JPH0473843B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0473843B2 JPH0473843B2 JP60005434A JP543485A JPH0473843B2 JP H0473843 B2 JPH0473843 B2 JP H0473843B2 JP 60005434 A JP60005434 A JP 60005434A JP 543485 A JP543485 A JP 543485A JP H0473843 B2 JPH0473843 B2 JP H0473843B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- ccd camera
- image
- lens
- focal position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/36—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はターゲツトアライメント装置に関し、
特に非常に微少なターゲツトからの反射光の像を
得てそれらの像の大きさより現在の焦点の位置を
もとめそれらの大小関係からずれ量を検出し自動
的に焦光レンズを駆動する装置に関する。
特に非常に微少なターゲツトからの反射光の像を
得てそれらの像の大きさより現在の焦点の位置を
もとめそれらの大小関係からずれ量を検出し自動
的に焦光レンズを駆動する装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の装置は第３図に示すように、タ
ーゲツト３１からの反射光をターゲツトの像と共
役な位置にあるCCDカメラ３４で得て、その画
像が人間がモニターしながら反射光の像が最小に
なるようにレンズを駆動していた。又、反射光の
エネルギー密度が最大になるようにレンズを自動
的に駆動していた。図中、３２は集光レンズ、３
３は透過型ミラーを示す。
ーゲツト３１からの反射光をターゲツトの像と共
役な位置にあるCCDカメラ３４で得て、その画
像が人間がモニターしながら反射光の像が最小に
なるようにレンズを駆動していた。又、反射光の
エネルギー密度が最大になるようにレンズを自動
的に駆動していた。図中、３２は集光レンズ、３
３は透過型ミラーを示す。
上述した従来のアラインメント装置では、人間
がマニユアルでアラインメントを行なう為、操作
者の主観により、再現性が得られないことと、時
間がかかるという欠点がある。
がマニユアルでアラインメントを行なう為、操作
者の主観により、再現性が得られないことと、時
間がかかるという欠点がある。
又、反射光のエネルギー密度を最大にする方法
ではずれの絶対量がわからないという欠点があ
り、ひとつひとつ最大であるかどうかを判定しな
がら駆動するので時間がかかつていた。
ではずれの絶対量がわからないという欠点があ
り、ひとつひとつ最大であるかどうかを判定しな
がら駆動するので時間がかかつていた。
本発明のアライメント装置はターゲツトからの
反射光を集光するレンズとターゲツトと像的に共
役になる位置におかれたCCDカメラと、その
CCDカメラと前後等距離におかれた２台のCCD
カメラと、それぞれのCCDカメラから、その位
置でのビーム径を求める直径検出器と求められた
ビーム径より現在の焦点位置をもとめる焦点検出
器と現在の焦点位置と正常な焦点位置の差だけレ
ンズ駆動する駆動装置を有している。
反射光を集光するレンズとターゲツトと像的に共
役になる位置におかれたCCDカメラと、その
CCDカメラと前後等距離におかれた２台のCCD
カメラと、それぞれのCCDカメラから、その位
置でのビーム径を求める直径検出器と求められた
ビーム径より現在の焦点位置をもとめる焦点検出
器と現在の焦点位置と正常な焦点位置の差だけレ
ンズ駆動する駆動装置を有している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例の構成図である。
１１はアラインメント用ターゲツト、１２はター
ゲツトに導びくための集光レンズ、１３はCCD
カメラに像を結ぶ為のレンズ、１４はターゲツト
の像と共役な位置にあるCCDカメラ、１５は
CCDカメラ１４と像的に前におかれたCCDカメ
ラ、１６はCCDカメラ１４と像的に後におかれ
たCCDカメラ、７はCCDカメラ１４，１５，１
６にて得られた像から大きさ（直径）を求める直
径検出器であり、８はこうして求められたビーム
径から現在の焦点位置を求める焦点検出器であ
り、９は集光レンズを駆動する駆動装置である。
１１はアラインメント用ターゲツト、１２はター
ゲツトに導びくための集光レンズ、１３はCCD
カメラに像を結ぶ為のレンズ、１４はターゲツト
の像と共役な位置にあるCCDカメラ、１５は
CCDカメラ１４と像的に前におかれたCCDカメ
ラ、１６はCCDカメラ１４と像的に後におかれ
たCCDカメラ、７はCCDカメラ１４，１５，１
６にて得られた像から大きさ（直径）を求める直
径検出器であり、８はこうして求められたビーム
径から現在の焦点位置を求める焦点検出器であ
り、９は集光レンズを駆動する駆動装置である。
ここで実際に集光レンズのずれ量を求める方法
について第２図を用いて説明する。CCDカメラ
１４で得られた像の直径を2r2、CCDカメラ１５
で得られた像の直径を2r1、CCDカメラ１６で得
られた像の直径を2r3、CCDカメラ１４とCCDカ
メラ１５及びCCDカメラ１４とCCDカメラ１６
の距離をそれぞれａとすると、第２図に示すよう
に集光レンズのずれ量によりr1、r2、r3の大小関
係が変わる。
について第２図を用いて説明する。CCDカメラ
１４で得られた像の直径を2r2、CCDカメラ１５
で得られた像の直径を2r1、CCDカメラ１６で得
られた像の直径を2r3、CCDカメラ１４とCCDカ
メラ１５及びCCDカメラ１４とCCDカメラ１６
の距離をそれぞれａとすると、第２図に示すよう
に集光レンズのずれ量によりr1、r2、r3の大小関
係が変わる。
(1) r1、r2、r3の中でr2が一番小さい場合、現在
の焦点位置はCCDカメラ１４からの距離を（r1
−r3）ａ／（r1＋r3）と表わせる。
の焦点位置はCCDカメラ１４からの距離を（r1
−r3）ａ／（r1＋r3）と表わせる。
(2) r1＞r2＞r3という大小関係をもつ場合は、現
在の焦点位置はCCDカメラ１４からの距離を
（r1＋r3）ａ／（r1−r3）と表わせる。
在の焦点位置はCCDカメラ１４からの距離を
（r1＋r3）ａ／（r1−r3）と表わせる。
それぞれの場合から求まつたCCDカメラ１４
からの距離をαとすると、集光レンズ１２の焦点
距離f1、CCDカメラへの集光するレンズ１３の焦
点距離f2及び集光レンズ１２レンズと１３の距離
をｌとすると集光レンズのずれ量は αf2 2／yl−yf1−yf2−f2 1 この方式を用いることにより、現在の焦点位置
がわかる。真の焦点位置はCCDカメラ１６と
CCDカメラ１５の中心であるから、現在の焦点
位置と真の焦点位置の差を駆動量としてレンズを
駆動する。
からの距離をαとすると、集光レンズ１２の焦点
距離f1、CCDカメラへの集光するレンズ１３の焦
