JPS5935124A - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

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Publication number
JPS5935124A
JPS5935124A JP14544782A JP14544782A JPS5935124A JP S5935124 A JPS5935124 A JP S5935124A JP 14544782 A JP14544782 A JP 14544782A JP 14544782 A JP14544782 A JP 14544782A JP S5935124 A JPS5935124 A JP S5935124A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
liquid
pressure sensor
sensitive element
suction
Prior art date
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Pending
Application number
JP14544782A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshiaki Imai
敏明 今井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP14544782A priority Critical patent/JPS5935124A/ja
Publication of JPS5935124A publication Critical patent/JPS5935124A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、圧力センサの技術分野に属する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
従来、液体の圧力を検出する圧力センサは、たとえば第
1図に示すようにして構成されている。
すなわち、同図において、圧力センサ20Bは、感圧素
子30と、その圧力が測定される液体33を感圧素子面
に接触可能に導ひくための連通管36とを具備する。
しかしながら、前記構成の圧力センサ2OBは、液体3
3が水溶液である場合、温度の上昇あるいは水溶液に対
する気圧の低下等によシ、水溶液中に溶存していた空気
が気泡35となって連通管36中に出現すると、応答性
が悪くなシ、正確に液体33の圧力を測定することがで
きなくなる欠点を有する。その場合、連通管36中に気
泡35が発生すると、連通管36内の水溶液33をすべ
て新しいものに交換しなければならないのであるが、一
般に感圧素子30付近の連通管内容積が小さく、また、
形状も複雑であるために、気泡を混入することなく新し
い水溶液33に交換するのは、きわめて困難である。
前記欠点を解消することを目的に、第2図に示すよう々
圧力センサ20Bもある。第2図に示す圧カセンザ20
Bは、連通管36内に隔液ダイヤフラム32を設け、隔
液ダイヤフラム32と感圧素子面との間の連通管36に
は気体を溶存しない液たとえばシリコンオイル31を充
填し、水溶液33の圧力をシリコンオイル31を介して
感圧素子30に伝達するように構成されている。
しかしながら、前記構成の圧力センサ20Bは、隔液ダ
イヤフラム32を有することによシ、水溶液33の圧力
変化に対する感圧素子30への圧力変化の応答性が低下
するという、別の問題点が生ずる。
〔発明の目的〕
この発明は、前記事情に鑑みてなされたものであシ、被
検液の圧力変化に対する感圧素子への圧力変化の応答性
が良好であり、かつ、気泡発生を防止して正確に被検液
の圧力を測定することができる圧力センサを提供するこ
とを目的とするものである。
〔発明の概要〕 前記目的を達成するためのこの発明の概要は、感圧素子
と、外部液および感圧素子に接触すると共に外部液の圧
力を感圧素子に伝達する伝達液と、伝達液を収容すると
共に外部液と伝達液との界面近傍であって伝達液側にオ
リフィスを有する連通管とを具備することを待機とする
ものである。
〔発明の実施例〕
この発明の一実施例である圧力センサについて図面を参
照しながら説明する。
第3図に示すように、圧力センサ20Dは、筐体37内
に配置された感圧素子30たとえば拡散型半導体感圧素
子と、オリフィス34を有する連通管36と、連通管3
6内の感圧素子面からオリフィス34まで収容されると
共に、外部液33の圧力を感圧素子30に伝達するため
め、気体を溶存しない伝達液3またとえばシリコンオイ
ルとを具備する。オリフィス34の内径および軸線方向
長さは、伝達液31の表面張力によってオリフィス34
から連通管36内の伝達液31が流失しないように、適
宜に決定することができる。力お、紀3図において、3
8で示すのはパイプ接続口であり、この・fイブ接続口
38に液体たとえば外部液33を収容したパイプ(図示
せず)を接続することによって、外部液33と伝達液3
1とがオリフィス34の近傍で接触することができるよ
うにするものである。
以上のように圧力センサ20Dを構成すると、外部液3
3の圧力は、伝達液31を介して感圧素子30に伝達さ
れることによシ、検出することができる。しかも、伝達
液31と外部液33とは直接に接触していて、隔液ダイ
ヤフラムを介していないので、外部液33の圧力変化に
対する感圧素子30への圧力変化の応答性がきわめて良
好である。さらに、オリフィス34から感圧素子30ま
での連通管36内には、気体を溶存しない伝達液31が
充填されているので、外部温度が上昇しても、膨張した
伝達液31がオリフィス34外に若干突出することによ
シ伝達液31の余分の圧力が感圧素子30に加わること
を防止することができ(5) ると共に、気体の発生を阻止することができる。
次に、以上構成の圧力センサ20Dの、自動化学分析装
置におけるサンプリング装置への適用について述べる。
自動化学分析装置におけるサンプリング装置は、第4図
に示すように、ポンプたとえばシリンダ6およびプラン
ジャ7を有する注射器型のシリンジポンプ1と、水を収
容する容器2と、患者等から採取した試料(以下サンプ
ルと言うこともある。)を収容するサンプルカップ3と
、酵素反応等の生化学反応を行なう反応管4と、一端を
前記容器2内の水中に没する第1のA?イグ8と、一端
に吸引吐出ノズル5を装着して、この吸引吐出ノズル5
をサンプルカップ3と反応管4とに移動させることがで
きると共に、サンプルカップ3内および反応管4内それ
ぞれに吸引吐出ノズル5を挿入することができるように
なっている第2のパイプ9と、第1のパイプ8を介して
シリンジポンプ1内に水を吸引し、また、シリンジポン
プ1内よシ第2のパイプ9へと水を送シ込むように開閉
する開閉弁(6) lOとを具備し、吸引吐出ノズル5よシサンプルカツプ
3内のサンプルを吸引する前の初期状態においては、第
1の79イブ8、第2のパイプ9および吸引吐出ノズル
5の先端1で水が充填されている。
さらに、第41¥1に示すサンプリング装置には、圧力
検出手段20と、制御装置21と、制御装置21から出
力される指令信号によ多動作するポンプ駆動手段22お
よび吸引吐出ノズル駆動手段23とが設けられている。
圧力検出手段20は、シリンダ6内の水圧を検出するも
のであシ、第4図に示すように、たとえば開閉弁10と
シリンジポンプ1とを連結するノ9イゾに設けた第2の
開閉弁2OAと、水を充満していると共に第2の開閉弁
20Aとこの発明に係る圧力センサ20Dとを連結する
パイプ20Cと、パイプ20C内の水を介してシリンダ
6内の圧力を検出し、検出した圧力値をディジタル信号
に変換してこれを出力する圧力センサ20Dとを少なく
とも具備し、第2の開閉弁20Aを駆動してシリンジポ
ンプ1とパイプ20Cとを水を介して連結することによ
シ、シリンジ号?ンプ1内の圧力を圧カセンザ20Dに
よシ検出することができるように構成されている。制御
装置21は、圧力センサ20Dより出力されるディジタ
ル信号に基づき、あらかじめ記憶している第5図に示す
ような圧力−粘度データに照らして吸引吐出ノズル5に
おける吸引状態を判別し、あらかじめ定められた手順に
従って自動化学分析装置各部を動作させるように構成さ
れている。ポンプ駆動手段22は、たとえばパルスモー
タを具備してプランジャ7をシリンダ6内で往復動させ
るようになっている。1だ、吸引吐出ノズル駆動手段2
3は、制御装置21よ多出力される判別信号に基づき、
吸引吐出ノズル5をサンプルカップ3内に下降あるいは
サンプルカップ3内から上昇させ、吸引吐出ノズル5を
サンプルカップ3、洗浄槽11および反応管4上の上方
の軌跡12に従って移動し、壕だ、吸引吐出ノズル5を
洗浄槽11および反応管4に対して昇降させるように構
成されている。
次に以上の構成を有する装置の作用について説明する。
先ず、従来のサンプリング装置と同様の動作によって、
サンプルカップ3内のサンプルを吸引吐出ノズル5内に
吸引すると、パイプ9、シリンダ6およびパイプ2OC
内に充填されている水を介して、プランジャ7の駆動に
よる吸引圧が圧力センサ20Dに伝達されて検出され、
ディジタル信号に変換された後制御装置21に圧力デー
タが出力される。制御装置21は第6図に示すような手
順に従って動作する。すなわち、サンプルの種類たとえ
ば血液や尿についての吸引圧力とその粘度との第5図に
示すような関係をディジタル値であらかじめ多数のフレ
ームメモリに記憶しておシ、図示しない操作盤によ多入
力したサンプルの種類の指定によシ、フレームメモリか
ら該当サンプルに該当するページメモリを決定する。次
いで、圧力センサ20Dよ多出力された圧力データと決
定したページメモリ中のデータとを比較対照する。
たとえば第5図に示す関係に従って比較対照の結(9) 来、圧力センサ20Dよ多出力された圧力データによシ
、サンプルの粘度が0.8〜25c、 p、 o 範囲
内にあるときは、吸引吐出ノズル511′i:正常の吸
引状態であると判断する。一方、圧力センサ20Dは、
プランジャ7がシリンダ6よシ所定量引き抜かれた後の
シランジャ7の停止中におけるシリンジポンプ1内の圧
力をも検出し、圧力データとして制御装置21に出力す
る。制御装置21は、種々の圧力に応じてサンプルカッ
プ3内のサンプル残存量をフレームメモリにあらかじめ
記憶しているので、第6図に示すように、プランジャ7
の停止中のシリンジポンプ1内の圧力を判別後、サンプ
ルカップ3内のサンプル残存量を決定する。次いで、サ
ンプル残存量が必要量以上であると判別したときは、従
来におけるのと同様のサンプリング装置の動作を行なわ
せる動作指令信号を出力する。また、サンプル残存量が
必要量よシも少ないと判別したとき、たとえば〔反応管
チャンネル数×反応管1本あたりの吐出量〕よシも少な
いと判別したときは、反応管1本あたシの可能な吐出量
(10) と希釈倍率とを計算し、ポンプ駆動手段22および吸引
吐出ノズル駆動手段23に動作指令信号を出力して、一
定の希釈倍率で反応管4内で反応を行ガわせるようにす
る。なお、希釈倍率は、図示しない吸光度分析の後、吸
光度の演算装置に転送され、吸光度計算の補正に用いら
れる。
制御装置21は、第6図に示すように、ページメモリ中
のデータと比較対照の結果、プランジャ7の駆動時にお
けるシリン、ノポンプ1内の圧力からサンプルの粘度が
0.8 c、p、よりも小さいと判断するときは、サン
プルカップ3内が空に々っていて吸引吐出ノズル5はサ
ンプルを吸引していないと判断して、サンプル補充のだ
めの警告信号を出力することによシ、たとえば表示ラン
プを点滅させ、あるいは表示装置たとえばCRT画面に
警告文をテロップで表示する。同時に、制御装置21は
ポンプ駆動手段22および吸引吐出ノズル駆動手段23
に動作停止信号を出力して、サンプリング装置の動作を
止める。
制御装置21は、第6図に示すように前記比較対照の結
果、サンプルの粘度が2.5〜4. Oc、p、の範囲
内にあるときは、サンプルが高粘度であることによシ通
常のプランジャ7の駆動では吸引吐出ノズル5が正確に
所定量のサンプルを吸引することができないので、ポン
プ駆動手段22に、シランジャ7の駆動量を増加させる
だめの動作指令信号を出力する。プランジャ7をシリン
ダ6から引き抜くだめのプランジャ7の駆動量は、制御
装置21内のフレームメモリにあらかじめ記憶されてい
るところのサンプルの種類に応じた粘度とプランジャ7
の駆動量との対応データに基づき決定される。動作指令
信号を入力したポンプ駆動手段22はグランジャ7を通
常の場合よυも大きくシリンダ6よシ引き抜くことによ
υシリンジポンプ1内に大きな吸引圧力を発生させ、吸
引吐出ノズル5内に粘度の高いサンプルを所定量吸引さ
せる。そして、従来におけるのと同様の動作をもって、
高粘度のサンプルを反応管4内に吐出する。
また、制御装置21は、第6図に示すように、前記比較
対照の結果、粘度が4.0 (!、p、よシも高いとき
、伺らかの原因によシ吸引吐出ノズル5内が閉塞してい
ると判断し、ポンプ駆動手段22および吸引吐出ノズル
23に次に示す動作をなすように動作指令信号を出力す
る。すなわち、吸引吐出ノズル駆動手段23によシ、吸
引吐出ノズル5をザンプルカツゾ3の上方に上昇させ、
次いで、第4図に示すように軌跡12に従って洗浄槽1
1内に吸引吐出ノズル5を挿入配置する。そして、ポン
プ駆動手段22によシ、プランジャ7を大きく往復動さ
せることによシ、吸引吐出ノズル5の閉塞原因である汚
れ物質を吸引吐出ノズル5外へ排出する。
ポンプ駆動手段22および吸引吐出ノズル駆動手段23
は、制御部21よシ指令される手順に従って、シリンジ
ポンプ1および吸引吐出ノズル5を動作させる。
以上のようにこの発明に係る圧力センサ20Dをサンシ
リンダ装置に適用すると、圧力センサ20Dの出力によ
り、吸引吐出ノズル5の吸引状態を判別し、種々の吸引
状態に対応する処置を自(13) 動的に行なうことができ、かつ、サンプリング装置外部
の温度等によって圧カセンザ20Dの連通管36内で気
泡が発生することもないので、常に正確な圧力検出の下
で正確な吸引吐出量をもってサンプリング装置の動作を
実現することができる。
特に、第2図に示す圧力センサ20Bを前記サンシリン
グ装置に適用した場合に、吸引吐出ノズル5から50μ
tの水を吸引したとき、圧カセンザ20Bでは9817
α2の最高引圧を示したのに対し、この発明に係る圧力
センサ20Dを前記サンプリング装置に適用した場合に
、吸引吐出ノズル5から50μtの水を吸引したとき、
圧力センサ20Dでは13011/cmの最高引圧を示
した。また、前記サンプリング装置では、実際にサンプ
ルを吸引する時間は0,1〜0.2秒であるから、応答
性の良好なこの発明の圧カセンザ20Dの適用は、非常
に好都合である。
以上、この発明の一実施例について詳述したが、この発
明は前記実施例に限定されるものではなく、この発明の
要旨の範囲内で種々変形して実施する(14) ことができる。
〔発明の効果〕 この発明によると、応答性が良好で、かつ、外部の状態
によシ連通管内に気泡が発生することなく、常に正確な
圧力の検出が可能な圧カセンザを提供することができる
。また、この圧力センサを用いることによシ、分注精度
の高いサンプリング装置をも提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は従来の圧力センサを示す説明図、
第3図はこの発明の一実施例を示す説明図、第4図は前
記実施例の圧力センサのサンプリング装置への適用例を
示す説明図、第5図は吸引圧力と試料の粘度との関係を
示すグラフ、並びに第6図は前記サンプリング装置にお
ける制御装置の手順を示す説明図である。 20D・・・圧力センサ、30・・・感圧素子、31・
・・伝達液、33・・・外部液、34・・・オリフィス
、36・・・連通管。 (15) 第1図 −106− 68〜2.5

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)感圧素子と、外部液および感圧素子に接触すると
    共に外部液の圧力を感圧素子に伝達する伝達液と、伝達
    液を収容すると共に外部液と伝達液との界面近傍であっ
    て伝達液側にオリフィスを有する連通管とを具備するこ
    とを特徴とする圧力センサ。
  2. (2)前記伝達液が、シリコンオイルであることを特徴
    とする特許請求の範囲第1項に記載の圧力センサ0  
     /
  3. (3)前記感圧素子が拡散型半導体感圧素子で赫ること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項に記載の圧力センサ
JP14544782A 1982-08-24 1982-08-24 圧力センサ Pending JPS5935124A (ja)

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JP14544782A JPS5935124A (ja) 1982-08-24 1982-08-24 圧力センサ

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JP14544782A JPS5935124A (ja) 1982-08-24 1982-08-24 圧力センサ

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JP (1) JPS5935124A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61142781A (ja) * 1984-12-17 1986-06-30 Nippon Soken Inc セラミツク圧電材料

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61142781A (ja) * 1984-12-17 1986-06-30 Nippon Soken Inc セラミツク圧電材料

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