JP2005274609A - 自動合焦方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】対物レンズの倍率に応じた最速のAFスピードを実現でき、かつ対物レンズの倍率に関わらずに常に安定したAF性能を持つこと。
【解決手段】ラフにピント合わせ込みを行った後、受光センサ21の出力信号に基づいて取得される合焦判定信号Efと合焦の基準となる第1の閾値TH1との大小関係から試料Sが合焦位置にあるか否かを判別し、合焦位置にあることの判別を各対物レンズ5の各倍率に応じて設定される設定合焦判定回数Nfocus連続した場合に初めて合焦完了と判断する。
【選択図】 図1
【解決手段】ラフにピント合わせ込みを行った後、受光センサ21の出力信号に基づいて取得される合焦判定信号Efと合焦の基準となる第1の閾値TH1との大小関係から試料Sが合焦位置にあるか否かを判別し、合焦位置にあることの判別を各対物レンズ5の各倍率に応じて設定される設定合焦判定回数Nfocus連続した場合に初めて合焦完了と判断する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば顕微鏡における試料に対するピント合わせを行う自動合焦方法及びその装置に関する。
現在、顕微鏡は、生物分野の研究をはじめ工業分野の検査工程まで幅広く利用されている。顕微鏡を使用する際は、通常、焦準ハンドルを操作することによって試料に対する焦点合わせ作業を行う。顕微鏡に用いられる高倍率の対物レンズは、浅い焦点深度で、狭い合焦範囲を有する。このような高倍率の対物レンズを取り付けて素早く焦点合わせ操作を行うには、かなりの熟練を要する。この場合、顕微鏡の操作性が悪いと、生産効率の低下という悪影響を及ぼす。特に、検査工程などのルーチン作業の中では、焦点合わせ操作を素早く行って検査時間を短縮することが非常に重要になる。このような実情から焦点合わせ操作を自動的に行える顕微鏡用のオートフォーカス(AF)装置が種々提案され、これらの改善を図った提案も数多くされている。
工業分野のAF装置は、上記操作性やスループットの向上のニーズのみならず、例えば多層形成された半導体ウエハのような段差のある試料に対して各層の欠陥やパターン間の線幅を洩れなく検出・測定したり、試料上の微小な段差を高精度で測定するような用途へのニーズがある。これら検査・測定に適した性能を有するAF装置も提案されている。このような事から工業分野のAF装置は、試料への対応性、AF時間の短縮等を考慮して、赤外光レーザ等の光を試料に投射し、その反射光の状態を検出して合焦動作を行うアクティブ型AF方式が多い。
生物分野のAF装置は、より正確に合焦位置に合わせることが要求される事と、アクティブ方式では不可能な反射率の低い透過型の試料を観察する事などから、観察画像のコントラストを検出してAF動作を行うパッシブ型AF方式が主流となっている。
何れのAF方式においても要求されることは、試料の状態に関わらず、常に安定したAF性能を確保することである。
顕微鏡に装着される対物レンズは、低倍率から高倍率まで複数ある。低倍率の対物レンズを顕微鏡に装着したときの試料の観察像から合焦している(ピントが合っている)と判断される光軸(デフォーカス)方向の範囲は広い、すなわち焦点深度は深い。これに対して高倍率の対物レンズを顕微鏡に装着したときの試料の観察像から合焦していると判断されるときは、焦点深度が浅くなる。これにより、AFでは、対物レンズの倍率、すなわち焦点深度に応じて合焦と判断するデフォーカス範囲を変更することになる。
AF動作時に発生する僅かな試料の振動は、低倍率の対物レンズを装着した場合であれば、合焦のずれとして観察されないが、高倍率の対物レンズを装着した場合では、大きな合焦のずれとして判定され、合焦位置であるにも関わらず、AF動作が完了しないことがある。このため、高倍率の対物レンズの装着時のAF動作時には、低倍率の対物レンズと異なる合焦判定方法を必要とする。
これに対して特許文献1には、ビデオカメラのAFにおいて、手ぶれによる合焦位置の変化と、被写体の移動による合焦位置の変化とを区別し、安定したAF性能を確保するために合焦と判定される回数が所定の回数になるまでAF動作を完了させない。又AF動作後に合焦状態に変化があった場合に所定の時間だけ再AF動作を行わないことでAF追従性能の劣化や手ぶれによるAF動作の劣化等を回避することが開示されている。この特許文献1の技術を利用すれば、顕微鏡におけるAFにおいても、高倍率の対物レンズを装着した場合に、合焦判定回数を複数回とすることで、振動が収まるまでのAF誤動作を回避することが可能になる。
特開昭61−60080号公報
しかしながら、合焦判定回数を複数回とすることで、振動が収まるまでのAF誤動作を回避する方法では、低倍率の対物レンズを装着した場合でも合焦判定回数を複数回とすることになる。低倍率の対物レンズを装着した場合は、上述したようにAF動作時に発生する僅かな試料の振動でも合焦ずれとして観察されないため、合焦判定回数を複数回としてAF完了を判定すれば、AF完了を判定するまでの時間が長くなり、結果としてAFスピードの低下に繋がる。
本発明は、試料と対物レンズを有する観察光学系との間隔を変化させながら試料からの光束を観察光学系を通して受光素子で受光し、この受光素子から出力される受光量に応じた検出信号に基づいて合焦判定信号を求め、この合焦判定信号に基づいて試料に対して観察光学系を合焦させる自動合焦方法において、合焦判定信号の値が予め設定された合焦の基準となる閾値内であるか否かを判定する合焦判定動作を行い、合焦判定信号の値が閾値内であれば、当該合焦判定した回数をカウントして合焦判定回数又は当該合焦判定回数の確率を求め、これら合焦判定回数又は合焦判定回数の確率が対物レンズの倍率に応じて予め設定された設定合焦判定回数又は設定合焦判定回数の確率に一致すると、合焦完了と判定する自動合焦方法である。