点距離f2及び集光レンズ１２レンズと１３の距離
をｌとすると集光レンズのずれ量は αf2 2／yl−yf1−yf2−f2 1 この方式を用いることにより、現在の焦点位置
がわかる。真の焦点位置はCCDカメラ１６と
CCDカメラ１５の中心であるから、現在の焦点
位置と真の焦点位置の差を駆動量としてレンズを
駆動する。
以上説明したように本発明は、反射光の像の大
きさを３点で計測しずれ量の絶対量を求めて集光
レンズを１度に焦点位置まで駆動できる効果があ
る。
きさを３点で計測しずれ量の絶対量を求めて集光
レンズを１度に焦点位置まで駆動できる効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２
図は本発明により現在の焦点距離を求める方法を
説明するための図、第３図は従来の装置の構成図
である。 １１……ターゲツト、１２……集光レンズ、１
３……レンズ、１４，１５，１６……CCDカメ
ラ、１７……直径検出器、１８……焦点検出器、
１９……駆動装置。
図は本発明により現在の焦点距離を求める方法を
説明するための図、第３図は従来の装置の構成図
である。 １１……ターゲツト、１２……集光レンズ、１
３……レンズ、１４，１５，１６……CCDカメ
ラ、１７……直径検出器、１８……焦点検出器、
１９……駆動装置。
Claims (1)
- １ レーザ光をターゲツトに集光する集光レンズ
と、ターゲツト位置を示すアラインメント用ター
ゲツトと、このアラインメント用ターゲツトから
の反射光の像を得るアラインメント用ターゲツト
の像と共役な位置に設置されたCCDカメラと、
前記アラインメント用ターゲツトの像と共役な位
置から前後に等しい距離ａにおかれた２台の
CCDカメラと、この３台のCCDカメラのそれぞ
れの像のビーム径2r1、2r2、2r3をもとめる直径検
出器と、求められたr1、r3と、CCDカメラ間の距
離ａからr1＞r2＞r3の場合、（r1＋r3）×ａ／（r1−
r3）と表わすことのできる焦点位置、又はr1＞r2
＜r3の場合（r1−r3）×ａ／（r1＋r3）と表わすこ
とのできる焦点位置をもとめる焦点検出器と、現
在の焦点位置と正常な焦点位置の差だけレンズを
駆動する駆動装置を含み自動的に合焦点を行なう
ことを特徴とするターゲツトアラインメント装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP543485A JPS61165717A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | タ−ゲツトアラインメント装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP543485A JPS61165717A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | タ−ゲツトアラインメント装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61165717A JPS61165717A (ja) | 1986-07-26 |
| JPH0473843B2 true JPH0473843B2 (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=11611086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP543485A Granted JPS61165717A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | タ−ゲツトアラインメント装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61165717A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4773077B2 (ja) * | 2004-11-15 | 2011-09-14 | 株式会社ブイ・テクノロジー | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134318A (ja) * | 1973-04-26 | 1974-12-24 | ||
| JPS5158333A (ja) * | 1974-11-18 | 1976-05-21 | Canon Kk | Jidoshotenchosetsusochi |
| JPS53123945A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Commissariat Energie Atomique | Method of checking automatic focusing system of microscope and its apparatus |
| JPS55101142A (en) * | 1979-01-29 | 1980-08-01 | Teac Co | Focus detection unit of optical reproducing device |
| JPS5737748A (en) * | 1980-08-19 | 1982-03-02 | Olympus Optical Co Ltd | Automatic focusing system of optical disk |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP543485A patent/JPS61165717A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49134318A (ja) * | 1973-04-26 | 1974-12-24 | ||
| JPS5158333A (ja) * | 1974-11-18 | 1976-05-21 | Canon Kk | Jidoshotenchosetsusochi |
| JPS53123945A (en) * | 1977-04-05 | 1978-10-28 | Commissariat Energie Atomique | Method of checking automatic focusing system of microscope and its apparatus |
| JPS55101142A (en) * | 1979-01-29 | 1980-08-01 | Teac Co | Focus detection unit of optical reproducing device |
| JPS5737748A (en) * | 1980-08-19 | 1982-03-02 | Olympus Optical Co Ltd | Automatic focusing system of optical disk |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61165717A (ja) | 1986-07-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |