JPS61110351A - 情報記録方法 - Google Patents

情報記録方法

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JPS61110351A
JPS61110351A JP59232791A JP23279184A JPS61110351A JP S61110351 A JPS61110351 A JP S61110351A JP 59232791 A JP59232791 A JP 59232791A JP 23279184 A JP23279184 A JP 23279184A JP S61110351 A JPS61110351 A JP S61110351A
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龍司 白幡
Tatsuji Kitamoto
北本 達治
Yoshihiro Arai
芳博 荒井
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    • G11B3/68Record carriers
    • GPHYSICS
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    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は高密度情報記録方法に関する。
〔従来技術〕
従来、情報の記憶あるいは記録のための手段として磁気
コア、磁気バブル、半導体メモリーちるいはディスクレ
コード、オーデオテープ、コンパクトディスク、映画フ
ィルム、ビデオディスク、ビデオテープ、フロッピーデ
ィスク等各種のものが知られ、実用化されてきている。
しかしながら近年、より高密度の情報記録に対する要求
の高まシと共にカルコゲナイド系材料等を使用した光デ
ィスク、あるいは磁気記録の分野における金属磁性膜媒
体を用いての水平磁化記録や垂直磁化記録、さらには光
磁気ディスクの実用化のための研究がさかんに行われて
いる。これらの情報記録は、それぞれの特長を有してい
るが、記録密度はせいぜい106ビツト/鶴2であシ、
さらに超高密度情報記録の技術開発が要求されてきてい
る。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、108〜ioeビツト/ ws 2の
記録密度を有する新規な情報記録方法を提供することに
ある。
〔発明の構成〕
本発明は、基体表面に記録すべき情報に応じて変調され
たエネルギー線を照射し、しかる後該基体表面に所定材
料による蒸着処理を施して該エネルギー線の照射部、非
照射部に対応した蒸着非形成部、形成部を設けることを
特徴とする情報記録方法、に関する。
本発明の方法を第7図によって説明する。第1図(a)
において記録すべき情報の入力信号lは変調装置λを経
てエネルギー線発生器3に入力される。
記録すべき情報信号lに応じて変調されたエネルギー線
≠は矢印jに沿って移動する基体乙の表面に照射される
。基体乙の表面には記録すべき情報に応じてエネルギー
aI7I−の照射部7と非照射部lが形成される。しか
る後基体乙の表面に蒸着処理を施すと第1図(b)に示
されるようにエネルギー線μの照射部7に対応する部分
には蒸着が次されず、非照射部rには蒸着がなされる(
蒸着形成部り)ものである。すなわち記録すべき情報信
号lが、基体乙の表面上に蒸着形成部と非形成部のパタ
ーンとして記録されるものである。
蒸着形成部と非形成部とを明確1cLs/Nを向上させ
るため必要に応じて蒸着処理後に基体を加熱しても良い
本発明においてエネルギー線とは、α線、β線、rmz
電子線、レーザー線、Xa、イオン粒子線、中性子線、
陽子線を指し特に好ましいのは電子線である。
さらに本発明に使用される基体としては5i1Ge6る
いはGaAs等の半尊体、Cu、kl、pe、Nis 
c、、Aus Sns Pb、Mo、W1■、等の金属
およびこれらの合金あるいはガラス、貫母、カーボン、
セラミック等の無機物、ポリマー等の有機物が使用され
る。
本発明の方法によシ記録された情報を読出す方法として
は種々の方法が用いられ得る。
特開昭≠r−を弘Oコに開示されているような圧力−電
気変換器により蒸着形成部、非形成部の幾何学的形状あ
るいは硬度による圧力差により情報を再生する方法;特
開昭4t7−J74t/r、特開昭≠ター/13/り、
特開昭≠ター2/337、特開昭弘ターλt303に開
示されているような蒸着形成部、非形成部での容量変化
を検出することによって情報を再生する方法;特開昭弘
ター乙rrttzX%開昭4l−rJ7.2j、特開昭
py−2300コ、特開昭j/−!1301に開示され
ているような蒸着形成部、非形成部の幾何学的凹凸を光
学的に読み出す方法等が用いられる。幾何学的凸凹を読
出す方法としては5urfaceSciel(e/j/
、!79〜J!、(/Pry)K示されているようなそ
れも使用できる。上記の方法では、蒸着形成部、および
非形成部が高密度く形成されている場合には読み出しの
分解能が必ずしも十分に得られないため、電子ビームを
用いた読出し再生方法を用いることもできる。例えば特
公昭≠j−20jコt1特公昭J′7−32≠l≠、特
開昭rl−ii≠ioり、特開昭!l−/33012に
開示されているような蒸着形成部、非形成部での2次電
子放射量差あるいは2次電子の変調を利用しての読出し
方法;あるいは電子線照射によ)発生する反射電子、A
uger電子、X線の放射量差を利用する読出し方法;
さらには米国特許≠、ioi、り3!。あるいはIEE
ETrans、Magnetics MAG  7(3
)、4r4’〜4r& (/り7/)に示されているよ
うな方法によって読出す方法を用いることができる。あ
るいはまた特開昭!ター/1103/に開示されている
ように磁性蒸着材の形成部、および非形成部での磁化差
を磁気トランスジューサーにより検出し情報を読出し再
生する方法もとり得る。
本発明の方法において蒸着に供せられる材料は本発明に
よシ記録された情報の読み出し方法により定められるも
のであシ、2次電子放射効率の差により情報の読出しを
行う場合は基体と比して4次電子放射効率の異なる材料
(例えば金属基体に対してカーボン蒸着材料)、あるい
は蒸着物質としてFe、c、、Ni等の磁性材料を用い
、蒸着形成部、および非形成部境界の漏れ磁界によシ読
み出すようにしてもよい。さらに蒸着形成部、および非
形成部の幾何学的凹凸を読み出しに利用するのであれば
蒸着材料は特に限定されない。蒸着形成部、非形成部で
の容量変化を利用するのであれば尊電基体を用いるのが
好ましいし、光学的読出しを行うのでおれば反射率の大
きいAg5AJ等を蒸着材料として用いるのが好ましい
本発明においてエネルギー線照射部に蒸着がなされない
要因は明確でないが、基体表面に電子線等のようなエネ
ルギー線を照射すると照射部は蒸着形成にとって不安定
な状態になるものと考えられる。と<Kt子線照射の際
、基体を真空雰囲気下に維持するための真空ポンプに用
いられているオイルが存在することKよシ蒸着形成部、
および非形成部の分離が明確になるものである。オイル
として好ましいのはアルキルナフタリン、アイ7シルナ
フタリン等の炭化水素系、フェニルメチルポリシロキチ
ン、インタフェニルトリメチルトリシロキサン等のシリ
コーン系、シースエチルへキシルセパケート、ジ−コニ
チルへキシルフタレート等のエステル系のオイルである
。このことは真空ポンプのオイルに限られるものではな
く、スチレン等の有機ガスを微量含む真空雰囲気中にて
電子ビーム等のエネルギー線の照射を行なうことも好ま
しい。
本発明の情報記録方法では電子ビーム等のエネルギー線
を利用するため極めて高密度の情報記録が行えるもので
、例えば電子ビームを用いる場合には100):程度に
ビーム径を収束することが可能であるため708〜10
9ビット/絽2程度の高密度記録がもたらされる。
〔実施例〕
次に実施例をもって本発明を具体的に説明するが本発明
はこれらに限定されるものではない。
実施例1 jopmpl−のポリエチレンテレフタレートフィルム
上に7100人 厚のα蒸着膜を均一に形成し九ものを
基体とし、λ進数コード(/、0)で表わされた電気信
号を電子ビームの(オ/、オフ)K変調させ本発明によ
る情報記録を実施した。電子ビームによる書込みの際の
真空系はクライオポンプによる排気系を使用した。電子
ビームの加速電圧はコj KV 、ビーム電流は!θμ
μA、ビーム径はio人 として変調された電子ビーム
を基体に照射した後、基体上にctをtO又 蒸着し次
に基体を1000Cまで加熱した。こうして得られた情
報記録体を特開昭j/−/330/λ号に開示されてい
る再生方法によシ調べたところ、トラック幅!O^ 、
で入力信号に応じて最大記録密度が10  ヒツト/m
(2,!4tX10  kニット/インチ)の信号が記
録されていた。
実施例λ 鏡面仕上けしたAt板を基体とし、λ進数コード(/、
0)で懺わされた電気信号を電子ビームの(オン、オフ
)に変調させ本発明による情報記録を5!施した。電子
ビームによる書込みの際の真空系は、フェニルメチルポ
リシロキチンをポンプ油としてなる拡散ポンプによる排
気系を使用した。
電子ビームの加速電圧をJ(7KV、ビーム電流は10
0μμ人、ビーム径は100人 として変調された電子
ビームを基体表面に照射した。次にAut−2よO又 
蒸着後基板を/IO’Cまで加熱した。こうして得られ
た情報記録媒体を実施例/と同様にして読出し再生した
ところ、トラック幅700人 で入力信号に応じた信号
が再生された。
この時最大記録密度はio  ヒラ)/m(λ、J−μ
X/(7ヒツト/インチ)1面積密度にしてIO9ビッ
ト/lx  が可能なることが確認された。
実施例3 鏡面仕上げし、クリーニングされたガラス基板を基体と
し、λ進数コード(/、0)で表わされた電気信号1!
c1に子ビームの(オン、オフ)に変調し、本発明によ
る情報記録を実施した。電子ビームによる薔き込みの際
の真空系はアイコシルナフタ’Jンをポンプ油としてな
る拡散ポンプによル真空排気系を利用した。電子ビーム
の加速電圧を!OK■、ビーム電流l!μμA、ビーム
径100Aとして変調された電子ビームを基体表面に照
射した。次にhtをljOAM着後実施例/と同様にし
て情報の胱出し再生を行なったところトラック@/ 0
0A で入力信号に応じた信号が記録されているのが確
認された。さらに最大記録密度は面積密度にて109ビ
ツト/xx2が可能であった。
貢施例弘 鏡面仕上げしたステンレス箔を基体とし、λ進数コード
(/、0)で表わされた電気信号を電子ビームの(オン
、オフ)K変調し、本発明による情報記録を実施した。
電子ビームによる書き込みの際の真空系はり2イオポン
プによる真空排気系とし、書き込み時スチレンガスを真
空系に導入した。電子ビームの加速電圧を20’l(v
、ビーム電流200μμA、ビーム径260^ とし、
変調された電子ビームを基体表面に照射した。次にパー
マロイを1ooA 蒸着後基板を2!00Cまで加熱し
た。しかる後基板を直流磁場に保持して基板上の)に−
マロイを磁化し、特開昭t/−ii弘10り号に開示さ
れた装置にて読取り再生を行なったところトラック幅1
OoA で入力信号に応じたλ進数コード信号の記録さ
れていた。
実施例! 実施例弘において電子ビームの代りに一μm径のアルブ
ンイオンビームを用いて情報を記録し、パーマロイの蒸
着を施して情報記録体を作製した。
磁気トランスジュー丈−によって信号の読出し再生を行
ったところ、入力信号に応じた信号の記録されているの
が確認された。
〔発明の効果〕
記録情報に応じて変調されたエネルギー線を照射後蒸着
処理を施して基体上に蒸着形成部、および非形成部を設
ける本発明の情報記録方法は、従来の情報記録とは異な
り新規で極めて高密度の情報記録が可能なそれである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による情報記録方法を図式的に示してい
る。 /・・・・・・入力信号 λ・・・・・・f調装置 3・・・・・・エネルキー線発生器 グ・・・・・・エネルギー線 !・・・・・・基体の移動方向を示す矢印≦・・・・・
・基体 7・・・・・・エネルギー線照射部 !・・・・・・エネルギー線非照射部 り・・・・・・蒸着形成部 特許出願人  富士写Xフィルム株式会社第1図 1.4 F′ ? m− (b) 昭和50年7月・2う日 29発明の名称  情報記録方法 3、補正をする者 事件との関係       特許出願人生 補正の対象
  明細書の「発明の詳細な説明」の欄 & 補正の内容 /)明細書第弘頁り行 「半導体」を 「半導体」 と補正する。 2)同書筒7貞λ行 「導電基体」を 「導電基体」 と補正する。 3)回書第2頁6行 「α蒸着膜」を rCu蒸着膜」 と補正する。 弘)回書第り頁/II行 「α」を  Cu J と補正する。 j)回書第72頁//行 「アルブン」を 「アルゴン」 と補正する。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基体表面に記録すべき情報に応じて変調されたエ
    ネルギー線を照射し、しかる後該基体表面に蒸着処理を
    施し、該エネルギー線の照射部、非照射部に対応した蒸
    着非形成部、形成部を設けることを特徴とする情報記録
    方法。
  2. (2)蒸着処理後に基体加熱処理を行うことを特徴とす
    る特許請求の範囲第(1)項記載の情報記録方法。
  3. (3)エネルギー線が電子線であることを特徴とする特
    許請求の範囲第(1)項記載の情報記録方法。
  4. (4)有機ガスを微少量含む真空雰囲気下において電子
    ビームの照射を行うことを特徴とする特許請求の範囲第
    (3)項記載の情報記録方法。
JP59232791A 1984-11-05 1984-11-05 情報記録方法 Granted JPS61110351A (ja)

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US06/795,145 US4700198A (en) 1984-11-05 1985-11-05 Process for recording information by irradiation of, an deposition on, a substrate
DE3539196A DE3539196C2 (de) 1984-11-05 1985-11-05 Verfahren zur Aufzeichnung von Informationen

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JPH0527174B2 JPH0527174B2 (ja) 1993-04-20

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JP (1) JPS61110351A (ja)
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