JPH0690359B2 - ターゲットアライメント装置 - Google Patents
ターゲットアライメント装置Info
- Publication number
- JPH0690359B2 JPH0690359B2 JP60202358A JP20235885A JPH0690359B2 JP H0690359 B2 JPH0690359 B2 JP H0690359B2 JP 60202358 A JP60202358 A JP 60202358A JP 20235885 A JP20235885 A JP 20235885A JP H0690359 B2 JPH0690359 B2 JP H0690359B2
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- Japan
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- target
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- alignment
- lens
- alignment target
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、非常に微少なターゲツトからの反射光の像を
得て、それらの像の大きさより現在の焦点の位置を求
め、正常な焦点位置との差だけ集光レンズを駆動させ
て、焦点を自動的に合わせるターゲツトアライメント装
置に関する。
得て、それらの像の大きさより現在の焦点の位置を求
め、正常な焦点位置との差だけ集光レンズを駆動させ
て、焦点を自動的に合わせるターゲツトアライメント装
置に関する。
従来、この種のターゲツトアライメント装置は、第２図
に示すような構成となつていた。すなわち、非常に微少
なアライメント用ターゲツト11に集光レンズ12を介して
レーザ光を集光し、このときの反射光を、レーザ光を一
部透過する透過型ミラー13および結像レンズ14を介し
て、ターゲツト11の像と共役な位置にあるCCDカメラ15
に与え、このCCDカメラ15の画像を人がモニタしなが
ら、反射光の像が最小になるよう集光レンズ12を手動で
駆動し、焦点を合わせる構成としてあつた。
に示すような構成となつていた。すなわち、非常に微少
なアライメント用ターゲツト11に集光レンズ12を介して
レーザ光を集光し、このときの反射光を、レーザ光を一
部透過する透過型ミラー13および結像レンズ14を介し
て、ターゲツト11の像と共役な位置にあるCCDカメラ15
に与え、このCCDカメラ15の画像を人がモニタしなが
ら、反射光の像が最小になるよう集光レンズ12を手動で
駆動し、焦点を合わせる構成としてあつた。
また、他のターゲツトアライメント方法としては、反射
光のエネルギ密度が最大となるように、レンズを自動的
に駆動する方法があつた。
光のエネルギ密度が最大となるように、レンズを自動的
に駆動する方法があつた。
上述した従来のターゲツトアライメント装置において
は、操作者が手動によつてアライメントを行なうため、
操作者の主観により再現性が得られないとともに、アラ
イメントに時間を要するといつた問題点があつた。ま
た、反射光のエネルギ密度を最大にする方法では、ずれ
の絶対量がわからないため、一つひとつ最大であるかど
うかを判定しながらレンズを駆動させなければならず、
この場合も時間を要するといつた問題点があつた。
は、操作者が手動によつてアライメントを行なうため、
操作者の主観により再現性が得られないとともに、アラ
イメントに時間を要するといつた問題点があつた。ま
た、反射光のエネルギ密度を最大にする方法では、ずれ
の絶対量がわからないため、一つひとつ最大であるかど
うかを判定しながらレンズを駆動させなければならず、
この場合も時間を要するといつた問題点があつた。
本発明は上記の問題点にかんがみてなされたもので、反
射光の像の大きさを三点で計測してずれ量の絶対量を求
め、このずれ量に応じて集光レンズを自動的かつ迅速に
駆動させて合焦点を行なうターゲツトアライメント装置
の提供を目的とする。
射光の像の大きさを三点で計測してずれ量の絶対量を求
め、このずれ量に応じて集光レンズを自動的かつ迅速に
駆動させて合焦点を行なうターゲツトアライメント装置
の提供を目的とする。
上記目的を達成するため本発明のターゲツトアライメン
ト装置は、ターゲツト位置を示すアライメント用ターゲ
ツトと、このアライメント用ターゲツトにレーザ光を集
光するための集光レンズと、アライメント用ターゲツト
からの反射光の像を得るため、アライメント用ターゲツ
ト像と共役な位置に配置したCCDカメラと、アライメン
ト用ターゲツト像と共役な位置に前後の像をCCDカメラ
に転送する二つの光学系と、それぞれの光学系より得ら
れた像からその位置でのビーム径を求める直径検出器
と、求められたビーム径より現在の焦点位置と正常な焦
点位置の差だけ前記集光レンズを移動させる駆動装置と
によつて構成してある。
ト装置は、ターゲツト位置を示すアライメント用ターゲ
ツトと、このアライメント用ターゲツトにレーザ光を集
光するための集光レンズと、アライメント用ターゲツト
からの反射光の像を得るため、アライメント用ターゲツ
ト像と共役な位置に配置したCCDカメラと、アライメン
ト用ターゲツト像と共役な位置に前後の像をCCDカメラ
に転送する二つの光学系と、それぞれの光学系より得ら
れた像からその位置でのビーム径を求める直径検出器
と、求められたビーム径より現在の焦点位置と正常な焦
点位置の差だけ前記集光レンズを移動させる駆動装置と
によつて構成してある。
以下、本発明の一実施例について第１図を参照して説明
する。
する。
第１図において、１はターゲツトの位置を示す非常に微
少なアライメント用ターゲツトである。２はアライメン
ト用ターゲツト１にレーザ光を集光して導びくための集
光レンズ（L0）、３は結像レンズ（L1）で、ターゲツト
の像と共役な位置に配置したCCDカメラ４に像を結ぶた
めのものである。５はターゲツト像の像的に前を観る光
学系でCCDカメラ４にその像を結び、６はターゲツト像
の像的な後を観る光学系でCCDカメラ４にその像を結
ぶ。これら二つの光学系５および６は、それぞれレンズ
（L3）51とミラー群およびレンズ（L4）61とミラー群に
よつて構成してある。そして、これら二つの光学系5,6
は、ターゲツト像の前後等距離における像をCCDカメラ
４に結像するよう配置してある。
少なアライメント用ターゲツトである。２はアライメン
ト用ターゲツト１にレーザ光を集光して導びくための集
光レンズ（L0）、３は結像レンズ（L1）で、ターゲツト
の像と共役な位置に配置したCCDカメラ４に像を結ぶた
めのものである。５はターゲツト像の像的に前を観る光
学系でCCDカメラ４にその像を結び、６はターゲツト像
の像的な後を観る光学系でCCDカメラ４にその像を結
ぶ。これら二つの光学系５および６は、それぞれレンズ
（L3）51とミラー群およびレンズ（L4）61とミラー群に
よつて構成してある。そして、これら二つの光学系5,6
は、ターゲツト像の前後等距離における像をCCDカメラ
４に結像するよう配置してある。
また、７は二つの光学系5,6より得られた像から大きさ
（ビーム径）を求める直径検出器、８は直径検出器７か
ら得られたビーム径より現在の焦点位置、すなわち正常
な焦点位置とのずれ量を検出する焦点検出器である。９
は焦点検出器８よりの信号にもとづいて集光レンズ２を
駆動させる駆動装置である。なお、10はレーザ光を一部
透過する透過型ミラーである。
（ビーム径）を求める直径検出器、８は直径検出器７か
ら得られたビーム径より現在の焦点位置、すなわち正常
な焦点位置とのずれ量を検出する焦点検出器である。９
は焦点検出器８よりの信号にもとづいて集光レンズ２を
駆動させる駆動装置である。なお、10はレーザ光を一部
透過する透過型ミラーである。
次に、集光レンズのずれ量の求め方について説明する。
いま、光学系5,6を通らないで得られた像の直径を2r1、
一の光学系５で得られた像の直径を2r2、他の光学系６
で得られた像の直径を2r3とし、結像レンズ（L1）３の
焦点距離をf2、レンズ（L3）51とレンズ（L4）61の焦点
距離をそれぞれf3とし、レンズ（L1）３とレンズ（L3）
51、およびレンズ（L1）３とレンズ（L4）61の距離をそ
れぞれl20およびl21、レンズ（L3）51からCCDカメラ４
まで、およびレンズ（L4）61からCCDカメラ４までの距
離をそれぞれl30およびl31とすると、集光レンズ（L0）
２に入射するビームの入射角θは、次式で表わされる。
一の光学系５で得られた像の直径を2r2、他の光学系６
で得られた像の直径を2r3とし、結像レンズ（L1）３の
焦点距離をf2、レンズ（L3）51とレンズ（L4）61の焦点
距離をそれぞれf3とし、レンズ（L1）３とレンズ（L3）
51、およびレンズ（L1）３とレンズ（L4）61の距離をそ
れぞれl20およびl21、レンズ（L3）51からCCDカメラ４
まで、およびレンズ（L4）61からCCDカメラ４までの距
離をそれぞれl30およびl31とすると、集光レンズ（L0）
２に入射するビームの入射角θは、次式で表わされる。
このθが０であれば合焦点であることが判る。したがつ
て、このθが０になるように集光レンズ（L0）２を駆動
制御する。
て、このθが０になるように集光レンズ（L0）２を駆動
制御する。
また、光学系5,6を通らないで得られた像の半径r1は、
合焦点の近傍にあるかどうかの判定に使用するもので、
光学系5,6を通らないで得られた像の半径r1と、光学系
５で得られた像の半径r2と、光学系６で得られた像の半
径r3のうち、光学系5,6を通らないで得られた像の半径r
1が一番小さければ、合焦点の近傍にあることになる。
合焦点の近傍にあるかどうかの判定に使用するもので、
光学系5,6を通らないで得られた像の半径r1と、光学系
５で得られた像の半径r2と、光学系６で得られた像の半
径r3のうち、光学系5,6を通らないで得られた像の半径r
1が一番小さければ、合焦点の近傍にあることになる。
なお、本発明は上記実施例のものに限定されるものでは
なく、例えば光学系5,6を他の構成としたものなど、種
々の変形例を含むものである。
なく、例えば光学系5,6を他の構成としたものなど、種
々の変形例を含むものである。
〔発明の効果〕 以上説明したように本発明は、アライメント用ターゲツ
トからの反射光の像の大きさを三点で計測してずれ量の
絶対量を求め、このずれ量に応じて焦光レンズを自動的
に焦点位置まで駆動するので、正確かつ迅速に合焦点を
行なえる効果がある。
トからの反射光の像の大きさを三点で計測してずれ量の
絶対量を求め、このずれ量に応じて焦光レンズを自動的
に焦点位置まで駆動するので、正確かつ迅速に合焦点を
行なえる効果がある。
第１図は本発明の一実施例のブロツク図を示し、第２図
は従来例のブロツク図を示す。 １……アライメント用ターゲツト ２……集光レンズ、３……結像レンズ ４……CCDカメラ、5,6……光学系 ７……直径検出器、８……焦点検出器 ９……駆動装置
は従来例のブロツク図を示す。 １……アライメント用ターゲツト ２……集光レンズ、３……結像レンズ ４……CCDカメラ、5,6……光学系 ７……直径検出器、８……焦点検出器 ９……駆動装置
Claims (1)
- 【請求項１】ターゲツト位置を示すアライメント用ター
ゲツトと、このアライメント用ターゲツトにレーザ光を
集光するための集光レンズと、アライメント用ターゲツ
トからの反射光の像を得るため、アライメント用ターゲ
ツトの像と共役な位置に配置したCCDカメラと、アライ
メント用ターゲツト像と共役な位置の前後の像をCCDカ
メラに転送する二つの光学系と、それぞれの光学系より
得られた像からその位置でのビーム径を求める直径検出
器と、求められたビーム径より現在の焦点位置を求める
焦点検出器と、現在の焦点位置と正常な焦点位置の差だ
け前記集光レンズを駆動させる駆動装置とからなること
を特徴としたターゲツトアライメント装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202358A JPH0690359B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | ターゲットアライメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60202358A JPH0690359B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | ターゲットアライメント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6261017A JPS6261017A (ja) | 1987-03-17 |
| JPH0690359B2 true JPH0690359B2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=16456187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60202358A Expired - Lifetime JPH0690359B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | ターゲットアライメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0690359B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57158812A (en) * | 1981-03-27 | 1982-09-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Alignment optical system |
| JPS60130711A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-07-12 | Ricoh Co Ltd | 干渉計におけるフオ−カシング方法 |
| JPS60169706A (ja) * | 1984-02-14 | 1985-09-03 | Olympus Optical Co Ltd | 表面形状測定装置 |
-
1985
- 1985-09-11 JP JP60202358A patent/JPH0690359B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6261017A (ja) | 1987-03-17 |
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