JPS61162067U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61162067U JPS61162067U JP4493385U JP4493385U JPS61162067U JP S61162067 U JPS61162067 U JP S61162067U JP 4493385 U JP4493385 U JP 4493385U JP 4493385 U JP4493385 U JP 4493385U JP S61162067 U JPS61162067 U JP S61162067U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductivity type
- substrate
- buried layer
- electrode contact
- contact portion
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
- Element Separation (AREA)
Description
第1図は、本考案による素子の構成を示す概念
図、第2図は、一般的なドリフト領域付横形MO
SFETの構成を示す概念図、第3図は、ドリフ
ト領域付横形MOSFETの特性例を示す線図、
第4図は、従来例によるドリフト領域付横形M
OSFETの構成を示す概念図、第5図は、従来
例によるドリフト領域付横形MOSFETの構
成を示す概念図である。 1……ドレイン電極、3……ドリフト領域、4
……MOSゲート、5……チヤネル部、6……半
導体基板、10……基板コンタクト部、11……
シールド領域、12……多結晶支持体領域、13
……分離絶縁用酸化膜。
図、第2図は、一般的なドリフト領域付横形MO
SFETの構成を示す概念図、第3図は、ドリフ
ト領域付横形MOSFETの特性例を示す線図、
第4図は、従来例によるドリフト領域付横形M
OSFETの構成を示す概念図、第5図は、従来
例によるドリフト領域付横形MOSFETの構
成を示す概念図である。 1……ドレイン電極、3……ドリフト領域、4
……MOSゲート、5……チヤネル部、6……半
導体基板、10……基板コンタクト部、11……
シールド領域、12……多結晶支持体領域、13
……分離絶縁用酸化膜。
Claims (1)
- 第一導電型の半導体基板上に形成されたMOS
ゲートと、基板と反対の第二導電型のソース領域
と、ソース電極コンタクト部と、基板コンタクト
部とゲート下付近の第一導電型の部分の表面部の
チヤネル部と、ドレイン電極コンタクト部と、ド
レイン電極コンタクト部とチヤネル部を接続して
いる第二導電型のドリフト領域からなる横形電界
効果トランジスタにおいて、当素子を、基板と同
導電型の低抵抗埋込層を有する誘電体分離基板に
作製し、埋込み層と、ソース領域とを側壁部埋込
層を介して電気的に接続したことを特徴とするM
OS電界効果形トランジスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4493385U JPS61162067U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4493385U JPS61162067U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61162067U true JPS61162067U (ja) | 1986-10-07 |
Family
ID=30557967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4493385U Pending JPS61162067U (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61162067U (ja) |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP4493385U patent/JPS61162067U/ja active Pending