JP4773077B2 - オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 - Google Patents
オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4773077B2 JP4773077B2 JP2004330388A JP2004330388A JP4773077B2 JP 4773077 B2 JP4773077 B2 JP 4773077B2 JP 2004330388 A JP2004330388 A JP 2004330388A JP 2004330388 A JP2004330388 A JP 2004330388A JP 4773077 B2 JP4773077 B2 JP 4773077B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- projection
- optical system
- measured
- objective lens
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Description
先ず、ステップS1の初期状態においては、XYステージ6が任意の位置(スタート位置)で静止している。また、常時点灯中の観察用光源19から発射された光は、図1に示す照明光学系3のプリズム20で反射されたのち、第1のハーフミラー10で反射されて対物レンズ8を通じてXYステージ6上に載置された被測定物7の測定面7aを照射している。さらに、光学系支持部材13は、最上部に上昇した状態にある。このような初期状態において、上記コントロールPC25からの命令により上記スタート位置の被検査パターンに対して公知のコントラスト方式のオートフォーカスが実行される。
先ず、ステップS4−1において、光軸方向で異なる位置に配設された第1〜第3のマスク14a〜14cがパターン投影用光源15により背面から照射され、第1〜第3のマスク14a〜14cのそれぞれに形成された第1〜第3の投影パターン18a〜18cが対物レンズ8を通して被測定物7の測定面7aに投影される。被測定物7の測定面7aに投影された上記第1〜第3の投影パターン18a〜18cの投影画像Ia〜Icは、撮像光学系1により取り込まれ撮像カメラ9の撮像面に結像する。この撮像カメラ9の撮像面に結像した第1〜第3の投影パターン18a〜18cの投影画像Ia〜Icは、A/D変換器26でデジタル変換されて画像処理部27に送られる。画像処理部27では、上記第1〜第3の投影パターン18a〜18cの投影画像Ia〜Icを画像処理して三つの投影画像Ia〜Icの大小比較を可能にするデータ、例えば三つの投影画像Ia〜Icの面積を演算したデータを出力する。制御部28は、画像処理部27から入力したデータに基づいて上記三つの投影画像Ia〜Icの大小を比較する。
一方、ステップS4−2において、“NO”判定となった場合には、ステップS4−4に進む。
ステップS4−6においては、制御部28は、コントロールPC25から追従方式オートフォーカスの終了命令があったか否かを判定する。ここで、“NO”判定となった場合、即ち、次の観察位置へのステージ6の移動が続いている場合には、ステップS4−1に戻って、ステップS4−1〜S4−6を繰り返し実行し、追従方式のオートフォーカスを継続する。一方、ステップS4−6において、“YES”判定となった場合には、図5に示すステップS5に進む。
2…投影光学系
4…駆動機構
5…制御手段
7…被測定物
7a…測定面
8…対物レンズ
9…撮像カメラ
14a〜14c…第1〜第3のマスク
18a〜18c…第1〜第3の投影パターン
Ia,Ib,Ic…投影画像
Claims (7)
- 被測定物の測定面に平行な面内を該被測定物に対して相対移動可能に設けられ、対物レンズを介して前記被測定物の観察位置の被検査パターンの像を撮像する一つの撮像カメラを有する撮像光学系と、該撮像光学系を前記対物レンズの光軸方向に変位させる駆動機構と、前記撮像光学系で撮像された前記被検査パターンの像に基づいて前記駆動機構を駆動制御する制御手段とを備えたオートフォーカス装置であって、
前記撮像光学系と一体的に前記被測定物に対して相対移動可能に設けられ、前記対物レンズの光軸方向の異なる位置に配置されて同方向の結像位置が異なる同一形状の三つの投影パターンを前記被測定物の測定面に前記対物レンズを介して投影する投影光学系を備え、
前記撮像光学系が相対移動して前記被測定物の観察位置が一の観察位置から他の観察位置まで移り変わる間の移動中に、前記投影光学系により前記被測定物に投影され前記撮像光学系で取得された前記三つの投影パターンの各投影画像の大小を前記制御手段により比較しながら、該三つの投影画像のうち、前記対物レンズの光軸方向の真中に位置する前記投影パターンに対応した投影画像の大きさが他の投影画像の大きさに比べて小さくなるように前記撮像光学系及び前記投影光学系の、前記対物レンズの光軸方向への変位を制御することを特徴とするオートフォーカス装置。 - 前記各投影パターンは、同一の光軸上で異なる位置に配設された三枚のマスクにそれぞれ形成されたものであることを特徴とする請求項1記載のオートフォーカス装置。
- 前記各投影パターンは、前記三枚のマスクにて互いに横方向にずれた位置に形成されたことを特徴とする請求項2記載のオートフォーカス装置。
- 前記各投影パターンは、前記三枚のマスクにて互いに円周方向にずれた位置に形成されたことを特徴とする請求項2記載のオートフォーカス装置。
- 前記制御手段による前記三つの投影パターンの投影画像の大小比較は、各投影画像の面積の大小を比較し、または前記各投影画像の周囲長の長短を比較するものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のオートフォーカス装置。
- 被測定物の測定面に平行な面内を該被測定物に対して相対移動可能に設けられ一つの撮像カメラを有する撮像光学系により対物レンズを介して前記被測定物の観察位置の被検査パターンの像を撮像し、該撮像光学系で撮像された前記被検査パターンの像に基づいて前記撮像光学系を前記対物レンズの光軸方向に変位させ、フォーカスを自動制御するオートフォーカス方法であって、
前記撮像光学系が相対移動して前記被測定物の観察位置が一の観察位置から他の観察位置まで移り変わる間の移動中に、前記撮像光学系と一体的に前記被測定物に対して相対移動可能に設けられた投影光学系により前記対物レンズの光軸方向の異なる位置に配置されて同方向の結像位置が異なる同一形状の三つの投影パターンを前記被測定物の測定面に前記対物レンズを介して投影するステップと、
前記被測定物の測定面に投影された前記三つの投影パターンの各投影画像を取得するステップと、
該取得された前記三つの投影パターンの投影画像の大小を比較するステップと、
該三つの投影画像のうち、前記対物レンズの光軸方向の真中に位置する前記投影パターンに対応した投影画像の大きさが他の投影画像の大きさに比べて小さくなるように撮像光学系を前記投影光学系と一体的に前記対物レンズの光軸方向に変位させるステップと、
を実行することを特徴とするオートフォーカス方法。 - 前記三つの投影パターンの投影画像の大小を比較するステップは、各投影画像の面積の大小を比較することにより、または前記各投影画像の周囲長の長短を比較することにより実行することを特徴とする請求項6記載のオートフォーカス方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004330388A JP4773077B2 (ja) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004330388A JP4773077B2 (ja) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006139182A JP2006139182A (ja) | 2006-06-01 |
JP4773077B2 true JP4773077B2 (ja) | 2011-09-14 |
Family
ID=36620038
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004330388A Expired - Fee Related JP4773077B2 (ja) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4773077B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10151962B2 (en) | 2016-09-29 | 2018-12-11 | Mitutoyo Corporation | Variable focal length lens system with focus monitoring and control |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5910912A (ja) * | 1982-07-09 | 1984-01-20 | Canon Inc | 焦点検出装置 |
JPS61165717A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-26 | Nec Corp | タ−ゲツトアラインメント装置 |
JPS6219828A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Hitachi Ltd | 焦点位置検出装置 |
JPS6289010A (ja) * | 1985-10-16 | 1987-04-23 | Hitachi Ltd | 顕微鏡自動焦点装置 |
JPS62115114A (ja) * | 1986-10-24 | 1987-05-26 | Hitachi Ltd | 自動合焦点制御装置 |
JPH01204012A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Minolta Camera Co Ltd | マイクロフィルムリーダ |
JP2886957B2 (ja) * | 1990-09-06 | 1999-04-26 | キヤノン株式会社 | 自動焦点合せ装置 |
JPH04186209A (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-03 | Hitachi Ltd | 焦点位置検出方法およびその装置 |
JPH0787378A (ja) * | 1993-09-09 | 1995-03-31 | Topcon Corp | 合焦検出装置 |
JPH0949965A (ja) * | 1995-08-08 | 1997-02-18 | Nikon Corp | 焦点位置検出装置 |
JPH10221592A (ja) * | 1997-02-05 | 1998-08-21 | Nikon Corp | 焦点位置検出装置 |
JPH10227971A (ja) * | 1997-02-17 | 1998-08-25 | Nikon Corp | 焦点位置検出装置 |
JPH11183784A (ja) * | 1997-12-25 | 1999-07-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 焦点検出装置および焦点検出方法 |
JP3749142B2 (ja) * | 2001-06-01 | 2006-02-22 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 焦点検出装置 |
-
2004
- 2004-11-15 JP JP2004330388A patent/JP4773077B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006139182A (ja) | 2006-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5064764B2 (ja) | 自動焦点検出装置、その制御方法、及び顕微鏡システム | |
JP5621259B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
US7660523B2 (en) | Intermittent photo-taking device | |
JPS58181005A (ja) | 自動焦点位置合せ及び測定装置並びに方法 | |
JP2009056507A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP4773077B2 (ja) | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 | |
JPH1195091A (ja) | 自動焦点顕微鏡 | |
JP2009053485A (ja) | オートフォーカス装置、オートフォーカス方法および計測装置 | |
JP2009223164A (ja) | 顕微鏡画像撮影装置 | |
JP2001091821A (ja) | 顕微鏡用オートフォーカスシステム | |
JP4477181B2 (ja) | 顕微鏡装置 | |
JP3955115B2 (ja) | 共焦点型顕微鏡の合焦装置及びその合焦方法 | |
CN114799575A (zh) | 观察装置和观察方法 | |
JP4712334B2 (ja) | 顕微鏡装置、顕微鏡ユニット、プログラム | |
JP4875354B2 (ja) | オートフォーカス装置及びオートフォーカス方法 | |
JP5142916B2 (ja) | レーザ加工方法、及び、レーザ加工装置 | |
JPH09230250A (ja) | 光学顕微鏡自動合焦点装置 | |
JP2001296467A (ja) | 自動焦点検出装置 | |
JP2007148159A (ja) | 顕微鏡 | |
JP2005274609A (ja) | 自動合焦方法及びその装置 | |
JP5164002B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2002277729A (ja) | 顕微鏡用オートフォーカス装置および方法 | |
JP2002341234A (ja) | 顕微鏡用オートフォーカス装置 | |
JP2009244319A (ja) | パターン形成方法及びパターン形成装置 | |
JP2006154693A (ja) | オートフォーカス装置及び方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100816 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110421 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110614 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110623 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140701 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4773077 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |