JPS61142781A - セラミツク圧電材料 - Google Patents
セラミツク圧電材料Info
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- JPS61142781A JPS61142781A JP59265603A JP26560384A JPS61142781A JP S61142781 A JPS61142781 A JP S61142781A JP 59265603 A JP59265603 A JP 59265603A JP 26560384 A JP26560384 A JP 26560384A JP S61142781 A JPS61142781 A JP S61142781A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
- C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
- C04B35/493—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT containing also other lead compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
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- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明ｕ Ｐｂ（Ｎｉ ７ Ｎｌ） １％ ）０１−
ｐｂ’ｒ１ｏ１−ＰｂＺｒＯｍ！基本組成とする三成分
固溶体よシなる、各種アクチュエータに使用して好適な
セラミック圧電材料に関するものである。
ｐｂ’ｒ１ｏ１−ＰｂＺｒＯｍ！基本組成とする三成分
固溶体よシなる、各種アクチュエータに使用して好適な
セラミック圧電材料に関するものである。
アクチュエータに用いるセラミック圧電体くは、圧電定
数が高いこと、キュリ一温度が高いこと、機械的強度に
優れていること等の緒特性が要求される。近年、これに
適するセラミック材料として、Ｐｂ（Ｎｉ ｌＡ Ｎｂ
１Ａ）０１−ＰｂＴｉＯｓ−Ｐ ｂ Ｚ ｒ Ｏｓの三
成分固溶体よりなるものが注目されており、これについ
て更に上記の緒特性を改良すべく多くの研究がなされて
いる。例えば、特公昭４６−４３０６２号にかいては、
上記三成分固溶体よシなる圧電材料にＺｒ５１．０４を
微量添加するととＫより、電気機械結合係数および−機
械的強度を向上せしめたものが提案されている。
数が高いこと、キュリ一温度が高いこと、機械的強度に
優れていること等の緒特性が要求される。近年、これに
適するセラミック材料として、Ｐｂ（Ｎｉ ｌＡ Ｎｂ
１Ａ）０１−ＰｂＴｉＯｓ−Ｐ ｂ Ｚ ｒ Ｏｓの三
成分固溶体よりなるものが注目されており、これについ
て更に上記の緒特性を改良すべく多くの研究がなされて
いる。例えば、特公昭４６−４３０６２号にかいては、
上記三成分固溶体よシなる圧電材料にＺｒ５１．０４を
微量添加するととＫより、電気機械結合係数および−機
械的強度を向上せしめたものが提案されている。
セラミック圧電材料の強度の向上は、薄板状のセラミッ
ク圧電体を超音波振動子や回路素子等として用いる場合
に特に要求される。しかしながら、薄板状のセラミック
圧電体を多数積層してアクチュエータとして使用する場
合には、機械的強度の向上よシはむしろ電界印加時のセ
ラミック圧電体の変位量の増大、すなわち圧電材料の圧
電定数の可及的向上が望まれている。
ク圧電体を超音波振動子や回路素子等として用いる場合
に特に要求される。しかしながら、薄板状のセラミック
圧電体を多数積層してアクチュエータとして使用する場
合には、機械的強度の向上よシはむしろ電界印加時のセ
ラミック圧電体の変位量の増大、すなわち圧電材料の圧
電定数の可及的向上が望まれている。
本発明ハＰｂ（Ｎｊ−”／ Ｎｂ ”／、 ）Ｏｓ −
ＰｂＴｉＯｓ−Ｐ ｔ）Ｚ ｒ Ｏｓを基本組成とする
三成分固溶体よシなるセラミック圧電材料において、そ
の圧電定数を大幅に向上せしめ、もって上記圧電材料を
用いたアクチュエータの作動を向上せしめることを目的
とする。
ＰｂＴｉＯｓ−Ｐ ｔ）Ｚ ｒ Ｏｓを基本組成とする
三成分固溶体よシなるセラミック圧電材料において、そ
の圧電定数を大幅に向上せしめ、もって上記圧電材料を
用いたアクチュエータの作動を向上せしめることを目的
とする。
本発明の圧電材料は、Ｐ １） （Ｎ １ｑＮ １）
”／’ｓ ） ０ｘ−Ｐ’ｔ）ＴｉＯｍ ＰｂＺｒＯ
ｓ の三成分固溶体を基本組成とし、該基本組成が添
付三角組成図の、点Ａ（Ｐｌ）（Ｎｊ−１ΔＮｌｌイ）
Ｏｎ ｌ ＯモＩＶ ９ｇ、ＰｂＴｉ０ｍ４＋３モＡ
／＊、ＰｂＺｒＯｓ ４２ モ／Ｉ’ ＊ ）、点Ｂ（
Ｐｂ（ＮｉｌイＮｌｌイ）０喜 １７モ〃％、ｐ ｂ
Ｔ ’−Ｏｍ３０モＡ１５１、Ｐ ｂＺｒ Ｏｓ ５３
モＡ／ ９６ ）、点Ｃ（ＰＩ）（Ｎｉ、１ΔＮｂ！
に）Ｏａｓ１モル％、Ｐ ｂＴ １０ ＊２４−１！：
Ａ１５１１ｉ、Ｐ ｂｚｒ Ｏｘ ２５−ｅ Ａ／％）
、点Ｄ（Ｐｂ（ＮｉｌイＮｂｓ／ ）０１ ５０ モｔ
ｖ＊、Ｐ ｂ Ｔ １０ ｓ３５モＡ／＊、Ｐ ’ｂｚ
ｒ ｏｍ ｌ ５ モＩｖ ５Ｍ ）、点Ｅ（Ｐｂ（Ｎ
ｉｌイＮｂ”／）Ｏｓ ３１モＮ５６、ＰｂＴｉ、０
ｘ４８−Ｙ：ｌｖ％、ＰＩ）ＺｒＯｓ ２１−ｔ ／Ｉ
／ｓ ） テ囲’ｔ、 ｈｈ範囲であり、かつ添加物と
して、５ｂｔＯｓ、Ｎ１ｈｏＳ１Ｂｊ−＊Ｏｓ、Ｔａｇ
ｓ 、Ｌａｇ Ｏｓ、Ｗｏｅ ノ少なくとも一種を、
基本組成に対して合計でＯ，１〜２．０重量％添加して
なるものである。
”／’ｓ ） ０ｘ−Ｐ’ｔ）ＴｉＯｍ ＰｂＺｒＯ
ｓ の三成分固溶体を基本組成とし、該基本組成が添
付三角組成図の、点Ａ（Ｐｌ）（Ｎｊ−１ΔＮｌｌイ）
Ｏｎ ｌ ＯモＩＶ ９ｇ、ＰｂＴｉ０ｍ４＋３モＡ
／＊、ＰｂＺｒＯｓ ４２ モ／Ｉ’ ＊ ）、点Ｂ（
Ｐｂ（ＮｉｌイＮｌｌイ）０喜 １７モ〃％、ｐ ｂ
Ｔ ’−Ｏｍ３０モＡ１５１、Ｐ ｂＺｒ Ｏｓ ５３
モＡ／ ９６ ）、点Ｃ（ＰＩ）（Ｎｉ、１ΔＮｂ！
に）Ｏａｓ１モル％、Ｐ ｂＴ １０ ＊２４−１！：
Ａ１５１１ｉ、Ｐ ｂｚｒ Ｏｘ ２５−ｅ Ａ／％）
、点Ｄ（Ｐｂ（ＮｉｌイＮｂｓ／ ）０１ ５０ モｔ
ｖ＊、Ｐ ｂ Ｔ １０ ｓ３５モＡ／＊、Ｐ ’ｂｚ
ｒ ｏｍ ｌ ５ モＩｖ ５Ｍ ）、点Ｅ（Ｐｂ（Ｎ
ｉｌイＮｂ”／）Ｏｓ ３１モＮ５６、ＰｂＴｉ、０
ｘ４８−Ｙ：ｌｖ％、ＰＩ）ＺｒＯｓ ２１−ｔ ／Ｉ
／ｓ ） テ囲’ｔ、 ｈｈ範囲であり、かつ添加物と
して、５ｂｔＯｓ、Ｎ１ｈｏＳ１Ｂｊ−＊Ｏｓ、Ｔａｇ
ｓ 、Ｌａｇ Ｏｓ、Ｗｏｅ ノ少なくとも一種を、
基本組成に対して合計でＯ，１〜２．０重量％添加して
なるものである。
上記組成になるセラミックス圧電材料は、そきな変位量
を得ることができるから、車両のインジェクタ作動用圧
電体等の各櫨アクチュエータ用圧電体に使用して有効で
ある。
を得ることができるから、車両のインジェクタ作動用圧
電体等の各櫨アクチュエータ用圧電体に使用して有効で
ある。
本発明のセラミック圧電材料は例えば粉末冶金法により
製造する。すなわち、ＰｂＯ，、’ｒ１ｏｚ、Ｚ ｒ
Ｏｚ、Ｎｉ０１Ｎ ’ｂｓ Ｏｓ、 Ｓ ｂｘ Ｏｓ、
Ｂｉ、ｘ Ｏｎ １Ｔａｇｓ、Ｌａｍ Ｏｓ 、 ＷＯ
ｓ等の原料を所定の割合で秤量し、これを湿式ボールミ
ル等によって混合する。この混合物を乾燥後、’ｙｏｏ
〜９００°Ｃで３〜１０時間仮焼し、これを再びボール
ミルで混合した後乾燥して調整粉末を得る。調整粉末に
水あるいはポリビニμアｐコーμ等の粘着剤を添加して
３００〜ｌ ＯＯＯＫ４／ ｃｉＪの圧力で加圧成形後
、１２００〜１３００°Ｃで１〜３時間焼成を行ない、
外形を研磨して直径５■、長さ８ＩＩ＠の円柱体とする
。
製造する。すなわち、ＰｂＯ，、’ｒ１ｏｚ、Ｚ ｒ
Ｏｚ、Ｎｉ０１Ｎ ’ｂｓ Ｏｓ、 Ｓ ｂｘ Ｏｓ、
Ｂｉ、ｘ Ｏｎ １Ｔａｇｓ、Ｌａｍ Ｏｓ 、 ＷＯ
ｓ等の原料を所定の割合で秤量し、これを湿式ボールミ
ル等によって混合する。この混合物を乾燥後、’ｙｏｏ
〜９００°Ｃで３〜１０時間仮焼し、これを再びボール
ミルで混合した後乾燥して調整粉末を得る。調整粉末に
水あるいはポリビニμアｐコーμ等の粘着剤を添加して
３００〜ｌ ＯＯＯＫ４／ ｃｉＪの圧力で加圧成形後
、１２００〜１３００°Ｃで１〜３時間焼成を行ない、
外形を研磨して直径５■、長さ８ＩＩ＠の円柱体とする
。
しかる後、上記円柱体は、両端面に周知の方法で電極を
形成する。これを２０〜ｌ ＯＯ’Ｃのシリコンオイル
等の絶縁オイμ中に置いて、上記電極間に直流電場２０
〜３０ＫＶ／−を６〜６０分間印加することにより分極
せしめる。その後１２０°Ｃで１時間エイジングし、常
温に戻して測定試料を得る。
形成する。これを２０〜ｌ ＯＯ’Ｃのシリコンオイル
等の絶縁オイμ中に置いて、上記電極間に直流電場２０
〜３０ＫＶ／−を６〜６０分間印加することにより分極
せしめる。その後１２０°Ｃで１時間エイジングし、常
温に戻して測定試料を得る。
上記試料の圧電定数ｄ３．は次式（１）よシ求められ、
かつ式（１）中のＫ。、 １３、ＳＳＳは次式（２）、
ε （３）、（４）よシ求める。
かつ式（１）中のＫ。、 １３、ＳＳＳは次式（２）、
ε （３）、（４）よシ求める。
ｄＩ＝ Ｋ、、訃Ｗ７瓦−＝−−−−−−−−−−−
−−（１）εｓｍ ＝ Ｃ１１−＝−・−・−・−
・・・−・−・・・・・・・・・・・・・・−・・−・
・・−・・・・・・・・・（３）ことで、ｇは試料の長
さくｌ１１）、Ｓは試料の端面面積（♂）、ＣはＬＣＲ
メータによシ測定した１ＫＨｚ時の静電容量（Ｆ）、Ｐ
は密度（ｋｇ／＊’）、ｆａ％ｆｒはそれぞれ反共振お
よび共振周波数（Ｈｚ ）であシ、これらはいずれも周
知の方法で測定される。なお、Ｋｓｓは電気機械結合係
数である。
−−（１）εｓｍ ＝ Ｃ１１−＝−・−・−・−
・・・−・−・・・・・・・・・・・・・・−・・−・
・・−・・・・・・・・・（３）ことで、ｇは試料の長
さくｌ１１）、Ｓは試料の端面面積（♂）、ＣはＬＣＲ
メータによシ測定した１ＫＨｚ時の静電容量（Ｆ）、Ｐ
は密度（ｋｇ／＊’）、ｆａ％ｆｒはそれぞれ反共振お
よび共振周波数（Ｈｚ ）であシ、これらはいずれも周
知の方法で測定される。なお、Ｋｓｓは電気機械結合係
数である。
原料の配合割合を種々に変え、上記方法により得られた
測定試料につき、上記要素を測定して算出した圧電定数
を別紙の表に示す。
測定試料につき、上記要素を測定して算出した圧電定数
を別紙の表に示す。
表において、実験例１〜６は、Ｐｂ、（Ｎ １１イＮｂ
５（）Ｏｎの添加量を主に変えたものである。
５（）Ｏｎの添加量を主に変えたものである。
Ｐ ｂ（Ｎ ’ｉ−′ＡＮ １） ”／ｓ ） Ｏｎの
添加量が多いほど、圧電定数は上昇し、かつ焼結密度が
大きくなって機械的強度も向上するが、キュリ一温度は
低下する。ここにおいて、実験例５は圧電定数力ｔ／ト
さいことにより、実験例６はキュリ一温度力！低いこと
により採用されない。
添加量が多いほど、圧電定数は上昇し、かつ焼結密度が
大きくなって機械的強度も向上するが、キュリ一温度は
低下する。ここにおいて、実験例５は圧電定数力ｔ／ト
さいことにより、実験例６はキュリ一温度力！低いこと
により採用されない。
実験例’７〜１６は、Ｐ ｂ Ｔ １０ ｓ トＰ １
）Ｚ ｒ Ｏｓ Ｏｍ部員を主体的に変更し、Ｐｂ（Ｎ
ｉ’／ Ｎｂ’Ａ）Ｏｎの添加量を副次的に変更したも
のである。
）Ｚ ｒ Ｏｓ Ｏｍ部員を主体的に変更し、Ｐｂ（Ｎ
ｉ’／ Ｎｂ’Ａ）Ｏｎの添加量を副次的に変更したも
のである。
Ｐｂ（Ｎｉ”／ Ｎｂ ”％ ）Ｏｓ ０ｆｉｊＪｌ量
がほぼ等しイ％験例２．７．１３．１４によると、Ｐｂ
Ｔ：ＬＯｊとＰｂＺｒ０．の添加量の差が大きい場合に
は、焼結密度および圧電定数はいずれも低下する（実験
例ユ３．１４）。また実験例１０．１２と比較すると、
実験例１５．１６では、焼結密度、圧電定数、キュリ一
温度がいずれも低下する。
がほぼ等しイ％験例２．７．１３．１４によると、Ｐｂ
Ｔ：ＬＯｊとＰｂＺｒ０．の添加量の差が大きい場合に
は、焼結密度および圧電定数はいずれも低下する（実験
例ユ３．１４）。また実験例１０．１２と比較すると、
実験例１５．１６では、焼結密度、圧電定数、キュリ一
温度がいずれも低下する。
添付三角組成図には上記各実験例をその番号とともにプ
ロットしである。これによれば、焼結密度およびキュリ
一温度を使用に耐える値に維持し、かつ約４００ＸＩＯ
ｓｓ／Ｖ以上の大きな圧電定数を得ることができる実験
例１〜４．７〜１２において、Ｐｂ（ＮｉｌイＮ ｂ
”／ｓ ） Ｏｓ、Ｐ ｂＴｉｏｓ 、 Ｐ ｂＺｒ
Ｏｎの組成はいずれも図の点Ａ。
ロットしである。これによれば、焼結密度およびキュリ
一温度を使用に耐える値に維持し、かつ約４００ＸＩＯ
ｓｓ／Ｖ以上の大きな圧電定数を得ることができる実験
例１〜４．７〜１２において、Ｐｂ（ＮｉｌイＮ ｂ
”／ｓ ） Ｏｓ、Ｐ ｂＴｉｏｓ 、 Ｐ ｂＺｒ
Ｏｎの組成はいずれも図の点Ａ。
ｆｉ、Ｃ，Ｄ％Ｅで囲まれた範囲内に存在する。
なお、上記各点Ａ−Ｅは表中の各実験例１′？、１日、
１９．２０．２１に対応する。
１９．２０．２１に対応する。
実験例２２〜２６は、基本組成ｆ：！ｉｌ！験例２と同
一にして、添加物５ｂｓＯａの添加量を変化せしめであ
る。Ｓｂ！Ｏｓ の添加量が少ないと、充分な焼結密度
が得られず（実験例２５）、多い場合には圧電定数が低
下する（５ｉ！験例２６）。
一にして、添加物５ｂｓＯａの添加量を変化せしめであ
る。Ｓｂ！Ｏｓ の添加量が少ないと、充分な焼結密度
が得られず（実験例２５）、多い場合には圧電定数が低
下する（５ｉ！験例２６）。
したがって、８１３ｓＯｓ の添加量はＯ，１〜２．
０重量％とするのが良い。なお、圧電定数は添加量が０
．１５重量％付近でピーク値を有する（５ｊ！験例２）
。
０重量％とするのが良い。なお、圧電定数は添加量が０
．１５重量％付近でピーク値を有する（５ｊ！験例２）
。
５ｂｓＯｓ の添加量を０．５重量％よりも大きくし
た場合に圧電定数が低下するのは、５ｂｘＯａ が固溶
体中に完全に固溶することなく一部が析出するためと思
われる。
た場合に圧電定数が低下するのは、５ｂｘＯａ が固溶
体中に完全に固溶することなく一部が析出するためと思
われる。
実験例２７γ３９は、添加物の種類を変えて、これを０
．５〜０．６重量％添加したものである。
．５〜０．６重量％添加したものである。
これによれば、添加物として上記ＳｂｓＯｍＫ代えてＮ
”ｏ＊Ｏｓ、Ｂｉｇｏｔ、Ｔ ａ Ｏｓ、Ｌａｓ Ｏｓ
、 Ｗｏｎ等のソフト系材料用添加物を単独で、ある
いはＳ’ｏ＊Ｏｓ も含めてこれらの混合物を使用し
た場合には、いずれも好ましい焼結密度、キュリ一温度
および圧電定数を得ることができる（実験例２’Ｆ 〜
３７）。これに対して、ＭｎＯｘ 、Ｆｅｗ Ｏｎ等の
ハード系材料用添加物を使用した場合には、充分な圧電
定数が得られない。
”ｏ＊Ｏｓ、Ｂｉｇｏｔ、Ｔ ａ Ｏｓ、Ｌａｓ Ｏｓ
、 Ｗｏｎ等のソフト系材料用添加物を単独で、ある
いはＳ’ｏ＊Ｏｓ も含めてこれらの混合物を使用し
た場合には、いずれも好ましい焼結密度、キュリ一温度
および圧電定数を得ることができる（実験例２’Ｆ 〜
３７）。これに対して、ＭｎＯｘ 、Ｆｅｗ Ｏｎ等の
ハード系材料用添加物を使用した場合には、充分な圧電
定数が得られない。
以上の実験結果を総合スルト、Ｐｂ（Ｎｉ１％ Ｎｌ）
”／） ｏｓ−Ｐｔ）ＴｉＯｍ −ＰｂＺｒＯｘ ノ
三成分固溶体の基本組成を、三角組成図の点Ａ−Ｅで囲
まれる範囲とし、かツコれに添加物とシテ、ｓ’ｂ、
ｏ、、ＮｂｘＯｓ、Ｂ １ｓα１’ｒａα１ＬＦ！Ｌ＠
０１ 、 Ｗｏｅ Ｏ少なくとも一種を、基本組成
に対して０．１〜２．０重量％含有せしめた圧電材料は
、機械的強度もすぐれ、高いキュリ一温度を維持し、特
に圧電定数が極めてすぐれていることが知られる。
”／） ｏｓ−Ｐｔ）ＴｉＯｍ −ＰｂＺｒＯｘ ノ
三成分固溶体の基本組成を、三角組成図の点Ａ−Ｅで囲
まれる範囲とし、かツコれに添加物とシテ、ｓ’ｂ、
ｏ、、ＮｂｘＯｓ、Ｂ １ｓα１’ｒａα１ＬＦ！Ｌ＠
０１ 、 Ｗｏｅ Ｏ少なくとも一種を、基本組成
に対して０．１〜２．０重量％含有せしめた圧電材料は
、機械的強度もすぐれ、高いキュリ一温度を維持し、特
に圧電定数が極めてすぐれていることが知られる。
ｐｂ（Ｎ１１にＮｂ”ｌ ）Ｏｓｌ−一定にした場ｌＰ
ｂＴｉ、Ｏ，、Ｐ ｂＺｒ Ｏｘ ’２＞１ 上記範囲
外テアルと、焼結密度、比誘電率の減少によ・り所望の
圧電定数が得られない（５！験例１３．１４．１５．１
６）。
ｂＴｉ、Ｏ，、Ｐ ｂＺｒ Ｏｘ ’２＞１ 上記範囲
外テアルと、焼結密度、比誘電率の減少によ・り所望の
圧電定数が得られない（５！験例１３．１４．１５．１
６）。
Ｐ’ｂ（Ｎｉｌ／ Ｎｌ）署）ＯＳヲ多く含有セシメル
ト、焼結密度、圧電定数は大きくなるが、キュリ一温度
が著しく低下する（実験例６）。一方、Ｐ’ｂ（Ｎｉｌ
／ １１１１）署）０１ノ含有量２＞ｆ小すイ、！＝、
焼結密度が小さくなって機械的強度が低下する（’ｊｉ
！験例５）。
ト、焼結密度、圧電定数は大きくなるが、キュリ一温度
が著しく低下する（実験例６）。一方、Ｐ’ｂ（Ｎｉｌ
／ １１１１）署）０１ノ含有量２＞ｆ小すイ、！＝、
焼結密度が小さくなって機械的強度が低下する（’ｊｉ
！験例５）。
添加物の添加量は、Ｏ，１重量％以下では焼結密度が小
さくなシ（実験例２５）、２．０重量秦以上では、これ
が一部析出することにより、電気機械結合係数ｋ。が小
さくなって圧電定数が低下する（実験例２６）。
さくなシ（実験例２５）、２．０重量秦以上では、これ
が一部析出することにより、電気機械結合係数ｋ。が小
さくなって圧電定数が低下する（実験例２６）。
本発明の圧ｘｉ料は、上記のすぐれた特性を有するとと
Ｋよシ、アクチュエータに好適に使用できる。
Ｋよシ、アクチュエータに好適に使用できる。
図は圧電材料の基本組成範囲を示す三角組成図である。
Claims (1)
- Ｐｂ（Ｎｉ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿２−
ＰｂＴｉＯ＿３−ＰｂＺｒＯ＿３の三成分固溶体を基本
組成とし、該基本組成が添付三角組成図の、点Ａ（Ｐｂ
（Ｎｉ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３１０モル
％、ＰｂＴｉＯ＿３４８モル％、ＰｂＺｒＯ＿３４２モ
ル％）、点Ｂ（Ｐｂ（Ｎｉ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２／＿３
）Ｏ＿３１７モル％、ＰｂＴｉＯ＿３３０モル％、Ｐｂ
ＺｒＯ＿３５３モル％）、点Ｃ（Ｐｂ（Ｎｉ＿１＿／＿
３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３５１モル％、ＰｂＴｉＯ＿
３２４モル％、ＰｂＺｒＯ＿３２５モル％）、点Ｄ（Ｐ
ｂ（Ｎｉ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／＿３）Ｏ＿３５０モ
ル％、ＰｂＴｉＯ＿３３５モル％、ＰｂＺｒＯ＿３１５
モル％）、点Ｅ（Ｐｂ（Ｎｉ＿１＿／＿３Ｎｂ＿２＿／
＿３）Ｏ＿３３１モル％、ＰｂＴｉＯ＿３４８モル％、
ＰｂＺｒＯ＿３２１モル％）で囲まれる範囲であり、か
つ添加物として、Ｓｂ＿２Ｏ＿３、Ｎｂ＿２Ｏ＿５、Ｂ
ｉ＿２Ｏ＿３、ＴａＯ＿３、Ｌａ＿２Ｏ＿３、ＷＯ＿３
の少なくとも一種を、基本組成に対して合計で０．１〜
２．０重量％添加したことを特徴とするセラミック圧電
材料。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP59265603A JP2543021B2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | アクチュエ−タ用セラミツク圧電材料 |
| US06/946,163 US4765919A (en) | 1984-12-17 | 1986-12-23 | Piezoelectric ceramic materials |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59265603A JP2543021B2 (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | アクチュエ−タ用セラミツク圧電材料 |
Publications (2)
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|---|---|
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| JP2543021B2 JP2543021B2 (ja) | 1996-10-16 |
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Family Applications (1)
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