JPS63129543A - 荷電ビ−ム利用超高密度記録方式 - Google Patents
荷電ビ−ム利用超高密度記録方式Info
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- JPS63129543A JPS63129543A JP27400986A JP27400986A JPS63129543A JP S63129543 A JPS63129543 A JP S63129543A JP 27400986 A JP27400986 A JP 27400986A JP 27400986 A JP27400986 A JP 27400986A JP S63129543 A JPS63129543 A JP S63129543A
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Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title abstract 3
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000007771 core particle Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
不発明は、情報化社会の進展に＃い、ますます増大する
情報に対して、超高密度の情報記録を可能にする記録方
式に関す°る。
情報に対して、超高密度の情報記録を可能にする記録方
式に関す°る。
電気パルス信号の情報を記録再生する装置として、磁気
ディスクと光デイスク装置が知られている。これらの配
縁媒体は高密度化が進められているが、いずれの４曾で
も、単位ビット当りの所要面積は１μｍ１前後が限度と
ｉわれている。記録密度で表示すると、約ｌＯ−ピッ）
／ｃｉＩである。
ディスクと光デイスク装置が知られている。これらの配
縁媒体は高密度化が進められているが、いずれの４曾で
も、単位ビット当りの所要面積は１μｍ１前後が限度と
ｉわれている。記録密度で表示すると、約ｌＯ−ピッ）
／ｃｉＩである。
しかしながら、近年、記憶装置に２いては大量の情報格
納のために、さらに高密度の記録装置が必要とされてい
る。この点、荷電ビーム利用記録再生装置１は、１ビツ
トの所要面積を０．０５＾０．０５μ−前後まで低ドさ
せることが本質的に可能である。
納のために、さらに高密度の記録装置が必要とされてい
る。この点、荷電ビーム利用記録再生装置１は、１ビツ
トの所要面積を０．０５＾０．０５μ−前後まで低ドさ
せることが本質的に可能である。
以上の点で、１９７０年代の後半、電子線を用いたファ
イルの研究が米国のＧＥ社によって精力的になされた。
イルの研究が米国のＧＥ社によって精力的になされた。
ＧＥ社はアールアンドディ、レビュー、１９７７年、第
１２頁から第１５頁（Ｒ＆Ｄ、Ｇｇ 几ｅｖｉｅｗ
、 （１９７７） Ｐ ｌ ２−１５ ）に見られ
るように、ＭＯ８メモリーを電子線で。
１２頁から第１５頁（Ｒ＆Ｄ、Ｇｇ 几ｅｖｉｅｗ
、 （１９７７） Ｐ ｌ ２−１５ ）に見られ
るように、ＭＯ８メモリーを電子線で。
薔き込み、読み出し、消去する方式を開発゛した。
しかし１本方式は転送速度やアクセス速度が早い特長を
もうているにも殉ず、記録容量が少ないため、ファイル
実装ＫＡ用化されることはなかった。
もうているにも殉ず、記録容量が少ないため、ファイル
実装ＫＡ用化されることはなかった。
しかし、近年、情報量の多量記録の必要性が一層高まり
、再度、ｆ１子線記録が注目され出した。特に、情報の
記録はエネルギーの大きい収束イオン線で行い、情報の
読み出しはエネルギーの小さい電子線で行う発表は注目
される。しかし、特開昭５８−２２２４５３ 号に発表
されているように、イオン線と電子線の発生源は別個に
しているため、装置上煩雑になる問題があり、実用化を
進める上で一つのネックとなっている。
、再度、ｆ１子線記録が注目され出した。特に、情報の
記録はエネルギーの大きい収束イオン線で行い、情報の
読み出しはエネルギーの小さい電子線で行う発表は注目
される。しかし、特開昭５８−２２２４５３ 号に発表
されているように、イオン線と電子線の発生源は別個に
しているため、装置上煩雑になる問題があり、実用化を
進める上で一つのネックとなっている。
本発明の目的は、イオン線と電子線を同一荷電ビーム源
から４１出す方式にして、情報の書き込みと読み出しを
簡便に、かつ精度良く行うことを可能とすることにある
。
から４１出す方式にして、情報の書き込みと読み出しを
簡便に、かつ精度良く行うことを可能とすることにある
。
本発明の記録方式はターゲットに対向して、液体金属搭
載の荷電ビーム源を配置し、書き込み時バターゲットの
電位をビーム源に対して負極として。
載の荷電ビーム源を配置し、書き込み時バターゲットの
電位をビーム源に対して負極として。
イオン線を引き出して、情報の記録を行い、読み出し時
はビーム源に対してターゲットの電位を正極にして、電
子線を引き出して、情報を再生することを特徴とする。
はビーム源に対してターゲットの電位を正極にして、電
子線を引き出して、情報を再生することを特徴とする。
本発明を用いることにより、情報の書き込み用イオン線
と情報の読み出し用心子線を同一荷電ビーム源から引き
出すことができ、荷電ビーム利用超高密度記録を簡単な
構成で達成できる。
と情報の読み出し用心子線を同一荷電ビーム源から引き
出すことができ、荷電ビーム利用超高密度記録を簡単な
構成で達成できる。
以上１本発明の荷電ビーム利用超高密度記録の実施例を
述べる。
述べる。
実施例１
蓄き込みはＳｎやｐｂなどの低融点の液体金属を搭載し
て、高融点材料のエミッターから電界成蟻でイオンを引
き出す収束イオン源１を用いた。
て、高融点材料のエミッターから電界成蟻でイオンを引
き出す収束イオン源１を用いた。
情報信号プロセッサ２の出力するディジタル情報に応じ
て、Ｓｎやｐｂイオン線３を所定の溝加工処理しである
トラック１嘔４に照射して、記録ドツト５を形成した。
て、Ｓｎやｐｂイオン線３を所定の溝加工処理しである
トラック１嘔４に照射して、記録ドツト５を形成した。
イオン線は印加電圧２ｋＶ、イオン鑞流１μＡとし、０
．１μｍφに収束させて、０．２μｍ間隔のトラック溝
加工処理がしである６インチのＳｉ板６に照射した。８
１板上には導電性？高めるため＋ １００ ｎｍ程度
のＡｕ膜７を設けた。
．１μｍφに収束させて、０．２μｍ間隔のトラック溝
加工処理がしである６インチのＳｉ板６に照射した。８
１板上には導電性？高めるため＋ １００ ｎｍ程度
のＡｕ膜７を設けた。
これにより、０．２μｍの溝の中に、０．１μｍφのド
ツト書き込みが可能となり ＩＱＩＯビット／−の高密
度記録が達成できた。イオン線引き出しの場−８−は１
発生源を正極、ターゲットを負極にする必要があるので
、この極性の設定は人力信号に基づいて、切り換えスイ
ッチ８で行った。
ツト書き込みが可能となり ＩＱＩＯビット／−の高密
度記録が達成できた。イオン線引き出しの場−８−は１
発生源を正極、ターゲットを負極にする必要があるので
、この極性の設定は人力信号に基づいて、切り換えスイ
ッチ８で行った。
読み出し方式
読み出しは第１図の構成において、荷電ビーム発生源１
を負極、ターゲットを正極に、入力信号に基づいてスイ
ッチ８で切り換えた。印加電圧２ｋＶで、２０μＡの成
子線を引き出すことができた。成子線を０．１μｍφに
収束して、ディスク上の所定トラックの所に照射した。
を負極、ターゲットを正極に、入力信号に基づいてスイ
ッチ８で切り換えた。印加電圧２ｋＶで、２０μＡの成
子線を引き出すことができた。成子線を０．１μｍφに
収束して、ディスク上の所定トラックの所に照射した。
情報の読み出しはＰｂ−？Ｓｎの記録ドツトと下地のＡ
ｕ膜で発生する２次電子、反射電子、蛍光Ｘ線を検知器
９で測定することで行った。読み出しは吸収電流を用い
ても良い。
ｕ膜で発生する２次電子、反射電子、蛍光Ｘ線を検知器
９で測定することで行った。読み出しは吸収電流を用い
ても良い。
これにより、０．２μｍのトラック・嘔の中にある０、
１μｍφのドツトｌｉ！み出しがなされた。また。
１μｍφのドツトｌｉ！み出しがなされた。また。
電子の発生源が液体金属であるため、イオン衝撃命が確
認できた。
認できた。
本発明によれば、荷電ビームの発生源に液体金属を用い
て、書き込み時はターゲットの電位を負にして、イオン
線を引き出し、読み出し時はターゲットの電位を正にし
て、電子線を引き出して。
て、書き込み時はターゲットの電位を負にして、イオン
線を引き出し、読み出し時はターゲットの電位を正にし
て、電子線を引き出して。
同−荷載ビーム発生源で、記録、再生できる超高密度記
録を可能にできる。
録を可能にできる。
第１図は本発明の荷電ビーム利用超高密度記録方式を示
すモデル図である。
すモデル図である。
Claims (1)
- １、情報の書き込みと読み出しに液体金属からなる荷電
ビーム源を用いて、書き込み時はビーム源に対してター
ゲット電位を負にしてイオン線を引き出し、照射する工
程と、読み出し時は同一ビーム源に対して、ターゲット
電位を正にして電子線を引き出し、照射する工程とから
なることを特徴とする荷電ビーム利用超高密度記録方式
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27400986A JPS63129543A (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 荷電ビ−ム利用超高密度記録方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27400986A JPS63129543A (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 荷電ビ−ム利用超高密度記録方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63129543A true JPS63129543A (ja) | 1988-06-01 |
Family
ID=17535680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27400986A Pending JPS63129543A (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 荷電ビ−ム利用超高密度記録方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63129543A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6308405B1 (en) | 1990-02-07 | 2001-10-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for preparing an electrode substrate |
-
1986
- 1986-11-19 JP JP27400986A patent/JPS63129543A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6308405B1 (en) | 1990-02-07 | 2001-10-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for preparing an electrode substrate |
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