JPS59221846A - 電子ビ−ム記録再生装置 - Google Patents
電子ビ−ム記録再生装置Info
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- JPS59221846A JPS59221846A JP9525483A JP9525483A JPS59221846A JP S59221846 A JPS59221846 A JP S59221846A JP 9525483 A JP9525483 A JP 9525483A JP 9525483 A JP9525483 A JP 9525483A JP S59221846 A JPS59221846 A JP S59221846A
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- Japan
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- electron beam
- recording
- clock
- signal
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/10—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using electron beam; Record carriers therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の技術分野
本発明は、電子ビームを利用して電気信号としてのディ
ジタル情報の記録及び再生をなす装置に関する。
ジタル情報の記録及び再生をなす装置に関する。
（２）技術の背景
電気パルス信号の形で与えられる情報を記録再生する装
置として、磁気ディスク装置、光デイスク装置、更には
、レーザディスク装置等が知られている。かかる情報記
録再生装置は、渦巻き状または同心円状の情報記録トラ
ックを有する情報記録ディスクを情報記録媒体とし、情
報を化体した電気信号を入力されてこの情報に対応する
磁束信号、光信号、レーザ信号等を発生し、この信号を
もって上記〜の情報記録ディスクの情報記録トラックに
情報に対応して物理的化学的変化を発生させて情報を書
き込み、情報記録トラックに具現された物理的化学的変
化に対応する特定の物理量色えば磁束、反射光、透過光
、反射レーザ光、透過レーザ光等を検出して、入力され
た情報と同一の情報を再生読み出す装置である。
置として、磁気ディスク装置、光デイスク装置、更には
、レーザディスク装置等が知られている。かかる情報記
録再生装置は、渦巻き状または同心円状の情報記録トラ
ックを有する情報記録ディスクを情報記録媒体とし、情
報を化体した電気信号を入力されてこの情報に対応する
磁束信号、光信号、レーザ信号等を発生し、この信号を
もって上記〜の情報記録ディスクの情報記録トラックに
情報に対応して物理的化学的変化を発生させて情報を書
き込み、情報記録トラックに具現された物理的化学的変
化に対応する特定の物理量色えば磁束、反射光、透過光
、反射レーザ光、透過レーザ光等を検出して、入力され
た情報と同一の情報を再生読み出す装置である。
一方、半導体装置の製造方法の一工程として発達した電
子ビーム露光方法は、この技術を利用して微細な文字・
画像を表示する電子ビーム記録装置に発展した。そして
、線の太さが２ｐｍ程度であり文字の大きさが１０ｐＬ
ｍＸｌＯｐｍ程度である電子ビーム文字記録装置やビー
ム径が１ｏＸであり１０ 個／■２程度の点密度を有
する電子ビーム画像描画装置と、走査電子ビーム径が２
用ｍ程度であり線分解能が２５０本／■である電子ビー
ムフィルム感光装置等が知られており、文字、画像の形
成に電子ビームを利用する技術は急速に発達している。
子ビーム露光方法は、この技術を利用して微細な文字・
画像を表示する電子ビーム記録装置に発展した。そして
、線の太さが２ｐｍ程度であり文字の大きさが１０ｐＬ
ｍＸｌＯｐｍ程度である電子ビーム文字記録装置やビー
ム径が１ｏＸであり１０ 個／■２程度の点密度を有
する電子ビーム画像描画装置と、走査電子ビーム径が２
用ｍ程度であり線分解能が２５０本／■である電子ビー
ムフィルム感光装置等が知られており、文字、画像の形
成に電子ビームを利用する技術は急速に発達している。
（３）従来技術と問題点
パルス信号等電気信号としてのディジタル情報を記録す
る従来技術における情報記録再生装置に共通する問題点
は情報記録媒体たる情報記録ディスクの単位面積当り記
録容量が必ずしも満足すべき程度に大きくないことであ
る。まず、磁気ディスク装置にあっては１ビツトの所要
面積が２ｇｍＸ２０ｐＬｍ程度である。比較的大きな単
位面積当り記録容量を有する光デイスク装置にあっても
、１ビツトの所要面積はｌｐ−ｍＸ２ｇｍ程度であり、
必ずしも満足すべきものではない。
る従来技術における情報記録再生装置に共通する問題点
は情報記録媒体たる情報記録ディスクの単位面積当り記
録容量が必ずしも満足すべき程度に大きくないことであ
る。まず、磁気ディスク装置にあっては１ビツトの所要
面積が２ｇｍＸ２０ｐＬｍ程度である。比較的大きな単
位面積当り記録容量を有する光デイスク装置にあっても
、１ビツトの所要面積はｌｐ−ｍＸ２ｇｍ程度であり、
必ずしも満足すべきものではない。
（４）発明の目的
本発明の目的は、単位面積当り記録容量が大きく、幾何
学的寸法の小さな記録媒体をもって大きな情報を記録再
生しうるディジタル情報記録再生装置を提供することに
ある。
学的寸法の小さな記録媒体をもって大きな情報を記録再
生しうるディジタル情報記録再生装置を提供することに
ある。
（５）発明の構成
本発明の構成は、（イ）情報書き込み時には。
経時的に、パルス信号等のディジタル情報を入力されて
、このディジタル情報に対応して電子ビームを放出し、
情報読み出し時には比較的弱い電子ビームを放出する電
子銃と、（ロ）上記の電子ビームを集束し偏向する電磁
光学系と、（ハ）渦巻き状または同心円状の情報記録ト
ラックを有し、情報書き込み時には情報の書き込み速度
すなわち上記パルス信号等に同期して回転しながら上記
の電子ビームの照射を受けて情報を記録し、情報読み出
し時には情報の読み出し速度に同期してすなわち後述す
る情報再生一手段に同期して回転しながら比較的弱い電
子ビームの照射を受けて読み出される情報に対応する二
次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、りん光等を放射する
機能を有する情報記録ディスク装置と、（ニ）上記の二
次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、りん光等をクロック
信号に同期として検出する情報再生手段とよりなる電子
ビーム記録再生装置にある。
、このディジタル情報に対応して電子ビームを放出し、
情報読み出し時には比較的弱い電子ビームを放出する電
子銃と、（ロ）上記の電子ビームを集束し偏向する電磁
光学系と、（ハ）渦巻き状または同心円状の情報記録ト
ラックを有し、情報書き込み時には情報の書き込み速度
すなわち上記パルス信号等に同期して回転しながら上記
の電子ビームの照射を受けて情報を記録し、情報読み出
し時には情報の読み出し速度に同期してすなわち後述す
る情報再生一手段に同期して回転しながら比較的弱い電
子ビームの照射を受けて読み出される情報に対応する二
次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、りん光等を放射する
機能を有する情報記録ディスク装置と、（ニ）上記の二
次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、りん光等をクロック
信号に同期として検出する情報再生手段とよりなる電子
ビーム記録再生装置にある。
本発明は、電子ビームの有する下記の性質を利用したも
のである。
のである。
（イ）電子ビームは直径が５０〜１００ Ａである微細
スポットに集束することができ、電界を印加することに
より容易にかつ正確に偏向することができる。
スポットに集束することができ、電界を印加することに
より容易にかつ正確に偏向することができる。
（ロ）電子ビームがある種の部材に短時間照射されると
、その部材に物理的、化学的変化を発生することができ
る。電子ビームがアルミニウム（ＡＩ）薄膜やフォトレ
ジスト膜に照射されると凸部ができる等である。
、その部材に物理的、化学的変化を発生することができ
る。電子ビームがアルミニウム（ＡＩ）薄膜やフォトレ
ジスト膜に照射されると凸部ができる等である。
（ハ）情報書き込み時より弱い電子ビームを照射すると
、上記の材料には物理的、化学的変化４ま全く発生しな
いが、開口部または凸部とそれ以外の領域とでは、二次
電子、反射電子、Ｘ線、けｌ、Ｘ光、りん光等の放射に
差が認められ、弱１．％電子ビームの照射された領域の
識別が可能である。
、上記の材料には物理的、化学的変化４ま全く発生しな
いが、開口部または凸部とそれ以外の領域とでは、二次
電子、反射電子、Ｘ線、けｌ、Ｘ光、りん光等の放射に
差が認められ、弱１．％電子ビームの照射された領域の
識別が可能である。
そこで、上記構成の項において述べたような電子銃と、
電磁光学系と、情報記録ディスク装置と、情報再生手段
とを設けておき、情報の書き込み・読み出しは下記の如
くなす。
電磁光学系と、情報記録ディスク装置と、情報再生手段
とを設けておき、情報の書き込み・読み出しは下記の如
くなす。
まず、書き込みにおいては、特定のクロック信号に追従
してディジタル情報を入力して、電子銃にこの情報に対
応する電子ビームを放出させ、上記のクロック信号に追
従して情報記録ディスク装置を回転させ、同時に情報記
録トラックの追跡または変更のために電子ビームを偏向
させ、情報記録ディスクの情報記録トラックに逐次情報
の書き込みをなす。例えば正論理信号に対応して微細開
口を形成する。
してディジタル情報を入力して、電子銃にこの情報に対
応する電子ビームを放出させ、上記のクロック信号に追
従して情報記録ディスク装置を回転させ、同時に情報記
録トラックの追跡または変更のために電子ビームを偏向
させ、情報記録ディスクの情報記録トラックに逐次情報
の書き込みをなす。例えば正論理信号に対応して微細開
口を形成する。
一方、読み出しにあたっては、電子ビームの強度は比較
的弱い一定値に保持し、アドレス信号を印加して情報記
録ディスク装置の回転と電子ビームの偏向とを同時に開
始して、読み出される情報の記録されている領域に電子
ビームを逐次照射する。このとき、情報記録ディスクの
情報は変化しないが、記録されていた情報に対応した強
度の二次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、りん光等を放
出する。そこで、情報再生手段をもってこの信号を検出
して、上記のクロック信号に同期したディジタル情報と
して出力する。
的弱い一定値に保持し、アドレス信号を印加して情報記
録ディスク装置の回転と電子ビームの偏向とを同時に開
始して、読み出される情報の記録されている領域に電子
ビームを逐次照射する。このとき、情報記録ディスクの
情報は変化しないが、記録されていた情報に対応した強
度の二次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、りん光等を放
出する。そこで、情報再生手段をもってこの信号を検出
して、上記のクロック信号に同期したディジタル情報と
して出力する。
（６）発明の実施例
以下図面を参照しつつ、本発明の実施例に係る電子ビー
ム記録再生装置につき更に説明する。
ム記録再生装置につき更に説明する。
図参照
図において、１はタングステンフィラメント型電子銃で
あり、５０ＫｅＶ程度に加速された電子ビーム２を放出
する。３はビーム電流制御装置であり、情報信号プロセ
ッサ４の出力するディジタル情報信号Ａに対応して電子
ビーム２の強度を制御する。５は電子ビーム集束装置で
あり、電子ビーム２の直径を５００人程度に集束する。
あり、５０ＫｅＶ程度に加速された電子ビーム２を放出
する。３はビーム電流制御装置であり、情報信号プロセ
ッサ４の出力するディジタル情報信号Ａに対応して電子
ビーム２の強度を制御する。５は電子ビーム集束装置で
あり、電子ビーム２の直径を５００人程度に集束する。
６は偏向器であり、クロック７に追従して情報記録トラ
ックを追跡または変更する。８は情報記録ディスクであ
り、直１２０ｃｍのシリコンウェー／＼」二に厚さ２０
０人にアルミニウム（ＡＩ）膜を形成したものであり、
渦巻き状または同心円状に情報記録トラックが設けられ
ている。９はディスク回転用モータでありクロック７に
追従して回転する。１０は情報読み出し制御装置であり
、１１は電子線、Ｘ線、光等２°を検出する検出器であ
り検出した情報信号をクロック７と同期して出力する。
ックを追跡または変更する。８は情報記録ディスクであ
り、直１２０ｃｍのシリコンウェー／＼」二に厚さ２０
０人にアルミニウム（ＡＩ）膜を形成したものであり、
渦巻き状または同心円状に情報記録トラックが設けられ
ている。９はディスク回転用モータでありクロック７に
追従して回転する。１０は情報読み出し制御装置であり
、１１は電子線、Ｘ線、光等２°を検出する検出器であ
り検出した情報信号をクロック７と同期して出力する。
なお、この装置の内部圧力はｌｏ−３Ｐ ａ程度の真空
状態に保たれる。そのた゛め、真空ポンプ１２とバルブ
１２″が澱けられている。また、電子銃１とビーム電流
制御装置３とは電子銃室１３に、電子ビーム集束装置５
と偏向器６とは電磁光学系室１４に、情報記録ディスク
８はディスク室１５中に、それぞれ、収容され、各室間
は閉鎖しうるようにされている。他室の真空を破ること
をなくそれぞれの室の機器の調整やディスクの交換等を
可能にするためである。
状態に保たれる。そのた゛め、真空ポンプ１２とバルブ
１２″が澱けられている。また、電子銃１とビーム電流
制御装置３とは電子銃室１３に、電子ビーム集束装置５
と偏向器６とは電磁光学系室１４に、情報記録ディスク
８はディスク室１５中に、それぞれ、収容され、各室間
は閉鎖しうるようにされている。他室の真空を破ること
をなくそれぞれの室の機器の調整やディスクの交換等を
可能にするためである。
情報書き込みにあたっては、情報信号プロセッサ４から
出力されるスタート信号によってディスク回転モータ９
と偏向器６を動作させるとともにビーム電流制御装置３
にディジタル情報信号Ａを入力しこれに従って電子ビー
ム２を制御して、情報記録ディスク８に情報を記録する
。この例において゛は、情報の書き込みは正論理に対応
してアルミニウム（ＡＩ）膜に微細な開口を形成するこ
とである。
出力されるスタート信号によってディスク回転モータ９
と偏向器６を動作させるとともにビーム電流制御装置３
にディジタル情報信号Ａを入力しこれに従って電子ビー
ム２を制御して、情報記録ディスク８に情報を記録する
。この例において゛は、情報の書き込みは正論理に対応
してアルミニウム（ＡＩ）膜に微細な開口を形成するこ
とである。
情報を読み出すにあたっては、情報読み出し制御装置ｌ
Ｏを制御して、読み出される情報をアドレスして、ディ
スク回転モータ９と偏向器６を動作させて、情報記録デ
ィスク８の当該情報の書き込まれている領域が、電子ビ
ーム２の照射領域にもたらされる。そして、電子銃ｌか
ら弱い電子ビーム２を放射しながら、クロック７に追従
してディスク回転モータ９と偏向器６とを動作させて、
書き込まれている情報に対応する信号２゛を検出器１°
をもって検出する。この信号は二次電子でも、反射電子
でも、また、Ｘ線でも、けい光でもりん光でもよく、場
合によっては透過光も利用しうる。この信号をクロック
７に同期してノくルス信号として出力することにより、
情報の再生がなされる。
Ｏを制御して、読み出される情報をアドレスして、ディ
スク回転モータ９と偏向器６を動作させて、情報記録デ
ィスク８の当該情報の書き込まれている領域が、電子ビ
ーム２の照射領域にもたらされる。そして、電子銃ｌか
ら弱い電子ビーム２を放射しながら、クロック７に追従
してディスク回転モータ９と偏向器６とを動作させて、
書き込まれている情報に対応する信号２゛を検出器１°
をもって検出する。この信号は二次電子でも、反射電子
でも、また、Ｘ線でも、けい光でもりん光でもよく、場
合によっては透過光も利用しうる。この信号をクロック
７に同期してノくルス信号として出力することにより、
情報の再生がなされる。
上記の如く、電子ビームスポット径を５０ＯＡとしディ
スク径を２０ｃｍとした場合、１×１０１２ビ・ントの
記録容量が得られる。
スク径を２０ｃｍとした場合、１×１０１２ビ・ントの
記録容量が得られる。
（７）発明の詳細
な説明せるとおり、本発明によれば、単位面積当り記録
容量が大きく、幾何学的寸法の小さな記録媒体をもって
大きな情報を記録再生しうるディジタル情報記録再生装
置を提供することができる。
容量が大きく、幾何学的寸法の小さな記録媒体をもって
大きな情報を記録再生しうるディジタル情報記録再生装
置を提供することができる。
図は、本発明の一実施例に係る電子ビーム記録再生装置
の概念的構成図である。
の概念的構成図である。
Claims (1)
- 情報書き込み時には経時的にディジタル情報を入力され
て該ディジタル情報に対応して電子ビームを放出し情報
読出し時には比較的弱い電子ビームを放出する電子銃と
、前記電子ビームを集束し偏向する電磁光学系と、渦巻
き状または同心円状の情報記録トラックを有し情報書き
込み時には情報の書き込み速度に同期して回転しながら
前記電子ビームの照射を受けて情報を記録し情報読み出
し時には情報の読み出し速度に同期して回転しながら比
較的弱い電子ビームの照射を受けて読み出される情報に
対応する二次電子、反射電子、Ｘ線、けい光、または、
りん光を放射する情報記録ディスク装置と、前記二次電
子、反射電子、Ｘ線、けい光、または、りん光を検出す
る情報再生手段とよりなる電子ビーム記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9525483A JPS59221846A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 電子ビ−ム記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9525483A JPS59221846A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 電子ビ−ム記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59221846A true JPS59221846A (ja) | 1984-12-13 |
Family
ID=14132619
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9525483A Pending JPS59221846A (ja) | 1983-05-30 | 1983-05-30 | 電子ビ−ム記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59221846A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0186813A2 (de) * | 1984-12-22 | 1986-07-09 | Bayer Ag | Verfahren zum Auslesen von Informationen aus elektrisch polarisierbaren Datenträgern mittels Elektronenstrahlen |
| JPS62139154A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-22 | Res Dev Corp Of Japan | 情報記録再生方法 |
| JPS6331035A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 記録再生方法 |
| EP0378443A2 (en) * | 1989-01-13 | 1990-07-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for recording and reproducing information |
| WO1999063536A2 (en) * | 1998-06-05 | 1999-12-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Very-high-density memory device utilizing a scintillating data-storage medium |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146931A (en) * | 1979-05-04 | 1980-11-15 | Hitachi Ltd | Depicting method by electronic beam |
| JPS5862845A (ja) * | 1981-10-08 | 1983-04-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子ビ−ム記録方法 |
-
1983
- 1983-05-30 JP JP9525483A patent/JPS59221846A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55146931A (en) * | 1979-05-04 | 1980-11-15 | Hitachi Ltd | Depicting method by electronic beam |
| JPS5862845A (ja) * | 1981-10-08 | 1983-04-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子ビ−ム記録方法 |
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| JPS6331035A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 記録再生方法 |
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| WO1999063536A2 (en) * | 1998-06-05 | 1999-12-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Very-high-density memory device utilizing a scintillating data-storage medium |
| WO1999063536A3 (en) * | 1998-06-05 | 2000-03-09 | Massachusetts Inst Technology | Very-high-density memory device utilizing a scintillating data-storage medium |
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