本発明は、試料と対物レンズを有する観察光学系との間隔を焦準制御機構により変化させながら試料からの光束を観察光学系を通して受光素子で受光し、この受光素子から出力される受光量に応じた検出信号に基づいて合焦判定信号を求め、この合焦判定信号に基づいて試料に対して観察光学系を合焦させる自動合焦装置において、対物レンズの倍率を検出する対物レンズ検出部と、合焦判定信号の値が予め設定された合焦の基準となる閾値内であるか否かを判定する合焦判定手段と、合焦判定部の判定の結果、合焦判定信号の値が閾値内であれば、当該合焦判定した回数をカウントして合焦判定回数又は当該合焦判定回数の確率を求める合焦カウント部と、複数の対物レンズの各倍率に応じて予め設定された複数の設定合焦判定回数又は設定合焦判定回数の確率を保持し、試料の観察に用いる対物レンズの倍率に応じた設定合焦判定回数又は設定合焦判定回数の確率を設定する合焦回数・確率設定部と、合焦判定部により合焦判定信号の値が閾値内であると判定すると、合焦カウント部により求められた合焦判定回数又は合焦判定回数の確率が合焦回数・確率設定部により設定された設定合焦判定回数又は設定合焦判定回数の確率に一致するか否かを判定し、一致していれば、合焦完了と判定する合焦完了判定部とを具備し自動合焦装置である。
本発明は、対物レンズの倍率に応じた最速のAFスピードを実現でき、かつ対物レンズの倍率に関わらずに常に安定したAF性能を持つことができる自動合焦方法及びその装置を提供できる。
以下、本発明の第1の実施の形態について図面を参照して説明する。
図1は自動合焦装置を用いた顕微鏡の全体構成図である。この顕微鏡は、一度、試料Sに対して合焦した後にAF動作を完了する、いわゆるワンショットAFの自動合焦装置を搭載する。ステージ1上には、試料Sが載置されている。このステージ1には、焦準用モータ2が設けられている。このステージ1は、焦準用モータ2の駆動により光軸p1方向に上下動する。この焦準用モータ2は、合焦用モータ駆動部3によって駆動される。
ステージ1の上方には、電動レボルバ4が設けられている。この電動レボルバ4は、回転可能でかつ複数の対物レンズ5を取り付け可能とするレボルバ本体6と、このレボルバ本体6を回転させて任意の対物レンズ5を光軸p1上に挿入するための電気的な駆動を行うレボルバ用モータ7と、レボルバ本体6における複数の対物レンズ取付位置のうち光軸p1上に配置されている対物レンズ取付位置を検出するためのレボルバ穴位置検出部8とを有する。レボルバ用モータ7は、レボルバ用モータ駆動部9によって駆動される。
次に、オートフォーカス(AF)の光学系について説明する。このAFでは、アクティブ型瞳分割法を用いる。AFに用いる基準光源10は、赤外線レーザ等の可視外光波長領域の光を出力する光源を用いる。この基準光源10は、レーザ駆動部11によってパルス点灯でかつその光強度が駆動制御される。
この基準光源10から出力されるレーザ光の光路上には、コリメートレンズ12、投光側ストッパST、偏光ビームスプリッタ13が配置されている。コリメートレンズ12は、基準光源10から出力されたレーザ光を平行光に整形する。投光側ストッパSTは、レーザ光の光束径の半分をカットする。偏光ビームスプリッタ13は、投光側ストッパSTによりカットされたレーザ光のうちP偏光成分のみを反射し、かつこの反射した方向から入射したS偏光成分の光を透過する。
この偏光ビームスプリッタ13の反射光路上には、集光レンズ群14、色収差補正レンズ群15、λ/4板16及びダイクロイックミラー17が配置されている。集光レンズ群14は、偏光ビームスプリッタ13からのレーザ光を集光する。色収差補正レンズ群15は、色収差の補正をするもので、色収差補正レンズ駆動用モータ18の駆動により光軸p2の方向に移動する。色収差補正レンズ駆動用モータ18は、色収差補正レンズ駆動部19によって駆動される。λ/4板16は、色収差補正レンズ群15からのレーザ光を45°偏光する。ダイクロイックミラー17は、λ/4板16により偏光されたレーザ光のうち赤外領域の光のみを下方側に反射し、かつ試料S側からの光束をλ/4板16側と図示しない接眼レンズ又はCCD等の撮像装置側との2方向に分岐する。このダイクロイックミラー17の下方側の反射光路(光軸p1)上には、対物レンズ5が設けられる。
偏光ビームスプリッタ13の透過光路(光軸p2方向)上には、集光レンズ群20を介して受光センサ21が設けられている。この受光センサ21は、例えば2分割フォトダイオード、2分割ディテクタである。この受光センサ21は、例えば後続の信号処理部26で信号の処理する領域を2等分することで2つの受光素子21a、21bを有するものとなる。この受光センサ21は、各受光素子21a、21bの境界を光軸p2上に配置する。この受光センサ21の各受光素子21a、21bは、それぞれ集光レンズ群20により結像されたスポットを受光し、この受光強度に応じたセンサ信号を出力する。
この受光センサ21上に結像されるスポットは、試料Sが合焦位置(ピント位置)に配置されていれば、図2(a)(b)に示すように各受光素子21a、21bの境界位置で受光され、狭い領域でかつ高い光強度を有する。試料Sがピント位置から下側(後ピン位置)に配置されていれば、図3(a)(b)に示すように受光素子21b側に偏った強度分布で受光される。試料Sがピント位置から上側(前ピン位置)に配置されていれば、図4(a)(b)に示すように受光素子21a側に偏った強度分布で受光される。
照明用光源22は、試料Sを観察するための照明光を出力する。この照明用光源22から出力された照明光の光路上には、レンズ23、ハーフミラー24が設けられている。このハーフミラー24は、光軸p1上に設けられ、照明用光源22から出力された照明光を下方に反射して試料Sを上方から照明する。
コントロール部25は、顕微鏡の合焦動作を制御するもので、合焦用モータ駆動部3、レボルバ用モータ駆動部9、レーザ駆動部11及び色収差補正レンズ駆動部19に対して各駆動制御指令を送出し、かつ信号処理部26、操作部27及びパルスカウンタ28からの各信号を入力する。
操作部27は、各種操作スイッチを有し、例えばAF開始/停止、対物レンズ5の切り替え等の操作を観察者によって行えるようになっている。パルスカウンタ28には、JOGエンコーダ29が接続されている。このJOGエンコーダ29の出力パルスがパルスカウンタ28によりカウントされ、そのカウント値がコントロール部25に送られる。これにより、JOGダイヤルによるステージ1の上下移動が可能になる。
信号処理部26は、受光センサ21から出力されたセンサ信号を入力し、このセンサ信号を2つの受光素子21a、21bの各範囲別に分割し、これら範囲別に受光強度の総和のA信号、B信号を出力する。図5は各受光素子21a、21bのA信号、B信号別のステージ1の上下方向位置(デフォーカス)に対する入射光強度を示す。これらA信号、B信号は、ピント位置Fを挟んで左右対称な変化を示す。
コントロール部25は、信号処理部26から出力されたA信号、B信号を入力し、これらA信号、B信号から図6に示す加算信号A+Bと、図7に示す合焦判定信号(Ef値){=(A−B)/(A+B)}と、光量信号値max(A,B)とをそれぞれ算出し、これら信号に基づいて合焦動作を実行する。なお、光量信号値max(A,B)は、A信号、B信号のうち信号値の大きな方の値を示す。
コントロール部25は、A信号、B信号により試料Sの有無を判定し、合焦判定信号Efの符号によって合焦方向を判定し、かつ合焦判定信号Efを「0」とすることで試料Sを合焦位置へ導く合焦動作を行う。
具体的にコントロール部25は、図8に示すようにCPU本体30に対してデータバスやコントロールバス、アドレスバスを含むバス31を介してROM32、RAM33及びI/Oポート34を接続している。
ROM32には、例えば顕微鏡システムを制御するためのプログラムや自動合焦プログラムが格納されている。又、ROM32には、図7に示す合焦の基準となる第1の閾値TH1、図6に示す受光センサ21での受光量の基準となる第2の閾値TH2、後述する対物レンズ5の各倍率に応じて予め設定された複数の設定合焦判定回数Nfocusが格納されている。
RAM33には、顕微鏡システム等の制御に必要なデータを格納する揮発性メモリ等からなる。I/Oポート34には、合焦用モータ駆動部3、レボルバ用モータ駆動部9、レーザ駆動部11及び色収差補正レンズ駆動部19が接続されてこれらに対して各駆動制御を送出し、かつ信号処理部26、操作部27及びパルスカウンタ28が接続されてこれらからの各信号を入力する。又、コントロール部25は、内部カウンタやCPU本体30を制御するために必要な発振器、アドレスデコーダ等の周辺回路を有する。
このコントロール部25は、ROM32に格納された自動合焦プログラムを実行することにより次の機能を有する。図9は自動合焦プログラムを実行したときの機能をブロック化した図である。合焦判定部35は、図7に示す合焦判定信号(Ef値){=(A−B)/(A+B)}の値が予め設定された合焦の基準となる第1の閾値TH1内であるか否かを判定する。ここで、合焦の基準となる第1の閾値TH1は、複数の対物レンズの各倍率に応じてそれぞれ異なる値に設定され、かつ各対物レンズの各焦点深度に応じた値に設定されている。
合焦カウント部36は、合焦判定部35の判定の結果、合焦判定信号(Ef値)の値が閾値TH1内であれば、当該合焦と判定した回数をカウントして合焦判定回数Nを求める。
合焦回数・確率設定部37は、複数の対物レンズ5の各倍率に応じて予め設定された複数の設定合焦判定回数NfocusをROM32内に格納し、試料Sの観察に用いる対物レンズ5の倍率に応じた設定合焦判定回数NfocusをROM32から選択して設定する。ここで、合焦判定回数は、対物レンズの倍率が高倍率になるに従って大きい値に設定されている。
合焦完了判定部38は、合焦判定部35により合焦判定信号(Ef値)の値が第1の閾値TH1内であると判定すると、合焦カウント部36により求められた合焦判定回数Nが合焦回数・確率設定部37により設定された設定合焦判定回数Nfocusに一致するか否かを判定し、一致していれば、合焦完了と判定する。この場合、合焦完了判定部38は、合焦判定部35により合焦判定を連続してカウントした合焦判定回数Nが予め設定された設定合焦判定回数Nfocusに一致すると、合焦完了と判定する。
次に、上記の如く構成された顕微鏡における自動合焦装置の動作について説明する。
基準光源10がパルス点灯されると、この基準光源10から赤外線レーザ等の可視外光波長領域のレーザ光が出力される。この基準光源10から出力されるレーザ光の強度は、レーザ駆動部11によって制御される。この基準光源10から出力されたレーザ光は、コリメートレンズ12により平行光に整形され、投光側ストッパSTによりその光束径の半分がカットされる。この投光側ストッパSTによりカットされなかったレーザ光は、偏光ビームスプリッタ13に入射し、ここでP偏光成分のみが反射される。
この偏光ビームスプリッタ13で反射されたP偏光成分のレーザ光は、集光レンズ群14により集光され、色収差補正レンズ群15により色収差補正され、λ/4板16により45°偏光されてダイクロイックミラー17に入射し、ここでλ/4板16により偏光されたレーザ光のうち赤外領域の光のみが下方側に反射される。このダイクロイックミラー17で反射されたレーザ光は、ハーフミラー24を透過し、対物レンズ5により試料S上にスポット形状の像を形成する。
試料Sで反射された光束は、当該試料Sにレーザ光を照射する光路と逆光路、すなわち対物レンズ5、ハーフミラー23、ダイクロイックミラー17を介してλ/4板16に入射し、ここで更に45°偏光されてS偏光成分に偏光される。このλ/4板16で偏光された光束は、色収差補正レンズ群15、集光レンズ群14、偏光ビームスプリッタ13を透過し、集光レンズ群20により集光されて受光センサ21上に結像される。
この受光センサ21の各受光素子21a、21bは、それぞれ集光レンズ群20により結像されたスポットを受光し、この受光強度に応じたセンサ信号を出力する。
この受光センサ21から出力されたセンサ信号は、信号処理部26に入力され、当該信号処理部26により積分処理され、この後にディジタル値に変換される。これにより、信号処理部26からは、受光センサ21の各受光素子21a、21bの各範囲別の各受光強度の総和のA信号、B信号が出力される。
コントロール部25は、信号処理部26から出力されたA信号、B信号を入力し、これらA信号、B信号から図6に示す加算信号A+B及び図7に示す合焦判定信号Ef{=(A−B)/(A+B)}を算出する。
一方、試料Sを観察するために照明用光源22から照明光が出力される。この照明光は、レンズ23を通ってハーフミラー24に入射し、ここで下方に反射されて試料Sを上方から照明する。試料Sからの反射光(観察光)は、対物レンズ5、ハーフミラー24、ダイクロイックミラー17を透過して図示しない接眼レンズ、CCD等の撮像装置に入射する。
次に、AF動作について図10に示すAFフローチャートに従って説明する。
試料Sがピント位置から離れている状態(試料Sの像がぼけている状態)において、観察者が操作部27におけるAF開始スイッチを押し操作すると、コントロール部25は、AF開始スイッチが押された(操作された)ことを判断し、次のステップ#1において、内部カウンタの変数である合焦判定回数Nをクリア(N=0)し、次のステップ#2において、レボルバ穴位置検出部8により検出される現在において光軸p1上に配置されている対物レンズ取付位置の情報を取得する。
なお、レボルバ本体6の各対物レンズ取付位置に装着される各対物レンズ5の各倍率は、予め観察者によって設定され、かつその情報は予めコントロール部25に入力されているので、コントロール部25は、レボルバ穴位置検出部8により検出される対物レンズ取付位置の情報を受け取ることにより、当該対物レンズ5の倍率を認識する。
次に、コントロール部25は、ステップ#3において、認識した対物レンズ5の倍率に応じた合焦の基準となる第1の閾値TH1及び受光センサ21での受光量の基準となる第2の閾値TH2をROM32内から選択する。
次に、コントロール部25の合焦回数・確率設定部37は、ステップ#4において、同対物レンズ5の倍率に応じた設定合焦判定回数NfocusをROM32内から選択して設定する。
次に、コントロール部25は、ステップ#5において、ステージ1の現在位置が観察者により予め設定されたAF動作範囲(以下、AF−Zoneと称する)内にあるか否かを判断する。このAF−Zoneは、試料Sの厚みや対物レンズ5のWDを考慮して、ピント位置の存在するZ方向範囲を大まかに決めておくものである。この判断の結果、ステージ1の現在位置がAF−Zone外であれば、コントロール部25は、ステップ#6に移り、合焦用モータ駆動部3に駆動制御指令を送出し、ステージ1を現在位置からAF−Zoneの近い側の端まで移動させる。
ステージ1がAF−Zoneの端部又はAF−Zone内に最初から位置していれば、コントロール部25は、ステップ#7において、ステージ1の移動方向、すなわち合焦位置のサーチ方向を上側に仮設定し、次のステップ#8において、現在位置における信号処理部26から出力されたA信号、B信号を入力し、次のステップ#9において、図6に示す加算信号A+Bを算出する。
次に、コントロール部25は、ステップ#10において、加算信号A+Bが第2の閾値TH2よりも大きいか否かを判断し、この判断の結果、加算信号A+Bが第2の閾値TH2よりも小さければ、試料Sからのレーザ光の戻り光の強度が不十分、すなわち合焦位置から遠い位置に試料Sが存在すると判定し、ステップ#11に移って試料Sのサーチ動作を行う。すなわち、コントロール部25は、既にステップ#7において設定したステージ1の移動方向、例えば上方に向ってステージ1を移動する駆動制御指令を合焦用モータ駆動部3に送出することによりステージ1を上方に移動させながら、信号処理部26から出力された各A信号、B信号を入力してその加算信号A+Bを逐次算出し、第2の閾値TH2以上となる加算信号A+Bとなる範囲を検索する。
この検索において、コントロール部25は、ステップ#12において、観察者によって予め設定されたAF−Zoneの上側リミットにステージ1が到達したか否かを判断し、ステージ1がAF−Zoneの上側リミットに到達したならば、ステップ#13に移ってステージ1の移動方向を反転させる駆動制御指令を合焦用モータ駆動部3に送出する。次に、コントロール部25は、ステップ#14において、合焦用モータ駆動部3にステージ1を下方に移動させる駆動制御指令を送出してステージ1を下方に移動させ、再びステップ#8に戻る。
これにより、設定したAF−Zone内の全範囲で加算信号A+Bが第2の閾値TH2以上となる範囲が検索される。なお、AF−Zone内の全範囲で加算信号A+Bが第2の閾値TH2以上となる範囲が検索されなければ、コントロール部25は、ステップ#11からステップ#15に移り、低反射率の試料Sであることに起因するAF不能と判断し、合焦判定回数Nをクリア(=0)した後、ステップ#16においてAF動作を中断する。
一方、ステップ#10での判断の結果、加算信号A+Bが第2の閾値TH2よりも大きければ、コントロール部25は、試料Sからのレーザ反射光強度が十分あり、試料Sがピント位置近辺にいると判断し、ステップ#17に移って合焦判定信号Ef{=(A−B)/(A+B)}を算出する。
次に、コントロール部25の合焦判定部35は、ステップ#18において、合焦判定信号Efの絶対値が図7に示す第1の閾値TH1内にあるか否かを判断する。この判断では、合焦判定信号Ef値の絶対値が第1の閾値TH1と等しいときも含む。この第1の閾値TH1の範囲は、対物レンズ5の焦点深度から決められる値であるので、合焦判定信号Efの絶対値が第1の閾値TH1内にあれば、合焦状態にあり、第1の閾値TH1外であれば、合焦状態から外れていることになる。
この判断の結果、合焦判定信号Efの絶対値が第1の閾値TH1外であれば、コントロール部25は、ステップ#19に移って合焦判定回数Nをクリア(=0)し、次のステップ#20において合焦判定信号Efが「0」よりも大きいか否か、すなわち合焦判定信号Ef値の符号「+」「−」を判断する。この判断の結果、合焦判定信号Efが「0」よりも大きければ、コントロール部25は、ステップ#21に移ってステージ1の移動方向を下方に設定し、ステップ#14に移って合焦用モータ駆動部3にステージ1を下方に移動させる駆動制御指令を送出してステージ1を下方に移動させ、再びステップ#8に戻る。
又、合焦判定信号Efが「0」よりも小さければ、コントロール部25は、ステップ#22に移ってステージ1の移動方向を上方に設定し、ステップ#14に移って合焦用モータ駆動部3にステージ1を上方に移動させる駆動制御指令を送出してステージ1を上方に移動させ、再びステップ#8に戻る。これにより、合焦の合わせ込み動作が行なわれる。
上記ステップ#18での判断の結果、合焦判定信号Efの絶対値が第1の閾値TH1内であれば、合焦状態にあるので、コントロール部25の合焦カウント部36は、ステップ#23において、合焦判定回数Nをインクリメント(N=N+1)する。
次に、コントロール部25の合焦完了判定部38は、ステップ#24において、合焦カウント部36により求められた合焦判定回数Nが合焦回数・確率設定部37により設定された設定合焦判定回数Nfocusに一致するか否かを判定する。この判定の結果、合焦判定回数Nが設定合焦判定回数Nfocusに一致しなければ、コントロール部25は、再びステップ#8に戻り、合焦判定回数Nが設定合焦判定回数Nfocusに一致するまで、合焦判定回数Nを繰り返しカウントする。そして、例えば合焦判定回数Nが連続して設定合焦判定回数Nfocus繰り返すことにより、合焦判定回数Nが設定合焦判定回数Nfocusに一致すると、合焦完了判定部38は、ステップ#25において、合焦完了と判定する。
次に、対物レンズ5と設定合焦判定回数Nfocusとの関係について図11(a)(b)に示す合焦判定信号Ef値の図を参照して説明する。なお、図11(b)は、同図(a)におけるA部の拡大図である。デーフォーカスに伴なって信号処理部26から出力されるA信号、B信号、加算信号A+B、合焦判定信号Ef{=(A−B)/(A+B)}は、低倍率の対物レンズ5と高倍率の対物レンズ5とでそれぞれデフォーカス軸のレンジが非常に異なる。例えば倍率5倍の対物レンズ5と倍率100倍の対物レンズ5との各合焦判定信号Efのカーブは、同一のデフォーカス上に表すと、図11(a)に示すような各波形形状となる。同図中のA部分の範囲を拡大すると、同図(b)に示すように高倍率の対物レンズ5である程、デフォーカス量に伴う合焦判定信号Efカーブの傾きが大きい事が分かる。
しかるに、同図(b)に示す例えばAF動作時の試料Sの振動、すなわち対物レンズ5に関わらず同レベルのデフォーカス変位dに対して、倍率5倍の対物レンズ5を用いたときの合焦判定信号Ef値の変動は僅かなe1である。これに対して倍率100倍の対物レンズ5を用いたときの合焦判定信号Ef値の変動はe2に激変する。
このような事から、実際のAF動作時、合焦判定の基準となる第1の閾値TH1内に入る合焦判定信号Ef値を判定する際、微少な振動による合焦判定信号Ef値の変動が殆どない低倍率の対物レンズ5と、振動により大きく変動してしまう高倍率の対物レンズ5とでの合焦判定の各設定合焦判定回数Nfocusをそれぞれ異なる値とすることにより有効なAF安定化の手法とすることができる。
すなわち、低倍率の対物レンズ5では振動の影響がほぼないため第1の閾値TH1内の合焦判定信号Ef値を検出したステージ1の位置を合焦位置と判断してよい。これにより、低倍率の対物レンズ5を装着した場合、設定合焦判定回数Nfocusを例えば「1」とすることで、不要な繰り返し判定を省き、AFスピードを向上できる。これに対して高倍率の対物レンズ5を装着したときは、振動の影響による合焦判定信号Ef値の変動を考慮し、設定合焦判定回数Nfocusを低倍率の対物レンズ5を装着した場合よりも多くして例えば「10」とすることで、合焦位置以外でのAF動作終了を回避し、低倍率の対物レンズ5を装着したときと同様な精度で、より正確なピント合わせを行うことが可能である。
このように上記第1の実施の形態によれば、各対物レンズ5の各倍率によって個別に設定されている受光センサ21での受光量の基準となる定数の第2の閾値TH2と加算信号A+Bとの大小関係から試料Sが合焦位置付近にあるか否かを判別してラフにピント合わせ込みを行い、合焦の基準となる第1の閾値TH1と合焦判定信号Ef値との大小関係から試料Sが合焦位置にあるか否かを判別し、合焦位置にあることの判別を各対物レンズ5の各倍率に応じて設定される設定合焦判定回数Nfocusが連続した場合に初めて合焦完了と判断する。
これにより、現在の対物レンズ5の倍率における最も効率の良いAF動作と、安定した性能を得ることができる。特に対物レンズ5の倍率に応じた設定合焦判定回数Nfocusに基づいて最終的なピント合わせ込み動作を行うので、対物レンズ5の倍率に関わらす、常に安定したAF精度を得ることが可能となる。又、対物レンズ5の倍率に応じた設定合焦判定回数Nfocusによって最適な合焦判定を行うので、低倍率の対物レンズ5を装着した場合の設定合焦判定回数Nfocusを少なく設定することで、低倍率の対物レンズ5を装着した場合の合焦スピードを速くできる。
なお、上記第1の実施の形態では、試料Sに対する合焦完了の判定を、合焦判定信号Ef値が第1の閾値TH1内となる判定を連続して設定合焦判定回数Nfocusとなることで行っているが、かかる合焦完了の判定を、例えば所定の合焦判定回数に対する設定合焦判定回数Nfocusの割合、すなわち合焦判定確率を求め、この確率が所定の確率を上回った場合に試料Sが合焦位置にあると判断するように構成としても同様の効果を得ることができる。
又、上記第1の実施の形態では、試料Sと対物レンズ5との間の距離の調節は、ステージ1の駆動によって行っているが、例えば対物レンズ5を装着するレボルバ本体6を上下駆動する方式等に変更しても、全く同様の効果が得られる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。なお、顕微鏡の構成は、上記第1の実施の形態と同一構成であるので、図1及び図8を参照する。本実施の形態の顕微鏡は、上記第1の実施の形態の顕微鏡のようなワンショットAFではなく、合焦を行った後、引き続き試料Sに対する合焦位置を追従し続ける、いわゆるリアルタイムAFの自動合焦装置を搭載する。従って、初回に合焦を行うまでの動作は、上記第1の実施の形態と同様であるので、その詳細な説明を省略する。
ROM32には、図7に示す合焦の基準となる第1の閾値TH1、図6に示す受光センサ21での受光量の基準となる第2の閾値TH2、対物レンズ5の各倍率に応じて予め設定された複数の設定合焦判定回数Nfocus、各対物レンズ5の各倍率に応じて予め設定された複数の設定非合焦判定回数Nretryが格納されている。これら設定非合焦判定回数Nretryは、対物レンズ5の倍率が高倍になるに従って大きい値に設定されている。
図12はコントロール部25がROM32に格納された自動合焦プログラムを実行したときの機能をブロック化した図である。合焦判定部35は、合焦完了判定部38により合焦完了と判定した後、合焦判定信号Ef{=(A−B)/(A+B)}の値が予め設定された第1の閾値TH1内であるか否かを判定する。
非合焦カウント部40は、合焦判定部35の判定の結果、合焦判定信号Efの値が第1の閾値TH1外であれば、合焦位置から外れていると判定して当該非合焦判定した回数をカウントして非合焦判定回数Mを求める。
非合焦回数・確率設定部41は、試料Sの観察に用いる対物レンズ5の倍率に応じた設定非合焦判定回数NretryをROM32から読み取り、試料Sの観察に用いる対物レンズ5の倍率に応じた設定非合焦判定回数Nretryを設定する。
合焦動作再開判定部42は、合焦判定部35により合焦判定信号Efの値が第1の閾値TH1外であると判定すると、非合焦カウント部40により求められた非合焦判定回数Mが非合焦回数・確率設定部41により設定された設定非合焦判定回数Nretryに一致するか否かを判定し、一致すれば、焦準制御機構を構成する合焦用モータ駆動部3に対して駆動制御指令を発して合焦動作を再開する。この場合、合焦動作再開判定部42は、合焦判定部35により非合焦判定を連続して設定非合焦判定回数Nretryだけカウントしたときに、合焦動作を再開する。
次に、AF動作について図13に示すAFフローチャートに従って説明する。
試料Sがピント位置から離れている状態(試料Sの像がぼけている状態)において、観察者が操作部27におけるAF開始スイッチを押し操作すると、コントロール部25は、AF開始スイッチの押された(操作された)ことを判断し、次のステップ#1において、内部カウンタの変数である合焦判定回数Nをクリア(N=0)し、次のステップ#2において、レボルバ穴位置検出部8により検出される現在において光軸p1上に配置されている対物レンズ取付位置の情報を受け取て、光軸p1上に配置されている対物レンズ5の倍率を認識する。
次に、コントロール部25は、ステップ#3において、認識した対物レンズ5の倍率に応じた合焦の基準となる第1の閾値TH1及び受光センサ21での受光量の基準となる第2の閾値TH2をROM32内から選択する。
次に、コントロール部25の合焦回数・確率設定部37は、ステップ#30において、同対物レンズ5の倍率に応じた設定合焦判定回数NfocusをROM32内から選択すると共に、非合焦回数・確率設定部41は、対物レンズ5の倍率に応じた設定非合焦判定回数NretryをROM32から読み取り、当該対物レンズ5の倍率に応じた設定非合焦判定回数Nretryを設定する。
この後、コントロール部25は、ステップ#31において、上記第1の実施の形態と同様のシーケンスによってワンショットAF動作を行う。すなわち、受光センサ21での受光量の基準となる第2の閾値TH2と加算信号A+Bとの大小関係から試料Sが合焦位置付近(AF−Zone内)にあるか否かを判別してラフにピント合わせ込みを行い、合焦の基準となる第1の閾値TH1と合焦判定信号Ef値との大小関係から試料Sが合焦位置にあるか否かを判別し、合焦位置にあることの判別を各対物レンズ5の各倍率に応じて設定される設定合焦判定回数Nfocus連続した場合に初めて合焦完了と判断する。
試料Sに対する合焦が完了した後、コントロール部25は、ステップ#32において、試料Sに対する合焦位置を追従する追従モードに移行する。以下、追従モードについて説明する。
先ず、コントロール部25は、ステップ#33において、内部カウンタの変数である非合焦判定回数Mをクリア(M=0)する。
次に、コントロール部25は、ステップ#34において、観察者がAFを停止するか否かを確認し、AFを停止しなければ、次のステップ#35において、信号処理部26から出力されたA信号、B信号を入力し、次のステップ#36において、図6に示す加算信号A+Bを算出する。
次に、コントロール部25は、ステップ#37において、加算信号A+Bが第2の閾値TH2よりも大きいか否かを判断する。なお、追従モード中、試料Sの移動等により各A信号、B信号のレベルが低下し、加算信号A+Bが第2の閾値TH2を下回った場合、コントロール部25は、ステップ#37からステップ#38に移り、ウエイト状態(AF動作停止状態)とし、再びステップ#34に戻り、ステップ#34〜#37を繰り返す。これにより、加算信号A+Bが第2の閾値TH2よりも大きくなるまで、ピント合わせを行う。
上記ステップ#37において、例えば試料Sの位置が観察光の光軸に直交する面内で移動し、戻り光が上がる等して加算信号A+Bが第2の閾値TH2よりも大きいと判断すると、コントロール部25は、ステップ#37からステップ#39に移り、A信号、B信号から合焦判定信号Ef値を算出する。次に、合焦判定部35は、ステップ#40において、合焦判定信号Ef値の絶対値が第1の閾値TH1内にあるか否かを判断する。この判断では、合焦判定信号Ef値の絶対値が第1の閾値TH1と等しいときも含む。
この判断の結果、合焦判定信号Ef値の絶対値が第1の閾値TH1内にあれば、コントロール部25は、試料Sが合焦位置にあると判断し、ステップ#41に移って非合焦判定回数Mをクリア(M=0)し、ステップ#34に戻ってステップ#40までのシーケンスを繰り返す。
これに対して合焦判定信号Ef値の絶対値が第1の閾値TH1外にあれば、コントロール部25は、試料Sが合焦位置からずれたと判断し、これにより非合焦カウント部40は、ステップ#42において、非合焦判定回数Mをインクリメント(M=M+1)する。
次に、合焦動作再開判定部42は、ステップ#43において、非合焦判定回数Mが非合焦回数・確率設定部41により設定された設定非合焦判定回数Nretryに一致するか否かを判定する。この判定の結果、非合焦判定回数Mが設定非合焦判定回数Nretryに一致していなければ、コントロール部25は、再びステップ#34に戻り、ステップ#34に戻ってステップ#40までのシーケンスを繰り返す。そして、再び合焦判定信号Ef値の絶対値が第1の閾値TH1外にあれば、非合焦カウント部40は、ステップ#42において、非合焦判定回数Mをインクリメント(M=M+1)する。このとき、ステージ1は、上下方向に移動しない。
上記ステップ#43の判定の結果、非合焦判定回数Mが設定非合焦判定回数Nretryに一致すれば、コントロール部25は、試料Sが合焦位置に存在しないと判断する。これにより、合焦動作再開判定部42は、ステップ#44において、合焦判定信号Ef値が「0」以上であるか否か、すなわち合焦判定信号Ef値の符号「+」「−」を判断する。この判断の結果、合焦判定信号Efが「0」よりも大きければ、コントロール部25は、ステップ#45に移ってステージ1の移動方向を下方に設定し、ステップ#47に移って合焦用モータ駆動部3にステージ1を下方に移動再開させる駆動制御指令を送出してステージ1を下方に移動させ、再びステップ#34に戻る。又、合焦判定信号Efが「0」よりも小さければ、コントロール部25は、ステップ#46に移ってステージ1の移動方向を上方に設定し、ステップ#47に移って合焦用モータ駆動部3にステージ1を上方に移動再開させる駆動制御指令を送出してステージ1を上方に移動させ、再びステップ#34に戻る。
このように非合焦判定回数Mが設定非合焦判定回数Nretryと合致するまで繰り返して実行し、設定非合焦判定回数Nretry連続して合焦判定信号Ef値が第1の閾値TH2を上回った場合、すなわち、所定値以上の確率で非合焦とみなされた場合、試料Sが合焦位置にないと判断し、合焦動作を再開する。
なお、上記一連の追従モードAF中に、例えば観察者によりAFが中断された場合、コントロール部25は、ステップ#34で当該AFの中断を判断し、その時点でのステージ1の駆動方向をクリアし(ステップ#48)、ステージ1を停止させ、AF動作を終了する(ステップ#49)。この後、再びAF動作を行う場合は、ステップ#1からのシーケンスとなる。
このように一旦、試料Sを合焦位置に移動させた後、各対物レンズ5の倍率によって個別に設定される第1の閾値TH1と合焦判定信号Ef値との大小関係を判定することによって試料Sが合焦位置から外れたか否かを判断し、この判断回数が設定非合焦判定回数Nretry回連続して発生した場合に、始めて再合焦動作を再開することで、追従動作中のAF性能の安定化を可能にしている。
以下、対物レンズ5と設定非合焦判定回数Nretryとの関係について図11(a)(b)を参照して説明する。試料Sが合焦位置にある場合、A信号、B信号から算出される合焦判定信号Ef値の絶対値は第1の閾値TH1内に収まり、「0」付近の値となっている。このとき例えば外部からの僅かな振動や試料Sを移動した際に発生する振動により合焦判定信号Ef値に与える影響は、上記第1の実施の形態において説明したのと同様に、高倍率の対物レンズ5である程、変動が激しい。従って、高倍率の対物レンズ5が装着されている場合、試料Sが合焦位置にあっても合焦判定信号Ef値が瞬間的に第1の閾値TH1から外れ、合焦位置を外れたと判断されることがある。
この検出結果に基づき直ちに再AF動作を行った場合、合焦動作が発振してしまう現象(ハンチングと呼ぶ)が発生し、AF完了に時間がかかるか、若しくは動作不安定に陥る場合が少なくない。これに対して低倍率の対物レンズ5を装着した場合では、振動による合焦判定信号Ef値の変動がごく僅かであるので、第1の閾値TH1から外れる合焦判定信号Ef値が検出された場合、それは振動ではなく試料Sの移動による合焦位置のズレであると言える。
このような事から上記第2の実施の形態では、合焦ずれの基準となる第1の閾値TH1から外れる合焦判定信号Ef値を判定する際、微少な振動による合焦判定信号Ef値の変動が殆どない低倍率の対物レンズ5と、振動により大きく変動してしまう高倍率の対物レンズ5とでの合焦ずれの判定の各設定非合焦判定回数Nretryを異なる値に設定することで、AF追従動作の性能向上が図れる。
すなわち、低倍率の対物レンズ5の装着時では、振動の影響がほぼ無いので、第1の閾値TH1から外れる合焦判定信号Ef値を検出したステージ1の位置が合焦位置と判断しても問題ない。従って、設定非合焦判定回数Nretryは例えば「1」に設定し、不要な繰り返し判定を省くことで追従動作のレスポンスを向上できる。
これに対して高倍率の対物レンズ5の装着時には、振動の影響による合焦判定信号Ef値の変動を考慮し、設定非合焦判定回数Nretryを例えば「10」に設定することで、追従モード中の振動によるハンチング等のAF誤動作を回避し、安定した追従性能を確保することが可能である。
このように上記第2の実施の形態によれば、AF追従動作中に、対物レンズ5の倍率に応じた設定非合焦判定回数Nretryに基づいて再AF動作を行うので、対物レンズ5の倍率に関わらす、常に安定した追従動作が可能となる。又、対物レンズ5の倍率に応じて最適な設定非合焦判定回数Nretryを設定するので、例えば低倍率の対物レンズ5の設定非合焦判定回数Nretryを少ない回数に設定でき、追従動作のレスポンスを向上できる。
なお、上記第2の実施の形態では、試料Sが合焦位置を外れたという判定を、合焦判定信号Ef値が第1の閾値TH1から外れるという判定が連続し、設定非合焦判定回数Nretryになることで行うが、これを例えば設定非合焦判定回数Nretryに対する非合焦判定回数Mの割合、すなわち非合焦判定確率を求め、この非合焦判定確率が所定の値を上回った場合に、再AF動作を行うような構成にしても同様の効果を得ることができる。
又、試料Sと対物レンズ5と間の距離の調節は、ステージ1の駆動によって行っているが、上記第1の実施の形態と同様に、例えば対物レンズ5を装着するレボルバ本体6を上下駆動する方式等に変更しても、全く同様の効果が得られる。
上記第1及び第2の実施の形態では、レーザ光を試料Sに照射し、その反射光の状態に基づいてAF動作を行う、いわゆるアクティブ型AFについて説明を行ったが、試料Sの像をCCDラインセンサ等で検出し、コントラスト値に基づいてAF動作を行う、いわゆるパッシブ型AFにしても、その効果は同様である。
上記第1及び第2の実施の形態では、合焦位置付近か否かの判断に使用した第2の閾値TH2の値は、レーザ光の強度(加算信号A+B)に対して設定したが、これに限らず、例えばコントラスト方式などのパッシブ型AFの場合、CCDラインセンサ等で検出された試料Sの像のコントラストの総和値に対して設定すれば、同様のシーケンスにより上記効果と同様の効果を奏することができる。
又、上記第1及び第2の実施の形態では、共にAF開始、AF停止等の操作を操作部27に設けられた各スイッチによりおこなっているが、これを例えばコントロール部25に接続したホストパーソナルコンピュータ(HostPC)による通信コマンドにより設定する方式をとっても、その効果になんら変わりはない。
なお、上述した実施の形態において、対物レンズ5の検出手段は、レボルバ穴位置検出部8により対物レンズ5の取り付け位置の情報を検出し、その情報を基に当該対物レンズ5の倍率を認識していたが、これに限られるものでなく、例えば、予めCPU内に記憶されている各レボルバ穴に装着された対物レンズ5と操作部からのレボルバ穴指示情報とに基づいて現在の対物レンズ倍率を認識するように構成することもできる。
S:試料、1:ステージ、2:焦準用モータ、3:合焦用モータ駆動部、4:電動レボルバ、5:対物レンズ、6:レボルバ本体、7:レボルバ用モータ、8:レボルバ穴位置検出部、9:レボルバ用モータ駆動部、10:基準光源、11:レーザ駆動部、12:コリメートレンズ、ST:投光側ストッパ、13:偏光ビームスプリッタ、14:集光レンズ群、15:色収差補正レンズ群、16:λ/4板、17:ダイクロイックミラー、18:色収差補正レンズ駆動用モータ、19:色収差補正レンズ駆動部、20:集光レンズ群、21:受光センサ、21a,21b:受光素子、22:照明用光源、23:レンズ、24:ハーフミラー、25:コントロール部、26:信号処理部、27:操作部、28:パルスカウンタ、29:JOGエンコーダ、30:CPU本体、31:バス、32:ROM、33:RAM、34:I/Oポート、35:合焦判定部、36:合焦カウント部、37:合焦回数・確率設定部、38:合焦完了判定部、40:非合焦カウント部、41:非合焦回数・確率設定部、42:合焦動作再開判定部。
Claims (17)
- 試料と対物レンズを有する観察光学系との間隔を変化させながら前記試料からの光束を前記観察光学系を通して受光素子で受光し、この受光素子から出力される受光量に応じた検出信号に基づいて合焦判定信号を求め、この合焦判定信号に基づいて前記試料に対して前記観察光学系を合焦させる自動合焦方法において、
前記合焦判定信号の値が予め設定された合焦の基準となる閾値内であるか否かを判定する合焦判定動作を行い、前記合焦判定信号の値が前記閾値内であれば、当該合焦判定した回数をカウントして合焦判定回数又は当該合焦判定回数の確率を求め、これら合焦判定回数又は合焦判定回数の確率が前記対物レンズの倍率に応じて予め設定された設定合焦判定回数又は設定合焦判定回数の確率に一致すると、合焦完了と判定することを特徴とする自動合焦方法。 - 前記合焦完了と判定した後、前記合焦判定信号の値が予め設定された前記閾値内であるか否かの前記合焦判定動作を行い、前記合焦判定信号の値が前記閾値外であれば、当該非合焦判定した回数をカウントして非合焦判定回数又は当該非合焦判定回数の確率を求め、これら非合焦判定回数又は非合焦判定回数の確率が前記対物レンズの倍率に応じて予め設定された設定非合焦回数又は設定非合焦判定回数の確率に一致すると、前記試料と前記観察光学系との間隔を相互に変化させて合焦動作を再開することを特徴とする請求項1記載の自動合焦方法。
- 前記閾値は、前記対物レンズの倍率に応じて設定されることを特徴とする請求項1記載の自動合焦方法。
- 前記閾値は、前記対物レンズの焦点深度に応じて設定されることを特徴とする請求項1記載の自動合焦方法。
- 前記設定合焦判定回数又は前記設定合焦判定回数の確率は、それぞれ前記対物レンズの倍率が高倍になるに従って大きい値に設定されることを特徴とする請求項1記載の自動合焦方法。
- 前記設定非合焦判定回数又は前記設定非合焦判定回数の確率は、前記対物レンズの倍率が高倍になるに従って大きい値に設定されることを特徴とする請求項2記載の自動合焦方法。
- 前記合焦判定を連続してカウントして当該合焦判定回数が前記設定合焦判定回数に一致すると、前記合焦完了と判定することを特徴とする請求項1記載の自動合焦方法。
- 前記非合焦判定を連続してカウントして当該非合焦判定回数が前記設定非合焦判定回数に一致すると、前記合焦動作を再開することを特徴とする請求項2記載の自動合焦方法。
- 試料と対物レンズを有する観察光学系との間隔を焦準制御機構により変化させながら前記試料からの光束を前記観察光学系を通して受光素子で受光し、この受光素子から出力される受光量に応じた検出信号に基づいて合焦判定信号を求め、この合焦判定信号に基づいて前記試料に対して前記観察光学系を合焦させる自動合焦装置において、
前記対物レンズの倍率を検出する対物レンズ検出手段と、
前記合焦判定信号の値が予め設定された合焦の基準となる閾値内であるか否かを判定する合焦判定部と、
前記合焦判定部の判定の結果、前記合焦判定信号の値が前記閾値内であれば、当該合焦判定した回数をカウントして合焦判定回数又は当該合焦判定回数の確率を求める合焦カウント部と、
複数の前記対物レンズの各倍率に応じて予め設定された複数の設定合焦判定回数又は設定合焦判定回数の確率を保持し、前記試料の観察に用いる前記対物レンズの倍率に応じた前記合焦判定回数又は前記合焦判定回数の確率を設定する合焦回数・確率設定部と、
前記合焦判定部により前記合焦判定信号の値が前記閾値内であると判定すると、前記合焦カウント部により求められた前記合焦判定回数又は前記合焦判定回数の確率が前記合焦回数・確率設定部により設定された前記設定合焦判定回数又は前記設定合焦判定回数の確率に一致するか否かを判定し、一致していれば、合焦完了と判定する合焦完了判定部と、
を具備したことを特徴とする自動合焦装置。 - 前記合焦完了判定部により合焦完了と判定した後、前記合焦判定部は、前記合焦判定信号の値が予め設定された閾値内であるか否かを判定し、
前記合焦判定部の判定の結果、前記合焦判定信号の値が前記閾値外であれば、非焦判定した回数をカウントして非合焦判定回数又は当該非合焦判定回数の確率を求める非合焦カウント部と、
複数の前記対物レンズの各倍率に応じて予め設定された複数の設定非合焦判定回数又は設定非合焦判定回数の確率を保持し、前記試料の観察に用いる前記対物レンズの倍率に応じた前記設定非合焦判定回数又は前記設定非合焦判定回数の確率を設定する非合焦回数・確率設定部と、
前記非合焦判定部により前記合焦判定信号の値が前記閾値外であると判定すると、前記非合焦カウント部により求められた前記非合焦判定回数又は前記非合焦判定回数の確率が前記非合焦回数・確率設定部により設定された前記設定非合焦判定回数又は前記設定非合焦判定回数の確率に一致するか否かを判定し、一致すれば、前記焦準制御機構を動作させて合焦動作を再開する合焦動作再開判定部と、
を有することを特徴とする請求項9記載の自動合焦装置。 - 前記合焦回数・確率設定部は、前記対物レンズの倍率が高倍になるに従って大きい値となる前記設定合焦判定回数又は前記設定合焦判定回数の確率を保持することを特徴とする請求項9記載の自動合焦装置。
- 前記非合焦回数・確率設定部は、前記対物レンズの倍率が高倍になるに従って大きい値となる前記設定非合焦判定回数又は前記設定非合焦判定回数の確率を設定することを特徴とする請求項10記載の自動合焦装置。
- 前記合焦完了判定部は、前記合焦判定部により前記合焦判定を連続してカウントした前記合焦判定回数が予め設定された前記合焦判定回数に一致すると、前記合焦完了と判定することを特徴とする請求項9記載の自動合焦装置。
- 前記合焦動作再開判定部は、前記合焦判定部により前記非合焦判定を連続してカウントした前記非合焦判定回数が前記設定非合焦判定回数に一致すると、前記合焦動作を再開することを特徴とする請求項10記載の自動合焦装置。
- 前記合焦判定部は、前記対物レンズの倍率に応じて設定された前記閾値を用いることを特徴とする請求項9記載の自動合焦装置。
- 前記合焦判定部は、前記対物レンズの焦点深度に応じて設定された前記閾値を用いることを特徴とする請求項9記載の自動合焦装置。
- 請求項9乃至16記載の自動合焦装置は、前記試料からの光束を前記観察光学系を通すことにより拡大した前記試料の像を取得する顕微鏡に備えられる。
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