（ｒｌ
ｒｓ） ａ／（ｒＩ＋ｒ３）と表わせる。
ｒｓ） ａ／（ｒＩ＋ｒ３）と表わせる。
（２） ｒｓ＞ｒｚ＞ｒｓという大小関係をもつ場合
は、現在の焦点位置はＣＣＤカメラ１４からの距離を（
ｒｔ＋ｒｘ）ａ／（ｒｔ ｒｓ）と表わせる。
は、現在の焦点位置はＣＣＤカメラ１４からの距離を（
ｒｔ＋ｒｘ）ａ／（ｒｔ ｒｓ）と表わせる。
それぞれの場合から求まったＣＣＤカメラ１４からの距
離をαとすると、集光レンズ１２の焦点距離ｆ１．ＣＣ
Ｄカメラへの集光するレンズ１５の焦点距離ｆ、及び集
光レンズ１２とレンズ１５の距離をｌとすると集光レン
ズのずれ量はこの方式を用いることにより、現在の焦点
位置がわかる。真の焦点位置はＣＣＤカメラ１３とＣＣ
Ｄカメラ１５の中心であるから、現在の焦点位置と真の
焦点位置の差を駆動量としてレンズを駆動する。
離をαとすると、集光レンズ１２の焦点距離ｆ１．ＣＣ
Ｄカメラへの集光するレンズ１５の焦点距離ｆ、及び集
光レンズ１２とレンズ１５の距離をｌとすると集光レン
ズのずれ量はこの方式を用いることにより、現在の焦点
位置がわかる。真の焦点位置はＣＣＤカメラ１３とＣＣ
Ｄカメラ１５の中心であるから、現在の焦点位置と真の
焦点位置の差を駆動量としてレンズを駆動する。
以上説明したように本発明は、反射光の像の大きさを３
点で針側しずれ量の絶対量を求めて集光レンズを１度に
焦点位置まで駆動できる効果がある。
点で針側しずれ量の絶対量を求めて集光レンズを１度に
焦点位置まで駆動できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明により現在の焦点距離を求める方法を説明するための
図、第３図は従来の装置の構成図である。 １１・・・・・・ターゲット、１２・・・・・・集光レ
ンズ、１３・・・・・・レンズ、１４，１５．１６・・
・・・・ＣＣＤカメラ、１７・・・・・・直径検出器、
１８・・・・・・焦点検出器、１９・・・・・・駆動装
置。 実線辺塙合 ノー’、 ― （（２−す χ） ＝ ｒ３
Ｌ （１−１１）χ＝五工ｒａ ａ ｒｌ −ｒ３ −ふ金執米策の丘ち合 ｒｔ ： （ｌＺｆχ）＝ｒ３− （７２−ズ）第？図
明により現在の焦点距離を求める方法を説明するための
図、第３図は従来の装置の構成図である。 １１・・・・・・ターゲット、１２・・・・・・集光レ
ンズ、１３・・・・・・レンズ、１４，１５．１６・・
・・・・ＣＣＤカメラ、１７・・・・・・直径検出器、
１８・・・・・・焦点検出器、１９・・・・・・駆動装
置。 実線辺塙合 ノー’、 ― （（２−す χ） ＝ ｒ３
Ｌ （１−１１）χ＝五工ｒａ ａ ｒｌ −ｒ３ −ふ金執米策の丘ち合 ｒｔ ： （ｌＺｆχ）＝ｒ３− （７２−ズ）第？図
Claims (1)
- レーザ光をターゲットに集光する集光レンズと、ターゲ
ット位置を示すアラインメント用ターゲットと、このア
ラインメント用ターゲットからの反射光の像を得るアラ
インメント用ターゲットの像と共役な位置に設置された
ＣＣＤカメラと、前記アラインメント用ターゲットの像
と共役な位置から前後に等しい距離におかれた２台のＣ
ＣＤカメラと、この２台のＣＣＤカメラのそれぞれから
その位置でのビーム径を求める直径検出器と、求められ
たビーム径より現在の焦点位置をもとめる焦点検出器と
、現在の焦点位置と正常な焦点位置の差だけレンズを駆
動する駆動装置を含み自動的に合焦点を行なうことを特
徴とするターゲットアラインメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP543485A JPS61165717A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | タ−ゲツトアラインメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP543485A JPS61165717A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | タ−ゲツトアラインメント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61165717A true JPS61165717A (ja) | 1986-07-26 |
| JPH0473843B2 JPH0473843B2 (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=11611086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP543485A Granted JPS61165717A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | タ−ゲツトアラインメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61165717A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006139182A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | V Technology Co Ltd | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134318A (ja) * | 1973-04-26 | 1974-12-24 | ||
| JPS5158333A (ja) * | 1974-11-18 | 1976-05-21 | Canon Kk | Jidoshotenchosetsusochi |
| JPS53123945A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Commissariat Energie Atomique | Method of checking automatic focusing system of microscope and its apparatus |
| JPS55101142A (en) * | 1979-01-29 | 1980-08-01 | Teac Co | Focus detection unit of optical reproducing device |
| JPS5737748A (en) * | 1980-08-19 | 1982-03-02 | Olympus Optical Co Ltd | Automatic focusing system of optical disk |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP543485A patent/JPS61165717A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134318A (ja) * | 1973-04-26 | 1974-12-24 | ||
| JPS5158333A (ja) * | 1974-11-18 | 1976-05-21 | Canon Kk | Jidoshotenchosetsusochi |
| JPS53123945A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Commissariat Energie Atomique | Method of checking automatic focusing system of microscope and its apparatus |
| JPS55101142A (en) * | 1979-01-29 | 1980-08-01 | Teac Co | Focus detection unit of optical reproducing device |
| JPS5737748A (en) * | 1980-08-19 | 1982-03-02 | Olympus Optical Co Ltd | Automatic focusing system of optical disk |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006139182A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | V Technology Co Ltd | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0473843B2 (ja) | 1992-11-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |