JPH07122675B2 - タ−ゲツトアライメント装置 - Google Patents
タ−ゲツトアライメント装置Info
- Publication number
- JPH07122675B2 JPH07122675B2 JP61206402A JP20640286A JPH07122675B2 JP H07122675 B2 JPH07122675 B2 JP H07122675B2 JP 61206402 A JP61206402 A JP 61206402A JP 20640286 A JP20640286 A JP 20640286A JP H07122675 B2 JPH07122675 B2 JP H07122675B2
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- Japan
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- Expired - Lifetime
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ターゲットアライメント装置、特に、レーザ
核融合に用いレーザ光の光軸を微小なターゲットに対し
所定の光軸に調整するターゲットアライメント装置に関
する。
核融合に用いレーザ光の光軸を微小なターゲットに対し
所定の光軸に調整するターゲットアライメント装置に関
する。
従来のターゲットアライメント装置は第３図に示すよう
な構成となっていた。すなわち、非常に微小なアライメ
ント用ターゲット１に集光レンズ２を介してレーザ光を
集光しこのときの反射光をレーザ光を一部透過する透過
型ミラー10および結像レンズ３を介して、アライメント
用ターゲット１の像と共役な位置にあるテレビカメラ４
に与え、このテレビカメラ４の画像を操作者がモニタし
ながら、反射光の像が円形になるように透過型ミラー10
を手動で駆動し、入射角度を合わせる構成としてあっ
た。
な構成となっていた。すなわち、非常に微小なアライメ
ント用ターゲット１に集光レンズ２を介してレーザ光を
集光しこのときの反射光をレーザ光を一部透過する透過
型ミラー10および結像レンズ３を介して、アライメント
用ターゲット１の像と共役な位置にあるテレビカメラ４
に与え、このテレビカメラ４の画像を操作者がモニタし
ながら、反射光の像が円形になるように透過型ミラー10
を手動で駆動し、入射角度を合わせる構成としてあっ
た。
また、他のターゲットアライメント装置では、反射光の
エネルギー密度が最大となるように透過型ミラーを自動
的に駆動するものであった。
エネルギー密度が最大となるように透過型ミラーを自動
的に駆動するものであった。
しかしながら、このような上述した従来のターゲットア
ライメント装置は、操作者が手動によってアライメント
を行なうため、操作者の主観により、再現性が得られな
いとともに、アライメントに時間を要し、また、反射光
のエネルギ密度を最大にする方法では、入者角度のずれ
の絶対量がわからないため、ひとつ、ひとつ最大である
か否かを、判定しながら透過型ミラーを駆動させなけれ
ばならず、この場合も時間を要するという欠点があっ
た。
ライメント装置は、操作者が手動によってアライメント
を行なうため、操作者の主観により、再現性が得られな
いとともに、アライメントに時間を要し、また、反射光
のエネルギ密度を最大にする方法では、入者角度のずれ
の絶対量がわからないため、ひとつ、ひとつ最大である
か否かを、判定しながら透過型ミラーを駆動させなけれ
ばならず、この場合も時間を要するという欠点があっ
た。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたもので反射光
の像の中心を２点で計測してずれ量の絶対量を求め、こ
のずれ量に応じて、透過型ミラーを自動的かつ迅速に駆
動させて、入射角度を合わせるターゲットアライメント
装置を提供することを目的とする。
の像の中心を２点で計測してずれ量の絶対量を求め、こ
のずれ量に応じて、透過型ミラーを自動的かつ迅速に駆
動させて、入射角度を合わせるターゲットアライメント
装置を提供することを目的とする。
本発明のターゲットアライメント装置は、ターゲット位
置を示すアライメント用ターゲットと、このアライメン
ト用ターゲットにレーザ光を集光するための集光レンズ
と、アライメント用ターゲットからの反射光の像を得る
ためアライメント用ターゲット像と共役な位置に配置し
たテレビカメラと、アライメント用ターゲット像と共役
な位置の前後の像をテレビカメラに転送する二つの光学
系と、それぞれの光学系より得られた像からその位置で
の像の中心を求める中心検出器と、求められたそれぞれ
の中心の差を求める中心差検出器と、アライメント用タ
ーゲットへの入射光の入射角度を補正できる透過型ミラ
ーと、その透過型ミラーを駆動させる駆動装置とを含ん
で構成される。
置を示すアライメント用ターゲットと、このアライメン
ト用ターゲットにレーザ光を集光するための集光レンズ
と、アライメント用ターゲットからの反射光の像を得る
ためアライメント用ターゲット像と共役な位置に配置し
たテレビカメラと、アライメント用ターゲット像と共役
な位置の前後の像をテレビカメラに転送する二つの光学
系と、それぞれの光学系より得られた像からその位置で
の像の中心を求める中心検出器と、求められたそれぞれ
の中心の差を求める中心差検出器と、アライメント用タ
ーゲットへの入射光の入射角度を補正できる透過型ミラ
ーと、その透過型ミラーを駆動させる駆動装置とを含ん
で構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示すターゲットアライメント装置は、ターゲッ
トの位置を示す非常に微小なアライメント用ターゲット
１と、アライメント用ターゲット１にレーザ光を集光し
て導びくための集光レンズ（L0）２と、ターゲットの像
と共役な位置に配置したテレビカメラ４に像を結ぶため
の結像レンズ（L1）３と、ターゲット像より前方の像を
観てテレビカメラ４にその像を結ぶ、光学系５と、ター
ゲットの像より後方の像を観て同じくテレビカメラ４に
その像を結ぶ光学系６とを含んで構成される。
トの位置を示す非常に微小なアライメント用ターゲット
１と、アライメント用ターゲット１にレーザ光を集光し
て導びくための集光レンズ（L0）２と、ターゲットの像
と共役な位置に配置したテレビカメラ４に像を結ぶため
の結像レンズ（L1）３と、ターゲット像より前方の像を
観てテレビカメラ４にその像を結ぶ、光学系５と、ター
ゲットの像より後方の像を観て同じくテレビカメラ４に
その像を結ぶ光学系６とを含んで構成される。
ここで、これら二つの光学系5,6は、それぞれレンズ（L
3）51とミラーM1〜M4およびレンズ（L4）61とミラーM5
〜M8によって構成してある。そして、これら二つの光学
系5,6は、ターゲット像の前後等距離における像を、テ
レビカメラ４に結像するよう配置してある。
3）51とミラーM1〜M4およびレンズ（L4）61とミラーM5
〜M8によって構成してある。そして、これら二つの光学
系5,6は、ターゲット像の前後等距離における像を、テ
レビカメラ４に結像するよう配置してある。
また、第１図に示すターゲットアライメント装置は二つ
の光学系5,6より得られた像からビームの中心を求める
ための中心検出器７と、中心検出器７から得られたそれ
ぞれの中心の差を検出する中心差検出器８と、中心差検
出器８からの信号にもとづいてレーザ光を一部透過する
透過型ミラー10を駆動させる駆動装置９とを含んでい
る。
の光学系5,6より得られた像からビームの中心を求める
ための中心検出器７と、中心検出器７から得られたそれ
ぞれの中心の差を検出する中心差検出器８と、中心差検
出器８からの信号にもとづいてレーザ光を一部透過する
透過型ミラー10を駆動させる駆動装置９とを含んでい
る。
次に、透過型ミラーのずれ量の求め方について第３図を
用いて説明する。
用いて説明する。
いま、光学系５で得られた像は面S1と同じ像となりその
像の中心を（x1,y1）、光学系６で得られた像は、面S2
と同じ像となり、その像の中心を（x2,y2）、結像レン
ズL1の焦点面S0と面S1との距離および焦点面S0と面S2と
の距離をｌとすると、入射角度のずれ量（θ，δ）は、
次の（１），（２）式で表わされる。
像の中心を（x1,y1）、光学系６で得られた像は、面S2
と同じ像となり、その像の中心を（x2,y2）、結像レン
ズL1の焦点面S0と面S1との距離および焦点面S0と面S2と
の距離をｌとすると、入射角度のずれ量（θ，δ）は、
次の（１），（２）式で表わされる。
ここで、ずれ量（θ，δ）が０であれば、入射角ずれが
ないことが判る。
ないことが判る。
したがって、このずれ量（θ，δ）が０になるように透
過型ミラー10を駆動制御する。
過型ミラー10を駆動制御する。
なお、本発明は、上記実施例のものに限定されるもので
はなく、例えば光学系5,6を他の構成としたものなど種
々の変形例を含むものである。
はなく、例えば光学系5,6を他の構成としたものなど種
々の変形例を含むものである。
本発明のターゲットアライメント装置は、アライメント
用ターゲットからの反射光の像の中心を２点で計測して
入射角度のずれ量の絶対量を求め、このずれ量に応じて
透過型ミラーを自動的に正しい角度まで駆動できるの
で、正確かつ迅速に入射角度の設定が行なえるという効
果がある。
用ターゲットからの反射光の像の中心を２点で計測して
入射角度のずれ量の絶対量を求め、このずれ量に応じて
透過型ミラーを自動的に正しい角度まで駆動できるの
で、正確かつ迅速に入射角度の設定が行なえるという効
果がある。
第１図は、本発明の一実施例のブロック図、第２図は第
１図に示す実施例の入射角度のずれ量の測定法を説明す
るための模式図、第３図は従来の一例を示すブロック図
である。 １……アライメント用ターゲット、２……集光レンズ、
３……結像レンズ、４……テレビカメラ、5,6……光学
系、７……中心検出器、８……中心差検出器、９……駆
動装置、10……透過型ミラー、51,61……レンズ、M1〜M
8……ミラー。
１図に示す実施例の入射角度のずれ量の測定法を説明す
るための模式図、第３図は従来の一例を示すブロック図
である。 １……アライメント用ターゲット、２……集光レンズ、
３……結像レンズ、４……テレビカメラ、5,6……光学
系、７……中心検出器、８……中心差検出器、９……駆
動装置、10……透過型ミラー、51,61……レンズ、M1〜M
8……ミラー。
Claims (1)
- 【請求項１】ターゲット位置を示すアライメント用ター
ゲットと、前記アライメント用ターゲットにレーザ光を
集光するための集光レンズと、前記アライメント用ター
ゲートからの反射光の像と共役に配置したテレビカメラ
と、前記アライメント用ターゲットの像と共役な位置の
前後の像を前記テレビカメラに転送する二つの光学系
と、それぞれ前記光学系から得られた像からその位置で
のビームの中心位置を求める中心検出器と、二つの像の
中心位置の差を求める中心差検出器と、前記アライメン
ト用ターゲットへの入射光の入射角度を補正できる一部
透過型ミラーと、前記透過型ミラーを駆動させる駆動装
置とを含むことを特徴とするターゲットアライメント装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61206402A JPH07122675B2 (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61206402A JPH07122675B2 (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6361182A JPS6361182A (ja) | 1988-03-17 |
| JPH07122675B2 true JPH07122675B2 (ja) | 1995-12-25 |
Family
ID=16522763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61206402A Expired - Lifetime JPH07122675B2 (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | タ−ゲツトアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122675B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02243353A (ja) * | 1989-10-30 | 1990-09-27 | Canon Inc | インクジェット記録装置 |
| US7316467B2 (en) | 2005-10-03 | 2008-01-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording apparatus having multi-layer waste ink absorber |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60104235A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-08 | Alps Electric Co Ltd | 光学軸測定装置 |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP61206402A patent/JPH07122675B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6361182A (ja) | 1988-03-17 |
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